JPS6239444A - 高純度薬品用ボトル - Google Patents
高純度薬品用ボトルInfo
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- JPS6239444A JPS6239444A JP60177322A JP17732285A JPS6239444A JP S6239444 A JPS6239444 A JP S6239444A JP 60177322 A JP60177322 A JP 60177322A JP 17732285 A JP17732285 A JP 17732285A JP S6239444 A JPS6239444 A JP S6239444A
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- JP
- Japan
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- bottle
- polyethylene
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- average molecular
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高純度薬品用ボトルに関するものである。詳し
くは、半導体等の電子部品等を加工する際等に用いる高
純度の硫酸や硝酸等の薬品乞収容、運搬する際に用いる
ボトルに関するものである。
くは、半導体等の電子部品等を加工する際等に用いる高
純度の硫酸や硝酸等の薬品乞収容、運搬する際に用いる
ボトルに関するものである。
近年、半導体等の電子部品は極めて高密度化されており
、エツチング等の加工に当って用いられる薬品も極めて
高純度のものが要求されている。すなわち、この種の加
工に用いる薬品に不純物や微細な！ｌ（ダス）Ｊ等が混
入した場合、半導体等の微細加工に肖って、エツチング
不良部分等が生じ、不良製品の増加、収尤の低下、品質
安定性の低下等の問題を生起するためである。
、エツチング等の加工に当って用いられる薬品も極めて
高純度のものが要求されている。すなわち、この種の加
工に用いる薬品に不純物や微細な！ｌ（ダス）Ｊ等が混
入した場合、半導体等の微細加工に肖って、エツチング
不良部分等が生じ、不良製品の増加、収尤の低下、品質
安定性の低下等の問題を生起するためである。
現在、この種の高純度薬品は厳重な品質管理下に製造さ
れており、工場内での不純物やダスト等の混入はほとん
ど完全に防止されているが、出荷の際に用いる容器から
不純物やダストが混入する場合があり、この改善が望ま
れていた。
れており、工場内での不純物やダスト等の混入はほとん
ど完全に防止されているが、出荷の際に用いる容器から
不純物やダストが混入する場合があり、この改善が望ま
れていた。
従来のこの種の薬品？収容、運搬する容器としては、ポ
リエチレン製の基層の容器が用いられており、特に硝酸
等、光に当ると変色や変質する薬品用容器の場合には、
ポリエチレンにカーボンブラックとチタンホワイト等を
混入して灰色に着色したボトル等が用いられている。
リエチレン製の基層の容器が用いられており、特に硝酸
等、光に当ると変色や変質する薬品用容器の場合には、
ポリエチレンにカーボンブラックとチタンホワイト等を
混入して灰色に着色したボトル等が用いられている。
しかしながら、この贋色、単層ボトルの場合、薬品を収
容して運搬等を行なう際、震動等が加わり、容器内で薬
品が揺動すると、ポリエチレンのこれら添刀口物の溶出
問題に加えて容器の内壁から微細なダストが発生し、薬
品中に混入すると云う問題がある。本発明は、薬品中に
ダストの混入することの少ない容器を提供すること７目
的とするものである。
容して運搬等を行なう際、震動等が加わり、容器内で薬
品が揺動すると、ポリエチレンのこれら添刀口物の溶出
問題に加えて容器の内壁から微細なダストが発生し、薬
品中に混入すると云う問題がある。本発明は、薬品中に
ダストの混入することの少ない容器を提供すること７目
的とするものである。
すなわち、本発明の要旨はポリエチレンを吹込成形して
なる高純度薬品用ボトルであって、該ボ）／しは多層構
造とされており、最内層を遮光剤を含有しないポリエチ
レンで構成し、最内層以外の少な（とも一層を遮光剤を
含有するポリエチレンで構成したことｔ特徴とする高純
度薬品用ホトＡ／に存する。
なる高純度薬品用ボトルであって、該ボ）／しは多層構
造とされており、最内層を遮光剤を含有しないポリエチ
レンで構成し、最内層以外の少な（とも一層を遮光剤を
含有するポリエチレンで構成したことｔ特徴とする高純
度薬品用ホトＡ／に存する。
以下図面を用いて本発明のボトルの一例につき更に詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明のボトルの一例の縦断面図、第一図、第
３図は本発明ボトルの口部を拡大して示す斜視図であり
、第２図は閉栓状態ｔ、第２図は閉栓状態を示す。
３図は本発明ボトルの口部を拡大して示す斜視図であり
、第２図は閉栓状態ｔ、第２図は閉栓状態を示す。
図中ｌはボトル、コは最内層、３は遮光層、ダは取手ン
それぞれ示す。
それぞれ示す。
ホトＡ／／はポリエチレンを用いて吹込成形（ブロー成
形〕されたもめであり、少なくとも内層側と外層側の一
層からなる。ボトル／の最内層コを構成するポリエチレ
ンとし℃は通常ブロー成形に用いられるポリエチレンが
用いられるが、密度０．９４５〜０．９７／鷹−のもの
が好ましく、詳しくはＭ工が０． ／〜０．７のポリエ
チレンの場合は密度ｏ、ｑｂｏ−ｏ、デフ０ｊｉ洲のも
のが好ましく、Ｍ工が０．０７〜０．０７のポリエチレ
ンの場合には０．９’ｌＫ〜θ。ｑ ｒ ｒ ｇ／ａｒ
ｔのものが好ましい。数平均分子量は、３．！？×１０
”〜ムＡ Ｘ ／ ０．４、好ましくは！×ＩＯ”〜／
、Ｏ×１０４のものが好適である。また２平均分子量／
重量平均分子量の値がｇ 、 ｒ、好ましくは３〜７の
ものが好適である。
形〕されたもめであり、少なくとも内層側と外層側の一
層からなる。ボトル／の最内層コを構成するポリエチレ
ンとし℃は通常ブロー成形に用いられるポリエチレンが
用いられるが、密度０．９４５〜０．９７／鷹−のもの
が好ましく、詳しくはＭ工が０． ／〜０．７のポリエ
チレンの場合は密度ｏ、ｑｂｏ−ｏ、デフ０ｊｉ洲のも
のが好ましく、Ｍ工が０．０７〜０．０７のポリエチレ
ンの場合には０．９’ｌＫ〜θ。ｑ ｒ ｒ ｇ／ａｒ
ｔのものが好ましい。数平均分子量は、３．！？×１０
”〜ムＡ Ｘ ／ ０．４、好ましくは！×ＩＯ”〜／
、Ｏ×１０４のものが好適である。また２平均分子量／
重量平均分子量の値がｇ 、 ｒ、好ましくは３〜７の
ものが好適である。
用いられるポリエチレンとしては、耐薬品性の上からは
高密度ポリエチレンでかつ数平均分子量の大きい結晶性
の高いものであることが望ましいが、あまりに数平均分
子量が大きいとプロー成形ビ行なう際押出機中での流れ
が悪くなり、押出されたパリソンの表面に細かい「しわ
」状の流れ模様が発生し、ダストの原因となると考えら
れること等の点から上記の範囲の数平均分子量、ｚ平均
分子葉／重量平均分子量及び密度が１択される。
高密度ポリエチレンでかつ数平均分子量の大きい結晶性
の高いものであることが望ましいが、あまりに数平均分
子量が大きいとプロー成形ビ行なう際押出機中での流れ
が悪くなり、押出されたパリソンの表面に細かい「しわ
」状の流れ模様が発生し、ダストの原因となると考えら
れること等の点から上記の範囲の数平均分子量、ｚ平均
分子葉／重量平均分子量及び密度が１択される。
明細書中密度の測定はＪＩＳＫＡ７ＡＯに準拠し、平均
分子量は分子量分布を東洋曹達工業＠裂ＨＩＪＯ−ｔｉ
ｉ型測定器（ゲルサイズ／ｊμ、３０μ混合タイプ、カ
ラムサイズク、 ｔ 罪！’ ｘｔｏｏ罪×＝本、ＴＳ
ＫゲルＧＭＨＡ−ＨＴ ）Ｙ：用いて測定し、計算によ
り求めた値である。
分子量は分子量分布を東洋曹達工業＠裂ＨＩＪＯ−ｔｉ
ｉ型測定器（ゲルサイズ／ｊμ、３０μ混合タイプ、カ
ラムサイズク、 ｔ 罪！’ ｘｔｏｏ罪×＝本、ＴＳ
ＫゲルＧＭＨＡ−ＨＴ ）Ｙ：用いて測定し、計算によ
り求めた値である。
また、最内層二を構成するポリエチレンには後述する遮
光剤は添加しない。微量の不純物が収容した薬品に混入
することＹ防止する上から、劣化防止剤等の添加剤は添
加されていないポリエチレンを用いることが望ましい。
光剤は添加しない。微量の不純物が収容した薬品に混入
することＹ防止する上から、劣化防止剤等の添加剤は添
加されていないポリエチレンを用いることが望ましい。
ポリエチレン中に残存する低分子量物質及び添刀り剤等
は、ボトル成形稜収容すべき薬品を充填し、ｊ〜３０日
程度放置してお（ことにより抽出され、使用に差支えな
（なる。
は、ボトル成形稜収容すべき薬品を充填し、ｊ〜３０日
程度放置してお（ことにより抽出され、使用に差支えな
（なる。
ボトルｌの遮光層３を構成するポリエチレンは前述した
最内層−を構成するポリエチレンと同様のポリエチレン
で良いが、密度１分子量等が異なるポリエチレンを用い
ても良い。
最内層−を構成するポリエチレンと同様のポリエチレン
で良いが、密度１分子量等が異なるポリエチレンを用い
ても良い。
逅光濁Ｊｙ！−構成するポリエチレンには遮光剤が混入
される。
される。
遮光剤としては、カーボンブラック、チタンホワイト等
の無機系の層色剤や各種の有無系の顔料、染料等、アル
ミニウム等の金属粉等、ポリエチレンに添刀口すること
により元の透過を防止し得るものであればどのようなも
のであっても良い。本発明においては遮光剤は最内層の
ポリエチレンには添加されないので収容する薬品によっ
て遮光剤の種類を選択するような必要はない。
の無機系の層色剤や各種の有無系の顔料、染料等、アル
ミニウム等の金属粉等、ポリエチレンに添刀口すること
により元の透過を防止し得るものであればどのようなも
のであっても良い。本発明においては遮光剤は最内層の
ポリエチレンには添加されないので収容する薬品によっ
て遮光剤の種類を選択するような必要はない。
ａ光剤の含有量は遮光剤の種類、遮光層３の厚さ等によ
り異なり適宜決定すれば良い。
り異なり適宜決定すれば良い。
例えばカーボンブラックを遮光剤として用いる場合には
ポリエチレンに対し０．０１〜／、ＯＴＬ黛チ、好まし
くはＯ，Ｏ！ｒ〜０．５重量％程度で艮（ゝ。
ポリエチレンに対し０．０１〜／、ＯＴＬ黛チ、好まし
くはＯ，Ｏ！ｒ〜０．５重量％程度で艮（ゝ。
ボトル／は上述のように少なくとも２層のボトルである
が、これを製造するには１通常の多７Ｊ押出ダイを用い
多層のパリソンを押出し、これをブロー成形することに
よって行なえば良い。
が、これを製造するには１通常の多７Ｊ押出ダイを用い
多層のパリソンを押出し、これをブロー成形することに
よって行なえば良い。
ホト々／に収容される高純度薬品は例えば−駿、硝酸、
塩酸等であり、ボトルの構造にも配慮を加える必要があ
る。例えば本発明のボトルから薬品ン取り出す際、取手
り乞持ってボトルを傾斜させるごとによって薬品を排出
するが、この際ボトルの構造が悪いと薬品が脈動状態で
排出され、周囲に飛散したりして危険な場合もある。
塩酸等であり、ボトルの構造にも配慮を加える必要があ
る。例えば本発明のボトルから薬品ン取り出す際、取手
り乞持ってボトルを傾斜させるごとによって薬品を排出
するが、この際ボトルの構造が悪いと薬品が脈動状態で
排出され、周囲に飛散したりして危険な場合もある。
従ってボトルの取手側の側壁は内容物を排出した際に外
気の流入しやすい構造とし、例えば取手グ馨設ける場合
にもボトルの側壁は極力なだらかなカーブ馨描（ように
し、側壁が内側に膨出する部分と略垂直な側壁との接続
部分の角度（図中θで示す］はなるべく小さくなるよう
にするのが良い。角度θはｂｏ°以下、好ましくは３０
°以下が望ましい。
気の流入しやすい構造とし、例えば取手グ馨設ける場合
にもボトルの側壁は極力なだらかなカーブ馨描（ように
し、側壁が内側に膨出する部分と略垂直な側壁との接続
部分の角度（図中θで示す］はなるべく小さくなるよう
にするのが良い。角度θはｂｏ°以下、好ましくは３０
°以下が望ましい。
また取手ｑは中空とすることが考えられるが、中空とし
た場合にはその部分の洗浄が難しく、残留ダストの原因
となるので取手ダは中実であることが望ましい。
た場合にはその部分の洗浄が難しく、残留ダストの原因
となるので取手ダは中実であることが望ましい。
同様に残留ダストの原因どなるボトル内部はなるべく凹
凸の少ない構造としている。
凸の少ない構造としている。
更に又、本発明ボトルに収容される薬品は、クリーンル
ームなどの極めて清浄な作業環境下で取扱われ、且つ使
用時密封シール２取り除き、開栓するに先立って純水で
洗浄されるので、その際容器口部に洗浄水が残存しない
ように配慮しておくことも必要である。
ームなどの極めて清浄な作業環境下で取扱われ、且つ使
用時密封シール２取り除き、開栓するに先立って純水で
洗浄されるので、その際容器口部に洗浄水が残存しない
ように配慮しておくことも必要である。
本発明ボ）ｙでは、容器本体の口部３のネジ山部の下方
に設けられる密封シール用のつばの一部を切欠して突起
状部６となし、シールの密封性を保持しつつ、洗浄時に
水が残らないようになされている。
に設けられる密封シール用のつばの一部を切欠して突起
状部６となし、シールの密封性を保持しつつ、洗浄時に
水が残らないようになされている。
以下に実施例を示し、本発明のボトルをより具体的に説
明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施
例に限定されるものではな（ゝＯ 実施例／ 内層樹脂として密度０． ｆ ！ 、７ ｆｉ／ａＡ、
数平均分子量ｔ、Ｏ×１０３．２平均分子量／重量平均
分子量の値６．０％ メルトインデックス０． ｊ ｊ
−９／／ ０分の高密度ポリエチレン〔三菱化成工業■
裂、ノバテツクノ（ツバチックは三菱化成工業■の登録
商標〕を用い、外層樹脂として同様のポリエチレンにカ
ーボンブラックＹＯ，／ｉｔ％混入した樹脂を用い、一
層押出ダイよりパリソン乞押出し、第１図に示したと同
様の構造の容量ダｊのボトルを吹込成形した。
明するが、本発明はその要旨を越えない限り以下の実施
例に限定されるものではな（ゝＯ 実施例／ 内層樹脂として密度０． ｆ ！ 、７ ｆｉ／ａＡ、
数平均分子量ｔ、Ｏ×１０３．２平均分子量／重量平均
分子量の値６．０％ メルトインデックス０． ｊ ｊ
−９／／ ０分の高密度ポリエチレン〔三菱化成工業■
裂、ノバテツクノ（ツバチックは三菱化成工業■の登録
商標〕を用い、外層樹脂として同様のポリエチレンにカ
ーボンブラックＹＯ，／ｉｔ％混入した樹脂を用い、一
層押出ダイよりパリソン乞押出し、第１図に示したと同
様の構造の容量ダｊのボトルを吹込成形した。
成形したボトルに７０％高純度硝酸を充填し、７日間放
置してポリエチレンからの溶出物を抽出した。
置してポリエチレンからの溶出物を抽出した。
次いでボトル内部ビ洗浄用水で３回洗浄後、Ｑ、５〜／
μの大きさのダスト／２＠／ｌｎｌ、／〜コμの大きさ
のダスト１個／１７ 、のりＱ％高純度硝酸ｔダｌボト
ルに収容し、密栓した。
μの大きさのダスト／２＠／ｌｎｌ、／〜コμの大きさ
のダスト１個／１７ 、のりＱ％高純度硝酸ｔダｌボト
ルに収容し、密栓した。
得られた硝酸が収容された容器Ｚ、振動方向：水平、撮
動幅ニア０ｘｙｔ、根動回数：ｉｏｏ往復／分の振動機
にかげ、時間ごとのダストの増力ロ量を測定した。ダス
ト測定は米国バイアツクロイコ社製、ダストカウンター
（１４１００型）を用いた。
動幅ニア０ｘｙｔ、根動回数：ｉｏｏ往復／分の振動機
にかげ、時間ごとのダストの増力ロ量を測定した。ダス
ト測定は米国バイアツクロイコ社製、ダストカウンター
（１４１００型）を用いた。
結果ン第１表に示す。
比較例１
実施例／で用いたポリエチレン九カーボンプランク０．
７重量俤、チタンホワイト０．！重量優乞配合し、実施
例／のボ）Ａ／と同構造の灰色の重層ボトルン製造した
。
７重量俤、チタンホワイト０．！重量優乞配合し、実施
例／のボ）Ａ／と同構造の灰色の重層ボトルン製造した
。
得られたボトルを実施例１と同様に処理し、実施例と同
様の硝酸ビ収容し、撮動機にかげ、ダストの増力日量を
測定した。
様の硝酸ビ収容し、撮動機にかげ、ダストの増力日量を
測定した。
結果を第１表に示す。 ９第
１表 〔発明の効果〕 本発明のボトルによれば、高純度薬品を収容、運搬等す
るに用いれば、輸送中等における振動等によってもダス
トの堆層が極めて微量におさえられ、また、遮光剤とし
て用いる染料、顔料等は内容物によって選択を要せず、
任意のものが便用可能であるから、ボトルの色分は等に
よる内容物の表示等が容易に行なえ、実用上大変効果的
である。
１表 〔発明の効果〕 本発明のボトルによれば、高純度薬品を収容、運搬等す
るに用いれば、輸送中等における振動等によってもダス
トの堆層が極めて微量におさえられ、また、遮光剤とし
て用いる染料、顔料等は内容物によって選択を要せず、
任意のものが便用可能であるから、ボトルの色分は等に
よる内容物の表示等が容易に行なえ、実用上大変効果的
である。
第１図は本発明のボトルの一例の縦断面図、第２図、第
３図は本発明ボトルの口部Ｚ拡大して示す斜視図であり
、第２図は開栓状態を、第２図は閉栓状態を示す。 図中／はボトル、コは最内層、３は遮光層、ダは取手、
３は口部、６は突起状部ンそれぞれ示す。
３図は本発明ボトルの口部Ｚ拡大して示す斜視図であり
、第２図は開栓状態を、第２図は閉栓状態を示す。 図中／はボトル、コは最内層、３は遮光層、ダは取手、
３は口部、６は突起状部ンそれぞれ示す。
Claims (2)
- （１）ポリエチレンを吹込成形してなる高純度薬品用ボ
トルであつて、該ボトルは多層構造とされており、最内
層を遮光剤を含有しないポリエチレンで構成し、最内層
以外の少なくとも一層を遮光剤を含有するポリエチレン
で構成したことを特徴とする高純度薬品用ボトル - （２）最内層が密度０．９４５〜０．９７１ｇ／ｃｍ＾
３、数平均分子量３．５×１０＾３〜１．６×１０＾４
であつてＺ平均分子量／重量平均分子量の値が４〜８の
ポリエチレンからなることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の高純度薬品用ボトル
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177322A JPS6239444A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 高純度薬品用ボトル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60177322A JPS6239444A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 高純度薬品用ボトル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6239444A true JPS6239444A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16028951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60177322A Pending JPS6239444A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 高純度薬品用ボトル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6239444A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5341262A (en) * | 1987-12-14 | 1994-08-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magnetic data storage and retrieval system with provision for preventing condensation |
| WO2000047412A1 (de) * | 1999-02-11 | 2000-08-17 | Riedel-De Haen Gmbh | Mehrschichtige vorrichtung zum lagern und transportieren von chemikalien |
| EP1541623A1 (en) * | 2003-11-21 | 2005-06-15 | Granarolo S.P.A. | Photoprotective composition for food containers |
| JP2010535181A (ja) * | 2007-08-02 | 2010-11-18 | ロケット フレール | ジアンヒドロヘキシトールを包装するための高含量の抗酸化剤を有する熱可塑性ポリマーベースの材料の使用 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548682A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-23 | Nissan Chem Ind Ltd | Pollution-free hollow vessel |
| JPS5736422U (ja) * | 1980-07-30 | 1982-02-26 |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60177322A patent/JPS6239444A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548682A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-23 | Nissan Chem Ind Ltd | Pollution-free hollow vessel |
| JPS5736422U (ja) * | 1980-07-30 | 1982-02-26 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7378138B1 (en) * | 1999-02-11 | 2008-05-27 | Honeywell International Inc. | Multilayer device for storing and transporting chemicals |
| EP1541623A1 (en) * | 2003-11-21 | 2005-06-15 | Granarolo S.P.A. | Photoprotective composition for food containers |
| JP2010535181A (ja) * | 2007-08-02 | 2010-11-18 | ロケット フレール | ジアンヒドロヘキシトールを包装するための高含量の抗酸化剤を有する熱可塑性ポリマーベースの材料の使用 |
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