JPS6234779A - 研磨材 - Google Patents
研磨材Info
- Publication number
- JPS6234779A JPS6234779A JP16860085A JP16860085A JPS6234779A JP S6234779 A JPS6234779 A JP S6234779A JP 16860085 A JP16860085 A JP 16860085A JP 16860085 A JP16860085 A JP 16860085A JP S6234779 A JPS6234779 A JP S6234779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- resins
- abrasive
- synthetic resin
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は合成樹脂の成形時に発生する樹脂パリ等を成形
品の損傷を招く事なく長期間にわたり除去ｔ７うる研磨
材を提供するものである。
品の損傷を招く事なく長期間にわたり除去ｔ７うる研磨
材を提供するものである。
〈従来技術と問題点〉
合成樹脂研磨材は単独又は水スラリーの形で成形品に加
圧噴射する事によりパリを除去するものであるが、かか
る合成樹脂としては例えば尿素樹脂、メラミン樹脂、不
飽和ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂
等の熱硬化性樹脂又はポリアミド樹脂、ポリカーボネイ
ト樹脂、ポリスチレン樹脂等の熱可塑性樹脂が用いられ
てきた。
圧噴射する事によりパリを除去するものであるが、かか
る合成樹脂としては例えば尿素樹脂、メラミン樹脂、不
飽和ポリエステル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂
等の熱硬化性樹脂又はポリアミド樹脂、ポリカーボネイ
ト樹脂、ポリスチレン樹脂等の熱可塑性樹脂が用いられ
てきた。
而してＩＣ又はＬＳＩの製造において使用されるエポキ
シ系モールド材のパリ取りに対してはモールド材の硬度
と研磨力の関係から不飽和ポリエステル樹脂系が使用さ
れてきた。
シ系モールド材のパリ取りに対してはモールド材の硬度
と研磨力の関係から不飽和ポリエステル樹脂系が使用さ
れてきた。
しかしながら最近のモールド材の高級化高品質化に伴い
パリの除去が困難になる傾向にあり、より研磨力の大き
い研磨材が要望されていた。而して研磨力の大きい研磨
材としては１例えばガラスピーズ、アルミナ等の無機物
があるが、このような研磨材を用いる場合はモールド成
形品の表面を損傷し美観を損ねるとともに損傷部から水
分が浸透し半導体素子の信頼性に悪影響を及ぼす重大な
問題があった。
パリの除去が困難になる傾向にあり、より研磨力の大き
い研磨材が要望されていた。而して研磨力の大きい研磨
材としては１例えばガラスピーズ、アルミナ等の無機物
があるが、このような研磨材を用いる場合はモールド成
形品の表面を損傷し美観を損ねるとともに損傷部から水
分が浸透し半導体素子の信頼性に悪影響を及ぼす重大な
問題があった。
一方１合成樹脂研磨材は、研磨力不足の場合が多（、ガ
ラスピーズ等の研磨力の大きなものと混合使用する事も
行なわれている。しかし乍ら、この方法には以下に示す
欠点があった。
ラスピーズ等の研磨力の大きなものと混合使用する事も
行なわれている。しかし乍ら、この方法には以下に示す
欠点があった。
１）研磨により破砕し微粉化した研磨材はサイクロン等
で分離、除去されるが、夫々の成分の比重が異なるため
特定成分が除去されやす（なり、従って各成分の混合比
率が変化し安定した研磨性能を維持する事ができない。
で分離、除去されるが、夫々の成分の比重が異なるため
特定成分が除去されやす（なり、従って各成分の混合比
率が変化し安定した研磨性能を維持する事ができない。
２）各成分の破砕特性が異なるため、研磨材の粒度分布
の変化が成分ごとに違ったものになり、ある成分の粒度
分布は使用開始時とほとんど変化がないのに対しある成
分は微粉化するため研磨性能の変化をもたらす。
の変化が成分ごとに違ったものになり、ある成分の粒度
分布は使用開始時とほとんど変化がないのに対しある成
分は微粉化するため研磨性能の変化をもたらす。
３）上記研磨性能の変化を避けるためには各成分ごとに
補給を行なう必要があり、それらの厳密な管理が要求さ
れる。
補給を行なう必要があり、それらの厳密な管理が要求さ
れる。
またと記のような問題を避けるためにガラスピが、これ
についても以下に記す欠点があった。
についても以下に記す欠点があった。
１）ガラスピーズは最初は球形であるが使用中（で割れ
て不定形となりプラスト性能に大きな影響を及ぼす。
て不定形となりプラスト性能に大きな影響を及ぼす。
２）ガラスピーズは球形であるためピーニング効果が非
常に太きく、、ＩＣ等のモールド樹脂のパリ取りの場合
にはリードフレームの伸びやリードフレームとモールド
樹脂との密着不良を生ずる。
常に太きく、、ＩＣ等のモールド樹脂のパリ取りの場合
にはリードフレームの伸びやリードフレームとモールド
樹脂との密着不良を生ずる。
本研究者らはこの問題を解決するために、平均粒径が０
、ｌｘ以下であり比表面積が平均粒径の等しい球の表面
積に比して２倍以上であるケイ砂を合成樹脂１００重量
部に対し５〜４０重量部含む合成樹脂研磨材が有効であ
る事を見い出したが。
、ｌｘ以下であり比表面積が平均粒径の等しい球の表面
積に比して２倍以上であるケイ砂を合成樹脂１００重量
部に対し５〜４０重量部含む合成樹脂研磨材が有効であ
る事を見い出したが。
該研磨材はプラスト圧力が低い条件下及びスラリー濃度
の低い条件下では良好な結果を示すもののプラスト圧力
の高い条件下及びスラリー濃度の高い条件下ではＩＣ等
のモールドを荒らし外観を損う事が明らかになった。
の低い条件下では良好な結果を示すもののプラスト圧力
の高い条件下及びスラリー濃度の高い条件下ではＩＣ等
のモールドを荒らし外観を損う事が明らかになった。
く問題点を解決するための手段〉
本発明者は、上記した問題点を解決するために研究を進
めた結果、酸化チタンを用いる事により上記の問題を解
決できる事を見い出し本発明を完成するに到った。
めた結果、酸化チタンを用いる事により上記の問題を解
決できる事を見い出し本発明を完成するに到った。
即ち本発明は合成樹脂粒状物と酸化チタン粉末よりなる
事を特徴とする研磨材である。
事を特徴とする研磨材である。
本発明でいう酸化チタン粉末とは化学式Ｔｉｅ２を生成
分とするものである。ＴｌＯ２の結晶形態としてはアナ
ターゼ型とルチル形の２種が工業的に製造されているが
、いずれでも良（、又混合使用されても良い。
分とするものである。ＴｌＯ２の結晶形態としてはアナ
ターゼ型とルチル形の２種が工業的に製造されているが
、いずれでも良（、又混合使用されても良い。
酸化チタン粉末の混合量は特に規定するものではないが
合成樹脂１００重量部に対し好ましくは６５〜１５０重
量部である。
合成樹脂１００重量部に対し好ましくは６５〜１５０重
量部である。
混合量はプラスト加工を行なう対象物の初期状態及び要
求される仕上げ状態により任意に変えられるが、一般的
なＩＣ等のプラスト加工を行なう場合は６５〜１５０重
量部が適当である。混合量が６５重量部未満では研磨力
が小さくなり、充分な研磨力が得られない。
求される仕上げ状態により任意に変えられるが、一般的
なＩＣ等のプラスト加工を行なう場合は６５〜１５０重
量部が適当である。混合量が６５重量部未満では研磨力
が小さくなり、充分な研磨力が得られない。
使用する合成樹脂の種類によっては混合量が１５０重量
部より多いと樹脂中への混合・分散が均一にできなくな
り、さらに得られた研磨材が使用中に微粉化されやすく
なり研磨力の早期減少を引き起こすので好ましくない。
部より多いと樹脂中への混合・分散が均一にできなくな
り、さらに得られた研磨材が使用中に微粉化されやすく
なり研磨力の早期減少を引き起こすので好ましくない。
本発明に用いられる合成樹脂は１例えばポリスチレン、
ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリカーボネート、
ナイロン等の熱可塑性樹脂でも良いし、不飽和ポリエス
テル、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、
尿素樹脂等の熱硬化性樹脂でも良く、更に必要に応じて
これらの樹脂を混合使用しても良い。なかでもポリアセ
タールや熱硬化性樹脂が好ましく、熱硬化性樹脂のなか
では不飽和ポリエステル樹脂が特に好ましい。
ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリカーボネート、
ナイロン等の熱可塑性樹脂でも良いし、不飽和ポリエス
テル、メラミン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、
尿素樹脂等の熱硬化性樹脂でも良く、更に必要に応じて
これらの樹脂を混合使用しても良い。なかでもポリアセ
タールや熱硬化性樹脂が好ましく、熱硬化性樹脂のなか
では不飽和ポリエステル樹脂が特に好ましい。
また必要に応じて界面活性剤、静電防止剤各種カップリ
ング剤１分散剤等を加えても差しつかえない。また本発
明の目的を損なわない範囲でガラスピーズ等の他の無機
質を加えることは差し支えない。
ング剤１分散剤等を加えても差しつかえない。また本発
明の目的を損なわない範囲でガラスピーズ等の他の無機
質を加えることは差し支えない。
本発明の研磨材は、以下の方法により混合、硬化、粉砕
して得られる。
して得られる。
即ち、用いる合成樹脂が熱硬化性樹脂である場合は、デ
ィスパー、三本ロール、サンドミル、ボールミル、熱ロ
ール等の機器により酸化チタンを原料樹脂に分散混合し
た後、必要に応じて用いる樹脂の硬化に必要な通常用い
られる触媒を加えて硬化させる。この際加熱又は加圧の
必要なものはこれを行なう。次いで得られる硬化物をク
ラノシャー、ハンマー等により粗粉砕した後、各種の粉
砕機１例えば粗砕機、・・ンマーミル１円盤粉砕機。
ィスパー、三本ロール、サンドミル、ボールミル、熱ロ
ール等の機器により酸化チタンを原料樹脂に分散混合し
た後、必要に応じて用いる樹脂の硬化に必要な通常用い
られる触媒を加えて硬化させる。この際加熱又は加圧の
必要なものはこれを行なう。次いで得られる硬化物をク
ラノシャー、ハンマー等により粗粉砕した後、各種の粉
砕機１例えば粗砕機、・・ンマーミル１円盤粉砕機。
旋動破砕機等を用いて前記した粒径に微粉砕し。
これを希望する粒度分布になる様分級すれば本発明の研
磨材が得られる。また用いる合成樹脂が熱可塑性樹脂の
場合には、熱ロール等で混合したのちエキスツルーダー
等により押出し、押出されたものを切断してペレットを
作成し、このペレットを例えば−５０〜−１９５℃に急
速冷凍し１次いで粉砕し、これを分級すれば良い。
磨材が得られる。また用いる合成樹脂が熱可塑性樹脂の
場合には、熱ロール等で混合したのちエキスツルーダー
等により押出し、押出されたものを切断してペレットを
作成し、このペレットを例えば−５０〜−１９５℃に急
速冷凍し１次いで粉砕し、これを分級すれば良い。
〈実施例〉
次に実施例により本発明の詳細な説明する。
なお、実施例および比較例は湿式プラストにより評価を
行なっているか−、本発明は当然の事ながら乾式プラス
ト、インペラ一式、バレル式等の通常の研磨方法におい
ても有用な研磨材を提供するものである。
行なっているか−、本発明は当然の事ながら乾式プラス
ト、インペラ一式、バレル式等の通常の研磨方法におい
ても有用な研磨材を提供するものである。
比較例１
イソフタル酸１．５モル、マレイン酸無水物３．０モル
、フロピレンゲリコール４９５モル’４＋ＪＤｔ。
、フロピレンゲリコール４９５モル’４＋ＪＤｔ。
１８０〜２１０℃に保ち、酸価が３５になるまで反応さ
せた。これを不飽和ポリエステルＡとする。
せた。これを不飽和ポリエステルＡとする。
これを以下の配合比で混合した。
不飽和ポリエステルＡ ７０部スチレ／
３０部６％ナフテン酸コバ
ルｌ−０，２５部 メチルエチルケトンパーオキサイド １合口合後、
常温にて２０時間放置し、その後８０℃にて３時間加熱
した。得られた硬化物をクラッシャーにより微粉砕した
後、衝撃粉砕機により更に微粉砕した。分級により６０
メソシユパス、８０メツシユオンのものを分取し研磨材
１を得た。
３０部６％ナフテン酸コバ
ルｌ−０，２５部 メチルエチルケトンパーオキサイド １合口合後、
常温にて２０時間放置し、その後８０℃にて３時間加熱
した。得られた硬化物をクラッシャーにより微粉砕した
後、衝撃粉砕機により更に微粉砕した。分級により６０
メソシユパス、８０メツシユオンのものを分取し研磨材
１を得た。
比較例２
不飽和ポリエステルＡ７０部、スチレン３０部の混合物
に対し、平均粒径２０μのガラスピーズな２０部、４０
部、６０部混合した以外は比較例１と同様の操作を行な
い研磨材２，３．４を得た。
に対し、平均粒径２０μのガラスピーズな２０部、４０
部、６０部混合した以外は比較例１と同様の操作を行な
い研磨材２，３．４を得た。
比較例３
ポリアセタール樹脂１００部に対し平均粒径２０μのガ
ラスピーズを１０部、２０部、３０部な熱ロールにて混
合後、エキスツルーダーにより押し出し、これを切断し
てペレットを作製した。これを液体窒素で冷凍し粉砕を
竹なった後１分級により６０メツシユパス、８０メツシ
ユオンのものを分収し、研磨材５．６．７を得た。
ラスピーズを１０部、２０部、３０部な熱ロールにて混
合後、エキスツルーダーにより押し出し、これを切断し
てペレットを作製した。これを液体窒素で冷凍し粉砕を
竹なった後１分級により６０メツシユパス、８０メツシ
ユオンのものを分収し、研磨材５．６．７を得た。
実施例１
不飽和ポリエステルＡ７０部、スチレン３０部の混合物
に対し、酸化チタン（５原産業製 Ｒ−９３０）を５０
部、１００部、１５０部、２００部、２５０部混合口た
以外は比較例１と同様の操作を行ない研磨材８〜１２を
得た。
に対し、酸化チタン（５原産業製 Ｒ−９３０）を５０
部、１００部、１５０部、２００部、２５０部混合口た
以外は比較例１と同様の操作を行ない研磨材８〜１２を
得た。
実施例２
ガラスピーズの代わりに酸化チタンを用い、混合量をポ
リアセタール樹脂１００部に対し５０部。
リアセタール樹脂１００部に対し５０部。
１００部、１５０部、２００部、２５０部とした以外は
比較例３と同様の操作を行ない研磨材１３〜１７を得た
。
比較例３と同様の操作を行ない研磨材１３〜１７を得た
。
研磨材１〜１７についてプラストテストを行なった。
プラストテストは１株式会社不二精機製造所製の液体ホ
ーニング機ＬＨ−５を用いて行なった。スラリー濃度４
０％、投射圧力４ ｋｓ ／ ｃｄ、投射距離５αにて
ＩＣのワンチップ当たり１秒間プラストし、パリ取り性
能、モールドの荒れについて評価した。評価は１０段段
階制で行ない、最も良いものを１０．実用上許容しうる
程度のものを５．最も悪いものを１とした。
ーニング機ＬＨ−５を用いて行なった。スラリー濃度４
０％、投射圧力４ ｋｓ ／ ｃｄ、投射距離５αにて
ＩＣのワンチップ当たり１秒間プラストし、パリ取り性
能、モールドの荒れについて評価した。評価は１０段段
階制で行ない、最も良いものを１０．実用上許容しうる
程度のものを５．最も悪いものを１とした。
結果を表１に示す。
又、同条件でアクリル板を一定時間プラストして重量減
少を測定し、その値が初期値の％になる迄の時間を求め
た。これは研磨材の使用可能時間の目安となる。これを
ライフとして同じく表−１に示す。
少を測定し、その値が初期値の％になる迄の時間を求め
た。これは研磨材の使用可能時間の目安となる。これを
ライフとして同じく表−１に示す。
〈発明の効果〉
実施例より明らかなように本発明にかかる研磨材は、酸
化チタンをフィラーとして用いているため、ＩＣ等のモ
ールドを荒らす事なくパリ取りを行なう事ができる。さ
らにフレームに用いられている銅等の金属酸化膜を除去
する事ができ、同時だ薄膜状のパリ及び非常に小さなパ
リも除去できるという特徴を有している。
化チタンをフィラーとして用いているため、ＩＣ等のモ
ールドを荒らす事なくパリ取りを行なう事ができる。さ
らにフレームに用いられている銅等の金属酸化膜を除去
する事ができ、同時だ薄膜状のパリ及び非常に小さなパ
リも除去できるという特徴を有している。
又、ガラスピーズに比して研磨力の減少速度が遅く、従
って長期間使用できるという特徴も有している。
って長期間使用できるという特徴も有している。
Claims (1)
- 合成樹脂粒状物と酸化チタン粉末よりなる事を特徴とす
る研磨材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16860085A JPS6234779A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 研磨材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16860085A JPS6234779A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 研磨材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234779A true JPS6234779A (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15871059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16860085A Pending JPS6234779A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 研磨材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6234779A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0451383A1 (en) * | 1990-04-10 | 1991-10-16 | Sanyo Trading Co., Ltd. | Method for cleansing molds |
| JPH04101776A (ja) * | 1990-08-15 | 1992-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 研磨材 |
| JPH09295320A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Fuji Kihan:Kk | 金型の洗浄方法 |
| US6036999A (en) * | 1997-07-03 | 2000-03-14 | Zhao; Qian Qiu | Method of preparing grinding media consisting essentially of sintered TiO2 particles |
| JP2002346932A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-12-04 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 粒状熱硬化性樹脂製研磨材及びその製造方法 |
-
1985
- 1985-08-01 JP JP16860085A patent/JPS6234779A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0451383A1 (en) * | 1990-04-10 | 1991-10-16 | Sanyo Trading Co., Ltd. | Method for cleansing molds |
| JPH04101776A (ja) * | 1990-08-15 | 1992-04-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 研磨材 |
| JPH09295320A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Fuji Kihan:Kk | 金型の洗浄方法 |
| US6036999A (en) * | 1997-07-03 | 2000-03-14 | Zhao; Qian Qiu | Method of preparing grinding media consisting essentially of sintered TiO2 particles |
| JP2002346932A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-12-04 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 粒状熱硬化性樹脂製研磨材及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5093834B2 (ja) | 生分解性樹脂粉体及びその製造方法 | |
| US7217305B2 (en) | Polishing body | |
| WO2006016506A1 (ja) | 改質パウダー、当該改質パウダーを含有した液状組成物、成形体、及び改質パウダーの製造方法 | |
| JPS6234779A (ja) | 研磨材 | |
| JP2003305651A (ja) | 投射材およびブラスト方法 | |
| CN101258210B (zh) | 粉体涂料用填充剂以及配合该填充剂而成的粉体涂料组合物 | |
| JPS61152372A (ja) | 合成樹脂研磨材 | |
| JP3769421B2 (ja) | 微粉体コーティングアミンの製造法 | |
| JPS6288568A (ja) | 研磨材 | |
| JP2003306664A (ja) | 樹脂複合研掃材 | |
| JPS61152371A (ja) | 合成樹脂研磨材 | |
| JPS61152370A (ja) | 合成樹脂研磨材 | |
| JPH0624699B2 (ja) | 合成樹脂製研磨材 | |
| JPS61241069A (ja) | プラスト加工用研磨材の製造方法 | |
| JP2003183406A (ja) | 樹脂系粉末の製造方法 | |
| JP2001277131A (ja) | 投射材及びブラスト処理方法 | |
| JPH06819A (ja) | 塗装プラスチックのリサイクル方法 | |
| JP3334977B2 (ja) | 紫外線吸収剤の製造方法 | |
| JP4337245B2 (ja) | 投射材及びブラスト処理方法 | |
| JP2023504905A (ja) | 湿潤性が向上した細粒フィラー | |
| JP2001277127A (ja) | 黒色導電樹脂製投射材 | |
| JP2001300851A (ja) | 投射材及びブラスト処理方法 | |
| JPH1110543A (ja) | 熱硬化性樹脂製研磨材の製造方法 | |
| JP2002079467A (ja) | 投射材 | |
| EP1425374B1 (en) | Use of spherical and monodisperse polymer particles in cleaning agents, and such cleaning agents |