JPS6235637A

JPS6235637A - ウエハ貼付装置

Info

Publication number: JPS6235637A
Application number: JP60174122A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Mimata; 巳亦　力; Yoshiyuki Abe; 由之阿部
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-08-09
Filing date: 1985-08-09
Publication date: 1987-02-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は半導体ウェハ等の板状部材をキャリア治具等に
おけるテープに貼付るための装置に関するものである。

〔背景技術〕

半導体装置の処理工程では、ダイシングを完了した半導
体ウェハからペレットを一つ一つ取り出して以後の工程
に付する作業が必要とされるが、この際には半導体ウェ
ハをキャリア治具に設けたキャリアテープに貼付けてお
き、このキャリアテープの裏側から針部材を突き出して
各ペレットをピンクアップする方法が採られている。こ
の場合、半導体ウェハを貼付けているキャリア治具のキ
ャリアテープと半導体ウェハとは気密に接着状態を保た
せることが好ましく、両者の間に気泡が生じていると、
針部材の突き出しにかかわらずベレントを一つずつ好適
にピンクアンプすることが難しくなる。

しかしながら、従来ではこの半導体ウェハのキャリア治
具への貼付作業は、作業者の手作業に負うところが多く
、このため気泡を生じさせずに貼付を行うには熟練を要
し、また工程数が多いために作業時間が長くなる等の問
題が生じている。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、半導体ウェハ等をキャリア治具のキャ
リアテープに気泡が生じることなく、しかも自動的に貼
付けることができ、これにより貼付効果の向上および作
業効率の向上を同時に達成することのできるウェハ貼付
装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、キャリア治具の表面側に、貼付けたウェハを
押さえるための押さえ板を配置する一方、キャリア治具
のキャリアテープ裏側に、キャリア治具に沿って転動す
る脱泡ローラを設け、少なくともウェハの貼付時以後に
この脱泡ローラをキャリアテープに沿って転動させるこ
とにより、そのスクイズ作用によって両者間の気泡を追
い出し、ウェハとテープ間における気泡の存在しない状
態を実現するものである。

〔実施例〕

第１図は本発明を適用したウェハ貼付装置の全体構成を
示し、その各部の正面構造を第２図乃至第４図に示して
いる。このウェハ貼付装置１は、図示左側からキャリア
治具ローダ部２と、ウェハローダ部３と、ウェハ貼付部
４と、脱泡およびテープ剥離部５と、アンローダ部６と
を一体に配列した構成となっている。

前記キャリア治具ローダ部２は、円環状のキャリア治具
１０の裏面に、上面を粘着質としたキャリアテープ１１
を緊張状態に貼付けである。このキャリア治具１０は複
数個が用意され、前記ウェハローダ部３と同期的に１つ
ずつウェハ貼付部４に供給される。また、ウェハローダ
部３にはキャリア治具に貼付られるウェハ１２が複数枚
用意され、１枚ずつウェハ貼付部４に供給される。この
ウェハ１２は、第２図に示すように、支持テープ１３上
に貼付られるとともに、その上側には保護テープ１４を
貼付けてあり、ＸＹθテーブル１５に設けた支持アーム
１６によって搬送される。

ウェハ貼付部４では、同図のように、支持アーム１６に
よって搬送されたウェハ１２がキャリア治具１０上に位
置され、双眼顕微鏡１７および支持アーム１６に設けた
位置合わせ窓１６ａを利用してキャリア治具１０との相
対位置合わせを行い、その上でキャリアテープ１１上に
ウェハ１２、つまりウェハ１２の下側に貼付た支持テー
プ１３を貼付けることができる。

前記脱泡およびテープ剥離部５は、第３図および第４図
に示すように、上側に上下動可能な押さえ板１８および
押さえローラ１９を配置する一方、下側には脱泡ローラ
２１を配置している。前記押さえ板１８はキャリア治具
１０上のウェハ１２を下方に向けて押さえ付けることが
でき、また、押さえローラ１９は剥離テープ２０を巻き
付けており、これをウェハ１２の表面に対して押さえ付
け、かつそのまま上方に移動することができる。また脱
泡ローラ２１はキャリア治具１０の裏面に沿って転動す
ることができる。

前記脱泡及びテープ剥離部５の他の実施例は、第５図に
示すように、押さえローラ１９の位置がウェハ１２端部
とウェハ１２面にあり、剥離テープ２０を片側より引っ
張って保護テープ１４を剥離するようにしたものとする
ことができる。更に、別の実施例としては、第６図に示
すように、押さえローラ１９を１個にし、押さえローラ
１９がウェハ１２上を移動することにより、保護テープ
１４に剥離テープ２０を貼り付けるようにしたものがあ
る。剥離テープ２０の剥離方法は第５図を用いて説明し
た上記の態様のものと似ており、剥離テープ２０を片側
より引っ張って保護テープ１４を剥離するようにしたも
のである。

前記アンローダ部６は、貼付の完了したキャリア治具１
０を複数個毎にカセット内に収納し、図外の次工程に搬
送することができる。

以上の構成によれば、キャリア治具ローダ部２およびウ
ェハローダ部３から夫々供給されたキャリア治具１０と
ウェハ１２は、第２図のようにウェハ貼付部４において
、ウェハ１２が支持アーム１６によってキャリア治具１
０のキャリアテープ１１上の所定位置にセットされ、続
く支持アーム１６の下動によってその上面に下側の支持
テープ１３を介した状態で貼付られる。

次いで、キャリア治具１０が脱泡およびテープ剥離部５
に移動されると、第３図のように先ず押さえ板１８が下
動してウェハ１２を下方に押圧する一方、脱泡ローラ２
１がキャリア治具１０の裏面に沿って転動し、キャリア
テープ１１とウェハ１２の支持テープ１３間の気泡をス
クイズにより除去する。しかる上で、今度は第４図のよ
うに押さえ板１８に代えて押さえローラ１９が下動し、
その剥離テープ２０がウェハ上面の保護テープ１４に押
圧し、かつ再び上動すれば、保護テープ１４は剥離テー
プ２０に接着されこれとともにウェハ１２の表面から剥
離される。保護テープ１４は剥離テープ２０とともに、
押さえローラ１９の回動によって移動され、図外のロー
ラに巻取られ、続いて次の剥離テープ面が移動されてく
る。

以下、キャリア治具１０はアンローダ部６に移動され、
ここでカセット内に収納される。

したがって、このウェハ貼付装置１によれば、全自動で
キャリア治具１０へのウェハ１２の貼付を行うことがで
き、しかも脱泡ローラ２１の作用によってキャリアテー
プ１１とウェハ１２間の気泡を除去することができ、後
工程におけるペレットのピックアップを良好なものにで
きる。また、ウェハ１２の貼付後には、保護テープ１４
を自動的に剥離でき、この分の手作業をも自動化して作
業の高能率化を達成できる。

〔効果〕

（１）キャリア治具に貼付けたウェハを表面側から押圧
する押さえ板と、裏面側でキャリア治具に沿って転動可
能な脱泡ローラとを備えているので、これら両者の協動
によりウェハとキャリアテープ間の気泡をスクイズによ
り除去することができ、後工程におけるベレットのピッ
クアップを良好に行うことができる。

（２）貼付だウェハ上に押圧する剥離テープを有する押
さえローラを設けているので、押さえローラをウェハ上
の保護テープに押圧しかつこれを再び上動するだけで保
護テープをウェハから剥離することができ、工程の完全
自動化を達成することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、押さえ板と押
さえローラとを一体に形成しても・よい。また、押さえ
ローラと剥離テープとは別のステーションに設けるよう
にしてもよい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体ウェハをキャ
リア治具に貼付ける工程に通用した場合について説明し
たが、それに限定されるものではなく、接着テープに気
泡を生じないように板状部材（ウェハ）を張りつける場
合の全てに適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す平面図、第２図はウェハ貼付部の正面図、第３図および第４図は脱泡およびテープ剥離部の断面図
、第５図は本発明の他の実施例である脱泡及びテープ剥離
部の断面図、第６図は本発明の更に別の実施例である脱泡およびテー
プ剥離部を示す断面図である。１・・・ウェハ貼付装置、２・・・キャリア治具ローダ
部、３・・・ウェハローダ部、４・・・ウェハ貼付部、
５・・・脱泡およびテープ剥離部、６・・・アンローダ
部、１０・・・キャリア治具、１１・・・キャリアテー
プ、１２・・・ウェハ、１３・・・支持テープ、１４・
・・保護テープ、１５・・・ＸＹθテーブル、１６・・
・支持アーム、１７・・・顕微鏡、１８・・・押さえ板
、１９・・・押さえローラ、２０・・・剥離テープ、２
１・・・脱泡ローラ。代理人　弁理士　　　小川　勝馬第　　ｌ　　図第　　２　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、キャリア治具のキャリアテープ上面にウェハを貼付
るとともに、キャリアテープとウェハとの間の気泡を除
去する装置であって、前記キャリア治具の表面側に、貼
付けたウェハを押さえるための押さえ板を配置する一方
、前記キャリアテープ裏側に、キャリア治具に沿って転
動する脱泡ローラを設け、少なくともウェハの貼付時以
後にこの脱泡ローラをキャリアテープに沿って転動可能
に構成したことを特徴とするウェハ貼付装置。２、ウェハは下面に支持テープを、上面に保護テープを
夫々貼付てなり、支持テープを介して前記キャリアテー
プ上に貼付け得るように構成してなる特許請求の範囲第
１項記載のウェハ貼付装置。３、ウェハに対して上下動するとともに剥離テープを巻
付けた押さえローラを有し、この押さえローラを下動し
て剥離テープに前記保護テープを接着する一方、押さえ
ローラを上動して保護テープを剥離テープとともにウェ
ハから剥離できるように構成してなる特許請求の範囲第
２項記載のウェハ貼付装置。