JPS62297504A - 電気的油圧システム及び電気的油圧サ−ボ弁組立体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明は、電気的油圧サーボシステムに関し、より具
体的には電気的油圧サーボシステムにおいて使用する電
気的油圧サーボ弁組立体に関する。

〔従来の技術〕

複数のサーボアクチュエータ、モータ、ポンプなどの電
気的油圧装置で構成されている電気的油圧システムにお
いては、すべての電気的油圧装置を１つの遠隔主制御器
に接続し、すべての電気的油圧装置の動作を統合して１
つの所望の仕事を実行するというのが一般的なやり方で
ある。例えば、１つの工作機械ラインの統率された幾つ
かの工程段においてモータとアクチュエータを使用し、
一連のワークステーションにおいて製品の自動転送／機
械加工を行う。主制御器は、個別のデジタル−アナログ
変換器などを介して様々な遠隔の電気的油圧装置に接続
し、同装置に制御信号を供給するプログラマブル・コン
トローラとすることができる。閉ループシステムの場合
は、電気的油圧装置の動作をモニタし、アナログ−デジ
タル変換器を介して主制御器に電気的油圧装置の動作を
指示する信号を送る感知器を各電気的油圧装置に備え付
ける。

〔発明の解決しようとする問題点〕

それ故、複数の電気的油圧装置で構成するシステムにお
いては、各電気的油圧装置に個別に制御信号を供給し、
各電気的油圧装置から感知信号を主制御器へ返送するた
めの大量の電気導体が必要になる。導体の中には、シス
テムの設計／作動に干渉したり、不具合を起こしたりす
るものがある。主制御器との間で信号を送受すルｄ／ａ
、　ａ／ｄ変換器バンクがシステム全体のコストを押し
上げ、複雑化する。恐らく最も重要なこととして、シス
テムのパーフォマンスは主制御器の能力によって制限さ
れる。例えばプログラマブル・コントローラは、１つの
電気的油圧装置の感知信号を走査し、それによって制御
信号を計算し、同制御信号を遠隔の電気的油圧装置へ転
送するのに１００ｍ５を要する。各遠隔の電気的油圧装
置に対して例えば５ｍｓのレスポンス時間を必要とする
高パーフォマンスな応用例では、プログラマブル・コン
トローラにこのような大きな負担を負わせることはでき
ない。

本発明は、このような状況に鑑みて、高バーフォマンス
な適用例に要求される速いレスポンス時間を備えており
、かつコストが安く、在来システムに特有の複雑性が少
ない電気的油圧サーボシステムを提供することを基本目
的とする。

本発明は、より具体的には、各電気的油圧装置をマイク
ロプロセッサを本体とする制御手段を介して中央（主）
制御器に接続し、複数の電気的油圧装置の制御を分散さ
せつつ、電気的油圧装置全体の統合を維持する電気的油
圧サーボシステムを提供することを目的とする。

回転アクチュエータ、線形アクチュエータ、油圧モータ
などの油圧装置の動作を制御する手段として、電気的油
圧サーボ弁が一般に使用されている。電気的油圧サーボ
弁は、個別に動作させるか１つの統合システムの一部と
して動作させるかの別に関係なく、先述の通り遠隔の主
電子制御器で制御される。このことから本発明はまた、
マイクロプロセッサを本体とするプリント回路板搭載の
電子制御器で制御する電気的油圧サーボ弁組立体を提供
することを目的とする。本発明はまた、電気的油圧装置
の局所閉ループ制御を容易化するために、サーボ弁を関
連する電気的油圧装置にセットした感知器に接続する手
段を備えており、また他の電気的油圧装置との整合を確
保するために遠隔の主制御器に接続する手段を備えてい
る電気的油圧サーボ弁組立体を提供することを目的とす
る。

線形アクチュエータなどの油圧アクチュエータに接続し
たサーボ弁システムにおいては、米国特許第３．８９８
．５５５号に開示されており、ニューヨーク州プレイン
ビューのテンポソニックス社から発売されている電気音
響直線移動変換器を用いてアクチュエータの位置をモニ
タするというのが一般式なやり方である。この変換器に
は、アクチュエータのピストンに接続しており、同ピス
トンと共に動くマグネットと、マグネットの移動路に隣
接している電気音響導波管とがある。導波管に通ってい
る線に電流パルスを投入し、マグネットと反応させて導
波管内に音響信号を発生させる。この音響信号をカプラ
ー（モード変換器）で受け、電流パルスを発生させてか
ら音響信号を受けるまでの時間によって導波管に対する
マグネットの位置を知る。この変換器は堅牢で、アクチ
ュエータのシリンダに直に取り付けるが、アクチュエー
タのピストンに物理的ではなく磁気的に接続し、アクチ
ュエータのピストンの位置を正確に指示することができ
る。しかし、アクチュエータのピストンの位置を読み取
る在来の電子制御器は構造が非常に複雑で、非常に高価
である。在来の電子制御器はまた独立したパッケージと
して納入され、これを正しい位置に設置し、アクチュエ
ータの使用環境内において防護しなければならない。

本発明はまた、このような事情に鑑みて、前記タイプの
作動位置変換器に接続する安価な電子制御器を提供する
ことを目的とする。本発明はまた、サーボ弁組立体にプ
リント回路板搭載の電子制御器を備えるという本発明の
前記の諸口的の従属目的として、コンパクトで、サーボ
弁のプリント回路板搭載電子制御器パッケージの中に含
めることのできる前記タイプの変換器インタフェース電
子ユニットを提供することを目的とする。

電気的油圧サーボ弁制御の別の問題としては、弁コイル
に対する温度の影響を克服しなければらないことがある
。コイルの力は電流に比例する。弁コイルは定電流増幅
器で駆動するから、温度によりコイル抵抗の変化は殆ど
無視できる。

しかし定電流増幅器は嵩が大きく高価である。

サイズ、価格の面からは定電圧増幅器が望ましいが、電
流と力の制御が問題になってくる。本発明はまた、温度
に対する鋭敏性が低く、前記タイプの定電圧増幅器と併
用できる弁コイルシステムを提供することを目的とする
。本発明はまた、安価で、電磁干渉を起こしにくく、負
荷部の安全性が高い改良型弁駆動電子ユニットを提供す
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、遠隔主制御器に接続されている複数の電気的
油圧装置を備えている電気的油圧サーボ弁制御システム
にて、各電気的油圧装置が、主制御器から制御信号を受
けて格納し、電気的油圧装置の動作を指示する信号を電
気的油圧装置感知器から受け、感知信号と主制御器の制
御信号を比較し、それによって生成したエラ一信号に従
って電気的油圧装置を動作させるマイクロプロセッサを
本体とするプリント回路板搭載電子制御器を備えている
ことを特徴とするシステムを提供する。好ましくは、主
制御器との間で信号を送受し、システムの動作を整合さ
せる制御信号を主制御器から受け、電気的油圧装置の状
態主制御器に報告する双方向伝送手段を、電気的油圧装
置に係合させるプリント回路板搭載電子制御器に備える
。本発明の好ましい実施態様における電子制御器にはさ
らに、電気的油圧装置のマイクロプロセッサに個別に選
択的にアドレッシングし、電気的油圧装置制御マイクロ
プロセッサのメモリーに格納されている複数の制御プロ
グラムの中から特定のプログラムを遠隔から選択する手
段を備える。パルス幅変調エラ一信号で電気的油圧装置
を制御する本発明の好ましい実施態様においては、マイ
クロプロセッサを本体とする電子制御器にさらに、電気
的油圧装置に印加されるパルス幅変調制御信号をモニタ
し、該信号が印加されなければプログラムを再起動する
ウォッチドッグ・タイマーを備える。

本発明はまた、作動流体供給源と、アクチュエータ、油
圧モータなどの油圧負荷に接続する開口を備えているマ
ニホルドを備えている電気的油圧サーボ弁組立体を提供
する。マニホルド内において弁エレメントの位置を変え
ることによってマニホルドの開口を通過する流体のフロ
ーを制御する。弁制御信号を受けるトルク・モータがマ
ニホルドに取り付けられており、固定子の信号に反応し
てマニホルド内における弁エレメントの位置を変える電
機子に該トルク・モータが電磁的に接続されている。マ
イクロプロセッサを本体とする電子制御器が、同制御器
と電機子＝固定子集合体の両方を包囲し防護している被
覆体の下において、マニホルドに取り付けられている。

電子制御器には、外部制御信号発生源から制御信号を受
けて格納し、弁制御信号を発生して弁トルク・モータに
印加する手段が備えられている。本発明の好ましい実施
態様においては、前記のアドレッシング手段、双方向伝
送手段並びにウォッチドッグ・タイマーをマイクロプロ
セッサを本体とする電子制御ユニットに備える。

本発明はまた、サーボ弁＝線形アクチュエータ組立体に
おいて、前記テンポソニックス社製電気音響変換器の動
イ乍をモニタする改良型回路を提供する。該変換器の動
作をモニタする電子ユニットには、マイクロプロセンサ
を本体とする電子制御器から送られてくる測定命令に応
じて初発電流パルスを導波管内に投入し、これと同時に
カウンタをリセットする手段を備える。

カウンタは、導波管から帰還音響パルスを受けると自動
的に増加し、導波管に電流パルスが再投入される。カウ
ンタの出力は、導波管内における投入／帰還回数を設定
し、中断信号を発生してマイクロプロセンサを本体とす
る電子制御器に印加し、設定した循環数に到達したこと
、並びに初発測定命令信号と中断信号との間の経過時間
を測定するクロックにアクチュエータ位置読み取り値が
格納されたことを指示する。タロツク出力は格納され、
命令が出れば制御マイクロプロセンサへ送られる。ここ
で紹介する本発明の好ましい実施態様においては、該感
知器電子ユニットが、マイクロプロセッサを本体とする
電子制御器と弁駆動電子ユニ７）と一体化され、モニタ
されるアクチュエータの接続されている電気的油圧サー
ボ弁組立体の一部としての１つのコンパクトなパッケー
ジになっている。

本発明の前記以外の目的、特徴、利点は、添付図面を参
照しながら以下に展開することろの発明内容の詳述並び
に特許請求の範囲の記述を通して明らかにされる。

〔実　施　例〕

本発明の第１実施態様としての分散サーボ制御を特徴と
する電気的油圧システム２０を第１図に示す。複数の電
気的油圧装置２２ａ−２２ｎの各々において、線形アク
チュエータ２４が負荷に接続されている。アクチュエー
タ２４は各々個別にサーボ弁２６によって制御される。

複数のサーボ弁２６が通常の方式でポンプ２８を介して
作動流体供給源３０に接続されている。サーボ弁２６に
はマイクロプロセッサを本体とする電子弁制御器３２が
係合している。該電子弁制御器３２は、ここに紹介する
好ましい実施態様においては、サーボ弁２６と一体化さ
れた１つのパッケージ（組立体）３４になっている。弁
制御器３２は、アクチュエータ２４或いはまたアクチュ
エータ２４に接続している負荷の動作を指示するフィー
ドバック信号を受ける。弁制御器３２に主制御器３６が
接続されている。主制御器３６は、弁制御器３２に制御
信号を供給し、主制御器３６に格納されているプログラ
ムに従ってアクチュエータ２４の動作を整合する働きを
する。第１図には２つの電気的油圧装置２２ａ、２２ｎ
　Ｌか示していないが、実際には電気的油圧装置の数は
これよりもはるかに多くすることができる。また、電気
的油圧システム並びにサーボ弁は、第１図に示す線形ア
クチュエータ２４だけに限定されることはなく、ポンプ
、油圧モータ、回転アクチュエータなどのイ也の制御自
在な油圧装置とすることも可能である。

本発明に従って、マイクロプロセッサを本体とする弁制
御器３２が被覆体４０によって在来型のサーボ弁２６に
取り付けられているサーボ弁組立体３４を第２、第３図
に示す。サーボ弁２６には、ポンプ２８（第１図）、帰
還路３０並びにアクチュエータ２４に接続している開口
が下面に設けられているマニホルド４２がある。マニホ
ルド４２内を摺動するスプール４４が、フィルタ４６を
通って開口を通過する流体のフローを制御する。流体通
過開口から隔てて電磁トルク・モータ集合体４８がマニ
ホルド４２に取り付けられている；該電磁トルク・モー
タ集合体によって包囲されている電機子５０が、フラッ
パ５２によってスプール４４に接続されている。固定子
４８と電機子５０とから成る集合体く関連技術分野にお
いてトルク・モータ４９と通称されている）が固定子コ
イル５４に印加される信号に従ってスプール４４の位置
を摺動調節し、それによって弁の流体通過開口を通過す
る流体を制御する。弁制御器３２は、次の３つのプリン
ト回路板集合体が積層されている組立体である：感知器
フィードバックプリント回路板（第２．６Ａ、６Ｂ図）
、マイクロプロセッサプリント回路板５８（第２．５Ａ
、５Ｂ図）、電Ｒ／指示器／弁駆動体プリント回路板６
０（第２．７Ａ、７Ｂ図）。電源／指示器／弁駆動体プ
リント回路板６０は、被覆体３４の内側に取り付けられ
ているブラケット６２に取り付けられており、被覆体３
４の上面に平行に隣接している。プリント回路板５６．
５８は、第２図に示す如く、ブラケット６２の下にあっ
てトルク・モータ４９に隣接して、いる。プリント回路
板５ｇ−６０とブラケット６２は、間に適当なスペーサ
が介装されており、同スペーサによって図示の如く平行
に維持されている。弁制御器３２を主制御器３６（第１
図）に接続する第１コネクク６４が被覆体３４の側面に
取り付けられている。制御器３２（具体的にはゴ人知器
フィードバック印刷回路板５６）をアクチュエータ位置
感知器に接続する第２コネクタ６６が第１コネクタ６４
に隣接して被覆体４０に取り付けられている。被覆体４
０の上面の開口６８の外側には、制御器のＬＥＤ指示器
７４＜第２−４．７Ｂ図）を視認し、後述するところの
目的のために制御器ステーション・アクセス・スイッチ
７４にアクセスするための取り外し自在透明パネル７０
が取り付けられている。

サーボ弁の電Ｒ段を電磁機械トルク・モータで駆動する
パイロット段で制御する好ましい使用態様においては、
コイルの温度係数が小さく、温度係数の小さい線をコイ
ルに巻き付けることによって、単純な電圧モード駆動電
子ユニットを使用することができる。抵抗の温度係数が
５５０ｐｐｍ／　ｔ：の“６０合金”線を用いれば、温
度が３０℃上昇すればコイル抵抗が１．６５％増大する
（因みに在来の銅製コイルの場合は、温度が３０℃上昇
すればコイル抵抗は１２％増大する）。サーボ弁のコン
ポーネント自体が正利得シフトを示す好ましいサーボ弁
使用態様においては、コイル抵抗の温度係数を、弁の正
利得シフトをほぼ完全に補償するように設定することが
できる。サーボ弁の場合は、温度が３０℃上昇すれば利
得が１．５％増大する。従って本発明の対象であるサー
ボ弁は、この温度補償コイルを備えるだけで、電子補償
を行うことなく電圧モードで電気駆動することができる
。温度係数の小さい線材はまた銅線に比べて体抵抗が大
きく、一般に温度係数の低減と同程度である。そのため
、特定のコイル用スペースで同じコイルを駆動するには
、コイルの電力消失量が多くなるという犠牲を払ってよ
り高い電圧が必要になる。好ましいサーボ弁実施態様に
おいては、電力消失量は極めて少なく、この技術を活用
する理想的な機会が与えられる。この温度（／利得）補
償コイルは、好ましい使用態様として、電圧パルス幅（
ｖｏｌｔａｇｅｄｕｔｙ　ｃｙｃｌｅ）を加減してコイ
ルの平均電流を加減するパルス幅変調モードで使用する
こともできる。

アクチュエータ２４と位置変換器８０に接続されている
サーボ弁組立体３４のブロックダイヤグラムを第４図に
示す。マイクロプロセッサプリント回路板５８の電子制
御ユニットが主制御器３６（第１図）から命令入力を受
け、パルス幅変調出力を発生し、電源／指示器／弁駆動
体プリント回路板６０に取り付けられている増幅器７６
（第４．７Ｂ図）を介してサーボ弁トルク・モータ４９
のコイル５４に印加する。スイッチ７４は、好ましくは
、電源／指示器／駆動体プリント回路板６０に取り付け
、マイクロプロセッサプリント回路板５８に接続し、主
制御器２６が弁制御器３４との間で信号を送受するため
のアドレスをセットする在来型多極ディップスイッチ組
立体とすることができる。ＬＥＤ指示器７２の第１ＬＥ
０７８（第２−３．７Ｂ図）が、マイクロプロセッサプ
リント回路板５８によって一定の頻度で交互に付勢／消
勢され、サーボ弁組立体３４の動作継続を指示する。即
ち、ＬＥＤ７８が点灯し続けるか消灯し続ける場合は、
サーボ弁組立体、アクチュエータ２４の一方又は両方が
誤動作を起こしている。マイクロプロセッサプリント回
路板５８と主制御器３６（第１図）との間で信号が伝送
されている時は第２ＬＥＤ７９（第３．７Ｂ図）が付勢
される。アクチュエータピストン８４に円環マグネット
８２が取り付けられている作動体位置変換器８０を第４
図に示す。アクチュエータ２４のシリンダ８８に電気音
響導波管８６が取り付けられており、マグネット８２を
貫通している。導体９０が導波管９６内に突入しており
、感知器フィードバックプリント回路板５６に取り付け
られている位置フィードバック電子ユニットに接続され
ている。感知器フィードバックプリント回路板５６が導
体９０から電流パルスを受ける。モード変換器（カプラ
ー）９２が導波管８６内の音響信号に反応し、帰還電子
信号をフィードバック電子ユニット５６に供給する。先
述の通り、変換器８０の基本構造並びに作動原理は米国
特許第３．８９８．５５５号に詳述されている通りであ
る。

第５　Ａ　−７Ｂ図に弁制御器３２の電子ユニントを示
す；第５Ａ、５Ｂ図はマイクロプロセッサプリント回路
板５８を示し、第６Ａ、６Ｂ図は感知器フィードバック
プリント回路板５６を示し、第７Ａ、７Ｂ図は電源／指
示器／駆動体プリント回路板６０を示す。プリント回路
板５６−６０は、組立体３２内において、プリント回路
板に取り付けられているプラグＰとソケットＳによって
相互接続されている。第５Ａ−７Ｂ図において、相互接
続されているプラグＰとソケッ）Ｓに同じ番号を付けで
ある。即ち、第５Ａ図のプラグＰ２は第７Ａ図のソケッ
）Ｓ２に接続されている１０．。

第５Ａ−７Ｂ図において、集積回路の主要コンポーネン
トの標準番号を括弧に入れて示す（同番号はあくまでも
一例である）。抵抗器、コンデンサ、トランジスタなど
の個々のコンポーネントには慣例に従って通り番号を付
けたが、相異なる回路間において同番号が必ず同コンポ
ーネントを示すとは限らない。

第５Ａ、５Ｂ図を参照して、マイクロプロセンサプリン
ト回路板５８には、アドレス端子が直接又はラッチ１０
２を介してＲＯＭ１０４に接続されているマイクロプロ
セッサ１００がある。好ましくは、色々な動作モードに
おいてアクチュエータ２４を制御する１つ又は複数のプ
ログラムをファームウェアとしてＲＯＭ１０４に格納す
る。

制御プログラムは主制御器３６で選択する。マイクロプ
ロセッサ１００のタイミングを設定するクリスタル１０
６がマイクロプロセッサのクロック入力に接続されてい
る。差動受信器／送信器モジュール１０８（第５Ｂ図）
がコネクタ６４（第２図。

３．５Ｂ図）とマイクロプロセッサ送信／受信端子ＴＸ
／ＲＸとの間に接続されており、主制御器３６（第１図
）から送られてくる制御信号を受けて格納し、またステ
ーション状態情報を主制御器３６へ送る働きをする。マ
イクロプロセッサ１００はまた、マイクロプロセッサが
送信状態であるか受信状態であるかを指示する送信／受
信信号Ｔ／Ｒをコネクタ６４へ供給する。当山願人によ
る下記の係属出願に制御プログラム例が開示されている
：米国特許出願Ｓｅｒ、Ｎｏ、　８４９，５４２（１９
８６年４月８日）、日本国特許出願第２８７５８７／８
５号（１９８５年１２月２０日）（特開昭６１−１５５
５２３号）、日本国特許出願第５０２５３／８６号（１
９８６年３月７日）（特開昭６１−２２３３０３号）、
日本国特許出願第１２７８５３／８６号（１９８６年６
月２日）（特開昭６１−２８２９０２号）、日本国特許
出願１８８３６８／８６号（１９８６年８月１１日）（
特開昭６２−４１４０２号）。

トルク・モータ４９（第２図）が固定子５４に印加され
るパルス幅変調信号のパルス幅に従ってスプール４４の
位置を制御する。同パルス幅変調信号は、電源／指示器
／駆動体プリント回路板６００マイクロプロセツサ１０
０の増幅器７６（第４゜７Ｂ図）に対するＰ３．６出力
に供給される。ウォッチドッグ・タイマー１１０のＮ　
Ｐ　Ｎ　トランジスタＱ１が分離コンデンサＣ６を介し
てマイクロプロセッサ１００のパルス幅変調制御出力に
接続されている。トランジスタＱ１のコレクタとエミッ
タとの間にコンデンサＣ３が入っており、トランジスタ
０１のエミッタは接地されており、クロックは抵抗器Ｒ
３を介して正電源に接続されている。

発振器１１２がトランジスタＱ１のコレクタから付勢／
消勢入力を受ける。発振器１１２のタイミング端子が通
常の方式で抵抗器Ｒ１，Ｒ２とコンデンサＣ１，Ｃ２に
接続されており、消勢リセット入力がなければマイクロ
プロセッサ１００のリセット入力に連続パルス出力を供
給する。マイクロプロセッサ１００のパルス幅変調出力
が抵抗器Ｒ３の抵抗値とコンデンサＣ３のキャパシタン
スとによって設定される周波数を越えている限りは、ト
ランジスタＱ１が、コンデンサＣ３が発振器１１２を動
作させる電圧レベルに充電するのを阻止する。

しかし、マイクロプロセッサのパルス幅変調出力の周波
数（振幅）が抵抗器Ｒ３とコンデンサＣ３とによって設
定される警報レベルを下回ると、コンデンサＣ３が高電
圧レベルに充電し、同電圧が発振器１１２のリセット入
力に印加されると発振器が動作してマイクロプロセッサ
１００のリセット入力にパルスを供給し、それによって
サーボ制御動作が終止する。トルク・モータ４９（第２
図）にパルス幅変調制御信号が印加されなければ、スプ
ール４４が自動的に第２図に示すニュートラル（中央）
位置へ戻り、それによってアクチュエータ２４の暴走が
防止される。マイクロプロセッサ１００のパルス幅変調
出力が所望の周波数と電圧レベルで再起動すると、コン
デンサＣ３（第５Ａ図）がトランジスタＱ１を通して放
電し、それによって発振器１１２が切れ、マイクロプロ
セッサ１００に対するリセット入力が終止する。

第６Ａ、６Ｂ図に示す感知器位置フィードバックプリン
ト回路板５６のデコーダ１２０がマイクロプロセッサ１
００（第５Ｂ図）から測定命令入力を受けてデコーディ
ングし、それに対応する出力を発生してまず一対のカウ
ンタ１２２（第６Ａ図）１２４（第６Ｂ図）をリセット
し、続いてフリップフロップ１２６をセットしてカウン
タ１２２を起動させる。これと同時にワンショット（第
６Ｂ図）がダイオードＤ３を介して付勢されカウンタ１
２４をインクリメントする第１パルス出力と、第２ワン
シヨツト１３０を付勢する第２パルス出力を供給する。

プラグＰ５の適切なジャンパーによっテ’７　：／　’
／　Ｅｌ−／ト１３０のハイ出力（ｈｉｇｈ−ｇｏｉｎ
ｇｏｕｔｐｕｔ）又はロウ出力（ｌｏｗ−ｇｏｉｎｇ　
ｏｕｔｐｕｔ）を抵抗器ＲＩＯを介してコネクタ６６へ
送り、ワンンヨット１３０によって位置変換器８０へ送
る電流パルスの正極性又は負極性を選択する。変換器８
０のモード変換器９２（第４図）から送られる帰還（エ
コー）コネクタ６６を介して増幅器１３２へ送られる。

増幅器１３２の出力はダイオードＤ２を介して送られ、
ワンショット１２８のトリガー入力でデコーダ１２０の
出力とＯＲされる。

かようにして、制御マイクロプロセッサの測定命令信号
がまずカウンタ１２２．１２４をリセット、し、続いて
ワンショッ）　１２８．１３０を付勢する。

ワンショット１３０が、プラグＰ５によって設定される
極性の初発電流パルスを感知器８０の導体に沿って送り
、ワンショット１２８がカウンタ１２４をインクリメン
トさせる。増幅器１３２は、抵抗器Ｒ２，Ｒ３によって
設定されるレベルを越える帰還（エコー）信号を位置変
換器から受けると、ワンショット１２８を付勢してカウ
ンタ１２４をインクリメントせしめ、ワンショット１３
０を付勢して位置変換器へ第２電流パルスを供給せしめ
る。かようにして、増幅器１３２において帰還信号が感
知されるごとに電流パルスが送られてカウンタ１２４が
インクリメントし、それによってカウンタ１２４が位置
変換器の電流パルスの往／還すイクル回数を常時指示す
る。好ましくは、ワンショット１２８のパルス出力の持
続時間は、ワンショット１３０のパルス出力持続時間（
例えば１μ５ｅｃ）よりも長くする（例えば１５μ５ｅ
ｃ）。

かくしてフンショット１２８は、位置変換器電流パルス
が最初に送られる時に発生する恐れのある疑似帰還（エ
コー）信号をマスキングする。

カウンタ１２４には複数のカウント指示出力があり、そ
の中の特定の１つの出力がインバータ１３４（第６Ａ図
）を介して供給されるとカウンタ付勢フリップフロップ
１２６　がリセットされる。

インバータ１３４の出力はまたダイオードＤ１、プラグ
Ｐ４並びにソケットＳ４を介して送るｎ１マイクロプロ
セツサ１００（第５Ｂ図）の入力を中断し、変換器の測
定サイクルが完了したことを指示する。フリップフロッ
プ１２６の出力が高周波発振器１３６をカウンタ１２２
のカウント入力に接続する。かくのごとく、カウンタ１
２２　と発振器１３６が、位置変換器の測定シーケンス
の持続時間を測定する１つのデジタル・タロツクを形成
している。ラッチ１３８のデータ入力がカウンタ１２２
の出力に接続されており、負荷入力がデコーダ１２０に
接続されている。マイクロプロセンサ１００（第５Ｂ図
）から読み取り命令信号がデコーダ１２０へ送られると
、カウンタ１２２の出力がラッチ１３８　にローディン
グされ、プラグＰ３　（第６Ａ図）とソケッ）Ｓ３（第
５Ａ図）を介してマイクロプロセッサ１００に位置指示
カウント出力が送られる。かくのごとく、動作時は、カ
ウンタ１２４に対する出力接続によって設定される測定
回数だけ電流パルスが送られ、帰還信号が受けられ、カ
ウンタ１２２が測定回数の総持続時間を測定する。測定
回数を１回ではなく複数回にすれば測定分解能が大きく
なる。測定回数は、位置測定範囲、所望分解能並びに測
定動作全体の所望速度によって設定される。

電源／指示器／駆動体プリント回路板６０の回路構成図
を第７Ａ、７Ｂ図に示す。第７Ａ図は、電力を供給する
電源１４０を示す。コネクタ６４を介して主制御器３６
から入力電力を受ける。同入力電力がコネクタ６６を介
して位置変換器８０に供給される。従って、主制御器３
６に対する給電が遮断されると、弁トルク・モータ４９
（第２図）に対する給電が自動的に切れ、スプール４４
とアクチュエータ２４が自動的にニュートラル位置へ戻
る。ＲＯＭ　１０４　（第５Ａ図）は言うまでもなく持
久型メモリーであり、停電しても制御プログラムが消滅
する恐れはない。第７Ｂ図において、アドレス・スイッ
チ７４がソケットＳ１とプラグＰＬ　（第５Ｂ図）を介
してマイクロプロセッサに接続されている。パネル７０
（第２−３図）を取り外して所望の弁制御器３２（第１
図）のアドレスを選択し、主制御器３２（第１図）を同
制御器に接続する。マイクロプロセッサ１００（第５Ａ
図）を制御して前記の諸動作を実行するプログラムは関
係者にとっては周知であるから説明を省く。

増幅器７６において、演算増幅器の第１入力がバイパス
・フィルタＣ６，Ｒ５（第５Ａ図）から微分パルスを受
け、第２入力は接地されている。従って同演算増幅器の
出力は、パルス幅変調信号によって制御され手工／負が
交互に切り替わる。

該演算増幅器は、制御信号が送られこなければ出力が接
地され、それによってマニホルド４２内においてスプー
ル４４が中央位置へ戻り、すべての動作が停止する。最
低パルス周波数がコンデンサＣ６（第５Ａ図）によって
設定される。増幅器を挟んで背中合わせになっているツ
ェナーダイオード（ｂａｃｋ−ｔｏ−ｂａｃｋ　ｚｅｎ
ｅｒ　ｄｉｏｄｅｓ）Ｚ２．Ｚ３が出力電圧を±１２Ｖ
に制限し、特別な電源調節操作は不要である。増幅器の
固有のスルー・レートがＥＭＩ）ラブルを排除する。増
幅器７６は単一入力の増幅器であり、特別な方向制御入
力を必要としない。

本発明の好ましい実施態様のタイマー１００（第５Ａ図
）に代えて用いることのできるウォッチドッグ・タイマ
ー１５０を第８図に示す。ウォッチドッグ・タイマー１
５０の発振器１５２がコンデンサＣ６を介してマイクロ
プロセッサ１００（第５Ａ図）のパルス幅変調出力を受
け、同出力が抵抗器Ｒ１とコンデンサＣ１とによって設
定される閾値を越えている限り発振器１５２を消勢する
。発振器１５２が付勢されると、抵抗器Ｒ２とコンデン
サＣ２によって設定される周波数の一連のパルスリセッ
ト信号列が制御マイクロプロセッサのリセット入力に供
給される。第８図のウォッチドッグ・タイマー１５０に
はさらに、周辺コンポーネントを消勢する別個の非パル
ス出力があり、またオペレータスイッチなどからマニュ
アル・リセット入力を受ける手段がある。

本発明の好ましい実施態様の第６Ａ、６Ｂ図の位置感知
器電子ユニットに代えて用いることのできる位置感知器
電子ユニ７トのブロフク・ダイヤグラムを第９図に示す
。第９図の位置感知器電子ユニット１６０は、本発明の
前記の好ましい実施態様の位置感知器電子ユニットより
もより直接的にマイクロプロセッサ１００によって制御
されるマイクロプロセッサが変換器８０において電流パ
ルスを発生し、これと同時に時間測定カウンタ１２２を
起動する。帰還信号が戻ってくるたびに変換器８０にお
いて電流パルスが再発生し、これと同時にパルス（サイ
クル）カウンタ１２４がインクリメントする。カウンタ
１２４のカウントがマイクロプロセッサ１００によって
直にプリセットされた値に達すると、カウンタ１２２が
停止し、そのことがマイクロプロセッサ１００に知らさ
れる。マイクロプロセッサ１００　はこれを受けてゲー
ト１６２で電流パルスの供給を切り、カウンタ１２２の
出力を読み取って位置信号を得る。

増幅器７６（第４，７Ｂ図）に代えて用いることのでき
る弁駆動体１７０を第１０図に示す。第１電源！、Ｉ　
ＯＳ　ＦεＴ１７２には、マイクロプロセッサ１００（
第５Ａ図）のピン１６からパルス幅変調弁制御信号を受
けるゲート、負電源に接続されているソース並びにトル
ク・モータ４９に接続されているドレンがある。第２電
源＋、ＩＯ３ＦＥＴ　１７４には、インバータ１７６を
介してＭＯＳＦＥＴ　１７２のゲートに接続されている
ゲート、正電源に接続されているドレン並びにトルク・
モータ４９に接続されているソースがある。逆電圧スパ
イクを制限するダイオード１７８．１８０が各々ＭＯＳ
ＦＢＴ　１７２，１７４に対して並列に入っている。動
作時は、ＭＯＳＦＥＴ　１７２゜１７４が、マイクロプ
ロセッサ１００（第５Ａ図）から送られてくる入力信号
の極性に従って、対応する電源を交互にトルク・モータ
４９に接続する。駆動体１７０は、駆動体７６並びに在
来駆動体に比べて安価であり、ＥＭＩがそれほど問題に
ならないあらゆるデジタル電子装置環境において使用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１つの面としての電気的油圧システ
ムのブロック・ダイヤグラムを示す。 第２図は、本発明の別の面としての電気白油圧サーボ弁
組立体の立面図である。 第３図は、第２図のサーボ弁組立体の上面図である。 第４図は、作動流体供給源と線形アクチュエータとに接
続した第２，３図のサーボ弁組立体のブロック・ダイヤ
グラムである。 第５Ａ、５Ｂ図は、第２図の弁組立体のマイクロプロセ
ッサプリント回路板の回路構成図である。 第６Ａ、６Ｂ図は、第２図の弁組立体の感知器プリント
回路板の回路構成図である。 第７Ａ、７Ｂ図は、第２図の組立体の電源／指示器／弁
駆動体プリント回路板の回路構成図である。 第８図は、第５Ａ図のマイクロプロセッサ・ウォッチド
ッグプリント回路板の別の実施態様の部分回路構成図で
ある。 第９図は、第６Ａ、６Ｂ図の感知器プリント回路板の別
の実施態様の回路構成図である。 第１０図は、本発明の別の実施態様の弁駆動体の回路構
成図である。 電気的油圧システム：２０、電気的油圧装置：２２ａ−
２２１、アクチュエータ：２４、サーボ弁：２６、ポン
プ：２８、作動流体供給源：３０、マイクロプロセッサ
を本体とする電子弁制御器二３２、マイクロプロセッサ
を本体とする電子弁制御器とサーボ弁とから成・るパッ
ケージ（組立体）：３４、主制御器：３６、被覆体：４
０、マニホルド：４２、帰還路：３０、スプール：４４
、フィルタ；４６、電磁トルク・モータ集合体：４８、
電機子：５０、フラッパー：５２、固定子：４８、固定
子コイル：５４、感知器フィードバックプリント回路板
：５６、マイクロプロセッサプリント回路板：５８、電
源／指示器／弁駆劾体プリント回路板；６０、ブラケッ
ト二６２、第１コネクタ：６３、第２コネクタ：６６、
取り外し自在透明パネルニア０、ＬＥＤ指示ｉ３ニア２
、制御器ステーション・アクセス・スイッチニア４、位
置変換器＝８０、増幅器ニア６、第１ＬＥＤニア８、第
２ＬＥＤニア９、円環マグネット：８２、アクチュエー
タピストン：３４、電気音響導波管：８６、アクチュエ
ークシリンダ：８８、導体：９０、モード変換器（カプ
ラー）：９２、プラグ二２１ソケット：３１マイクロプ
ロセッサ：１００、ラッチ：１０２　、ＲＯＭ　：１０
４　、マイクロプロセッサ送信／受信端子：ＴＸ／ＲＸ
　、ウォッチドッグ・タイマー：１１０　、ＮＰＮ　）
ランジスタ：０１、分離コンデンサ二Ｃ６、コンデンサ
二０３、抵抗器：Ｒ３、発振器：１１２、コンデンサ：
Ｃ１，Ｃ２、デコーダ：１２０、対カウンタ：　１２２
／１２４　、フリップフロップ：１２６、ワンショット
：１２８、ダイオード：Ｄ３、第２ワンショット：１３
０、抵抗器：Ｒ１０、モード変換器：９２、ダイオード
：Ｄ２、増幅器：１３２、インバータ：１３４、高周波
発振器；１３６、ラッチ：１３８、電、原：１４０、ツ
ェナーダイオード：２２．２３、ウォッチドッグ・タイ
マー二１５０、コンデンサ二Ｃ６、位置感知器印刷回路
板：１６０、弁駆動耐：１７０、第１電源１．ＩＯ３Ｆ
ＥＴ　：　１７２、マイクロプロセッサのビン：１６、
第２電源ＭＯＳＦＢＴ：１７４、インバータ：１７６、
ダイオード：　１７８．１８０ｉ＋！−２）−）ｘカ ＦＩＧ、ｌ○ 手続ネ甫正書　（自発） １．　事件の表示 特願昭６２−８６７２４号 ２、　発明の名称 電気的油圧システム及び電気的油圧サーボ弁組立体 ３、　補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 ヴイ・７カーズ・インコーボレーテ・ンド５、　補正の
対象 明　　細　　書 ６、　補正の内容 （１）　　願書に最初に添付した明細書の浄書（内容に
変更なし）１通を提出する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　電子制御信号に反応して油圧動作を実行する複数の
   電気的油圧装置であって、各装置が、装置の動作を感知
   して油圧動作を示す感知信号を発生する手段と、前記制
   御信号を発生する制御手段とで構成されており、すべて
   の電気的油圧装置に接続しておりこれらの装置の動作を
   統合する主制御手段を備えているところの分散制御式電
   気的油圧システムにおいて、各電気的油圧装置が、前記
   主制御手段から制御信号を受けて格納する手段と、関連
   する電気的油圧装置の動作を指示する感知信号を受ける
   手段と、前記感知信号と前記制御信号を比較してエラー
   信号を発生する手段と、該エラー信号に従って関連する
   電気的油圧装置を動作させる手段とで構成されている回
   路板搭載マイクロプロセッサを本体とする電気的油圧装
   置制御手段を備えている組立体であることを特徴とする
   電気的油圧システム。 ２　前記電気的油圧装置制御手段が、各電気的油圧装置
   制御手段に固有の伝送アドレスを指定する手段を備えて
   おり、該主制御手段が、すべての電気的油圧装置制御手
   段に接続しており、該アドレスに従って該電気的油圧装
   置制御手段に該制御信号を個別に伝送する、特許請求の
   範囲第１項に記載の電気的油圧システム。 ３　前記電気的油圧装置制御手段が、前記制御手段との
   間で信号を送受する双方向伝送手段と、電気的油圧装置
   の状態を指示する信号を該主制御手段に伝送する手段と
   を備えている、特許請求の範囲第２項に記載の電気的油
   圧システム。 ４　前記アドレス指定手段が複数のオペレータ・スイッ
   チであり、前記電気的油圧装置が、該スイッチの全体の
   状態に反応して関速する電気的油圧装置のアドレス・コ
   ードをコンパイルする手段を備えている、特許請求の範
   囲第２項に記載の電気的油圧システム。 ５　前記エラ一信号発生手段が、前記電気的油圧装置の
   動作を制御する予め設定したプログラムを格納するメモ
   リーを備えており、マイクロプロセッサを本体とする該
   電気的油圧装置制御手段が、前記主制御手段が発生する
   制御信号に反応して予め設定したプログラムの中から特
   定のプログラムを選択し、前記エラー信号を発生して前
   記電気的油圧装置の動作を制御する手段を備えている、
   特許請求の範囲第２項に記載の電気的油圧システム。 ６　前記電気的油圧装置制御手段が、電気的油圧装置の
   状態を常時指示する指示手段を備えている、特許請求の
   範囲第２項に記載の電気的油圧システム。 ７　前記指示手段として、第１点灯手段と、該第１点灯
   手段を連続して交互に付勢／消勢する手段とがあり、該
   第１点灯手段の連続点灯又は連続消灯によって前記電気
   的油圧装置の誤動作が指示される、特許請求の範囲第６
   項に記載の電気的油圧システム。 ８　前記指示手段としてさらに、前記主制御手段と電気
   的油圧装置との間の伝送継続を指示する第２点灯手段が
   ある、特許請求の範囲第７項に記載の電気的油圧システ
   ム。 ９　前記電気的油圧装置が、パルス幅変調制御信号に反
   応して油圧動作を実行する手段を備えている特許請求の
   範囲第２項に記載の電気的油圧システムにおいて、エラ
   ー信号発生手段として、前記パルス幅変調制御信号を発
   生して電気的油圧装置を動作させる手段があることと、
   マイクロプロセッサを本体とする前記電気的油圧装置制
   御手段としてさらに、前記パルス幅変調制御信号を受け
   るように接続されており、該パルス幅変調信号が発生し
   なければエラー状態を指示するウォッチドッグ・タイマ
   ーがあることとを特徴とする電気的油圧システム。 １０　前記ウォッチドッグ・タイマーの構成要素として
   、予め設定した時間の間前記パルス幅変調制御信号が発
   生しなければ前記電気的油圧装置制御手段をリセットし
   、前記パルス幅変調制御信号が再発生すれば前記電気的
   油圧装置制御手段を動作させる被制御発振器がある、特
   許請求の範囲第９項に記載の電気的油圧システム。 １１　作動流体供給源と負荷に接続する開口を備えてい
   るマニホルドと、該マニホルド内において位置が変わり
   、前記開口を通過する流体のフローを制御する弁エレメ
   ントと、前記マニホルドに取り付けられており弁制御信
   号を受ける固定子と、前記弁エレメントに接続されてお
   り前記固定子に反応して前記マニホルド内において該弁
   エレメントの位置を変える電機子と、前記マニホルドに
   取り付けられており前記電機子と前記固定子を包囲して
   いる被覆体とで構成されているサーボ弁を本体とする電
   気的油圧サーボ弁組立体において、該電機的油圧サーボ
   弁組立体の構成要素としてさらに、前記被覆体内におい
   て前記マニホルドに取り付けられているマイクロプロセ
   ッサを本体とする制御手段があり、マイクロプロセッサ
   を本体とする該制御手段が、外部信号発生源から制御信
   号を受けて格納する手段と、前記固定子に接続しており
   該外部信号発生源の該制御信号に反応して前記弁制御信
   号を発生する手段とを備えている電気的油圧サーボ弁弁
   組立体。 １２　前記外部信号発生源が発生する前記制御信号に反
   応する前記手段が、負荷に接続している感知器から信号
   を受けて該負荷の動作を指示する手段と、前記感知信号
   と前記制御信号を比較してエラー信号を発生する手段と
   、該エラー信号に反応して前記弁制御信号を発生して前
   記固定子に印加する手段とで構成されている、特許請求
   の範囲第１１項に記載のサーボ弁組立体。 １３　マイクロプロセッサを本体とする前記制御手段が
   、前記被覆体の内側において積層されている複数のプリ
   ント回路板集合体で構成されている、特許請求の範囲第
   １２項に記載のサーボ弁組立体。 １４　外部信号発生源から制御信号を受けて格納する前
   記手段が、前記被覆体に隣接している１つのプリント回
   路板集合体に取り付けられているスイッチと、該スイッ
   チの全体の状態に反応して前記制御手段に関する数値ア
   ドレスを設定し、前記外部信号発生源と通信するスイッ
   チとで構成されており、前記被覆体が該スイッチに隣接
   しており、該・スイッチにアクセスするための手段とし
   ての取り外し自在パネルである、特許請求の範囲第１３
   項に記載のサーボ弁組立体。 １５　前記パネルが透明であり、マイクロプロセッサを
   本体とする前記制御手段の構成要素としてさらに、前記
   パネルの下の前記スイッチに隣接している１つのプリン
   ト回路板集合体に取り付けられており、サーボ弁組立体
   の動作を指示する光学指示手段がある、特許請求の範囲
   第１５項に記載のサーボ弁組立体。 １６　前記光学指示手段として、第１点灯手段と、該第
   １点灯手段を連続して交互に付勢／消勢する手段とがあ
   り、該第１点灯手段の連続点灯又は連続消灯によって前
   記電気的油圧装置の誤動作が指示される、特許請求の範
   囲第１５項に記載のサーボ弁組立体。 １７　前記光学指示手段としてさらに、前記主制御手段
   と外部制御信号発生源との間の伝送継続を指示する第２
   点灯手段がある、特許請求の範囲第１６項に記載のサー
   ボ弁組立体。 １８　前記エラ一信号発生手段が、前記サーボ弁の動作
   を制御する予め設定したプログラムを格納するメモリー
   を備えており、マイクロプロセッサを本体とする前記制
   御手段が、前記外部制御信号発生手段が発生する制御信
   号に反応して予め設定したプログラムの中から特定のプ
   ログラムを選択し、前記エラー信号を発生して前記サー
   ボ弁の動作を制御する手段を備えている、特許請求の範
   囲第１３項に記載のサーボ弁組立体。 １９　前記サーボ弁が、前記固定子に印加されるパルス
   幅変調制御信号に反応して前記弁エレメントの位置を制
   御する特許請求の範囲第１３項に記載のサーボ弁組立体
   において、エラー信号発生手段として前記パルス幅変調
   制御信号を発生する手段があることと、マイクロプロセ
   ッサを本体とする前記制御手段としてさらに、前記パル
   ス幅変調制御信号を受けるように接続されており該パル
   ス幅変調信号が発生しなければエラー状態を指示するウ
   ォッチドッグ・タイマーがあることとを特徴とするサー
   ボ弁組立体。 ２０　前記ウォッチドッグ・タイマーの構成要素として
   、予め設定した時間の間前記パルス幅変調制御信号が発
   生しなければ前記制御手段をリセットし、前記パルス幅
   変調制御信号が再発生すれば前記制御手段を動作させる
   被制御発振器がある、特許請求の範囲第１９項に記載の
   サーボ弁組立体。 ２１　特許請求の範囲第１３項に記載のサーボ弁組立体
   と、負荷としてマニホルド開口に接続されている油圧ア
   クチュエータと、該アクチュエータに接続されており前
   記感知器信号を発生する位置感知器とで構成されており
   、該位置感知器が、前記アクチュエータに接続されてお
   り該アクチュエータと共に移動する磁気手段と、該磁気
   手段に隣接している導波管であって該導波管内に電流パ
   ルスを投入し、該導波管から音響パルスを受ける前記磁
   気手段との関係において不動である導波管と、該導波管
   に対する前記磁気手段の位置を決め、それによって前記
   アクチュエータの位置を決める手段とで構成されている
   ところの組立体において、前記位置決め手段が、カウン
   ターと、マイクロプロセッサを本体とする前記制御手段
   が発生する測定信号に反応して該カウンターをリセット
   し前記導波管内に初発電流パルスを投入する手段と、前
   記導波管から戻ってくる音響パルスに反応して前記カウ
   ンターをインクリメントし前記導波管内に電流パルスを
   再投入する手段と、前記カウンターに接続されており前
   記導波管における予め設定した投入／帰還サイクル数に
   対応する予め設定したカウントを指示し、中断信号を発
   生してマイクロプロセッサを本体とする前記制御手段に
   印加する手段と、前記測定信号と前記中断信号に反応し
   て両信号間の時間を測定するクロックと、マイクロプロ
   セッサを本体とする前記制御信号が発生する読み取り信
   号に反応し、該クロックの出力を前記感知器信号として
   マイクロプロセッサを本体とする前記制御手段へ転送す
   る手段とで構成されていることを特徴とする電気的油圧
   サーボ弁＝アクチュエータシステム。 ２２　前記クロックの構成要素として、クロック発振器
   と、前記感知信号をデジタル信号としてマイクロプロセ
   ッサを本体とする前記制御手段に供給する第２カウンタ
   ーとがある、特許請求の範囲第２１項に記載のシステム
   。 ２３　前記位置決め手段が、１つのプリント回路板集合
   体に取り付けられている、特許請求の範囲第２２項に記
   載のシステム。 ２４　前記被覆体に第１、第２コネクタがあり、マイク
   ロプロセッサを本体とする前記制御手段が該第１コネク
   タによって前記外部制御信号発生源に接続されており、
   前記位置決め手段が該第２コネクタによって前記位置感
   知器に接続されている、特許請求の範囲第２３項に記載
   のシステム。 ２５　特許請求の範囲第１２項に記載の複数のサーボ弁
   組立体と、該複数のサーボ弁組立体に個別に制御信号を
   供給する主制御手段とで構成されている電気的油圧サー
   ボ弁システムにて、マイクロプロセッサを本体とする前
   記制御手段が、各制御手段に固有の伝送アドレスを指定
   する手段を備えており、前記主制御手段が、前記制御手
   段のすべてに接続しており、前記アドレスに従って前記
   制御手段に制御信号を個別に伝送する電気的油圧サーボ
   弁システム。 ２６　マイクロプロセッサを本体とする前記制御手段が
   、前記主制御手段との間で信号を送受する双方向伝送手
   段と、サーボ弁組立体の状態を指示する信号を前記主制
   御手段に伝送する手段とを備えている、特許請求の範囲
   第２５項に記載のシステム。 ２７　作動流体供給源と負荷に接続する開口を備えてい
   るマニホルドと、該マニホルド内において位置が変わり
   、前記開口を通過する流体のフローを制御する弁エレメ
   ントと、前記マニホルドに取り付けられており、弁制御
   信号を受ける電気コイル付き固定子と、前記弁エレメン
   トに接続されており前記固定子に反応して前記マニホル
   ド内において該弁エレメントの位置を変える電機子と、
   前記固定子に前記弁制御信号を供給する弁駆動手段とで
   構成されており、予め設定した温度範囲で予め設定した
   量だけ利得が増大することを特徴とするサーボ弁を本体
   とする電気的油圧サーボ弁組立体において、前記電子コ
   イルが、前記温度範囲において前記利得増大量をほぼ補
   償する量だけ電気抵抗が増大する電気導体で構成されて
   いる少なくとも１つのコイルであり、システム全体の利
   得が前記温度範囲全体にわたってほぼ一定であり続ける
   ことを特徴とするシステム。 ２８　前記弁駆動体として電圧制御増幅器があり、前記
   電機子のコイルに供給される電流と、それによって該電
   機子と前記弁エレメントとに印加される力とが前記コイ
   ルの抵抗に応じて変化し、コイル電流に対する温度効果
   が補償されるように温度変化に対するコイル抵抗感度が
   調節される、特許請求の範囲第２７項に記載のシステム
   。 ２９　前記導体が温度係数の低い抵抗線である、特許請
   求の範囲第２８項に記載のシステム。 ３０　前記電圧制御増幅器が、正／負電源電圧に接続し
   ている電源入力と、制御信号を受ける制御入力と、接地
   されている基準入力とを備えている差動増幅器であり、
   該増幅器の出力が、前記制御信号が発生しない時は接地
   電位である、特許請求の範囲第２８項に記載のシステム
   。 ３１　前記電圧制御増幅器の構成要素として、弁制御信
   号を受ける制御電極と、該弁制御信号に従って前記電機
   子に正／負信号を交互に印加する電力電極とを備えてい
   る一対の固体スイッチがある、特許請求の範囲第２８項
   に記載のシステム。 ３２　前記増幅器の構成要素としてさらに、前記制御電
   極間に接続されているインバータがある、特許請求の範
   囲第３１項に記載のシステム。 ３３　前記スイッチが電源ＭＯＳＦＢＴである、特許請
   求の範囲第３２項に記載のシステム。 ３４　前記サーボ弁が予め設定した温度範囲で予め設定
   した量だけ利得が増大することを特徴としており、前記
   電機子が、該温度範囲において該利得増大量をほぼ補償
   する量だけ電気抵抗が増大する電気導体で構成されてい
   る少なくとも１つの電子コイルであり、システム全体の
   利得が該温度範囲全体にわたってほぼ一定であり続ける
   、特許請求の範囲第２２項に記載のシステム。 ３５　前記弁駆動体として電圧制御増幅器があり、前記
   電機子のコイルに供給される電流と、それによって該電
   機子と前記弁エレメントとに印加される力とが前記コイ
   ルの抵抗に応じて変化する、特許請求の範囲第３４項に
   記載のシステム。 ３６　前記導体が６０合金銅線である、特許請求の範囲
   第３５項に記載のシステム。 ３７　前記電圧制御パルス幅変調信号として前記弁制御
   信号を発生する手段を備えており、前記駆動手段として
   、正／負電源電圧に接続している電源入力と、制御信号
   を受ける制御入力と、接地されている基準入力とを備え
   ている差動増幅器であり、該増幅器の出力が、前記制御
   信号が発生しない時は接地電位である、特許請求の範囲
   第１１項に記載のシステム。 ３８　電圧制御パルス幅変調信号として前記弁制御信号
   を発生する手段を備えており、前記駆動手段の構成要素
   として、弁制御信号を受ける制御電極と、該弁制御信号
   に従って前記電機子に正／負信号を交互に印加する電源
   電極とを備えている一対の固体スイッチがある、特許請
   求の範囲第１１項に記載のシステム。 ３９　前記増幅器の構成要素としてさらに、前記制御電
   極間に接続されているインバータがある、特許請求の範
   囲第３８項に記載のシステム。 ４０　前記スイッチが電源ＭＯＳＦＥＴである、特許請
   求の範囲第３９項に記載のシステム。