JPS6229149A - ウインドウキヤツプ - Google Patents
ウインドウキヤツプInfo
- Publication number
- JPS6229149A JPS6229149A JP16831385A JP16831385A JPS6229149A JP S6229149 A JPS6229149 A JP S6229149A JP 16831385 A JP16831385 A JP 16831385A JP 16831385 A JP16831385 A JP 16831385A JP S6229149 A JPS6229149 A JP S6229149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- window
- melting point
- low
- melting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/10—Programming or data input circuits
- G11C16/18—Circuits for erasing optically
Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は主として半導体装置に用いるウィンドウキャッ
プに関するものである。
プに関するものである。
(従来の技術およびその問題点)
半導体レーザー装置、固定撮像装置等においては、光の
通路に光透過用窓を設けたウィンドウキャップにて素子
を気密に封じている。該ウィンドウキャップは金属枠に
低融点ガラスでガラス等から成る光透過用窓(以下ガラ
ス窓と略記する)を封着する構造を成し、金属枠には耐
蝕性を向上させるべく、ニッケルあるいは金等の耐蝕め
っきが施される。
通路に光透過用窓を設けたウィンドウキャップにて素子
を気密に封じている。該ウィンドウキャップは金属枠に
低融点ガラスでガラス等から成る光透過用窓(以下ガラ
ス窓と略記する)を封着する構造を成し、金属枠には耐
蝕性を向上させるべく、ニッケルあるいは金等の耐蝕め
っきが施される。
このウィンドウキャップの製法には、従来から上記の耐
蝕めっきを施す工程順の相違に基づく2種類の方法があ
る。
蝕めっきを施す工程順の相違に基づく2種類の方法があ
る。
その1つの方法は、金属枠の封着部に低融点ガラスを溶
着し、次いで該低融点ガラスによってガラス窓を封着し
て後、露出金属部にめっきを施すものである。
着し、次いで該低融点ガラスによってガラス窓を封着し
て後、露出金属部にめっきを施すものである。
他の方法は、金泥枠の封着部に低融点ガラスを溶着した
段階で露出金属部にめっきを施し、最後に該低融点ガラ
スによってガラス窓を封着するものである。
段階で露出金属部にめっきを施し、最後に該低融点ガラ
スによってガラス窓を封着するものである。
ところでいずれの方法によるも、金属枠への低融点ガラ
スの濡れ性を向上させるため、あらかしめ金運枠表面上
に金属酸化膜を形成してこの金属酸化膜上に低融点ガラ
スを溶着するようにしている。
スの濡れ性を向上させるため、あらかしめ金運枠表面上
に金属酸化膜を形成してこの金属酸化膜上に低融点ガラ
スを溶着するようにしている。
したがってめっきの段階では逆に露出金属部の金属酸化
膜を除去する必要がある。
膜を除去する必要がある。
ところで、ガラス窓表面上には反射防止膜が施され、こ
の反射防止膜や上記の低融点ガラスはその成分上耐薬品
性にはあまり優れない。
の反射防止膜や上記の低融点ガラスはその成分上耐薬品
性にはあまり優れない。
このため、前者の製法によるときは、前記の金属酸化膜
を除去する前処理液やめっき液中に半製品を浸漬した際
に、ガラス窓表面上の反射防止膜が侵されるという問題
点がある。また低融点ガラス表面上にはガラス窓が封着
されているから、低融点ガラス全体としての劣化は比較
的に少ないが、低融点ガラス層の側壁面は露出している
関係上、該側壁面は前処理液やめっき液に侵され、表面
が粉末化して液中または半導体装置等に組み付けた後に
剥げ落ちる等の問題点がある。
を除去する前処理液やめっき液中に半製品を浸漬した際
に、ガラス窓表面上の反射防止膜が侵されるという問題
点がある。また低融点ガラス表面上にはガラス窓が封着
されているから、低融点ガラス全体としての劣化は比較
的に少ないが、低融点ガラス層の側壁面は露出している
関係上、該側壁面は前処理液やめっき液に侵され、表面
が粉末化して液中または半導体装置等に組み付けた後に
剥げ落ちる等の問題点がある。
このような異物はガラス窓に付着して透過光を妨げたり
光を反射させるため光特性が損なわれ、製品の信頼性を
低下させる原因となる。
光を反射させるため光特性が損なわれ、製品の信頼性を
低下させる原因となる。
また後者の方法は、低融点ガラス層を完全露出させて前
記の前処理液やめっき液中に浸漬するものであるため、
低融点ガラスの劣化が著しい。特に前処理液等によって
低融点ガラス中の特定の成分が選択的にエツチングされ
ることによって、部分的に融点が上昇してガラス窓の封
着性を劣化させるばかりか、やはり成分の選択エツチン
グによって熱膨張係数が部分的に変化するなどして、ガ
ラス窓を封着した際に、ガラス窓に不均一な冷却応力が
作用し、ガラス窓、特にその周縁に微細なりラックを発
生させる問題点がある。また前処理液やめっき液は低融
点ガラスにより汚染されるために浴の寿命が著しく短か
くなる問題がある。
記の前処理液やめっき液中に浸漬するものであるため、
低融点ガラスの劣化が著しい。特に前処理液等によって
低融点ガラス中の特定の成分が選択的にエツチングされ
ることによって、部分的に融点が上昇してガラス窓の封
着性を劣化させるばかりか、やはり成分の選択エツチン
グによって熱膨張係数が部分的に変化するなどして、ガ
ラス窓を封着した際に、ガラス窓に不均一な冷却応力が
作用し、ガラス窓、特にその周縁に微細なりラックを発
生させる問題点がある。また前処理液やめっき液は低融
点ガラスにより汚染されるために浴の寿命が著しく短か
くなる問題がある。
このように、低融点ガラス層を露出させて前処理やめっ
き処理をすると上記の問題点が顕著に現われるから、低
融点ガラス層上に適当なレジスト保護膜を形成して、前
処理からめっき処理を行うことも試みられている。
き処理をすると上記の問題点が顕著に現われるから、低
融点ガラス層上に適当なレジスト保護膜を形成して、前
処理からめっき処理を行うことも試みられている。
しかしながらレジスト保護膜を低融点ガラスパターンに
正確に一致させて設けるのは難しく、低融点ガラスの一
部が露出すれば、低融点ガラスが浸される前記問題点が
生じ、逆にオーバー被覆すれば金属枠にめっきが施され
ない部位が生じ、耐蝕性に難点がでる。さらに、レジス
ト保護膜の形成、剥離の工数が増加し、被覆や剥離も完
璧には行い難い。
正確に一致させて設けるのは難しく、低融点ガラスの一
部が露出すれば、低融点ガラスが浸される前記問題点が
生じ、逆にオーバー被覆すれば金属枠にめっきが施され
ない部位が生じ、耐蝕性に難点がでる。さらに、レジス
ト保護膜の形成、剥離の工数が増加し、被覆や剥離も完
璧には行い難い。
(発明の概要)
本発明は上記の種々の問題点に鑑がみてなされたもので
あり、その目的とするところは、ガラス窓の封着性が良
好であり、かつ低融点ガラスの劣化、反射防止膜の劣化
等の問題点が解決されて、安定した特性が発揮されるウ
ィンドウキャップを提供するにある。
あり、その目的とするところは、ガラス窓の封着性が良
好であり、かつ低融点ガラスの劣化、反射防止膜の劣化
等の問題点が解決されて、安定した特性が発揮されるウ
ィンドウキャップを提供するにある。
またその特徴は、低融点ガラスを用いて光透過用窓を金
属枠に封着したウィンドウキャップにおいて、前記金属
枠の封着部に、低融点ガラスよりも高融点で、かつ耐薬
品性の優れたガラス層を形成し、このガラス層上に前記
低融点ガラス層を形成し、該低融点ガラスで前記光透過
用窓を封着して成るところにある。
属枠に封着したウィンドウキャップにおいて、前記金属
枠の封着部に、低融点ガラスよりも高融点で、かつ耐薬
品性の優れたガラス層を形成し、このガラス層上に前記
低融点ガラス層を形成し、該低融点ガラスで前記光透過
用窓を封着して成るところにある。
(実施例)
以下には本発明の好適な一実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図は本発明に係るウィンドウキャップ10の断面図
を示す。
を示す。
図において12は鉄−ニッケルーコバルト合金等の金属
で形成された金属枠である。金属枠12はハツト(11
g子)状を成し、上面に透孔14が設けられている。
で形成された金属枠である。金属枠12はハツト(11
g子)状を成し、上面に透孔14が設けられている。
16はガラス窓であり、透孔14を覆って金属枠12内
面に、ガラス18および低融点ガラス20を介して封着
されている。金属枠12の内面および外面には耐蝕めっ
き22が施されている。
面に、ガラス18および低融点ガラス20を介して封着
されている。金属枠12の内面および外面には耐蝕めっ
き22が施されている。
続いてウィンドウキャップ10の製法について説明する
。
。
まず上記のごとく所定の形状に形成した金属枠12を酸
素を、含む雰囲気中で加熱し、金属枠12の全表面に金
属酸化膜を形成する。
素を、含む雰囲気中で加熱し、金属枠12の全表面に金
属酸化膜を形成する。
次いで、ガラス窓16を封着すべき、金屈枠12の透孔
14周縁部にガラス18を溶着する。
14周縁部にガラス18を溶着する。
このガラス18は低融点ガラス2oよりも高融点で、か
つ耐薬品性の優れるガラス、例えば硼珪酸ガラスを用い
る。硼珪酸ガラスを溶着するには、ガラス粉末を溶剤で
混練し、これを透孔14周縁部に塗布し、溶剤を揮散さ
せた後、約1000 ’Cに加熱して溶融する。これに
よってガラス18は金属酸化膜となじみ、層状となって
金属枠12と完全に溶着する。
つ耐薬品性の優れるガラス、例えば硼珪酸ガラスを用い
る。硼珪酸ガラスを溶着するには、ガラス粉末を溶剤で
混練し、これを透孔14周縁部に塗布し、溶剤を揮散さ
せた後、約1000 ’Cに加熱して溶融する。これに
よってガラス18は金属酸化膜となじみ、層状となって
金属枠12と完全に溶着する。
次にこの段階で金属枠12の露出金属部に耐蝕めっき2
2を施すのである。
2を施すのである。
すなわち、めっき前処理液に金属枠12を浸漬し、金属
酸化膜を除去し、ニッケルめっき、あるいは金めつき等
の必要な耐蝕めっき22を施す。
酸化膜を除去し、ニッケルめっき、あるいは金めつき等
の必要な耐蝕めっき22を施す。
この場合ガラス18は耐薬品性の優れたものを使用して
いるから、めっき前処理液やめっき液に侵されることが
ない。
いるから、めっき前処理液やめっき液に侵されることが
ない。
この後、ガラス18層上に、低融点ガラス粉末を溶剤を
混練したものを塗布し、溶剤を揮散させた後溶着する。
混練したものを塗布し、溶剤を揮散させた後溶着する。
この場合、ガラス18の融点は低融点ガラス20のそれ
よりも高いから、ガラス18を溶融させることなく低融
点ガラス20の溶着が行える。もちろんガラス18と低
融点ガラス20との溶着は強固である。
よりも高いから、ガラス18を溶融させることなく低融
点ガラス20の溶着が行える。もちろんガラス18と低
融点ガラス20との溶着は強固である。
次いでガラス窓16 (例えば硼珪酸ガラス製)を低融
点ガラス20上にのせて加熱すれば、低融点ガラス20
のみが再溶融し、ガラス窓16が気密に封着される。
点ガラス20上にのせて加熱すれば、低融点ガラス20
のみが再溶融し、ガラス窓16が気密に封着される。
(発明の効果)
以上のように本発明に係るウィンドウキャップによれば
、低融点ガラスがめつき前処理液やめっき液に侵されて
おらず、ガラス粉末等が異物として発生することもない
。またガラス窓に施した反射防止膜が破壊されておらず
、安定した光学的特性を発揮しうるという著効を奏する
ものである。
、低融点ガラスがめつき前処理液やめっき液に侵されて
おらず、ガラス粉末等が異物として発生することもない
。またガラス窓に施した反射防止膜が破壊されておらず
、安定した光学的特性を発揮しうるという著効を奏する
ものである。
なお本発明に係るウィンドウキャップは半導体装置のみ
ならず、光フアイバーケーブルを用いる光通信の分野等
に汎用しうるちのであることはもちろんである。
ならず、光フアイバーケーブルを用いる光通信の分野等
に汎用しうるちのであることはもちろんである。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではな(、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多(の改変を施し得るのは
もちろんのことである。
、本発明はこの実施例に限定されるものではな(、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多(の改変を施し得るのは
もちろんのことである。
第1図は本発明に係るウィンドウキャップの一例を示す
断面図である。 10・・・ウィンドウキャップ、 12・・・金属枠
、 14・・・透孔、 16・・・ガラス窓、 18・
・・ガラス、 20・・・低融点ガラス、 22・・
・耐蝕めっき。
断面図である。 10・・・ウィンドウキャップ、 12・・・金属枠
、 14・・・透孔、 16・・・ガラス窓、 18・
・・ガラス、 20・・・低融点ガラス、 22・・
・耐蝕めっき。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、低融点ガラスを用いて光透過用窓を金属枠に封着し
たウィンドウキャップにおいて、 前記金属枠の封着部に、低融点ガラスより も高融点で、かつ耐薬品性の優れたガラス層を形成し、
このガラス層上に前記低融点ガラス層を形成し、該低融
点ガラスで前記光透過用窓を封着して成るウィンドウキ
ャップ。 2、低融点ガラスよりも高融点で耐薬品性に優れたガラ
スとして硼珪酸ガラスを用いて成る特許請求の範囲第1
項記載のウィンドウキャップ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16831385A JPS6229149A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | ウインドウキヤツプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16831385A JPS6229149A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | ウインドウキヤツプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6229149A true JPS6229149A (ja) | 1987-02-07 |
JPH0351296B2 JPH0351296B2 (ja) | 1991-08-06 |
Family
ID=15865713
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16831385A Granted JPS6229149A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | ウインドウキヤツプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6229149A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214143A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光透過窓を有する気密部品 |
-
1985
- 1985-07-30 JP JP16831385A patent/JPS6229149A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214143A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光透過窓を有する気密部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0351296B2 (ja) | 1991-08-06 |
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FIG | US. Patent May 27, 2014 | |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |