JPS6230901A - 電磁形歪ゲ−ジ - Google Patents
電磁形歪ゲ−ジInfo
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- JPS6230901A JPS6230901A JP16986685A JP16986685A JPS6230901A JP S6230901 A JPS6230901 A JP S6230901A JP 16986685 A JP16986685 A JP 16986685A JP 16986685 A JP16986685 A JP 16986685A JP S6230901 A JPS6230901 A JP S6230901A
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- Japan
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- magnetic
- gap
- ring
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- magnetic ring
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の訂細イr i’Jl明
(発明の技術分野)
本発明はII8造物の応力・歪み等を測定する雷磁形歪
ゲージに関りる。
ゲージに関りる。
(ブを明の技術的青用どイの問題貞〕
(K来から歪ゲージどじ−(、金属を用いIご金目抵抗
ゲージ、1り導体を用いIこ−?l! l (4↑ゲー
ジが存(IJる。これらの1ゲージの原即IL(,1(
1”れ1)ゲージの引張りまた(よF1縮に伴う金属抵
抗よ/: 1.1丁博体の抵抗変化を利用1)でいる。
ゲージ、1り導体を用いIこ−?l! l (4↑ゲー
ジが存(IJる。これらの1ゲージの原即IL(,1(
1”れ1)ゲージの引張りまた(よF1縮に伴う金属抵
抗よ/: 1.1丁博体の抵抗変化を利用1)でいる。
’l イt−わI)、この低+1’L疫化を電子回路で
構成される変換器に、1、−)で電気信号t3−疫換し
、イれにJ、つで引張りノ1の人ささヤ)11−締力の
人ささを五1測し−Cいる3゜しか【ノながら、歪みに
伴うI(抗窃([−を(り川Jるこねらの1j法r +
、t、構造物に11じる歪みIJ対対重抵抗率の変化が
小さい。F口ご金属抵抗/7’−ジを用いる場合1こは
、測定1. kい応力(歪)の状態ぐ11抵抗顧は10
〜10’のΔ−ダーC゛ある。このため、変換器の側で
は、仁弓肋幅の増幅度が通常のt1測器に必要(2増幅
tfiよ11人きくなり、シl、二がって増幅度のン易
瓜ゆ化に起因りる温良ドリフ(・tj)、人カイハ弓レ
ベルが低いことに起因iIる騒昌の増大、分解応力の低
1・等を用い(いる。¥導体ゲージの場合fJ: +、
L、千み(、二対1jる低(I″し変化の化(ゲージ室
)が金属ゲージに11′1へ(人さく(約hOtts>
、t、たがつ(前述しI、:金属ゲージ(ハ欠+:、1
はある稈葭まで改j’j cキliる3、シかし、半i
g体ゲージでは抵抗の温Ill Iへ(rlノI /+
′X人きく、J、たでの依(を性にバラツ1が人さいI
l砧、等温の+j、iに4つのゲージを1び1−)てブ
リッジを絹んだ状態C゛も渇1uドリフ1〜を11じC
しまう。ぞの結束、補償回路の設h1が茗lノく困ガ(
゛実用1)1. f二欠flろ。
構成される変換器に、1、−)で電気信号t3−疫換し
、イれにJ、つで引張りノ1の人ささヤ)11−締力の
人ささを五1測し−Cいる3゜しか【ノながら、歪みに
伴うI(抗窃([−を(り川Jるこねらの1j法r +
、t、構造物に11じる歪みIJ対対重抵抗率の変化が
小さい。F口ご金属抵抗/7’−ジを用いる場合1こは
、測定1. kい応力(歪)の状態ぐ11抵抗顧は10
〜10’のΔ−ダーC゛ある。このため、変換器の側で
は、仁弓肋幅の増幅度が通常のt1測器に必要(2増幅
tfiよ11人きくなり、シl、二がって増幅度のン易
瓜ゆ化に起因りる温良ドリフ(・tj)、人カイハ弓レ
ベルが低いことに起因iIる騒昌の増大、分解応力の低
1・等を用い(いる。¥導体ゲージの場合fJ: +、
L、千み(、二対1jる低(I″し変化の化(ゲージ室
)が金属ゲージに11′1へ(人さく(約hOtts>
、t、たがつ(前述しI、:金属ゲージ(ハ欠+:、1
はある稈葭まで改j’j cキliる3、シかし、半i
g体ゲージでは抵抗の温Ill Iへ(rlノI /+
′X人きく、J、たでの依(を性にバラツ1が人さいI
l砧、等温の+j、iに4つのゲージを1び1−)てブ
リッジを絹んだ状態C゛も渇1uドリフ1〜を11じC
しまう。ぞの結束、補償回路の設h1が茗lノく困ガ(
゛実用1)1. f二欠flろ。
一1j、無端リング状の14目クリングの−・9所に空
隙を設(」、これに被試験材を貼りト目J (;i)み
を測定づる電(41形n゛ゲージも従来から知られ−(
いる、。
隙を設(」、これに被試験材を貼りト目J (;i)み
を測定づる電(41形n゛ゲージも従来から知られ−(
いる、。
しかし従来の電磁形歪ゲージは、空隙部の両側の…封体
が被試験斗4ど接するlJめ、被試験+Aが14長竹体
の場合に(まゲージの脅1東が被試験I4に洩tl(シ
よう。(二の7.−め、被試験(イの1″′みに4J、
って空隙長に変化が11じ(0、イれがゲージのイング
クタンス変化IJ−1,Lとんど奇4ノじイjくイfす
、したがってU蚤竹林の被試験(4にILL適用C″き
イ1い欠点りくある。イして、一般にはゲージ使用の場
合は磁性(41(例えば鉄)の歪試験おJ:び応力試験
であることが大部分であるため、電磁形歪ゲージの適用
範囲が撞く一部に限られている。
が被試験斗4ど接するlJめ、被試験+Aが14長竹体
の場合に(まゲージの脅1東が被試験I4に洩tl(シ
よう。(二の7.−め、被試験(イの1″′みに4J、
って空隙長に変化が11じ(0、イれがゲージのイング
クタンス変化IJ−1,Lとんど奇4ノじイjくイfす
、したがってU蚤竹林の被試験(4にILL適用C″き
イ1い欠点りくある。イして、一般にはゲージ使用の場
合は磁性(41(例えば鉄)の歪試験おJ:び応力試験
であることが大部分であるため、電磁形歪ゲージの適用
範囲が撞く一部に限られている。
本発明は前記の従来技術の欠点をΦ服する!こめにイ「
されたしの(・、ゲージ率(歪に対重る抵抗変化の比)
を大きくし、かつ渇亀ドリノ1へを小さく4るとIl、
に、磁性体の被試験(イにも適用ぐきるJ、うにした電
磁形歪ゲージを提供りることを目的とり−る。
されたしの(・、ゲージ率(歪に対重る抵抗変化の比)
を大きくし、かつ渇亀ドリノ1へを小さく4るとIl、
に、磁性体の被試験(イにも適用ぐきるJ、うにした電
磁形歪ゲージを提供りることを目的とり−る。
上Mljの目的を達成Jるため本R11111J、透磁
率の方向性が強い磁性体でなる無端リングの−・ケ所に
空隙を形成し−(、その両側部分の外面を所定長さだ(
〕滑而面11−げした磁性リンηと、蜂目I[リングの
滑面部分の両端に連続する磁束の帰路部分の所望の位置
に巻回した励磁二1イルと、磁性リングの?i″!而部
分面外面と被試験材の表面を固着する固着部材とを備え
る電磁形歪ゲージを提供Jるムので゛ある。
率の方向性が強い磁性体でなる無端リングの−・ケ所に
空隙を形成し−(、その両側部分の外面を所定長さだ(
〕滑而面11−げした磁性リンηと、蜂目I[リングの
滑面部分の両端に連続する磁束の帰路部分の所望の位置
に巻回した励磁二1イルと、磁性リングの?i″!而部
分面外面と被試験材の表面を固着する固着部材とを備え
る電磁形歪ゲージを提供Jるムので゛ある。
(発明の実施例)
以下、添イ・1図面を参照しで木ブを明のいくつかの実
施例を説明4る。
施例を説明4る。
第1図【、1本弁明の−・実施例に係る電磁形歪ゲージ
、を、被試験材(J貼イ・1けた状態を示1−斜視図で
あり、第2図はイの縦断面図である。ゲージをイrす脅
l竹リング1は、接地面が平面に11上げられI、二所
定長さの平面部2と、平面部2の両端を1リツジづる可
1尭174造に形成された波形あるいはジグ%f l)
状の11東の帰路部3どから構成される。平面部2の中
央部分には所定長さqの空隙4が設けられ、帰路部;3
には励磁」イル5が巻回されている。また、′TI而部
面の接地面は接着剤6によ−)てフィルムベース7に接
着され、フィルムベース7は接着剤8にJ、つて゛被試
験材90表面に接着されている。
、を、被試験材(J貼イ・1けた状態を示1−斜視図で
あり、第2図はイの縦断面図である。ゲージをイrす脅
l竹リング1は、接地面が平面に11上げられI、二所
定長さの平面部2と、平面部2の両端を1リツジづる可
1尭174造に形成された波形あるいはジグ%f l)
状の11東の帰路部3どから構成される。平面部2の中
央部分には所定長さqの空隙4が設けられ、帰路部;3
には励磁」イル5が巻回されている。また、′TI而部
面の接地面は接着剤6によ−)てフィルムベース7に接
着され、フィルムベース7は接着剤8にJ、つて゛被試
験材90表面に接着されている。
さらに、フィル18ベース7の中央部分の空III 4
の位置には、四部10が形成されている。
の位置には、四部10が形成されている。
次に、上記実施(Mの作用を説明づる。被試験+49に
機械的な歪みが生じると、その歪みは接着剤8、フィル
ムベース7および接着剤6を伝達して磁着リング1の1
L面部2に加えられる。イの結果、空隙4の間隙(Jが
歪みに比例して変化Jる。
機械的な歪みが生じると、その歪みは接着剤8、フィル
ムベース7および接着剤6を伝達して磁着リング1の1
L面部2に加えられる。イの結果、空隙4の間隙(Jが
歪みに比例して変化Jる。
いま、歪みの作用点a、bの距離を1.4Sみによる1
法変化をΔ1どすると、歪みεは、ε−△矛/j とへる。
法変化をΔ1どすると、歪みεは、ε−△矛/j とへる。
一方、インダクタンス1−は空1!i 4の断面積をS
1空気の透441率をμ、励磁子1イル5の巻き数をN
とJると、 トーμSN2/!1 となる。そして、空隙4の間隔に微小変化Δ(1が生じ
lこときは、インダクタンス1−′tよ、L’ =μS
N2/ (0+Δ0) =IISN210 (1−140/Q)=IISN2/
(1−八〇10 ) 10となる。したがって、インダ
クタンスの変化Δl−は、 △l =1−’ −1−−1−xΔCJ / rJどな
り、インダクタンスの変化はΔq/qに比例することが
わかる。
1空気の透441率をμ、励磁子1イル5の巻き数をN
とJると、 トーμSN2/!1 となる。そして、空隙4の間隔に微小変化Δ(1が生じ
lこときは、インダクタンス1−′tよ、L’ =μS
N2/ (0+Δ0) =IISN210 (1−140/Q)=IISN2/
(1−八〇10 ) 10となる。したがって、インダ
クタンスの変化Δl−は、 △l =1−’ −1−−1−xΔCJ / rJどな
り、インダクタンスの変化はΔq/qに比例することが
わかる。
いよ、接盾剤6,8およびフィルムベース7の横方向剛
性が無限に大きいとすると、歪作用点a。
性が無限に大きいとすると、歪作用点a。
1間におlる寸法の変化△オはそのまま空隙4間の距離
の■化Δqとイfる。このどき、インダクタンスの変化
Δ1は、 Δl−= −L・ΔJ/F である。したがつ′τ符月を無?J2−Jると、Δ1.
/1−Δf! / 0 となる。本実/Il!i1Hのゲージ率GEは1/Δ1
−一Δi!/1の1にであって、 と<Zる。4なわち、歪の作用点a、b間の距fill
を空隙4の距l1llloで除したものがゲージ率G
Fとなる。
の■化Δqとイfる。このどき、インダクタンスの変化
Δ1は、 Δl−= −L・ΔJ/F である。したがつ′τ符月を無?J2−Jると、Δ1.
/1−Δf! / 0 となる。本実/Il!i1Hのゲージ率GEは1/Δ1
−一Δi!/1の1にであって、 と<Zる。4なわち、歪の作用点a、b間の距fill
を空隙4の距l1llloで除したものがゲージ率G
Fとなる。
第1図および第2図に示づ゛実施例では、磁束の帰路部
3は磁性体1の熱延びにより空隙4の距離が変化しない
J、う、可撓414造どイTつでいる。したがって、帰
路部3では児11)け上は歪みが発生せず、空隙長が影
響されることはない。
3は磁性体1の熱延びにより空隙4の距離が変化しない
J、う、可撓414造どイTつでいる。したがって、帰
路部3では児11)け上は歪みが発生せず、空隙長が影
響されることはない。
次に、複数のゲージの間の見掛1ノ1−の歪みのバラツ
キの低減について〃1明する。磁性体1の熱膨張が空隙
長に与える影響を、歪作用点a、[〕間の長さlの部分
で考える。熱膨張による空隙長の変化へq′は、 Δ0′−α・θ・f (但し、αは磁性体101℃当りの線膨張率、θはゲー
ジを使用する調度(deg)の最大伯と最小値の差) である。インダクタンスの変化ΔL / l−は、Δ1
−/L−Δ0′/q どなる。
キの低減について〃1明する。磁性体1の熱膨張が空隙
長に与える影響を、歪作用点a、[〕間の長さlの部分
で考える。熱膨張による空隙長の変化へq′は、 Δ0′−α・θ・f (但し、αは磁性体101℃当りの線膨張率、θはゲー
ジを使用する調度(deg)の最大伯と最小値の差) である。インダクタンスの変化ΔL / l−は、Δ1
−/L−Δ0′/q どなる。
この△0′10の値が複数のゲージ毎にバラツキがある
と、ブリッジを構成したときに温石ドリフトが現れる。
と、ブリッジを構成したときに温石ドリフトが現れる。
したがって、このバラツ:1−を低減Jることが望まれ
るが、上記の式で最もバラツギに影響するのはqの寸法
i度である。そこで、ゲージインダクタンスのバラツキ
によってブリッジ回路構成時に生じる温度ドリフトを、
必要どする測定精亀から許容される範囲に収められるよ
うに、−〇 − この空隙長の(L−+−げq法精度を決定する。アモル
ファスロ目1体の如く透磁率の方向性の大きい磁性体を
用いれば、液体から固体の磁性体が形成されるので、空
隙長のXl払精tαを容易に高めることができる。この
ように本実施例では、アモルフフ7スlaf’1体等を
用いることで空隙長のXj法t#痘を高め、これによっ
て個々のゲージの間の児1トは歪みのバラツ4−を小さ
くし、温度ドリフ1〜の充分に小さいゲージをI?るJ
、うに1)ている。
るが、上記の式で最もバラツギに影響するのはqの寸法
i度である。そこで、ゲージインダクタンスのバラツキ
によってブリッジ回路構成時に生じる温度ドリフトを、
必要どする測定精亀から許容される範囲に収められるよ
うに、−〇 − この空隙長の(L−+−げq法精度を決定する。アモル
ファスロ目1体の如く透磁率の方向性の大きい磁性体を
用いれば、液体から固体の磁性体が形成されるので、空
隙長のXl払精tαを容易に高めることができる。この
ように本実施例では、アモルフフ7スlaf’1体等を
用いることで空隙長のXj法t#痘を高め、これによっ
て個々のゲージの間の児1トは歪みのバラツ4−を小さ
くし、温度ドリフ1〜の充分に小さいゲージをI?るJ
、うに1)ている。
また、第1図おJ:び第2図に示づ実1′1MVAで1
31、磁束の帰路部3は波形あるいはジグザク状に湾曲
成形され、前述のように歪み方向の剛性を下げる可撓構
造と/7っている。したがって、帰路部3の剛性は接着
剤6,8おJ:びフィルムベース7の合成剛性と比べて
充分に小さく、その結果、被試験材9の表面の歪みがそ
のまま空隙両側の平面部2に伝達されるようになってい
る。
31、磁束の帰路部3は波形あるいはジグザク状に湾曲
成形され、前述のように歪み方向の剛性を下げる可撓構
造と/7っている。したがって、帰路部3の剛性は接着
剤6,8おJ:びフィルムベース7の合成剛性と比べて
充分に小さく、その結果、被試験材9の表面の歪みがそ
のまま空隙両側の平面部2に伝達されるようになってい
る。
また本実施例では、フィルムベース7の厚さを空隙40
下で・薄くしである。したがって、磁性体10平面部2
に接着された部分のフィルムベース7の横り向剛封1.
1、空隙40部分のノイルムベース7の横方向側Hに比
べて充ブ)に人きい。イの結末、被試験手49の歪みの
平面部2への伝達が、大幅に改善される構成ど/; =
)−(いる。
下で・薄くしである。したがって、磁性体10平面部2
に接着された部分のフィルムベース7の横り向剛封1.
1、空隙40部分のノイルムベース7の横方向側Hに比
べて充ブ)に人きい。イの結末、被試験手49の歪みの
平面部2への伝達が、大幅に改善される構成ど/; =
)−(いる。
以十の通り第1図J3よび第2図に承J実施IAによれ
ば、従来の金属ゲージに1tべて人さイ丁ゲージ率を得
ることがでさ、かつ従来の半導体ゲージと巽<iり任意
のゲージ率を実現できる。A、/こ、空隙長の什1−げ
入1払粘度を制御することに31、す、被試験Hの温度
tこJ、る出力変化(温石ドリフト)を充分小さくでさ
る。さらに本ゲージは、透口l=軒のIJ向性の強い月
利を用いることによ−)で、脅l性体の被試験材に対し
ても適用することI〕できる。
ば、従来の金属ゲージに1tべて人さイ丁ゲージ率を得
ることがでさ、かつ従来の半導体ゲージと巽<iり任意
のゲージ率を実現できる。A、/こ、空隙長の什1−げ
入1払粘度を制御することに31、す、被試験Hの温度
tこJ、る出力変化(温石ドリフト)を充分小さくでさ
る。さらに本ゲージは、透口l=軒のIJ向性の強い月
利を用いることによ−)で、脅l性体の被試験材に対し
ても適用することI〕できる。
本発明はト配実施例に限定されるものではなく、神々の
女形が11能である。
女形が11能である。
本実施例では磁性体の空隙の両側の接地面を平面にイ1
トげるようにしτいるが、これに限られるものではなく
、−次曲面あるいは二次曲面の如く泪かな面(滑面)に
411−けられていれば、いか(jるものでもよい。ま
た、空隙μm磁竹ングにり・1して斜め(4二形成−\
れ(いてもJ、く、折れ線あるい(ま曲線状に形成され
でもよい。
トげるようにしτいるが、これに限られるものではなく
、−次曲面あるいは二次曲面の如く泪かな面(滑面)に
411−けられていれば、いか(jるものでもよい。ま
た、空隙μm磁竹ングにり・1して斜め(4二形成−\
れ(いてもJ、く、折れ線あるい(ま曲線状に形成され
でもよい。
まl、二、第33図に示1ように、空隙1をtatq体
1の’At Jj l/]向に対して45°の角1tt
(” nu LJ k’i ’)をペア7 ’(゛
使用じ、かつ両trの空隙の方向がl/i交jるJ、う
(JしてもJ、い。このJ、うに伏れば、被試験+49
の捩れを測定づることh(できる。
1の’At Jj l/]向に対して45°の角1tt
(” nu LJ k’i ’)をペア7 ’(゛
使用じ、かつ両trの空隙の方向がl/i交jるJ、う
(JしてもJ、い。このJ、うに伏れば、被試験+49
の捩れを測定づることh(できる。
以−1の通り本発明で(よい透口ト軒の11向竹の大き
い磁性14利を用い−c Tll t’4リングを構成
し、かつ空隙のイ11け11払粕1aを高めlこので、
ゲージ率を人きクシ渇1ηドリフ1〜を小さりl゛きる
と共に、Mi磁性体被試験材に対しても適用できる電磁
形歪ゲージをIFlることができる。これにJ、って、
変換器側の種々の制約を緩和し、高粘1αの応力および
歪測定が実現できる。
い磁性14利を用い−c Tll t’4リングを構成
し、かつ空隙のイ11け11払粕1aを高めlこので、
ゲージ率を人きクシ渇1ηドリフ1〜を小さりl゛きる
と共に、Mi磁性体被試験材に対しても適用できる電磁
形歪ゲージをIFlることができる。これにJ、って、
変換器側の種々の制約を緩和し、高粘1αの応力および
歪測定が実現できる。
第1図は本発明の一実施例を示J斜祝図、第2図はでの
縦断面図、第3図は本発明の他の実施例= 11 − の平面図ぐある。 1・・・磁性リング、2・・・平面部、3・・・帰路部
、4・・・空隙、!:)・・・励磁コイル、6,8・・
・接着剤、7・・・フィルムベース、9・・・被試験4
A、10・・・凹部。
縦断面図、第3図は本発明の他の実施例= 11 − の平面図ぐある。 1・・・磁性リング、2・・・平面部、3・・・帰路部
、4・・・空隙、!:)・・・励磁コイル、6,8・・
・接着剤、7・・・フィルムベース、9・・・被試験4
A、10・・・凹部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、透磁率の方向性が強い磁性体でなる無端リングの一
ヶ所を切断して所定間隔の空隙を形成し、この空隙の両
側部分の接地面をリングの長手方向に滑かな面に仕上げ
た磁性リングと、この磁性リングの接地面部分の両端を
ブリッジする磁束の帰路部分に巻回された励磁コイルと
、前記磁性リングの接地面を被試験材の表面に固着する
固着部材とを備える電磁形歪ゲージ。 2、前記磁性リングの前記所定長さの接地面部分の両端
をブリッジする前記磁束の帰路部分を可撓構造にした特
許請求の範囲第1項記載の電磁形歪ゲージ。 3、前記磁性リングの接地面部分の両端をブリッジする
前記磁束の帰路部分を可撓性の磁性材料で形成した特許
請求の範囲第1項記載の電磁形歪ゲージ。 4、前記磁性リングの接地面部分の両端をブリッジする
前記磁束の帰路部分の長手方向剛性が、前記固着部材の
剛性より充分小さくなるようにした特許請求の範囲第1
項乃至第3項いずれかに記載の電磁形歪ゲージ。 5、前記固着部材は、一方の面が磁性リングの接地面部
分を接着し、他方の面が前記被試験材料の表面に接着さ
れた平板状のベース部材である特許請求の範囲第1項乃
至第4項のいずれかに記載の電磁形歪ゲージ。 6、前記ベース部材は、前記磁性リングの空隙部分対応
する部分の断面積がその両側の部分の断面積より小さく
なるように形成されている特許請求の範囲第5項記載の
電磁形歪ゲージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16986685A JPS6230901A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 電磁形歪ゲ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16986685A JPS6230901A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 電磁形歪ゲ−ジ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6230901A true JPS6230901A (ja) | 1987-02-09 |
Family
ID=15894398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16986685A Pending JPS6230901A (ja) | 1985-08-02 | 1985-08-02 | 電磁形歪ゲ−ジ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6230901A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009109337A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Minebea Co Ltd | 曲げセンサ |
JP2020511657A (ja) * | 2017-03-20 | 2020-04-16 | ヒルテンベルガー エンジニアド サーフェスィズ ゲーエムベーハー | 磁場センサ |
-
1985
- 1985-08-02 JP JP16986685A patent/JPS6230901A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009109337A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Minebea Co Ltd | 曲げセンサ |
JP2020511657A (ja) * | 2017-03-20 | 2020-04-16 | ヒルテンベルガー エンジニアド サーフェスィズ ゲーエムベーハー | 磁場センサ |
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