JPS62292376A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
- Publication number
- JPS62292376A JPS62292376A JP61135628A JP13562886A JPS62292376A JP S62292376 A JPS62292376 A JP S62292376A JP 61135628 A JP61135628 A JP 61135628A JP 13562886 A JP13562886 A JP 13562886A JP S62292376 A JPS62292376 A JP S62292376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- guided vehicle
- image processing
- automatic guided
- conveyed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、自動的に物品の搬送を行う無人搬送車に関す
る。
る。
（従来の技術）
一般に、物品の搬送を行う無人搬送車では、走行装置に
より床面にＭ、ＱＧブられた誘導テープ等に従って移動
し、予め設定されたプログラムに従って操作される搬送
物積み下ろし装置により搬送物を捕捉して積み下ろしを
行い、搬送物の搬送を行う。
より床面にＭ、ＱＧブられた誘導テープ等に従って移動
し、予め設定されたプログラムに従って操作される搬送
物積み下ろし装置により搬送物を捕捉して積み下ろしを
行い、搬送物の搬送を行う。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上）小のような従来の無人搬送車では、
無人搬送車の停止位置のずれ、搬送物の配置位置のずれ
等があった場合に、搬送物積み下ろし装置によりぞのず
れを隆正することが困難であり、特に小さな搬送物を取
扱う場合等は、搬送物積み下ろし装置が搬送物を捕捉で
きないことがあるという問題がおる。
無人搬送車の停止位置のずれ、搬送物の配置位置のずれ
等があった場合に、搬送物積み下ろし装置によりぞのず
れを隆正することが困難であり、特に小さな搬送物を取
扱う場合等は、搬送物積み下ろし装置が搬送物を捕捉で
きないことがあるという問題がおる。
本発明は、かかる従来の事情に四速してなされたもので
、小さな搬送物等を取扱う場合でも搬送物の積み下ろし
作業を正確に確実に行うことのできる無人搬送車を提供
しようとするものでおる。
、小さな搬送物等を取扱う場合でも搬送物の積み下ろし
作業を正確に確実に行うことのできる無人搬送車を提供
しようとするものでおる。
［発明の構成］
（問題点を解決するための手段）
すなわら本発明の無人搬送車は、移動用の走行装置と、
搬送物を捕捉し積み下ろしを行う１（０送物積み下ろし
装置と、外部からの光を入力とし画像信号を出力する画
像入力装置と、前記画像信号を処理して搬送物および搬
送物配置場所周辺の状況を認識する画像処理装置と、こ
の画像処理装置の認識結果から前記搬送物積み下ろし装
置を操作する制御装置とを備えている。
搬送物を捕捉し積み下ろしを行う１（０送物積み下ろし
装置と、外部からの光を入力とし画像信号を出力する画
像入力装置と、前記画像信号を処理して搬送物および搬
送物配置場所周辺の状況を認識する画像処理装置と、こ
の画像処理装置の認識結果から前記搬送物積み下ろし装
置を操作する制御装置とを備えている。
（作用）
本発明の無人搬送車では、画像入力装置から入力される
画像信号を画像処理装置により処理し、搬送物および搬
送物配置場所周辺の状況を認識し、この結果に基づいて
制御装置により搬送物積み下ろし装置の制御を行って搬
送物の積み下ろしを行う。
画像信号を画像処理装置により処理し、搬送物および搬
送物配置場所周辺の状況を認識し、この結果に基づいて
制御装置により搬送物積み下ろし装置の制御を行って搬
送物の積み下ろしを行う。
（実施例）
以下本発明の訂細を図面に示す一実施例について３（明
する。
する。
図は本発明の一実施例として無塵室内で半導体ウェハの
搬送を行う無人搬送車を示すもので、この実施例の無人
搬送車では、半導体ウェハが収容される搬送物収容部１
は、ファン２とフィルタ３により清浄化空気を満たされ
て外部より高圧に保たれている。そして、フィルタ４を
介して）７ン５により排気され外部より低圧に保たれた
無人搬送車本体６内には、走行装置７と、搬送物積み下
ろし用のアーム８を制御する制御装置９と、この制御装
置９に接続され、アーム８の先端に配置されたテレビカ
メラ等からなる画像入力装置１０がらの画像信号を処理
する画像処理装置１１とが配置されている。
搬送を行う無人搬送車を示すもので、この実施例の無人
搬送車では、半導体ウェハが収容される搬送物収容部１
は、ファン２とフィルタ３により清浄化空気を満たされ
て外部より高圧に保たれている。そして、フィルタ４を
介して）７ン５により排気され外部より低圧に保たれた
無人搬送車本体６内には、走行装置７と、搬送物積み下
ろし用のアーム８を制御する制御装置９と、この制御装
置９に接続され、アーム８の先端に配置されたテレビカ
メラ等からなる画像入力装置１０がらの画像信号を処理
する画像処理装置１１とが配置されている。
上記構成のこの実施例の無人搬送車では搬送物である半
導体ウェハ１２を収容する場合、まず、走行装置７によ
って所定のステーション１３の前方まで移動し、ここで
制御装置９により予め設定されたプログラムに従ってア
ーム８を半導体ウェハ１２の前方に配置する。
導体ウェハ１２を収容する場合、まず、走行装置７によ
って所定のステーション１３の前方まで移動し、ここで
制御装置９により予め設定されたプログラムに従ってア
ーム８を半導体ウェハ１２の前方に配置する。
ここで、アーム８の先端に配置された画像入力装置１０
から入力される画像信号を画像処理装置１１で処理して
半導体ウェハ１２の位置を認識する。
から入力される画像信号を画像処理装置１１で処理して
半導体ウェハ１２の位置を認識する。
この認識結果は、制御装置９に入力され、制御装置９は
、画像入力装置１０から入力された位置の補正値に従っ
てアーム８の位置を修正する。
、画像入力装置１０から入力された位置の補正値に従っ
てアーム８の位置を修正する。
そして、入力された画像信号から得られた位置の誤差が
許容範囲内となると、制御装置９は予め設定されたプロ
グラムに従って、アーム８を操作して半導体ウェハ１２
を捕捉し、搬送物収容部１に収容する。
許容範囲内となると、制御装置９は予め設定されたプロ
グラムに従って、アーム８を操作して半導体ウェハ１２
を捕捉し、搬送物収容部１に収容する。
そして、半導体ウェハ１２の収容が終了すると、走行装
置７によって移動し、半導体ウェハ１２の搬送を行う。
置７によって移動し、半導体ウェハ１２の搬送を行う。
ト記説明のこの実施例の無人搬送車では、画像入力装置
１０から入力された画像信号を、画像処理装置１１で処
理してアーム８の位置の修正を行うので、無人１ｆｔ２
送車の停止位置のずれ、半導体ウェハ１２の配置位置の
ずれ等がある場合でも、正確に半導体ウェハ１２を捕捉
することができる。
１０から入力された画像信号を、画像処理装置１１で処
理してアーム８の位置の修正を行うので、無人１ｆｔ２
送車の停止位置のずれ、半導体ウェハ１２の配置位置の
ずれ等がある場合でも、正確に半導体ウェハ１２を捕捉
することができる。
また、画像処理装置１１を無人搬送車本体６内に内蔵し
ているので、画像の伝送路におけるノイズ等の影響が少
なく、正確で確実な動作を行うことができる。
ているので、画像の伝送路におけるノイズ等の影響が少
なく、正確で確実な動作を行うことができる。
［発明の効果］
上述のように本発明の無人搬送車では、小さな搬送物等
の場合でも、搬送物の積み下ろし作業を正確に確実に行
うことができる。
の場合でも、搬送物の積み下ろし作業を正確に確実に行
うことができる。
図は本発明の一実施例の無人搬送車を承り＠１１１！Ｊ
７面図である。 ７・・・・・・走行装置、８・・・・・・アーム、９・
・・・・・制御装置、１０・・・・・・画像入力装置、
１１・・・・・・画像処理装置、１２・・・・・・半導
体ウェハ。
７面図である。 ７・・・・・・走行装置、８・・・・・・アーム、９・
・・・・・制御装置、１０・・・・・・画像入力装置、
１１・・・・・・画像処理装置、１２・・・・・・半導
体ウェハ。
Claims (1)
- （１）移動用の走行装置と、搬送物を捕捉し積み下ろし
を行う搬送物積み下ろし装置と、外部からの光を入力と
し画像信号を出力する画像入力装置と、前記画像信号を
処理して搬送物および搬送物配置場所周辺の状況を認識
する画像処理装置と、この画像処理装置の認識結果から
前記搬送物積み下ろし装置を操作する制御装置とを備え
たことを特徴とする無人搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61135628A JPS62292376A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 無人搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61135628A JPS62292376A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 無人搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62292376A true JPS62292376A (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=15156248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61135628A Pending JPS62292376A (ja) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62292376A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271407A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Daifuku Co Ltd | 荷搬送設備 |
| JPH05318354A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-03 | Tsubakimoto Chain Co | マニピュレータの位置・姿勢制御方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60237504A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-26 | Fuji Electric Co Ltd | 台車搭載ロボツトの操作用座標設定装置 |
| JPS60249583A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-10 | 富士電機株式会社 | 視覚付ロボツト |
| JPS6185114A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-30 | 株式会社クボタ | 果実収穫装置 |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP61135628A patent/JPS62292376A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60237504A (ja) * | 1984-05-10 | 1985-11-26 | Fuji Electric Co Ltd | 台車搭載ロボツトの操作用座標設定装置 |
| JPS60249583A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-10 | 富士電機株式会社 | 視覚付ロボツト |
| JPS6185114A (ja) * | 1984-10-01 | 1986-04-30 | 株式会社クボタ | 果実収穫装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02271407A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-06 | Daifuku Co Ltd | 荷搬送設備 |
| JPH05318354A (ja) * | 1992-05-15 | 1993-12-03 | Tsubakimoto Chain Co | マニピュレータの位置・姿勢制御方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100640105B1 (ko) | 무인운반차, 무인운반차시스템 및 웨이퍼운반방법 | |
| EP0931623B1 (en) | Automatic workpiece transport apparatus for double-side polishing machine | |
| US9701431B2 (en) | Load port device, transport system, and container carrying out method | |
| JP4296914B2 (ja) | 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム | |
| WO2015045711A1 (ja) | 保管庫 | |
| TWI415785B (zh) | 天車輸送系統與其操作方法 | |
| JPH0344438B2 (ja) | ||
| US10882697B2 (en) | Storage apparatus and storage method | |
| KR100304768B1 (ko) | 자동보관선반및자동보관방법 | |
| JP3068546B2 (ja) | ロボットの制御方法及びその装置 | |
| WO2011083525A1 (ja) | 搬送車システム | |
| JPS62292376A (ja) | 無人搬送車 | |
| KR102166348B1 (ko) | 이송 장치의 동작 제어 방법 | |
| KR102283392B1 (ko) | 이송 장치 | |
| KR20220072236A (ko) | 이송 장치 | |
| JP4278460B2 (ja) | ワーク搬送システムの制御方法 | |
| KR102181492B1 (ko) | 이송 장치의 동작 제어 방법 | |
| US20240071799A1 (en) | System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same | |
| KR102239000B1 (ko) | 호이스트 모듈의 구동 방법 및 이를 수행하기 위한 호이스트 구동 모듈 | |
| US20220139750A1 (en) | Interface apparatus and container transporting system with the apparatus | |
| JP7421077B2 (ja) | 搬送システム | |
| KR20230050138A (ko) | 기판 반송 장치, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 | |
| JP2022074742A (ja) | 荷物積付システム | |
| JPH11354993A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| CN118255289A (zh) | 可自动示教的搬运系统及方法 |