JPS6231909A - 異方導電性シ−ト及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （、）産業上の利用分野 本発明は精密電子回路用の積層型コネクターに用いる異
方導電性シート、特に、導電部材が厚さ方向に貝通し、
該導電部材が電気絶縁材で囲まれて電気的に独立してい
る異方導電性シート及びその製造方法に関するものであ
る。

（ｂ）従来の技術 従来、精密機器回路用の異方導電性シートとして、以下
のものが知られている。

第一の異方導電性シートは電気絶縁体を貫通して多数個
の導電性ゴム接点を配列して成る稿状のものである。

第二の異方導電性シートは電気絶縁性シートの厚さ方向
に金属線やカーボン繊維の如き導電部材を埋設した構造
のものが提案されている　（特開昭５９−９３３２３号
公報、特開昭５７−１４．１８８０号公報）。

第三の異方導電性シートは、絶縁部材に適当量の導電部
材を投入して混合し、この混合物を押出し磯又はロール
を用いてシート状に成形加工されたものである。

（ｃ）発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記第一の異方導電性シートは、生産性
が低く、従って、高価になる１−１接点部が線状である
ために精密電子機器回路用の端子が導電部材と平行にな
る様に設置する必要があり、仮に平行に設置されない場
合には、端子間の絶縁性が保持できず短絡や故障の原因
となる結果、極めて上記端ｒと異方導電性シートとの接
続作業性が悪く、製品の信頼性に問題か１１：する場合
があった。

又、Ｉ−記第二の異方導電性シートは、導電部材が線状
に形成されているから当該導電部材の配合量を多くする
と、導電部材同志が接触して面方向の絶縁性が損なわれ
たり、逆に導電部材の配合量を少なくすると、接触抵抗
が大トくなるばかりでなく、そのバラツキも大きくなり
、またミスタッチの問題が生じて精密電子機器回路用の
端子と異方導電性シートとの電気的導通が失われる場合
もあった。

更に、−１ユ記第三の異方導電性シートでは、導電部材
が電気絶縁シートに埋まっている場合があり、該異方導
電性シートと接続する回路端子の凹凸形状や加圧条件等
によって接触抵抗にバラツキが生じたり、ときには導通
不良の問題が生ずる結果、コネクターとしての（ｉ頼性
に乏しいものであった。

（ｄ）問題点を解決するための手段 本発明者らは、特殊な装置や技術を要することなく簡単
に製造できると共に生産性が良く、しかもシートの厚さ
方向の抵抗が、当該シートとプリント配線基板等との接
触圧力が変化しても略一定である一１二、導電部材が電
気絶縁材で囲まれて電気的に独立している信頼性の高い
異方導電性シート及びその製造方法について鋭意検討を
重ねてきた。

その結果、平面視格子状の電気絶縁性シートにはその格
子間に導電部材を当該シートの厚さ方向に貫通させて成
る異方導電性シート及びその製造方法を開発し、本発明
を完成するに至ったものである。

即ち、本発明の第一の要旨は、平面視格子状の電気絶縁
性シートであり、その格子の間に導電部材を当該シート
の厚さ方向に貫通させてなることを特徴とするものであ
る。

以下、先ず本発明の第一の要旨を詳細に説明する。

本発明に用いる電気絶縁性シートとは、電気的に絶縁性
のゴム又は合成樹脂で形成したシートをいう。上記ゴム
には、天然ゴム、又は各種合成ゴム、例えば、ポリブタ
ジェンゴム、ニトリルブタジエンゴム、スチレンブタジ
ェンゴムなどが挙げられる。

又、上記合成樹脂には、熱可塑性樹脂及び熱硬化性Ｉｆ
脂の両方を含み、例えば、ポリオレフィン、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリアクリロニトリル、ポリアクリ
ロニトリル、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル、シリ
コーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル０（脂、
アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂
、ポリアセタールＯ（脂、アクリル系共重合物、ポリス
チレン０（脂、ＡＢＳ樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリ
エステル↑Ａ４　ｍｔ、７エ／−ル樹脂、尿素樹脂、メ
ラミン樹脂、グアナミン樹脂等が挙げられるが、これら
のうち、加熱によって接着性が発現する、ポリアミド系
やポリエステル系等の所謂ホントメルト接着剤系の樹脂
が生産性に優れるから好ましい。

又、本発明に用いる導電部材としては、体積固有抵抗が
１０３Ω−ｃｍ以下で、しがもシート状に形成できるも
のであれば特に限定されるものではなく、具体的には、
例えば、上記の熱硬化性或は熱可塑性の合成樹脂に、金
、銀、銅、アルミニウム、亜鉛、錫、鉄、鉛、ニッケル
又はコバルト等の金属粉末や金属繊維、又はこれらの金
属を主成分とする合金の粉末や繊維、更に、炭素の粉末
や繊維等の導電材を混入して形成したシート、又は上記
金属製の網や織物、更にシート（箔）などをいうが、こ
れらのうち、特に、ポリエチレン樹脂やポリウレタンｔ
Ａｌ脂等の熱可塑性樹脂に上記導電部材を混入したもの
が切削加工性に優れると共に加熱によって接着性が発現
するから好ましい。

又、導電部材の体積固有抵抗が１０３Ω−ｃｍを超える
と、コネクターとして使用した場合の接触抵抗が高くな
り、実用的でない場合があるから好ましくない。

そして本発明の坂も大トな特徴は上記電気絶縁性シート
を格子状とし、その格子間に上記導電部材を当該シート
の厚さ方向に貫通させた点にある。

本発明において、導電部材を貫通させたとは、当該導電
部材の両端又は両端部が電気絶縁性シートの表面から露
出していることをいい、換言すると、導電部材が電気絶
縁性シート中に埋没していない場合の総てを含む意味で
ある。

本発明の第二の要旨は上記異方導電性シートの製造方法
に関するものである。

即ち、本発明の第二の要旨は、 導電部材の少なくとも片面に絶縁部材を積層して複合部
材を形成する工程（工程Ａ） 上記複合部材をその導電部材と絶縁部材とが交互になる
ように積層一体化して塊状の積層体を形成する工程（工
程Ｂ）、 上記積層体を回転させつつ周方向に沿って切削してシー
トを形成する工程（工程Ｃ）、得られたシートの少なく
とも片面に絶縁部材を積層して積層シートを得る１ユ程
（工程Ｄ）、上記積層シートを適宜間隔で切断して積層
シート片を形成し、該積層シート片を積層一体化するこ
とにより異方導電性シート素材を形成する工程（工程Ｅ
）、　　　　　　　　　　　　　　　　　　！上記異方
導電性シート素材をシート状に切削する工程（工程Ｆ）
、 よりなることを特徴とするものである。

本発明においては、先ず導電部材の片面或は両面に絶縁
部材を積層して複合部材を形成する工程Ａを実施する。

この工程Ａによって得られる複合部材において、導電部
材と絶縁部材は互に接合一体化されていても、或いは接
合し合っていなくてもよい。また、導電部材及び絶縁部
材には上述のものが使用される。

この工程Ａは、例えば（ａ）上記ゴム又は合成樹脂を有
機溶剤に溶解させて塗料とし、この塗料を導電部材の少
なくとも片面に塗布乾燥し、これによって、導電部材の
表面に絶縁性の塗膜（絶縁部材）を形成する方法、（ｂ
）導電部材と絶縁部材を各々個別に形成し、両部材を重
ね合わせる方法、（ｃ）前記（ｂ）の方法によって重ね
合わせた両部材を熱融着或いは接着剤等により接合一体
化させる方法、（ｄ）導電部材の表面に絶縁部材を溶融
押出しする方法、等により行う。

本発明においては、次に、上記工程Ａで得られた複合部
材の複数をその導電部材と絶縁部材とが交互になるよう
に積層一体化して塊状の積層体を形成する工程Ｂを実施
する。

ここにおいて、導電部材と絶縁部材とを積層一体化する
とは、当該両部材を加熱、加圧等の操作により接合して
剥離しないようにすることであり、この場合、この両部
材がいずれも接着性を有しないときには、これらの部材
間に各種接着剤を塗工したり或は接着性のシートを介在
させてこれらの部材が互に接着し合うようにしてもよい
。

又、塊状の積層体としてはその横断面が円形、楕円形成
は矩形等任意の形状のものを採用しうるが、これらのう
ち、特に異方導電性シートの生産加工性の観点から横断
面が円形のもの、つまり円筒状のもの及び円柱状のもの
が好ましい。

本発明においては、上記工程Ｂで得られた塊状の積層体
を回転させつつ当該積層体を周方向に沿って切削してシ
ートを連続的に製造する工程Ｃを実施する。

上記塊状の積層体を回転させる方法としては、当該積層
体が節状の場合、その軸方向の内径部に回転軸を圧入し
た後、当該回転軸を所望の回転速度で回転してもよく、
一方このような内径部を有さない積層体のと外には、当
該積層体の両端軸心箇所を、各々回転自在な挟持部材で
内向きに押圧して挟持し、該挟持部材を所望の回転速度
で回転させることにより槓８４体を回転させる等、任意
の方法を採用しうる。

又、塊状の積層体を周方向に沿って切削してシートを製
造するには、回転中の積層体にその周方向に切削用刃物
を接当させる方法が好適に採用される。

この場合、上記絶縁部材等がホットメルト系の樹脂で形
成されている等、常温で切削加工できないときには、上
記積層体を適宜温度に冷却した後、或は積層体を冷却し
つつ切削してもよいのである。

本発明では、上記工程Ｃで得られたシートの少なくとも
片面に絶縁部材を積層して積層シートを得る工程りを実
施する。

この絶Ｍ部材としでは」−記工程Ａで用いる絶□縁部材
と同様のものを採用しうる。

又、本工程において、少なくとも片面とは、片面の他に
両面も含む意味であり、またシートと絶縁部祠の積層は
、上記工程Ａと同様の方法により行うことができる。

本発明においては、次に、上記工程［）で得た積層シー
トを適宜間隔で切断して積層シート片を形成し、該積層
シート片を積層一体化して異方導電性シート素材を形成
す、る王稈ト：を実施する。

本工程において、積層一体化するとは、」二記工稈Ｂに
おける積層一体化と同様の意義である。

本発明においては、最後に、十記二［程Ｅで得た異方導
電性シート索月をシート状に切削する一］−程Ｆを実施
する。

−１−記各工程を経ることにより目的とする異方導電性
シートが得られる。

（ｅ）作用 本発明の異方導電性シートは、平面視格子状の　、電気
絶縁性シートにおいて、その格子間に導電部材を規則正
しく配列したもので、各導電部材が各々独立しているか
ら面方向の絶縁性が確実に保持されているのであり、又
−）二記各導電部材は」−記電気絶縁性シートを厚さ方
向に貫通してその両端又は両端部が当該電気絶縁性シー
トの表面から露出しているから接触抵抗が小さいと共に
バラツキが少ないのである。

又、本発明の異方導電性シートの製造方法は、導電部材
と絶縁部材とを交互に積層して塊状の積層体を形成し、
該積層体を回転させつつ当該積層体をシート状に切削加
工するものであるから　（工程Ｂ　）、　艮尺状、つま
り任意の大きさのシートを連続的に製造できるのであり
、従って、該シートの大トさを異方導電性シートの用途
に応じて任意に変えて、つまり最適な大きさに変えて、
後の工程での作業性を向上させたり、或は材料の無駄を
無くすることができる作用を有する。

（「）実施例 以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明するが、本発
明はこれに限定されるものではない。

第１図〜第７図は後述の実施例１・２の工程説開国であ
る。

図において、本発明の異方導電性シート（１）は以下の
工程を経て製造される。

第１図において、（２）はロール状に巻回されて成る複
合部材で、該シート状の複合部材（２）は導電部材（３
）と絶縁部材（４）とをはり合わせて形成されている。

」１記複合部材（２）を引っ張り出し、これをドーナツ
状に打ち抜いて打抜きシート片（５）を形成し、該打抜
きシート片（５）を、その導電部材（３）と絶縁部材（
４）とが交互になるように円筒状に積層しく第２図参照
、なお、所望により最下部には１枚のドーナツ状の絶縁
部材（４）を配置した）、次いで、これを加熱、加圧す
ることにより」二記打抜きシート片（５）同志を接着し
て円筒状の積層体（６）を形成する（第３図参照）。

上記円筒状の積層体（６）にはその内径部（６′）に回
転軸（７）を圧入し、該回転軸（７）を、駆動モータ（
図示せず）により任意の回転数で矢印（Ａ）方向に回転
させることによって当該積層体（６）をその細心を中心
として回転させ、この回転中の積層体（６）にはその接
線方向に切削用の刃物（８）を接当して切削することに
よりシート（９）を得る（第４図参照）。

得られたシート（９）の片面に上記と同様の絶縁部材（
４）を積層し、これを加圧、加熱して一体的にはり合わ
せて積層シー）（１（１）を得、次いで該積層シー）（
１０）をロール状に巻回する　（第５図参照）。

上記積層シー）（１（１）を適宜間隔で切断して積層シ
ート片（１０’）を形成し、該積層シート片（１０′）
をその絶縁部材（４）同志が重ならないように交互に積
層し、これを加熱、加圧して一体化することにより異方
導電性シート素材（１１）を得る（第６図参照）。

この異方導電性シート素材（１１）をこの構成要素であ
る積層シート片（ｉｏ　′）の積層方向にシート状に切
削する（第７図参照）。

このようにして得られた異方導電性シート（１）は、導
電部材（３）が厚さ方向に貝通し、該各導電部材（３）
が電気絶縁性シー）（１’）で囲まれて電気的に独立し
ており、換言すると、平面視格子状の電気的絶縁性シー
）（１′）においてその格子の間に、導電部材（３）が
当該シートを厚さ方向に貫通した構造となる（第８図参
照）。

実施例１ ポリウレタン樹脂１００重量部中に平均粒子径１０μｍ
のニッケル粉末２３０重量部を投入して混合し、この混
合物をカレンダー成形機でシート状に成形して体積固有
抵抗が１０−′Ω−ａｍで、厚さが５０μｍの導電部材
（３）を製造し、該導電部材（３）の片面に、Ｈさ５０
μωのホットメルト系ポリアミド樹脂から成る絶縁部材
（４）を重ねで加熱ロールで積層、巻回することにより
複合部材（２）を得る（第１図参照）。

該複合部材（２）を引っ張り出し、これを内径４０φ、
外径１５０φのドーナツ状に打抜き加工した後、この打
抜きシート片（５）を導電部材（３）同を 志が重ならない様に、つまり上記の導電部材（３）と絶
縁部材（４）とが交互になる様に、約３００枚積層し　
（第２図参照、なお、最下部にはドーナツ状のホットメ
ルト系ポリアミド樹脂製絶縁部材（４）を１枚配置した
）、温度１５０℃、圧力５ｋｇ／ｃＩ１１２の条件下、
プレス磯で積層一体化することにより内径４０φ、外径
１５０φ、高さ３０１１１＋１１の円筒状積層体（６）
を得た（第３図参照）。この積層体（６）にはその内径
部（６′）に金属製回転軸（７）を圧入し、該回転軸（
７）をその軸心を中心にして回転速度６０回／分で矢印
（Ａ）方向に回転させて上記積層体（６）を回転させ、
この回転中の積層体（６）にはその接線方向に、幅３０
０ｍｍの切削用刃物（８）を接当させて当該積層体（６
）を連続的にシート状に切削加工する（第４図参照）。

これによって、幅３０ＩＩＩＩＱで厚さ５０μｍ長さ約
１００ｍの長尺状シート（９）を得た。

得られた長尺状シート（９）の片面に、上記と同様のホ
ットメルト系ポリアミド樹脂から成る絶縁部材（４）を
重ね、上記と同様の条件で積層一体化することにより幅
３０１ｏＩ１１の長尺状積層シー）　（１０）を得、こ
れをロール状に巻回する（第５図参照）。

この長尺状シート（１０）を、長さ５（１ｍｍの間隔で
切断し、かくして得られた積層シート片（１０”）をそ
の絶縁部材（４）同志が重ならないように交互に１００
０枚積層して前記と同じ条件で一体化することにより幅
（Ｗ）３０ＩＩＩＩ１１１　長さ（１−）１００　ＩＩ
ｕｎ。

高さくＨ）５０　ｒｉｎの直方体状の異方導電性シート
素材（１１）を形成しく第６図）、 そして、更に、上記直方体状の異方導電性シート素材（
１１）を固定し、該異方導電性シート素材（１１）を上
記積層シート片（１０′）の積層方向（該素材の長さ（
Ｌ）方向）に沿って厚さ１００μｍのシート状に、つま
り矢印方向にシート状に切削工具（１２）で切削しく第
７図参照）、これによって目的とする異方導電性シート
（１）を得る。なお、切削は上記素材１１の幅（Ｗ）方
向に沿って行ってもよい。

このようにして得られた異方導電性シート（１）は、第
８図に部分拡大斜視図で示すように、ポリウレタン樹脂
から成る平面視格子状の電気絶縁性シー［１’）におい
てその格子の間にニッケル粉から成る導電部材（３）が
、当該シー）（１′）の厚さ方向に貫通し、従って該導
電部材（３）はそれぞれ独立していると共に両端又は両
端部が上記電気絶縁性シー）（１’）の表面から露出し
、しかも該導電部材（３）は電気絶縁性シー［１′）に
縦横に規則正しく分散、配列した構造となる。

実施例２ ポリエチレン樹脂（三井石油化学社製Ｈ２−５３００Ｂ
）１００重量部中にカーボンブラック粉末（コロンビア
カーボン製ＲＡＶＥＮ−１４）６０重量部を混合し、こ
の混合物をカレンダー成形機でシート状に成形して体積
固有抵抗が１０２Ω−Ｑｍで、厚さが１００μｍの導電
部材（３）を製造し、次いで、該導電部材（３）の両面
には、厚さ５０μ船のアクリル系共重合物（アクリル酸
ブチルとアクリル酸の共重合物）からなる絶縁部材（４
）を塗工（積層）して複合部材（２）を形成したｆ＆（
第１図参照）、該複合部材（２）を、実施例１と同様に
ドーナツ状に打抜き加工し、次いでこの打抜きシート片
（５）を約２００枚積層した後（第２図参照）、加圧し
て一体化することにより実施例１と同様の円筒状積層体
（６）を得た（第３図参照）、該積層体（６）を冷凍室
にて温度−２０°Ｃまで冷却した後、この冷却した積層
体（６）を、実施例１と同様に矢印（Ａ）方向に回転さ
せながら切削加工を施して、幅３０ｍｍ、厚さ２０（）
μ加、長さ１００＋ｏの長尺状のシート（９）を得た（
第４図参照）。

得られたシート（９）の片面に、上記と同様の絶縁部材
（４）を同様に塗工（禎Ｎ）して積層シート（１０）を
得、次いで、これをロール状に巻回する（第５図参照）
。

この長尺状の積層シー）（１０）を、長さ５０＋ａｍ間
隔で切断し、かくして得られた積層シート片（１０′）
をその絶縁部材（４）同志が重ならないように交互に４
００枚積層し加圧して幅３０＋ｎｌｌ１．長さ１００Ｉ
ｏ１１１．高さ５０＋＋ｎｏの直方体状異方導電性シー
ト素材（１１）を形成する（第６図参照）。

そして、更に、上記直方体状異方導電性シーＦ　。

素材（１１）を温度−２０゛Ｃまで上記と同様に冷却し
、次いで、実施例１と同様の方法で切削し　（第＝１９
− ７図参照）、これによって目的とする異方導電性シート
（１）を得る。

このようにして得られた異方導電性シート（１）は、実
施例１のものと同様の構造を有する。

比較例１ ホットメルト系ポリアミド樹脂中にカーボン短繊維を配
合して混合し、該混合物を圧延して形成した市販の異方
導電性シート。

比較例２ ホントメルト系ポリアミド樹脂中にカーボン粉末を配合
して混合し、該混合物を圧延して形成した市販の異方導
電性シート。

上記実施例１・２及び比較例１・２に示す導電性シート
の電気的特性を第１表に示す。

（以下余白） 第１表 注１）接触抵抗（厚さ方向の抵抗） 各実施例及び各比較例の異方導電性シートを、それぞれ
電極幅０．４ＩＩ１ｍ及び絶縁幅０．４１ｆｌＩ１１で
電極が１０本平行に配設された２枚のフレキシブル回路
基板（Ｆ　Ｐ　Ｃシート）間に介装し、温度１５０℃、
圧力３ｋｇ／ｃｍ２のプレス磯で接合したときの接触抵
抗（厚さ方向の抵抗）を測定した。

試料数は各実施例品及び各比較例品とも１０個とし、第
１表中の数値はその測定値の平均値である。

注２）ひろがり幅 上記性１）で測定した各実施例及び各比較例の接触抵抗
の最大値と最小値の差。

ひろがり幅二最大値−最小値 注３）面方向の抵抗 銅箔エポキシプリント基板にエツチングにより幅１１１
Ｉｍの絶縁ギャップを設け、この上に各実施例及び各比
較例の異方導電性シートを戴置し、その上に、１ｋｇの
荷重下でプラスチック平面板を当接し、上記絶縁ギャッ
プ間の絶縁抵抗を絶縁抵抗計（Ｉ）Ｃ５０ボルト印加）
に接続して測定した。

（Ｆｌ）発明の効果 本発明の異方導電性シートは、平面視格子状の電気絶縁
性シートにおいて、その格子間に導電部材を規則正しく
配列したもので、各導電部材が各々独立しているから面
方向の絶縁性が確実に保持されているのであり、父上記
各導電部材は電気絶縁性シートの厚さ方向に貫通してそ
の両端又は両端部が当該シートの表面から露出している
から、電気的導通不良の問題が発生しない上、接触抵抗
（厚さ方向の抵抗）およびそのバラツキが小さいのであ
り、従って精密電子機器回路用の電気的接合材として極
めて高い信頼性を有するのである。

又、本発明の異方導電性シートの製造方法は導電部材と
絶縁部材とを交互に積層して塊状の積層体を形成し、該
積層体を回転させつつ当該積層体をシート状に切削加工
するのであるから、長尺状、つまり任意の大きさのシー
トを連続的に製造でトるのであり、又、シートを任意の
大きさに形成で終るから、該シートを最適な大きさに形
成して後の作業工程を向−トさせたり或は材料の無駄を
無くすることができ、従って異方導電性シートのコスト
の低減を図ることがでトるのである。

又、本発明の方法によると、特殊な装置や技術を要する
ことなく品質の安定した異方導電性シートを得ることが
できるから極めて有益である等の　！効果を奏するので
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第７図は実施例１及び実施例２の工程説明図を
示し、第１図は複合部材をロール状に巻回しこれを打抜
く前の工程を示す斜視図、第２図は打抜きシート片の積
層工程を示す分解斜視図、第３図は打抜きシート片を積
層一体化して円筒状の積層体を形成する工程を示す斜視
図、第４図は円筒状の積層体を回転させつつシート状に
切削する工程を示す斜視図、第５図は積層シートをロー
ル状に巻回し、これを切断する前の工程を示す斜視図、
第６図は異方導電性シート素材の斜視図、第７図は異方
導電性シート素材を切削して異方導電性シートを製造す
る工程を示す斜視図、第８図は異方導電性シートの構造
を示す部分拡大斜視図である。 （１）・・・異方導電性シート。 （１′）・・・電気絶縁性シート。 （２）・・・複合部材、　（３）・・・導電部材。 （４）・・・絶縁部材、（６）・・・積層体。 （７）・・・回転軸、　　（９）・・・シート。 （１０）・・・積層シート。 （１１）・・・異方導電性シート素材。 手続補正書（自発） １、　事件の表示 特願昭６０−１７０１２４号 ２、発明の名称 異方導電性シート及びその製造方法 ３、手続をする者 事件との関係　　　特許出願人 住　所（居所）　　　大阪府茨木市下穂積１丁目１番２
号４、代理人　　　　　　　愚　５５０ 明細書 ６、補正の内容

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）平面視格子状の電気絶縁性シートであり、その格
   子の間に導電部材を当該シートの厚さ方向に貫通させて
   なることを特徴とする異方導電性シート。
2. （２）導電部材が体積固有抵抗１０＾３Ω−ｃｍ以下で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の異方
   導電性シート。
3. （３）導電部材の少なくとも片面に絶縁部材を積層して
   複合部材を形成する工程（工程Ａ） 上記複合部材をその導電部材と絶縁部材とが交互になる
   ように積層一体化して塊状の積層体を形成する工程（工
   程Ｂ） 上記積層体を回転させつつ周方向に沿って切削してシー
   トを形成する工程（工程Ｃ） 得られたシートの少なくとも片面に絶縁部材を積層して
   積層シートを得る工程（工程Ｄ）、上記積層シートを適
   宜間隔で切断して積層シート片を形成し、該積層シート
   片を積層一体化することにより異方導電性シート素材を
   形成する工程（工程Ｅ）、 上記異方導電性シート素材をシート状に切削する工程（
   工程Ｆ）、 よりなることを特徴とする異方導電性シートの製造方法
   。
4. （４）導電部材が体積固有抵抗が１０＾３Ω−ｃｍ以下
   であることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の異
   方導電性シートの製造方法。