JPS6240788A - レ−ザ発振器の陰極間の放電抑制装置 - Google Patents
レ−ザ発振器の陰極間の放電抑制装置Info
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- JPS6240788A JPS6240788A JP61183530A JP18353086A JPS6240788A JP S6240788 A JPS6240788 A JP S6240788A JP 61183530 A JP61183530 A JP 61183530A JP 18353086 A JP18353086 A JP 18353086A JP S6240788 A JPS6240788 A JP S6240788A
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- Japan
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- laser
- discharge
- gas
- cathodes
- tubes
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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-
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ａ、産業上の利用分野
この発明は、レーザ発振器の陰極間の放電抑制装置に係
り、更に詳細には、軸流形の気体レーザ発振器の隣接陰
極間の放電の抑制装置に関するものである。
り、更に詳細には、軸流形の気体レーザ発振器の隣接陰
極間の放電の抑制装置に関するものである。
ｂ６従来の技術
さきに、高速軸流形の気体レーザ発振器として、
゛第３図（正面図）及び第４図（平面図）に示すよう
な炭酸ガスレーザ発振器が開発された。この炭酸ガスレ
ーザ発振器１は支持架台３と、支持架台３上に支持され
たレーザ発振部５と、レーザ発振部５を調整する調整ア
タッチメント７等から構成されている。
゛第３図（正面図）及び第４図（平面図）に示すよう
な炭酸ガスレーザ発振器が開発された。この炭酸ガスレ
ーザ発振器１は支持架台３と、支持架台３上に支持され
たレーザ発振部５と、レーザ発振部５を調整する調整ア
タッチメント７等から構成されている。
支持架台３には、左右に支持台９Ａ、９Ｂが立設してあ
り、中央部にレーザ気体（炭酸ガス、窒素、ヘリウムの
混合気体）を冷却する主熱交換器１１が設けである。熱
交換器１１の上面にはレーザ気体を循環・させる気体循
環駆動装置１３が設けてあり、その上部に、更、にレー
ザ気体を冷却する側熱交換器１５が設けである。
り、中央部にレーザ気体（炭酸ガス、窒素、ヘリウムの
混合気体）を冷却する主熱交換器１１が設けである。熱
交換器１１の上面にはレーザ気体を循環・させる気体循
環駆動装置１３が設けてあり、その上部に、更、にレー
ザ気体を冷却する側熱交換器１５が設けである。
レーザ発振部５は、前記の左右の支持台９Ａ。
９Ｂの上面に左右方向に微動自在に設けられた支持プレ
ート１７Ａ及び１７Ｂに支持された２組のレーザ管’１
９Ａ及び１９Ｂからなっている。前記の支持プレート１
７Ａ＝１７Ｂは４本のタイロッド２１によって一体的に
結合されている。また、２組のレーザ管１９Ａ、１９Ｂ
は、それぞれ２本の中央管体２３及び２本の端部管体２
５から構成されており、タイロッド２１に取付けられた
５個のホルダープレート２７によって支持されている。
ート１７Ａ及び１７Ｂに支持された２組のレーザ管’１
９Ａ及び１９Ｂからなっている。前記の支持プレート１
７Ａ＝１７Ｂは４本のタイロッド２１によって一体的に
結合されている。また、２組のレーザ管１９Ａ、１９Ｂ
は、それぞれ２本の中央管体２３及び２本の端部管体２
５から構成されており、タイロッド２１に取付けられた
５個のホルダープレート２７によって支持されている。
各レーザ管１９Ａ及び１９Ｂには、側熱交換器１５から
供給されるレーザ気体の流入部２９がそれぞれ４箇所設
けてあり、また高湿レーザ気体を排出する排出部３１が
それぞれ２箇所設けである。
供給されるレーザ気体の流入部２９がそれぞれ４箇所設
けてあり、また高湿レーザ気体を排出する排出部３１が
それぞれ２箇所設けである。
排出部３１から排出されたレーザ気体は、気体帰還路３
３を通り拡大部３５に設けられた触媒により非電離化（
消イオン化）され、主熱交換器１１で冷却された後、気
体循環駆動装置１３によって側熱交換器１５を経て再び
レーザ管１９Ａ、１９Ｂへ供給される。
３を通り拡大部３５に設けられた触媒により非電離化（
消イオン化）され、主熱交換器１１で冷却された後、気
体循環駆動装置１３によって側熱交換器１５を経て再び
レーザ管１９Ａ、１９Ｂへ供給される。
レーザ管１９Ａ及び１９Ｂのレーザ気体流入部２つには
、放電用の陽極３７が、また排出部３１の両側には、陰
極３つがそれぞれ設けてあり、両極間の放電によってレ
ーザ気体は励起状態になり。
、放電用の陽極３７が、また排出部３１の両側には、陰
極３つがそれぞれ設けてあり、両極間の放電によってレ
ーザ気体は励起状態になり。
励起光は、リアミラー４１、ペンドミラー４３、出力ミ
ラー４５の間を往復し、増幅されてレーザ発振を生じ、
その１部は出力ミラー４５から外部に取出され、レーザ
加工に利用される。このレーザ発振器において、レーザ
管を長くし、またレーザ気体を冷却するのは、レーザ出
力を増大させるためである。
ラー４５の間を往復し、増幅されてレーザ発振を生じ、
その１部は出力ミラー４５から外部に取出され、レーザ
加工に利用される。このレーザ発振器において、レーザ
管を長くし、またレーザ気体を冷却するのは、レーザ出
力を増大させるためである。
以上がさきに開発された炭酸ガスレーザ発振器の構造及
び動作の概要であるが、この発明は、前記のレーザ気体
の排出部３１に関するものである。
び動作の概要であるが、この発明は、前記のレーザ気体
の排出部３１に関するものである。
Ｃ１発明が解決しようとする問題点
前述の第３図のレーザ発振部５の左半分を詳細に示すと
第２図のようになる。即ち、中央管体２３、端部管体２
５、気体帰還′路３３からなるレーザ管のセットが左右
、前後に合計４個取付けられている訳である。図のよう
にレーザ気体は、矢印のように側熱交換器１５から中央
、端部各管体２３．２５に入り、中央部の気体帰還路３
３から主冷却器へ流入する。中央管体２３、端部管体２
５の陽極３７はそれぞれ接地され、陰極３つはそれぞれ
独立可変の直流電源Ｅ＋ 、Ｅ２の陰極側に安定抵抗Ｒ
＋ 、Ｒ２を介して接続されており、電源の陽極側は接
地されている。
第２図のようになる。即ち、中央管体２３、端部管体２
５、気体帰還′路３３からなるレーザ管のセットが左右
、前後に合計４個取付けられている訳である。図のよう
にレーザ気体は、矢印のように側熱交換器１５から中央
、端部各管体２３．２５に入り、中央部の気体帰還路３
３から主冷却器へ流入する。中央管体２３、端部管体２
５の陽極３７はそれぞれ接地され、陰極３つはそれぞれ
独立可変の直流電源Ｅ＋ 、Ｅ２の陰極側に安定抵抗Ｒ
＋ 、Ｒ２を介して接続されており、電源の陽極側は接
地されている。
通常、放電は陽極３７と陰極３９の間で行われるが、左
右の管体な流れるレーザ気体の電気抵抗に差があると、
山陰（モ間に電位差が生ずる。山陰極間のＡの領域は、
左右のレーザ気体の合流するところで、レーザ気体は強
く電離されており、電気抵抗が低い。したがって、山陰
極間にある程度の電位差が生ずると、陰極間で放電が発
生する。
右の管体な流れるレーザ気体の電気抵抗に差があると、
山陰（モ間に電位差が生ずる。山陰極間のＡの領域は、
左右のレーザ気体の合流するところで、レーザ気体は強
く電離されており、電気抵抗が低い。したがって、山陰
極間にある程度の電位差が生ずると、陰極間で放電が発
生する。
このような放電が生ずると、主放電が不安定になり、レ
ーザ出力も低下する。
ーザ出力も低下する。
この発明は、このような問題を解決するために行われ／
ｊもので、レーザ発振器の山陰極間に電位差が生じても
、山陰極間で放電を発生せず、安定に動作するレーザ発
振器の陰極間の放電抑制装置を提供することを目的とす
るものである。
ｊもので、レーザ発振器の山陰極間に電位差が生じても
、山陰極間で放電を発生せず、安定に動作するレーザ発
振器の陰極間の放電抑制装置を提供することを目的とす
るものである。
ｄ１問題を解決するための手段
前記の目的を達成するために、この発明は、放電電極を
備えた複数本のレーザ管を、同種が隣接するように直線
状に配置して設け、隣接するレーザ管の山陰極の間に、
レーザ気体を排出する排出部を設けると共に、該排出部
に前記隣接レーザ管の電離気体を分離排出する非電離気
体の噴出部を設けたことを構成の要旨とするものである
。
備えた複数本のレーザ管を、同種が隣接するように直線
状に配置して設け、隣接するレーザ管の山陰極の間に、
レーザ気体を排出する排出部を設けると共に、該排出部
に前記隣接レーザ管の電離気体を分離排出する非電離気
体の噴出部を設けたことを構成の要旨とするものである
。
０６作用
この発明の作用について、第１図によって説明する。レ
ーザ管の中央管体２３及び端部管体２５のそれぞれの陰
極３９を矢印のように通過した電離したレーザ″気体は
、それぞれＣ＋ 、０２の領域において、その中間のＢ
、領域の非電離レーザ気体と隔離され、それぞれ排出路
３１−１．３１−２を矢印のように下方に流れ電離度を
低減された後り領域で合流する。従って山陰極間の電気
抵抗はＢ領域の非電離レーザ気体の存在により、従来よ
り高くなる。また、Ｄ領域で合流しても、極間距離が長
く、電離度も低減されているのでこの回路の電気抵抗も
高い。したがって隣接する陰極間に相当な電位差が生じ
ても陰極間の放電は起らない。
ーザ管の中央管体２３及び端部管体２５のそれぞれの陰
極３９を矢印のように通過した電離したレーザ″気体は
、それぞれＣ＋ 、０２の領域において、その中間のＢ
、領域の非電離レーザ気体と隔離され、それぞれ排出路
３１−１．３１−２を矢印のように下方に流れ電離度を
低減された後り領域で合流する。従って山陰極間の電気
抵抗はＢ領域の非電離レーザ気体の存在により、従来よ
り高くなる。また、Ｄ領域で合流しても、極間距離が長
く、電離度も低減されているのでこの回路の電気抵抗も
高い。したがって隣接する陰極間に相当な電位差が生じ
ても陰極間の放電は起らない。
Ｂ部の非電離レーザ気体は回熱交換器１５から各レーザ
管に供給される循環気体で連通管４９、噴出管５１を介
して噴出部４７から供給されるものである。
管に供給される循環気体で連通管４９、噴出管５１を介
して噴出部４７から供給されるものである。
「、実施例
次に、この発明の実施例について図面によって説明する
。第１図は、この発明を前記炭酸ガスレーザ発掘器に利
用した実施例で前述の第２図に対応するものである。即
ち、レーザ気体の排出部３１を従来の１字形から７字形
に変更し、２つの排出路３１−１及び３１−２に分け、
その中門に非電離のレーザ気体の噴出部４７を設けたも
のである。この噴出部４７には、回熱交換器１５から端
部管体２５に冷却された非電離の一レーザ気体を供給す
る連通管４つの中途から分岐した噴出管５１によって、
新鮮なレーザ気体が供給される。
。第１図は、この発明を前記炭酸ガスレーザ発掘器に利
用した実施例で前述の第２図に対応するものである。即
ち、レーザ気体の排出部３１を従来の１字形から７字形
に変更し、２つの排出路３１−１及び３１−２に分け、
その中門に非電離のレーザ気体の噴出部４７を設けたも
のである。この噴出部４７には、回熱交換器１５から端
部管体２５に冷却された非電離の一レーザ気体を供給す
る連通管４つの中途から分岐した噴出管５１によって、
新鮮なレーザ気体が供給される。
この非電離のレーザ気体はＢ領域から左右に分れ、左右
のレーザ管の電離気体とそれぞれＣ１、Ｃ２領域で混合
し、排出路３１−１．３１−２を通ってＤ領域で合流し
、気体需還路３３から主熱交換器へ流入する。Ｂ領域の
気体は電離していないので、電気抵抗が高く、またＤｆ
Ａ域の気体は、新鮮な気体によって電離度が低下してお
り、また山陰極間の距離が長いので、山陰極間に相当の
電位差が生じても、放電を起すことはない。したがって
、レーザ発振器は安定に動作する。
のレーザ管の電離気体とそれぞれＣ１、Ｃ２領域で混合
し、排出路３１−１．３１−２を通ってＤ領域で合流し
、気体需還路３３から主熱交換器へ流入する。Ｂ領域の
気体は電離していないので、電気抵抗が高く、またＤｆ
Ａ域の気体は、新鮮な気体によって電離度が低下してお
り、また山陰極間の距離が長いので、山陰極間に相当の
電位差が生じても、放電を起すことはない。したがって
、レーザ発振器は安定に動作する。
ｇ０発明の効果
以上の説明から明らかなように、この発明は、特許請求
の範囲に記載の構成を備えているので、この発明の装置
によれば、陰極間に相当の電位差が発生しても、両極間
で放電を生ずることがなく、レーザ発振器は安定に動作
する。したがって、陰極間の放電によって生ずる種々の
問題、例えばレーザ出力の低下や注入電力の効率の低減
等を防止することができる。
の範囲に記載の構成を備えているので、この発明の装置
によれば、陰極間に相当の電位差が発生しても、両極間
で放電を生ずることがなく、レーザ発振器は安定に動作
する。したがって、陰極間の放電によって生ずる種々の
問題、例えばレーザ出力の低下や注入電力の効率の低減
等を防止することができる。
第１図はこの発明の詳細な説明図、第２図は炭酸ガスレ
ーザ発振器のレーザ気体の排出部の説明図、第３図及び
第４図は炭酸がスレーザ発振器の説明図である。図面の
同一符号は、同−物又は相当物を示す。 （図面の主要な部分を示す符号の説明）１・・・炭酸ガ
スレーザ発振器 ５・・・レーザ発振部１１・・・主熱
交換器 １３・・・気体循環駆動装置１５・・・回熱交
換器 ２３・・・中央管体（レーザ管）２５・・・端部
管体（レーザ管） ２９・・・流入部３１・・・排出部
３１−１．３１−２・・・排出路３３・・・気体帰還
路 ３７・・・陽極 ３９・・・陰極４９・・・噴出部
５１・・・噴出管代理人 弁理士 三 好 保
男 第１図 第２図 Ｑ
ーザ発振器のレーザ気体の排出部の説明図、第３図及び
第４図は炭酸がスレーザ発振器の説明図である。図面の
同一符号は、同−物又は相当物を示す。 （図面の主要な部分を示す符号の説明）１・・・炭酸ガ
スレーザ発振器 ５・・・レーザ発振部１１・・・主熱
交換器 １３・・・気体循環駆動装置１５・・・回熱交
換器 ２３・・・中央管体（レーザ管）２５・・・端部
管体（レーザ管） ２９・・・流入部３１・・・排出部
３１−１．３１−２・・・排出路３３・・・気体帰還
路 ３７・・・陽極 ３９・・・陰極４９・・・噴出部
５１・・・噴出管代理人 弁理士 三 好 保
男 第１図 第２図 Ｑ
Claims (2)
- （１）放電電極を備えた複数本のレーザ管を、同極が隣
接するように直線状に配置して設け、隣接するレーザ管
の両陰極の間に、レーザ気体を排出する排出部を設ける
と共に、該排出部に前記隣接レーザ管の電離気体を分離
排出する非電離気体の噴出部を設けたことを特徴とする
レーザ発振器の陰極間の放電抑制装置。 - （２）複数本のレーザ管の各陰極に近接した位置に、そ
れぞれレーザ気体の排出部を設け、各排出部の間に非電
離気体の噴出部を設けたことを特徴とする第１項記載の
レーザ発振器の陰極間の放電抑制装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/765,103 US4703487A (en) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | Device for suppressing electrical discharges between cathodes of laser oscillator |
| US765103 | 1985-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240788A true JPS6240788A (ja) | 1987-02-21 |
Family
ID=25072659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61183530A Pending JPS6240788A (ja) | 1985-08-13 | 1986-08-06 | レ−ザ発振器の陰極間の放電抑制装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4703487A (ja) |
| JP (1) | JPS6240788A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE8619083U1 (de) * | 1986-07-16 | 1987-11-12 | Rofin-Sinar Laser Gmbh, 22113 Hamburg | Gaslaser mit Hochfrequenzanregung |
| US4815093A (en) * | 1987-11-02 | 1989-03-21 | Wollermann Windgasse Reinhard | Device for a modular power laser |
| JPH0756644B2 (ja) * | 1990-08-31 | 1995-06-14 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 状態変化通知装置及び方法 |
| US5450073A (en) * | 1991-12-31 | 1995-09-12 | International Business Machines Corporation | Controlling power sequencing of a control unit in an input/output system |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3305152A1 (de) * | 1983-02-15 | 1984-08-16 | Rofin-Sinar Laser GmbH, 2000 Hamburg | Gasdurchfluss-laser |
-
1985
- 1985-08-13 US US06/765,103 patent/US4703487A/en not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-08-06 JP JP61183530A patent/JPS6240788A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4703487A (en) | 1987-10-27 |
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