JPH02220482A

JPH02220482A - レーザ発振器

Info

Publication number: JPH02220482A
Application number: JP3940189A
Authority: JP
Inventors: Kenkichi Nakaoka; 健吉中岡
Original assignee: Amada Co Ltd
Current assignee: Amada Co Ltd
Priority date: 1989-02-21
Filing date: 1989-02-21
Publication date: 1990-09-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は、レーザ発振器に係り、更に詳細には、陽極
と陰極を配置している放電部の改良に関する。

（従来の技術）従来、２軸直交型レ一ザ発Ｓ器における放電部において
は、ガス流方向に対して同方向に陽極と陰極が離隔して
配置されている。しかも、この陽極と陰極はガス流方向
に対して直交した方向（光バス方向）に適宜な間隔で複
数設けられている。

また、３軸直交型レ一ザ発振器における放電部において
は、ガス流方向に対して直交した方向（光バス方向）へ
延伸した陽極片と陰極が設けられ、しかも陽極片と陰極
とは光バス方向に対して直交した方向へ離隔して配置さ
れている。

（発明が解決しようとする課題）ところで、上述した従来技術のうち、２軸直交型レ一ザ
発振器における陽極と陰極の配置構造では、陽極の構造
が複雑かつガス流を妨害して発振効率を悪くしている。

また、光バス数を増して出力アップを図ろうとすると、
ガス流路が広くなってガス流速が低下し、大巾な出力が
できないという問題がある。

３軸直交型レ一ザ発振器における陽極片と陰極の配置構
造では、レーザ発振に寄与するグロー放電の広がりが放
１！電流値によって移動し、光バスに対して常に最適な
位置を維持できない。また、ガス流の下流に位置する光
バスは、上流側の光バスによる誘導放出やガス温度の上
昇によって光増巾率が低くなる。したがって、光バス数
を多くしても、ガス流に対して下流側の光バスは出力ア
ップに大きく負献しないという問題があった。

この発明の目的は、上記問題点を改善するため、グロー
放電による励起空間をマルチ光バスに適した分布として
発揚効率を高めると共に、放電部をコンパクト化して大
出力を得るようにしたレーザ発１！ｉ器を提供すること
にある。

［発明の構成ｊ（ｙ！題を解決するための手段）上記目的を達成するために、この発明は、レーザ発振器
における放電部に、ガス流と同方向に陽極と陰極を設け
、この陽極と陰極のいずれか一方を少なくとも２つ以上
に分割してガス流を挾んで対向して配置してレーザ発ｉ
！器を構成した。

（作用）この発明のレーザ発振器を採用することにより、陽極と
陰極のいずれか一方を少なくとも２つ以上に分割してガ
ス流を挾んで対向して配置することによって、ガス流通
路を広げずにガス流を防げることがない。したがって、
ガス流速を高くしてもガス流は乱れないので、発振効率
が高効率で安定な大出力のレーザ光が得られる。

（実施例）以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。

第３図を参照するに、レーザ発振器としての２輪直交型
発振器１にはレーザ発振器本体３が設けられている。こ
のレーザ発振器本体３の上部にはレーザ発Ｗｌ器本体３
を第３図において左右方向に貫通する上部ガス流通路５
が形成されている。

この上部ガス流通路５におけるガス流Ｇの方向に対して
直交する方向の側壁には、共振器のりアミラーと出力ミ
ラー（いずれも図示せず）が取付けられている。したが
って、前記上部ガス流通路５には、リアミラーと出力ミ
ラーで挾まれる領域として放電部７が形成されている。

前記レーザ発振器本体３の下部には、ガス流Ｇを送風す
るためのプロワ９が設けられている。そしてこのプロワ
９によって送風されたガス流Ｇが、側部ガス流通路１１
を介して、前記上部ガス流通路５．放電部７に導入され
、放電部７を通過した後、他の側部ガス流通路１３に設
けられた熱交換器１５で冷却され、プロワ９に戻される
ようになっている。

前記放電部７には、ガス流Ｇ中に放電を行なうための正
の放電電極である陽極１７と負の放電電極である陰極１
９が設けられている。より詳細には第１図に示されてい
るように、ガス流Ｇの上流ＩＩ（第１図において右側）
には第１図において紙面に対し直交した方向へ複数離隔
して上下に陰極１９Ａ、１９Ｂが対向して配置して設け
られている。また、ガス流Ｇの下流側（第１図において
左側）には第１図において紙面に対し直交した方向へ延
伸して上下に陽ｗＡ１７Ａ、１７Ｂが対向して配回され
ている。そして、陽極１７Ａと陽極１７Ｂとの間に第１
図において紙面に対し直交した方向ヘレーザ光ＬＢの光
バス数が４つ通過している。

上記構成により、それぞれ対向した陽極１７Ａ。

１７Ｂ、陰極１９Ａ、１９Ｂ内をガス流Ｇが流れる。し
たがって、上部ガス流通路５を挾んでＦａ電極　７Ａ、
１７Ｂ、陰極１９Ａ、１９Ｂを対向して配置することに
より、ガス流Ｇを広げずに、かつガス流Ｇを防げないで
、ガス流Ｇの流速を高くし、乱さないから、高効率で安
定な大出力のレーザ光を得ることができる。

このとき、光バス数をガス流方向に複数列（ｎ）、ガス
流と垂直方向に複数列（ｎ２）としたとき、ｎＩｘｎ２
を、２Ｘ２．２Ｘ３．３Ｘ２゜３Ｘ３などとすることが
よい。したがって、ガス流Ｇの方向の光バス数を多くし
なくても光バス教を増せるので効率がよい。また、ｆｌ
ｉ電部の構造をこのうな陽極１７．陰極１９の配置構成
とすることにより、コンパクト化することができる。

第１図では陰極１９Ａ、１９Ｂをガス流Ｇの上流側に、
陽極１７Ａ、１７Ｂをガス流Ｇの下流側に配置したが、
陽極１７Ａ、１７Ｂをガス流Ｇの上流側に、陰極１９Ａ
、１９Ｂをガス）＊Ｇの下流側に配置して対応すること
も可能である。

また、第２図示されているように、ＦＩＡ極１７Ａ。

１７Ｂの上流側に、陰極１７Ｂのみを配置しても、第１
図に示したものと同様の効果を奏する。

さらに、第１図、第２図において、陽極１７Ａ。

１７Ｂ、！：Ｆ３に１９Ａ、１９ＢをそＭ”れｌＬ換え
てら、第１図に示したものと同様の効果を秦する。

なお、この発明は、上述した実施例に限定されることな
く、適宜の変更を行なうことにより、その他の態様で実
施しくりるものである。例えば、本実施例ではレーデ発
振器を２軸直交型レ一ザ発掘器で説明したが、３軸貞交
型レ一ザ発概器であっても構わない。

［発明の構成〕以上のごとき実施例の説明より＠解されるように、この
発明によれば、陽極と陰極のいずれか一方を少なくとも
２つ以上に分割してガス流を挾んで対向して配置するこ
とによって、ガス流通路を広げずにガス流を防げること
がない。したがって、ガス流速を高くしてもガス流は乱
れないので、発振効率が高効率で安定な大出力のレーザ
光を得ることができる。また、ガス流方向の光バス数を
多くしなくても、光バス数を増せるので効率がよくなる
。さらに、放電部をコンパクト化することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る主要部の放電部の拡大図、第２
図は第１図に代る他の実施例を示す図、第３図はこの発
明を実施する一実施例のレーザ発振器としての２軸直交
型レ一ザ発擾器の正面図である。１・・・２軸直交型レ一ザ発振器５・・・上部ガス流通路７・・・放電部１７．１７Ａ、１７ｂ−１極１９．１９Ａ、１９Ｂ・・・陰極　Ｇ・・・ガス流代理
人　弁理士　　三　好　秀　和１・・・２軸直交型レ一ザ発Ｓ器５・・・上部ガスえ通路７・・・放電部１７、１７Ａ、　１７ｂ　・ＩＩ極１９．１９Ａ、１９Ｂ・−陰極　Ｇ−・・ガス流７Ａ７Ｂ第１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

レーザ発振器における放電部に、ガス流と同方向に陽極
と陰極を設け、この陽極と陰極のいずれか一方を少なく
とも２つ以上に分割してガス流を挾んで対向して配置し
てなることを特徴とするレーザ発振器。