JPS6230005Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6230005Y2
JPS6230005Y2 JP1981062537U JP6253781U JPS6230005Y2 JP S6230005 Y2 JPS6230005 Y2 JP S6230005Y2 JP 1981062537 U JP1981062537 U JP 1981062537U JP 6253781 U JP6253781 U JP 6253781U JP S6230005 Y2 JPS6230005 Y2 JP S6230005Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
illumination
annular
sample surface
light
objective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1981062537U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58133115U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6253781U priority Critical patent/JPS58133115U/ja
Publication of JPS58133115U publication Critical patent/JPS58133115U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6230005Y2 publication Critical patent/JPS6230005Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Diaphragms For Cameras (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は顕微鏡の落射暗視野照明装置の改良に
関するものである。
従来の顕微鏡の落射暗視野照明装置は第1図に
示すような構成で、光源装置よりの平行光束2を
円環状表面反射鏡1により反射せしめ、対物レン
ズ3の光軸と同軸に対物レンズ3の周囲を通つて
供給され円環状集光レンズ4により試料面5を照
射するように構成されている。そして試料面5で
乱反射を起こした光だけが対物レンズ3に入るよ
うにすることによつてまつ暗な視野中に輝く試料
の微細構造を観察するようにしたものである。こ
のような従来の落射暗視野照明装置は、円環状の
光束を集光するための円環状集光レンズを備えて
いるが、光源の照明むらや照明系レンズの収差等
の影響によつて視野の照明むらが多かつた。この
欠点を除くために円環状集光レンズ4の一方の面
をフロストまたはレモンピールに仕上げることに
より照明光に軽い散乱を起こさせ、これによつて
視野の照明むらをなくすようにしていた。その結
果、照明むらは除去されるが観察視野以外の範囲
まで照明光が不必要に広がり、その一部の光が直
接反射光として対物レンズに入射し、これがフレ
アーとなつて像のコントラストを害することにな
る。このように照明光が不必要に広がるのを防ぐ
ため、フロスト面等の散乱部を円環状集光レンズ
4の表面ではなく、より光源に近い位置にするた
めに、円環状集光レンズ4よりも光源側に円環状
散乱部材を配置するようにした照明装置が考案さ
れている。しかしこの照明装置では集光レンズよ
りも前の光路中にて照明光が散乱光となるために
円環状集光レンズ4の光軸に平行かそれに近い光
線群のみが集光レンズに達して集光され照明に寄
与し、他は照明に寄与しないため、照明系として
の効率が悪く、暗い照明しか得られない。また円
環状散乱部材を用いているので部品の数が多くな
りコスト高になる欠点も有している。したがつて
実際上は照明系レンズや集光レンズのコスト面で
の制約もあつて照明光を試料面上の実視野にのみ
コントロールすることは困難であつて試料面での
照明光の不必要な広がりは発生しある程度のフレ
アーは妥協しているのが現状である。
本考案は以上の点に鑑みなされたもので対物レ
ンズの先端部付近に散乱面を有する円環状反射鏡
又は環状レンズ等の集光部材を配置すると共に散
乱面より試料面までの照明光路中に光路を一部制
限する絞りを配置した落射暗視野観察用照明装置
を提供するものである。
以下本考案の具体的内容を図示した実施例にも
とづき説明する。第2図は対物レンズの光軸8を
含んで試料面5に垂直な平面で一部(光軸より左
半分)を切断して示した図面で、第1図の従来例
と同様に光源よりの平行光束2は対物レンズ3の
光軸8と同軸に環状に供給される。対物レンズの
試料面に近い側には対物レンズ3を囲むようにし
て円環状ミラー6が配置され、このミラー6は例
えば黄銅製であつてその反射面6aには凹凸が与
えてある。したがつて光束2はこの円環状ミラー
6の反射面6aにて反射されて全体としては試料
試料面5の中央に向けられ又凹凸によつて散乱さ
れる。又この円環状ミラー6の試料面5に近い部
分には絞り6bが一体に形成されている。7は対
物レンズ3の枠を保持している保持筒でその試料
面5側の先端付近には対物レンズの先端より先に
照明光路まで伸びたパイプ7aが形成されてい
る。そしてこのパイプ7aと絞り6bとによつて
反射面6aにて反射し散乱された光が不必要に広
がるのを制限する役目をもたせてある。
このような構成であるので平行光束2は円環状
ミラー6の反射面6aにて反射され散乱された後
試料面に達するがその際絞り6bとパイプ7aと
により光束が制限され、実際に試料面5に達する
照明光は実視野にのみ制限される。
以上説明したように本考案照明装置によれば照
明光を環状ミラーと試料面との間の光路中で絞る
ようにしたので正確に実視野のみを照明するよう
にコントロールでき、フレアーの少ない観察像を
得ることができる。したがつて照明むらを除去す
るために照明光に与える散乱作用を試料に近い光
路中で行なうことができるので照明ロスの少ない
明るい視野が得られる。更に構成上追加する部品
が不要であるので安価になし得る。
尚環状ミラーをフロスト面を有する集光レンズ
におきかえてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の落射暗視野観察用照明装置の構
成を示す図、第2図は本考案の実施例の一部断面
した正面図である。 3……対物レンズ、5……試料面、6……円環
状ミラー、7……保持筒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの光軸と同軸にこれを囲むように設
    けられた円環状ミラーにより供給される円環状の
    照明光束を対物レンズの先端付近に配置した集光
    部材並びに散乱部材にて集光、散乱させ斜めより
    試料面を散乱光にて照明するようにした落射暗視
    野観察用照明装置において、前記散乱部材から試
    料面までの間の照明光路中に前記円環状の照明光
    束の外側および内側の光束をそれぞれ制限する二
    つの絞りを設け、円環状ミラーの延長部で試料面
    に近い部分を外側光束を制限する絞りとして使用
    し、保持筒のパイプの先端部を内側光束を制限す
    る絞りとして使用することを特徴とする落射暗視
    野観察用照明装置。
JP6253781U 1981-04-28 1981-04-28 落射暗視野観察用照明装置 Granted JPS58133115U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6253781U JPS58133115U (ja) 1981-04-28 1981-04-28 落射暗視野観察用照明装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6253781U JPS58133115U (ja) 1981-04-28 1981-04-28 落射暗視野観察用照明装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58133115U JPS58133115U (ja) 1983-09-08
JPS6230005Y2 true JPS6230005Y2 (ja) 1987-08-01

Family

ID=30072687

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6253781U Granted JPS58133115U (ja) 1981-04-28 1981-04-28 落射暗視野観察用照明装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58133115U (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009003476A (ja) * 1997-09-19 2009-01-08 Olympus Corp 顕微鏡の暗視野照明装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4511051Y1 (ja) * 1969-07-30 1970-05-19

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5647605Y2 (ja) * 1976-09-30 1981-11-07

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4511051Y1 (ja) * 1969-07-30 1970-05-19

Also Published As

Publication number Publication date
JPS58133115U (ja) 1983-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7796276B2 (en) Apparatus and method for examining a curved surface
JPS5855483B2 (ja) 明視野照明および暗視野照明のための落射照明装置
JPS5836441B2 (ja) 手術用照明燈
JPH02289808A (ja) 照明光学系
JPS6230005Y2 (ja)
JPH02232614A (ja) 暗視野顕微鏡の照明方法とその装置
JPS6344813Y2 (ja)
JP2569641Y2 (ja) 顕微鏡照明光学系
JP2773607B2 (ja) 顕微鏡照明装置
JPS5843416A (ja) ミラ−集光型逆エキスパンドアフオ−カル照明光学系
KR100427134B1 (ko) 영상프레임에 빛을 분산시키기 위한 장치
JPS6134488Y2 (ja)
JPH07281098A (ja) 暗視野照明装置を備えた顕微鏡
JPS6128178Y2 (ja)
JPH04334Y2 (ja)
JP2000347107A (ja) 照明光学系
JPH09166519A (ja) 表面観察光学系
JPS57186106A (en) Inspection device for surface
JPH07225342A (ja) 顕微鏡の照明装置
JPH0463321A (ja) 照明系および該照明を備えた画像表示装置
JP2742926B2 (ja) 反射型照明光学装置
US7388322B2 (en) Illumination device for microscopes
JP2529884Y2 (ja) 実体顕微鏡の照明装置
JPS5950417A (ja) 暗視野照明装置
JPH116802A (ja) 検査装置