JPS62298187A - 光素子用キヤツプの製造方法 - Google Patents
光素子用キヤツプの製造方法Info
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- JPS62298187A JPS62298187A JP61141876A JP14187686A JPS62298187A JP S62298187 A JPS62298187 A JP S62298187A JP 61141876 A JP61141876 A JP 61141876A JP 14187686 A JP14187686 A JP 14187686A JP S62298187 A JPS62298187 A JP S62298187A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0203—Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
の1 \
本発明は、受光素子などの光素子用キャップの製造方法
に関し、特に仕上メッキされた後の処理方法に関する。
に関し、特に仕上メッキされた後の処理方法に関する。
従去坐孜血
光素子用キャップは、矩形や円形の窓孔を有する金属シ
ェルの窓孔周辺部に、透光性ガラス板を低融点ガラスで
気密に接着固定した構造が一般的で、その−例を第2図
及び第3図を参照して説明する。
ェルの窓孔周辺部に、透光性ガラス板を低融点ガラスで
気密に接着固定した構造が一般的で、その−例を第2図
及び第3図を参照して説明する。
第2図は光素子用キャップ(1)の平面図、第3図は第
2図のA−A線に沿う拡大断面図で、同図において、(
2)は矩形のコバール(Fe−Ni−Co合金)製金属
シェルで、矩形の天板部(2a)と、天板部(2a)の
4辺より下方に絞り加工された筒部(2b)と、筒部(
2b)の下端より外に延びるフランジ部(2c)から成
り、天板部(2a)の中央部に矩形の窓孔(3)が形成
される。(4)は金属シェル(2)の窓孔(3)を塞ぐ
透光性のガラス板で、コバール製金属シェル(2)と同
様な熱膨張係数のホウケイ酸ガラスの板である。(5)
は金属シェル(2)の天板部(2a)と筒部(2b)の
コーナ部分内側にガラス板(4)を気密に接着、固定す
る酸化鉛を主成分とする低融点ガラスである。尚、金属
シェル(2)にガラス板(4)を樹脂系接着材で接着し
たものもあるが、接着強度、気密性の点で上述低融点ガ
ラス(5)による接着が優れる(特開昭58〜5648
2号公報)。
2図のA−A線に沿う拡大断面図で、同図において、(
2)は矩形のコバール(Fe−Ni−Co合金)製金属
シェルで、矩形の天板部(2a)と、天板部(2a)の
4辺より下方に絞り加工された筒部(2b)と、筒部(
2b)の下端より外に延びるフランジ部(2c)から成
り、天板部(2a)の中央部に矩形の窓孔(3)が形成
される。(4)は金属シェル(2)の窓孔(3)を塞ぐ
透光性のガラス板で、コバール製金属シェル(2)と同
様な熱膨張係数のホウケイ酸ガラスの板である。(5)
は金属シェル(2)の天板部(2a)と筒部(2b)の
コーナ部分内側にガラス板(4)を気密に接着、固定す
る酸化鉛を主成分とする低融点ガラスである。尚、金属
シェル(2)にガラス板(4)を樹脂系接着材で接着し
たものもあるが、接着強度、気密性の点で上述低融点ガ
ラス(5)による接着が優れる(特開昭58〜5648
2号公報)。
このようなキャップ(1)は金属シェル(2)にガラス
板(4)を低融点ガラス(5)で接着固定した後、金属
シェル(2)の露出面を塩酸などで酸洗いして脱脂処理
してから、無電解ニッケルメッキなどの仕上メッキを施
して製品化される。最後の仕上メッキは金属シェル(2
)の酸化による発錆防止や、外観を良(する目的で行わ
れる。また、キャップ(1)は、!?’S3Eの鎖線で
示すまうに、上面に受光素子などの光素子(6)を固定
した金属基板(7)上に、金属シェル(2)のフランジ
部(2C)を気密に固定して使用される。
板(4)を低融点ガラス(5)で接着固定した後、金属
シェル(2)の露出面を塩酸などで酸洗いして脱脂処理
してから、無電解ニッケルメッキなどの仕上メッキを施
して製品化される。最後の仕上メッキは金属シェル(2
)の酸化による発錆防止や、外観を良(する目的で行わ
れる。また、キャップ(1)は、!?’S3Eの鎖線で
示すまうに、上面に受光素子などの光素子(6)を固定
した金属基板(7)上に、金属シェル(2)のフランジ
部(2C)を気密に固定して使用される。
< 2 しよ゛と る口 1点
キャップ(1)のガラス封着後の酸洗いは、後の仕上メ
ッキを良好に行う上でM5な工程であり、また、仕上メ
ッキもキャップ(1)の商品的価値、信頼性を高める上
で重要な工程であるが、この酸洗い工程で使用される塩
酸などの洗浄液や、仕上メッキ工程で使用されるメッキ
液の酸に、キャップ(1)の低融点ガラス(5)の表層
部が化学反応して、第3図に示すように、低融点ガラス
(5)のキャップ内外に露出した表面に白濁した被!5
!(8)が生成されて付着することがある。この被1)
j1(8)は、低融点ガラス(5)の主成分である酸化
鉛が酸に反応して生成された水酸化鉛を主とする反応生
成物や、他の不純物が粉末状になって低融点ガラス(5
)の表面に付着した、脆い性質のものである。
ッキを良好に行う上でM5な工程であり、また、仕上メ
ッキもキャップ(1)の商品的価値、信頼性を高める上
で重要な工程であるが、この酸洗い工程で使用される塩
酸などの洗浄液や、仕上メッキ工程で使用されるメッキ
液の酸に、キャップ(1)の低融点ガラス(5)の表層
部が化学反応して、第3図に示すように、低融点ガラス
(5)のキャップ内外に露出した表面に白濁した被!5
!(8)が生成されて付着することがある。この被1)
j1(8)は、低融点ガラス(5)の主成分である酸化
鉛が酸に反応して生成された水酸化鉛を主とする反応生
成物や、他の不純物が粉末状になって低融点ガラス(5
)の表面に付着した、脆い性質のものである。
このような被膜(8)は白色の水酸化鉛を含むために白
濁した色であり、これが黒色の酸化鉛を主成分とした低
融点ガラス(5)の表面に付着すると目立つ、そこで、
キャップ(1)を仕上メッキ処理した後で、水洗いや超
音波洗浄して、低融点ガラス(5)に付着した被!51
! (8)を取り除くようにしているが、被膜(8)を
低融点ガラス(5)から完全に除去することができず、
低融点ガラス(5)の内外の表面に被膜(8)が疎に残
り、これがキャップ(1)の外観を悪くして商品的価値
を悪くしていた。
濁した色であり、これが黒色の酸化鉛を主成分とした低
融点ガラス(5)の表面に付着すると目立つ、そこで、
キャップ(1)を仕上メッキ処理した後で、水洗いや超
音波洗浄して、低融点ガラス(5)に付着した被!51
! (8)を取り除くようにしているが、被膜(8)を
低融点ガラス(5)から完全に除去することができず、
低融点ガラス(5)の内外の表面に被膜(8)が疎に残
り、これがキャップ(1)の外観を悪くして商品的価値
を悪くしていた。
また、低融点ガラス(5)のキャップ内での表面に残っ
た被TtJ(8)は、キャップ(1)が光素子(6)を
有する金属基板(7)上に固定されて使用される段階で
、外部からの衝撃力などでもって低融点ガラス(5)か
ら剥がれて、光素子(6)上に異物として落下し、光素
子(6)の特性劣下や誤動作などの原因となることがあ
った。
た被TtJ(8)は、キャップ(1)が光素子(6)を
有する金属基板(7)上に固定されて使用される段階で
、外部からの衝撃力などでもって低融点ガラス(5)か
ら剥がれて、光素子(6)上に異物として落下し、光素
子(6)の特性劣下や誤動作などの原因となることがあ
った。
ロ 占 ゛ るための
本発明は、上記のようなキャップにおける低融点ガラス
表面に付着した酸との反応生成物などによる被膜を完全
に取り除くことを目的とし、この目的を、金属シェルの
窓孔周辺部にガラス板を低融点ガラスで接着固定した光
素子用キャップを酸洗いして、酸化防止の仕上メッキ処
理した後、次亜燐酸ソーダ溶液に浸漬して洗浄すること
により達成したものである。
表面に付着した酸との反応生成物などによる被膜を完全
に取り除くことを目的とし、この目的を、金属シェルの
窓孔周辺部にガラス板を低融点ガラスで接着固定した光
素子用キャップを酸洗いして、酸化防止の仕上メッキ処
理した後、次亜燐酸ソーダ溶液に浸漬して洗浄すること
により達成したものである。
立且
金属シェルに板ガラスを低融点ガラスで接着したキャッ
プを酸洗いし、仕上メッキした後、次亜燐酸ソーダ溶液
に浸漬すると、低融点ガラス表面に付着した酸との反応
生成物等から成る被膜における反応生成物が還元され、
また、被膜の反応生成物以外のものは低融点ガラスから
剥落したり、剥落し易くなる。
プを酸洗いし、仕上メッキした後、次亜燐酸ソーダ溶液
に浸漬すると、低融点ガラス表面に付着した酸との反応
生成物等から成る被膜における反応生成物が還元され、
また、被膜の反応生成物以外のものは低融点ガラスから
剥落したり、剥落し易くなる。
災止皿
以下、本発明方法の具体例を、第2図及び第3図のキャ
ップ(1)の製造方法において説明する。
ップ(1)の製造方法において説明する。
ガラス封着されたキャップ(1)を酸洗いし、仕上メッ
キ処理する。すると、キャップ(1)の低融点ガラス(
5)の内外表面に白濁した被膜(8)が形成されて付着
する。そこで、本発明においては、このキャップ(1)
を、第1図に示すように、槽(9)内の次亜燐酸ソーダ
溶液(10)に浸漬する。この次亜燐酸ソーダ溶液(1
0)は、例えば次亜燐酸ソーダが10%のもので、90
℃に保温され、この中にキャップ(1)を10〜15分
間浸漬する。すると、キャップ(1)の低融点ガラス(
5)の表面に付着した被膜(8)の白濁が消え、被膜(
8)の大部分が消滅したかの如くなり、且つ、被膜(8
)の残ったものは低融点ガラス(5)の表面から剥落す
るか、剥落し易くなる。このことは実験により実証され
たことであり、原因としては次のことが考えられる。
キ処理する。すると、キャップ(1)の低融点ガラス(
5)の内外表面に白濁した被膜(8)が形成されて付着
する。そこで、本発明においては、このキャップ(1)
を、第1図に示すように、槽(9)内の次亜燐酸ソーダ
溶液(10)に浸漬する。この次亜燐酸ソーダ溶液(1
0)は、例えば次亜燐酸ソーダが10%のもので、90
℃に保温され、この中にキャップ(1)を10〜15分
間浸漬する。すると、キャップ(1)の低融点ガラス(
5)の表面に付着した被膜(8)の白濁が消え、被膜(
8)の大部分が消滅したかの如くなり、且つ、被膜(8
)の残ったものは低融点ガラス(5)の表面から剥落す
るか、剥落し易くなる。このことは実験により実証され
たことであり、原因としては次のことが考えられる。
低融点ガラス(5)の表面の被膜(8)は、低融点ガラ
ス(5)中の酸化鉛PbOが酸と反応して生成された水
酸化鉛Pb (OH) 2が主成分であり、従って、キ
ャップ(1)を次亜燐酸ソーダ溶液(10)に浸漬する
と、被膜(8)の水酸化鉛Pb (OH) zが次亜燐
酸ソーダNaH2PO2で次式のように還元される。
ス(5)中の酸化鉛PbOが酸と反応して生成された水
酸化鉛Pb (OH) 2が主成分であり、従って、キ
ャップ(1)を次亜燐酸ソーダ溶液(10)に浸漬する
と、被膜(8)の水酸化鉛Pb (OH) zが次亜燐
酸ソーダNaH2PO2で次式のように還元される。
NaH2PO2+Pb (OH) 2 →NaH2PO
3+pb。
3+pb。
+H2
この還元反応で、被膜(8)の水酸化鉛Pb (OH)
zが酸化鉛PbOに戻り、これは低融点ガラス(5)
と同じ成分で、低融点ガラス(5)に同化するか、低融
点ガラス(5)の表面に強固に付着すると考えられる。
zが酸化鉛PbOに戻り、これは低融点ガラス(5)
と同じ成分で、低融点ガラス(5)に同化するか、低融
点ガラス(5)の表面に強固に付着すると考えられる。
また、上記還元反応で被膜(8)の白濁が消え、更に、
被膜(8)の主成分が無(なった残留物は、低融点ガラ
ス(5)の表面から自然に剥落するか、剥落し易い状態
で残る。
被膜(8)の主成分が無(なった残留物は、低融点ガラ
ス(5)の表面から自然に剥落するか、剥落し易い状態
で残る。
このように、キャップ(1)を次亜燐酸ソーダ溶液(1
0)に浸漬した後、キャップ(1)を水洗、或は超音波
洗浄して、キャップ(1)の低融点ガラス(5)の表面
に付着している上記被膜(8)の残留物を取り除くと、
低融点ガラス(5)の表面から上記被膜(8)が完全に
取り除かれたものが得られる。尚、キャップ(1)の次
亜燐酸ソーダ溶液浸漬後の洗浄は、超音波洗浄が短時間
で、より完全に洗浄する上で有効である。
0)に浸漬した後、キャップ(1)を水洗、或は超音波
洗浄して、キャップ(1)の低融点ガラス(5)の表面
に付着している上記被膜(8)の残留物を取り除くと、
低融点ガラス(5)の表面から上記被膜(8)が完全に
取り除かれたものが得られる。尚、キャップ(1)の次
亜燐酸ソーダ溶液浸漬後の洗浄は、超音波洗浄が短時間
で、より完全に洗浄する上で有効である。
犬■皇立来
本発明によれば、光素子用キャップをガラス封着した後
、酸洗い、仕上メッキを施した際にキャップの低融点ガ
ラスの表面に付着して残る白濁したH臭を、完全に、容
易に消去することができ、外観の良い商品的価値に優れ
た、また、使用状態が安定した信頼度の高い光素子用キ
ャップの製造が可能となる。
、酸洗い、仕上メッキを施した際にキャップの低融点ガ
ラスの表面に付着して残る白濁したH臭を、完全に、容
易に消去することができ、外観の良い商品的価値に優れ
た、また、使用状態が安定した信頼度の高い光素子用キ
ャップの製造が可能となる。
第1図は本発明方法を説明するための実施装置の概略側
断面図である。 第2図は光素子用キャップの一例を示す平面図、第3図
は第2図のA−A線に沿う拡大断面図である。 (1)−m−光素子用キャップ、(2)・−・・金属シ
ェル、(3) −窓孔、(4)−ガラス板、 (5)・−低融点ガラス、 (10) −次亜燐酸ソーダ溶液。
断面図である。 第2図は光素子用キャップの一例を示す平面図、第3図
は第2図のA−A線に沿う拡大断面図である。 (1)−m−光素子用キャップ、(2)・−・・金属シ
ェル、(3) −窓孔、(4)−ガラス板、 (5)・−低融点ガラス、 (10) −次亜燐酸ソーダ溶液。
Claims (1)
- (1)金属シェルの窓孔周辺部にガラス板を低融点ガラ
スで接着固定した光素子用キャップを酸洗いして、酸化
防止の仕上メッキ処理した後、次亜燐酸ソーダ溶液に浸
漬して洗浄する工程を含むことを特徴とする光素子用キ
ャップの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61141876A JPS62298187A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光素子用キヤツプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61141876A JPS62298187A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光素子用キヤツプの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62298187A true JPS62298187A (ja) | 1987-12-25 |
Family
ID=15302217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61141876A Pending JPS62298187A (ja) | 1986-06-18 | 1986-06-18 | 光素子用キヤツプの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62298187A (ja) |
-
1986
- 1986-06-18 JP JP61141876A patent/JPS62298187A/ja active Pending
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