JPS6236509A - 形状検査方法およびその装置 - Google Patents
形状検査方法およびその装置Info
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- JPS6236509A JPS6236509A JP17640185A JP17640185A JPS6236509A JP S6236509 A JPS6236509 A JP S6236509A JP 17640185 A JP17640185 A JP 17640185A JP 17640185 A JP17640185 A JP 17640185A JP S6236509 A JPS6236509 A JP S6236509A
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
プリント基板に半田付けされたＩＣパッケージのピンの
半田付は部を光学的に検査する方法およびその装置にお
いて、 該検査光の取り出しプリズムをＩＣパッケージで位置決
めする方法、および該プリズムが反射プリズムと偏向プ
リズムとを組み合わせてなる構成としたことにより、 該半田付は部の検査が容易、かつ、正確となり装置の高
性能化を実現した。
半田付は部を光学的に検査する方法およびその装置にお
いて、 該検査光の取り出しプリズムをＩＣパッケージで位置決
めする方法、および該プリズムが反射プリズムと偏向プ
リズムとを組み合わせてなる構成としたことにより、 該半田付は部の検査が容易、かつ、正確となり装置の高
性能化を実現した。
本発明はプリント基板の半田付は検査装置に係わり、特
に高密度化された多数のピンを有するＩＣの半田付は部
を検査するのに好適な装置に関する。
に高密度化された多数のピンを有するＩＣの半田付は部
を検査するのに好適な装置に関する。
近年、ＩＣは益々高密度化の傾向にあり、それに伴って
ＩＣパッケージのピン数も必然的に増加しパッケージの
側面部だけでは収容しきれず、パッケージの裏面に何列
にも配列されるようになってきた。
ＩＣパッケージのピン数も必然的に増加しパッケージの
側面部だけでは収容しきれず、パッケージの裏面に何列
にも配列されるようになってきた。
また、かかるＩＣピンのピッチが細かいため、従来、プ
リント基板とＩＣピンとの半田付は検査に際し、ＩＣパ
ッケージの最外列のものについては比較的容易に検査で
きるが、内部のＩＣピンについては非常に困難であり殆
ど無検査に近い状況であった。
リント基板とＩＣピンとの半田付は検査に際し、ＩＣパ
ッケージの最外列のものについては比較的容易に検査で
きるが、内部のＩＣピンについては非常に困難であり殆
ど無検査に近い状況であった。
しかし、これらのプリント基板を使用した装置の信頬性
を確保するためには、全てのＩＣピンについて検査する
必要があり、パッケージの裏面に配列されたｒｃピンの
半田付は状態を検査できる装置の開発が要望された。そ
こで、本発明者は前記要望に応え、昭和５９年５月２２
日付けで形状検査装置（特願昭５９−１０４２４９号）
を出願した。
を確保するためには、全てのＩＣピンについて検査する
必要があり、パッケージの裏面に配列されたｒｃピンの
半田付は状態を検査できる装置の開発が要望された。そ
こで、本発明者は前記要望に応え、昭和５９年５月２２
日付けで形状検査装置（特願昭５９−１０４２４９号）
を出願した。
なお、特願昭５９−１０４２４９号の形状検査装置は、
ＩＣの搭載されたプリント基板の裏面側より該プリント
基板に光を照射する照明装置を具備し、ＩＣパッケージ
側面に近接してＩＣパッケージとプリント基板の間隙よ
り出てくるＩＣピンの半田フィレット部の光を直角に上
方に曲げるために設置された反射プリズムおよび該反射
プリズムの上方に長焦点深度を有する光学系より構成さ
れてなることを特徴とするものである。
ＩＣの搭載されたプリント基板の裏面側より該プリント
基板に光を照射する照明装置を具備し、ＩＣパッケージ
側面に近接してＩＣパッケージとプリント基板の間隙よ
り出てくるＩＣピンの半田フィレット部の光を直角に上
方に曲げるために設置された反射プリズムおよび該反射
プリズムの上方に長焦点深度を有する光学系より構成さ
れてなることを特徴とするものである。
第５図は特願昭５９−１０４２４９号に開示した形状検
査装置の一実施例の構成を示す側面図である。
査装置の一実施例の構成を示す側面図である。
第５図において、ＩＣパッケージ１の搭載されたプリン
ト基板２を支持する中央部がくり抜かれた支持台３の下
方に、プリント基板２の裏面に光を照射するための照明
装置４が設置されている。
ト基板２を支持する中央部がくり抜かれた支持台３の下
方に、プリント基板２の裏面に光を照射するための照明
装置４が設置されている。
また、プリント基板２上にはプリント基板２に搭載され
たＩＣパッケージ１の側面に近接して反射プリズム５が
設置されている。さらに、反射プリズム５の上方には長
焦点深度を有する顕微鏡６が設置されている。
たＩＣパッケージ１の側面に近接して反射プリズム５が
設置されている。さらに、反射プリズム５の上方には長
焦点深度を有する顕微鏡６が設置されている。
かかる装置において、照明装置４の光をプリント基板２
の裏面に照射すると、透光性を有するプリント基板２の
内部で該照射光が散乱し、その一部の光はプリント基板
２を透過する。そのため、ＩＣパッケージ１のピンをプ
リント基板２に半田付けした半田付は部７は、プリント
基板２を透過した透過光で照明される。
の裏面に照射すると、透光性を有するプリント基板２の
内部で該照射光が散乱し、その一部の光はプリント基板
２を透過する。そのため、ＩＣパッケージ１のピンをプ
リント基板２に半田付けした半田付は部７は、プリント
基板２を透過した透過光で照明される。
なお、ＩＣパッケージ１とプリント基板２との間隔はＩ
Ｉ程度であり、その間隙より半田付は部７を検査するに
は、ＩＣパッケージ１の側面に近接し設置したプリズム
５により光を上方に反射させて、例えば焦点深度が５ｍ
ｍ程度の顕微鏡６で検査し実現できる。
Ｉ程度であり、その間隙より半田付は部７を検査するに
は、ＩＣパッケージ１の側面に近接し設置したプリズム
５により光を上方に反射させて、例えば焦点深度が５ｍ
ｍ程度の顕微鏡６で検査し実現できる。
以上説明したように、第５図の装置にて半田付は部７の
検査が確実となり、ＩＣパッケージ１を搭載したプリン
ト基板２の信顛性が向上された。
検査が確実となり、ＩＣパッケージ１を搭載したプリン
ト基板２の信顛性が向上された。
しかし、顕微鏡６に入射する半田付は部７の照明光は、
ＩＣパッケージ１とプリント基板２との間隙が１１ｎ１
１１程度であり小さいこと、ＩＣパッケージ１のピンの
列が１．３上程度の小さい間隔で並列していることによ
り、プリズム５の設定位置と設定時の方向およびそれら
のばらつきによって、顕微鏡６への入射角度が変化し、
顕微鏡６による半田付は部７の像は評価し易かったり、
評価し難いまたは評価できなくなるため、その対策が必
要であると共に、該入射角度を簡易に調整したいという
要望が生じた。
ＩＣパッケージ１とプリント基板２との間隙が１１ｎ１
１１程度であり小さいこと、ＩＣパッケージ１のピンの
列が１．３上程度の小さい間隔で並列していることによ
り、プリズム５の設定位置と設定時の方向およびそれら
のばらつきによって、顕微鏡６への入射角度が変化し、
顕微鏡６による半田付は部７の像は評価し易かったり、
評価し難いまたは評価できなくなるため、その対策が必
要であると共に、該入射角度を簡易に調整したいという
要望が生じた。
第１図は本発明に係わる形状検査装置の基本構成を示す
側面図である。
側面図である。
第１図において、１１はＩＣパッケージ、１２はパッケ
ージ１１を搭載したプリント基板、１３はパッケージ１
１のピンをプリント基＋ｌ１１２に半田付けした半田付
は部、１４はプリズム、１５はプリズム１４を支持する
ホルダであり、さらにプリズム１４は例えば反射プリズ
ム１６と偏向プリズム１７にてなる。
ージ１１を搭載したプリント基板、１３はパッケージ１
１のピンをプリント基＋ｌ１１２に半田付けした半田付
は部、１４はプリズム、１５はプリズム１４を支持する
ホルダであり、さらにプリズム１４は例えば反射プリズ
ム１６と偏向プリズム１７にてなる。
上記問題点は第１図によれば、プリント基板１２半田付
けされたＩＣパッケージ１１のピンの半田付は部１３の
形状検査において、 パッケージ１１の側面に近接してパッケージ１１と基板
１２との間隙より出てくる半田付は部１３の光をほぼ直
角に上方へ送出させるプリズム１４の設定が、パッケー
ジ１１を基準とすることを特徴とする形状検査方法、 および、パッケージ１１の側面に近接してパッケージ１
１と基板１２との間隙より出てくる半田付は部１３の光
をほぼ直角に上方へ送出させるプリズム１４が、パッケ
ージ１１の少なくとも一側に当接されるホルダ１５に支
持されてなることを特徴とし、さらにはプリズム１４が
、前記光を、はぼ直角に上方へ反射させる反射プリズム
１６と、反射プリズム１６に反射された反射光を偏向さ
せる偏向プリズム１７とを具えてなること、 偏向プリズム１７が回転可能に支持されてなることを特
徴とする、形状検査装置により解決される。
けされたＩＣパッケージ１１のピンの半田付は部１３の
形状検査において、 パッケージ１１の側面に近接してパッケージ１１と基板
１２との間隙より出てくる半田付は部１３の光をほぼ直
角に上方へ送出させるプリズム１４の設定が、パッケー
ジ１１を基準とすることを特徴とする形状検査方法、 および、パッケージ１１の側面に近接してパッケージ１
１と基板１２との間隙より出てくる半田付は部１３の光
をほぼ直角に上方へ送出させるプリズム１４が、パッケ
ージ１１の少なくとも一側に当接されるホルダ１５に支
持されてなることを特徴とし、さらにはプリズム１４が
、前記光を、はぼ直角に上方へ反射させる反射プリズム
１６と、反射プリズム１６に反射された反射光を偏向さ
せる偏向プリズム１７とを具えてなること、 偏向プリズム１７が回転可能に支持されてなることを特
徴とする、形状検査装置により解決される。
前記手段によれば、ＩＣパッケージ１１に対しプリズム
１４の設定が常時一定となり、プリズム１４から顕微鏡
に入力する光の方向のばらつきがなくなる。と共にプリ
ズム１４を、反射プリズム１６と偏向 ゛プリズム
１７との組み合わせプリズムとしたことにより、顕微鏡
に入力する光の方向を設定可能とし、さらには偏向プリ
ズム１７を回転できるようにしたことにより、顕微鏡で
観察される視野の方向が調整可能となる。
１４の設定が常時一定となり、プリズム１４から顕微鏡
に入力する光の方向のばらつきがなくなる。と共にプリ
ズム１４を、反射プリズム１６と偏向 ゛プリズム
１７との組み合わせプリズムとしたことにより、顕微鏡
に入力する光の方向を設定可能とし、さらには偏向プリ
ズム１７を回転できるようにしたことにより、顕微鏡で
観察される視野の方向が調整可能となる。
その結果、半田付は部１３の検査が容易かつ高性能化し
、ＩＣパッケージ１１を搭載したプリント基板１２の信
頬性をさらに向上し得た。
、ＩＣパッケージ１１を搭載したプリント基板１２の信
頬性をさらに向上し得た。
以下に、図面を用いて本発明の実施例になる形状検査装
置を説明する。
置を説明する。
第２図は本発明の一実施例になる装置要部の斜視図、第
３図は前記要部を分解した斜視図、第４図は前記要部を
使用して揚影した半田付は部の写真の一部を示す図であ
る。
３図は前記要部を分解した斜視図、第４図は前記要部を
使用して揚影した半田付は部の写真の一部を示す図であ
る。
第１図と共通部分に同一符号を使用した第２図および第
３図において、１８は一対の小ねじ１９でホルダ１５の
上に固着される台座、２０は台座１９の円形凹所、に緩
みなく嵌合し回転可能であり平面視ドーナツ形をした支
持台である。
３図において、１８は一対の小ねじ１９でホルダ１５の
上に固着される台座、２０は台座１９の円形凹所、に緩
みなく嵌合し回転可能であり平面視ドーナツ形をした支
持台である。
ホルダ１５は平面視コ字形であり、該コ字形の開口部に
掛は渡すように端部を接着した反射プリズム１６は、傾
斜する反射面２２がホルダ１５の内側を向き、反射プリ
ズム１６が対向するホルダ１５の内側端面２１、即ち第
３図に見えない輪郭を一点鎖線で書き斜線を施した面２
１と反射プリズム１６とは平行している。
掛は渡すように端部を接着した反射プリズム１６は、傾
斜する反射面２２がホルダ１５の内側を向き、反射プリ
ズム１６が対向するホルダ１５の内側端面２１、即ち第
３図に見えない輪郭を一点鎖線で書き斜線を施した面２
１と反射プリズム１６とは平行している。
台座１８および支持台２０はそれぞれの中央部がくり抜
かれており、支持台２０の凹所に偏向プリズム１７を接
着したとき、該偏向プリズム１７は台座１８および支持
台２０のくり抜きを通し反射プリズム１６に対向する。
かれており、支持台２０の凹所に偏向プリズム１７を接
着したとき、該偏向プリズム１７は台座１８および支持
台２０のくり抜きを通し反射プリズム１６に対向する。
なお、半田付は部１３の照明光をパッケージ１１の上方
に反射させる反射プリズム１６の反射面２２は、検査方
向に並ぶ複数個の半田付は部１３を少し上から観察しそ
の形状が把握され易くするため、傾斜角度αを約５０＠
にしである。
に反射させる反射プリズム１６の反射面２２は、検査方
向に並ぶ複数個の半田付は部１３を少し上から観察しそ
の形状が把握され易くするため、傾斜角度αを約５０＠
にしである。
このようなプリズム１６および１７を使用し、第５図の
光源４と顕微鏡６に相当する光源および顕微鏡等を具え
た形状検査装置は、検査対象のパッケージ１１を取り込
むようにして、ホルダ１５を回路基板１２の上に載置し
、ホルダ１５の内側端面２１を該パッケージ１１の一側
面に当接させる。その結果、反射プリズム１６は検査す
べき半田付は部１３の列と一定に対向する。
光源４と顕微鏡６に相当する光源および顕微鏡等を具え
た形状検査装置は、検査対象のパッケージ１１を取り込
むようにして、ホルダ１５を回路基板１２の上に載置し
、ホルダ１５の内側端面２１を該パッケージ１１の一側
面に当接させる。その結果、反射プリズム１６は検査す
べき半田付は部１３の列と一定に対向する。
そこで、回路基板１２の裏面から光を照射しその透過光
で半田付は部１３を照明すると、該半田付は部１３の形
状は反射プリズム１６および偏向プリズム１７を介し、
偏向プリズム１７の上方に設けた顕微鏡で観察できるよ
うになる。
で半田付は部１３を照明すると、該半田付は部１３の形
状は反射プリズム１６および偏向プリズム１７を介し、
偏向プリズム１７の上方に設けた顕微鏡で観察できるよ
うになる。
その際、偏向プリズム１７のプリズム角度の方向を反射
プリズム１６の反射面２２の傾斜方向に一致させると、
反射面２２に直交方向に並ぶ複数個の半田付は部１３は
、同一直線上に揃って顕微鏡により観察される。そこで
、支持台２０を適宜量だけ右回転または左回転させる、
即ち偏向プリズム１７を回転させると、該複数個の半田
付は部１３の像は、斜め横方向から観察した如くなって
顕微鏡より観察で゛きるようになる。
プリズム１６の反射面２２の傾斜方向に一致させると、
反射面２２に直交方向に並ぶ複数個の半田付は部１３は
、同一直線上に揃って顕微鏡により観察される。そこで
、支持台２０を適宜量だけ右回転または左回転させる、
即ち偏向プリズム１７を回転させると、該複数個の半田
付は部１３の像は、斜め横方向から観察した如くなって
顕微鏡より観察で゛きるようになる。
第４図は偏向プリズム１７を左回転させたときの観察像
を写した写真の一部（イ）と、偏向プリズム１７を右回
転させたときの観察像を写した写真の一部（ロ）であり
、（イ）と（ロ）は同一被写体の同一部分であって、半
田付は部１３の像は斜めにずれるため、その大きさおよ
び形状等の検査が容易かつ確実になる。
を写した写真の一部（イ）と、偏向プリズム１７を右回
転させたときの観察像を写した写真の一部（ロ）であり
、（イ）と（ロ）は同一被写体の同一部分であって、半
田付は部１３の像は斜めにずれるため、その大きさおよ
び形状等の検査が容易かつ確実になる。
以上説明したように本発明によれば、回路基板にＩＣパ
ッケージを搭載し、ＩＣパッケージのピンの半田付は部
をＩＣパッケージの側方から検査するに際して、検査装
置の取り扱いおよび最適方向から検査するための調整が
容易かつ確実となり、該検査に要する時間が短縮し、回
路基板の信頼性を向上させた効果が顕著である。
ッケージを搭載し、ＩＣパッケージのピンの半田付は部
をＩＣパッケージの側方から検査するに際して、検査装
置の取り扱いおよび最適方向から検査するための調整が
容易かつ確実となり、該検査に要する時間が短縮し、回
路基板の信頼性を向上させた効果が顕著である。
第１図は本発明に係わる形状検査装置の基本構成を示す
側面図、 第２図は本発明の一実施例になる装置要部の斜視図、 第３図は前記要部を分解した斜視図、 第４図は前記要部を使用して撮影した半田付は部の写真
の一部を示す図、 第５図は形状検査装置の従来技術の構成例を示す側面図
、 である。 図中において、 工１はｒｃパッケージ、 １２はプリント基板、 １３は半田付は部、 １４はプリズム、 １５はホルダ、 １６は反射プリズム、 １７は偏向プリズム、 を示す。 代理人 弁理士 井 桁 貞 − 茎Ｉ図 （イ） （Ｕｌ）＄２トイのφ屹
」Ｃス誉■トな７犬子ｆＴＵボ→杉した１５転ｂ（＄４
７
側面図、 第２図は本発明の一実施例になる装置要部の斜視図、 第３図は前記要部を分解した斜視図、 第４図は前記要部を使用して撮影した半田付は部の写真
の一部を示す図、 第５図は形状検査装置の従来技術の構成例を示す側面図
、 である。 図中において、 工１はｒｃパッケージ、 １２はプリント基板、 １３は半田付は部、 １４はプリズム、 １５はホルダ、 １６は反射プリズム、 １７は偏向プリズム、 を示す。 代理人 弁理士 井 桁 貞 − 茎Ｉ図 （イ） （Ｕｌ）＄２トイのφ屹
」Ｃス誉■トな７犬子ｆＴＵボ→杉した１５転ｂ（＄４
７
Claims (4)
- （１）プリント基板（１２）に半田付けされたＩＣパッ
ケージ（１１）のピンの半田付け部（１３）の形状検査
において、 該パッケージ（１１）の側面に近接して該パッケージ（
１１）と該基板（１２）との間隙より出てくる該半田付
け部（１３）の光をほぼ直角に上方へ送出させるプリズ
ム（１４）の設定が、該パッケージ（１１）を基準とす
ることを特徴とする形状検査方法。 - （２）プリント基板（１２）に半田付けされたＩＣパッ
ケージ（１１）のピンの半田付け部（１３）の形状検査
において、 該パッケージ（１１）の側面に近接して該パッケージ（
１１）と該基板（１２）との間隙より出てくる該半田付
け部（１３）の光をほぼ直角に上方へ送出させるプリズ
ム（１４）が、該パッケージ（１１）の少なくとも一側
に当接されるホルダ（１５）に支持されてなることを特
徴とする形状検査装置。 - （３）前記プリズム（１４）が、前記光をほぼ直角に上
方へ反射させる反射プリズム（１６）と、該反射プリズ
ム（１６）に反射された反射光を偏向させる偏向プリズ
ム（１７）とを具えてなることを特徴とする前記特許請
求の範囲第２項記載の形状検査装置。 - （４）前記偏向プリズム（１７）が回転可能に支持され
てなることを特徴とする前記特許請求の範囲第２項記載
の形状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17640185A JPS6236509A (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 | 形状検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17640185A JPS6236509A (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 | 形状検査方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6236509A true JPS6236509A (ja) | 1987-02-17 |
| JPH0414722B2 JPH0414722B2 (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=16013026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17640185A Granted JPS6236509A (ja) | 1985-08-10 | 1985-08-10 | 形状検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6236509A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4888982A (ja) * | 1972-02-23 | 1973-11-21 | ||
| JPS5746145A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-16 | Westinghouse Electric Corp | Method of and apparatus for inspecting flaws of fuel pellets for nuclear reactor |
| JPS5793237A (en) * | 1980-10-11 | 1982-06-10 | Aikuhorusuto Manfuretsudo | Refractometer for gem evaluation |
-
1985
- 1985-08-10 JP JP17640185A patent/JPS6236509A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4888982A (ja) * | 1972-02-23 | 1973-11-21 | ||
| JPS5746145A (en) * | 1980-08-27 | 1982-03-16 | Westinghouse Electric Corp | Method of and apparatus for inspecting flaws of fuel pellets for nuclear reactor |
| JPS5793237A (en) * | 1980-10-11 | 1982-06-10 | Aikuhorusuto Manfuretsudo | Refractometer for gem evaluation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414722B2 (ja) | 1992-03-13 |
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