JP2020511657A - 磁場センサ - Google Patents
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Abstract
Description
結果として、部品の変形の測定が磁気的に行われる方法が知られている。
本発明の磁場センサは、好ましくは監視対象の部品上に直接配置され、監視されている2つの磁性導電トラック間の距離の変化を伴う。
電気めっきによる本発明の磁場センサに特に適した励磁磁石の製造を、様々な方法で達成することができる。
以下において、本発明は、非限定的で例示的な実施形態およびそれらのそれぞれの図によって詳細に説明される。
図10は、このような配置500を概略的に示している。
最後に、電気エネルギーを測定チップ600に供給する端子と、得られた測定信号を評価する信号出力とが設けられる。
Claims (15)
- 好ましくは円筒形、円錐形、角柱形の本体(210)または自由形状の本体を有する部品(200)用の磁場センサ(100、100A、100B)であって、少なくとも1つの第1の磁性導電トラック(110)および少なくとも1つの第2の導電トラック(120)が前記部品(200)の前記本体(210)に取り付けられ、少なくとも前記第2の導電トラック(120)が、好ましくは分離層(300)の形態で前記少なくとも1つの第1の磁性導電トラック(110)から距離を置いて配置されており、
少なくとも1つの励磁磁石が設けられ、前記少なくとも1つの第2の磁性導電トラック(120)から前記少なくとも1つの第1の磁性導電トラック(110)までの距離の変化による磁束の変化が監視されることを特徴とする、磁場センサ(100、100A、100B)。 - 前記少なくとも1つの励磁磁石は、例えば硬磁性合金、もしくは挿入された永久磁石粒子を含む非磁性マトリックス、もしくは電磁石からなる永久磁石であることを特徴とする、請求項1に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 非磁性材料の磁気障壁層(300)が設けられることを特徴とする、請求項1または2に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 前記磁束を監視する少なくとも1つの測定装置を特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 前記少なくとも1つの測定装置は、少なくとも1つ、好ましくは2つもしくは4つの内部磁気測定部を含む測定チップとして形成され、前記測定チップが好ましくは電気絶縁担体上に配置される、請求項4に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 前記少なくとも1つの第1の磁性導電トラック(110)と前記少なくとも第2の磁性導電トラック(120)と前記少なくとも1つの測定装置とが磁気測定回路を形成することを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 前記少なくとも1つの励磁磁石は、前記磁気測定回路の一部として形成されることを特徴とする、請求項6に記載の磁場センサ(100、100A、100B)。
- 圧力センサおよび/または距離センサとしての、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁場センサ(100、100A、100B)の使用。
- フライス加工用、旋削用もしくは打抜き用工具、または鋳造用もしくは射出成形用工具などの、特に材料加工装置の工具、工具挿入、閉鎖機構および押圧体における請求項8に記載の使用。
- 少なくとも第1の磁性導電トラック(110)および少なくとも第2の磁性導電トラック(120)が、距離を置いて、かつ監視対象の部品(200)への電気めっきによって適用されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁場センサ(100、100A、100B)の製造方法。
- 前記少なくとも1つの第1の磁性導電トラック(110)および前記少なくとも1つの第2の磁性導電トラック(120)は、軟磁性合金、例えばニッケル鉄合金からなることを特徴とする、請求項10に記載の製造方法。
- 前記少なくとも1つの導電トラック(110、120)が適用される前に、好ましくは銅、スズ、亜鉛もしくはこれらの元素の2つ以上の合金、もしくは鉄金属とリンとの非磁性合金からなる群から選択される非磁性層(300)が、基材、特に監視対象の前記部品(200)に適用されることを特徴とする、請求項10または11に記載の製造方法。
- 前記少なくとも1つの励磁磁石が、電気めっきによって前記部品(200)に適用されることを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一項に記載の製造方法。
- コバルト−ニッケル−リン、コバルト−ニッケル−マンガン−リン、コバルト−ニッケル−レニウム−リン、鉄−白金、コバルト−白金、およびビスマス−マンガンなどの合金からなる群から選択される永久磁石合金は、電気めっきによって基板上に堆積されることを特徴とする、請求項13に記載の製造方法。
- 基板への電気めっき中に、永久磁石の微粒子もしくはナノ粒子が非磁性の金属マトリックスに組み込まれることを特徴とする、請求項14に記載の製造方法。
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