JPS6235531A - ウエ−ハ水中搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 ウオーク・ベアリング方式のウェーハ水中搬送機構にお
いて、 搬送用水の噴出を間欠的に行うことにより、ウェーハを
確実に搬送出来るようにしたものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、半導体装置製造の際などに用いられるウォー
タ・ベアリング方式ウェーハ水中搬送機構の改良に関す
。

半導体装置製造のウェーハプロセスにおいて、例えばエ
ツチングなどにウェット処理が用いられている。

そして、枚葉処理で連続するウェット処理を行う場合、
工程間のウェーハ搬送にはウェーハを大気に曝すことの
ないウォータ・ベアリング方式水中搬送機構が賞月され
ているが、この場合ウェーハを確実に搬送することが重
要である。

〔従来の技術〕

第３図はウォータ・ベアリング方式による従来のウェー
ハ水中搬送機構例の模式側断面図である。

同図は、枚葉処理方式による例えばエツチングなどのウ
ェット処理工程とその後の水洗工程と更に続く遠心乾燥
工程における各工程相互間のつ工−ハ搬送に用いたウォ
ータ・ベアリング方式水中搬送機構を示す。

同図において、容器１はシャッタ２ａと２ｂによりウェ
ット処理部１ａと水洗部１ｂと乾燥部ＩＣに仕切られて
おり、容器１の底面には搬送用水（ウォータ・ヘアリン
グ用水）３を容′Ｉ５１内に一方向（図示では左方向）
に１頃斜させて噴出させる複数の噴出口４が列をなして
配設され、シャッタ２ａの両側に位置する噴出口４の群
４ａが第一の１般送機構を、またシャッタ２ｂの両側に
位置する噴出口４の群４ｂが第二の搬送機構を構成して
いる。

ウェーハＷの搬送は、ウェーハＷが載置された容器１に
所定の深さまで水供給口５８〜５Ｃから７Ｋを入れ、噴
出口４から搬送用水３を噴出させて行う。

かくすればウェーハＷは、水中にあって下面に当たる搬
送用水３の推力により図示では左方向に搬送される（こ
れがウォータ・ベアリング方式と言われる所以である）
。この際、搬送用水３はポンプ６からサージタンク７と
バルブ８ａ、８ｂとを介して噴出口４に供給され、容器
１内の余分な水は各部１８〜１ｃのそれぞれに設けられ
たオーバーフロー管９８〜９ｃ　（９ｂ、９ｃは図示さ
れず）から流出して水面の高さは一定に保たれる。なお
搬送用水３の供給に他と共通に使用される略一定圧力の
供給源がある場合には、それを利用することによってホ
ンプロとサージタンク７が省略出来る。

第３図図示の装置におけるウェーハ処理の操作手順は次
の如くである。

（１）空のウェフト処理部１ａにウェーハＷを載置する
。

（２）　　ウェット処理部１ａに処理液供給口１０から
処理液を供給しウェット処理例えばエツチングを行う。

（３）処理液をドレインｌｌａから排出し、水供給口５
ａと５ｂからウェット処理部１ａと水洗部１ｂに水を入
れ、シャッタ２ａを開く。

（４）バルブ８ａを開き噴出口群４ａから搬送用水３を
噴出させる。さすれば、ウェット処理部１ａにあるウェ
ーハＷは水洗部１ｂに１般送される。所定の搬送が済ん
だところでバルブ８ａを閉じる。

（５）　　シャッタ２ａを閉じ、水供給口５ｂから水を
供給するなどして水洗部１ｂでウェーハＷの水洗を行う
。ウェット処理部１ａは水を排出して次のウェーハＷの
載置を待つ。

（６）乾燥部１ｃに水供給口５ｃから水を入れ、水洗部
１ｂでの水洗が済んだところでシャ７タ２ｂを開く。

（７）バルブ８ｂを開き噴出口群４ｂから搬送用水３を
噴出させる。さすれば、水洗部１ｂにあるウェーハＷは
乾燥部１ｃに搬送される。所定の搬送が済んだところで
バルブ８ｂを閉じる。

（８）　　シャッタ２ｂを閉じ、乾燥部１ｃの水をドレ
インｌｌｃから排出し、乾燥装置１２を用いてウェーハ
Ｗを乾燥する。

（９）乾燥後のウェーハＷを取り出す。

叫　以下上記のサイクルを繰り返す。

上述から明らかなように上記搬送機構を用いると、ウェ
ーハＷは、エツチングなどのウェット処理を済ませた後
直ちに水中に浸されるためウェット処理の過剰進行が抑
えられ、然も乾燥の寸前まで大気に曝されないので表面
の変質汚染が防止されて、良質の処理がなされる。

（発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら上記搬送機構においては、第４図に示す如
＜、搬送中のウェーハＷは、浮力の関係で進行先端が■
から■−■の如く上下に揺動し易く、終には■に示す如
（先端が容器１の底面に接触しそこで突っ掛かって搬送
阻害の状態になる場合があり、そのようになれば工程進
行が乱される問題となる。

上記搬送阻害状態が発生せぬようにするのに、噴出口４
から噴出させる搬送用水３の量を調整する方法があるが
、この方法は調整が微妙で確実性を期することが困難で
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明の要旨を示す搬送用水噴出のタイミング
図（ａ）とウェーハ挙動の説明図（ｂ）である。

−上記問題点は、第１図に示す如く、容器１の底面から
の搬送用水３の傾斜した噴出を間欠的に行ってウェーハ
Ｗを水中搬送する本発明のウェーハ水中搬送機構によっ
て解決される。

〔作用〕

第４図で説明したウェーハＷの突っ掛かりは、搬送開始
後暫くしてから発生し、それまでの間は搬送が進行して
いる。

従って搬送を小刻みに分割し搬送開始を繰り返すように
することにより、上記突っ掛かりによる搬送阻害状態の
発生を回避することが出来る。

それは、第１図ｆａ）の■−■−■−■に示す如く搬送
用水３の噴出を間欠的に行うことにより実現される。こ
の際のウェーハＷの挙動は、第１図（ｂｌに示す如く図
（ａ）の■〜■に対応して■−■−■−■の如くなり、
■と■の開始点が繰り返しの（般送開始に該当する。

若しこの搬送の間に第４図の■で示したようなウェーハ
Ｗの搬送阻害状態が発生したとしても、第１図ｆａ）の
例えば■の期間にウェーハＷの姿勢が初期状態に復帰す
るので■の開始点では問題なく搬送開始がなされる。

かくしてウェーハＷを所望の位置まで確実に搬送するこ
とが可能になる。

〔実施例〕

以下、第１図および本発明による搬送機構実施例を示す
第２図の模式側断面図を用い実施例について説明する。

なお全図を通じ同一符号は同一対象物を示す。

第２図に示す実施例は、第３図に示す従来例を本発明の
構成になるように改造したもの、即ち、サージタンク７
とバルブ８ａ、　８ｂとの間に搬送用水３の流路を間欠
的に開閉する間欠開閉機構１３を付加したもので、その
他は従来例のままである。

間欠開閉機構１３は、搬送用水３の流路に介在させるバ
ルブ１３ａとタイマーを具えバルブ１３ａを間欠的に開
閉するバルブ駆動機構１３ｂからなり、この開閉機構の
作動により噴出口４から噴出する搬送用水３の噴出タイ
ミングは第１図（ａ）の如くになる。そしてその周期は
、例えば噴出状態■、■の時間が約５秒、停止状態■、
■の時間が約３秒である。

なお第２図において、順送用水３の供給に他と共通に使
用される略一定圧力の供給源がある場合には、それを利
用することによってホンプロとサージタンｄ゛７が省略
出来るのは第３図の場合と同様である。

第２図図示の装置におけるウェーハ処理の操作手順は、
装置の使用期間中連続して間欠開閉機構１３を作動させ
ておくことが追加されるのみで、先に第３図で説明した
操作手順と全く変わらない。

即ち本装置では、ウェーハ処理としてのウェット処理、
水洗、乾燥は従来例と同一でありながら、第３図で説明
した操作手順の第（４）項と第（７）項で述べたウェー
ハＷ搬送の形態が、搬送阻害状態発生の恐れのある従来
の形態からその恐れをなくした形態に変わっている。

従って本発明によるウェーハ水中搬送機構を導入した本
装置は、工程進行を乱されることがなくなり、従来例で
述べた処理に関する優れた特徴を有効に発揮することが
可能になる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の構成によれば、ウオーク・
ベアリング方式のウェーハ水中搬送機構において、ウェ
ーハの確実な搬送が可能になり、該搬送機構を使用した
ウェーハ処理装置の特徴を有効に発揮させることを可能
にさせる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の要旨を示す搬送用水噴出のタイミング
図（ａ）とウェーハ挙動の説明図（ｂ）、第２図は本発
明による搬送機構実施例の模式側断面図、 第３図は従来の搬送機構例の模式側断面図、第４図は従
来機構の問題点説明図、である。 図において、 １は容器、 ２ａ、　２ｂはシャ７タ、 ３は順送用水、 ４は噴出口、 ４ａ、４ｂは噴出口群、 ５ａ、５ｂ、　５ｃは水供給口、 ６はポンプ、 ７はサージタンク、 ８ａ、　８ｂ、　１３ａはバルブ、 ９ａはオーバーフロー管、 １３は間欠開閉機構、 １３ｂはバルブ駆動機構、である。 代理人　　弁理士　　井桁貞−１ 菓１　閥

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 容器（１）の底面から搬送用水（３）を該容器（１）内
   に傾斜して噴出させ、該容器（１）内のウェーハ（Ｗ）
   を水中で該傾斜側の方向に搬送するウェーハ水中搬送機
   構において、該搬送用水（３）の噴出を間欠的に行うこ
   とを特徴とするウェーハ水中搬送機構。