JPS6228173A - 表面処理又は材料切断方法及び装置 - Google Patents

表面処理又は材料切断方法及び装置

Info

Publication number
JPS6228173A
JPS6228173A JP16674685A JP16674685A JPS6228173A JP S6228173 A JPS6228173 A JP S6228173A JP 16674685 A JP16674685 A JP 16674685A JP 16674685 A JP16674685 A JP 16674685A JP S6228173 A JPS6228173 A JP S6228173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
surface treatment
chamber
air
abrasive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16674685A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoshi Inoue
潔 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inoue Japax Research Inc
Original Assignee
Inoue Japax Research Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inoue Japax Research Inc filed Critical Inoue Japax Research Inc
Priority to JP16674685A priority Critical patent/JPS6228173A/ja
Publication of JPS6228173A publication Critical patent/JPS6228173A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/04Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for treating only selected parts of a surface, e.g. for carving stone or glass
    • B24C1/045Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for treating only selected parts of a surface, e.g. for carving stone or glass for cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C5/00Devices or accessories for generating abrasive blasts
    • B24C5/02Blast guns, e.g. for generating high velocity abrasive fluid jets for cutting materials
    • B24C5/04Nozzles therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、表面処理又は材料切断方法、特に、被加工体
の加工面に砥粒を噴射して処理を施す表面処理又は材料
切断方法及びそれを実施するための装置に関する。
〔従来の技術〕
砂その他の硬質粒子を圧縮空気で被加工体の表面に吹き
付けてその表面に付着した砂や汚れを落したり、ガラス
やプラスチック表面に模様を付けたり、被加工体の仕上
げ加工等を行なう表面処理装置及び、砥粒の噴射により
各種難削性の材料を切断する装置は公知であり様々な分
野で広く利用されている。
従来公知の装置は、加工開始前に被加工体の材質及び加
工目的等を考慮入れて空気圧と砥粒の供給量とを設定し
、加工終了迄上記設定した条件で空気と砥粒を被加工体
の表面に噴射しつつ加工を行なうものであった。
而して、特にアルミナ等の難削性の材料を切断する装置
に於て加工速度及び加工精度を向上させるためには、空
気圧を高く保ち、多量の砂等を高速で被加工体の表面に
噴射させなければならないため、小型の装置では高精度
の加工を短時間に行なことは困難であると云う問題点が
あった。また、空気圧をあまり高くしすぎると加工速度
は向上するものの、加工精度が低下してしまうと云う問
題点もあった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、叙上の観点に立ってなされたものであって、
本発明の目的とするところは、精度の高い表面処理又は
切断加工を短時間に行ない得る、小型の表面処理装置を
提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
而して、上記の目的は、高圧気体により砥粒等の粒子を
被加工体の加工面に噴射して加工面に所望の処理を施し
たり、その被加工体を切断したりする方法に於て、上記
高圧気体の噴射を脈流状又はパルス状として加工を行な
うことによって達成される。
〔作  用〕
叙上の如く構成することにより、被加工体に付着した砂
や汚れを落したり、ガラスやプラスチック表面に模様を
付けたり、被加工体の仕上げ加工及び表面処理や各種材
料の切断等を小型な表面処理又は材料切断装置によって
、高精度に且つ短時間に行なうことが可能となる。
以下、図面により本発明の詳細を具体的に説明する。
第1図は、本発明にかかる表面処理又は材料切断方法を
実施するための装置の一実施例を示す説明図、第2図は
、その砥粒噴射ノズル部分の構成を示す拡大断面図、第
3図は、砥粒噴射ノズルの他の実施例を示す説明図であ
る。
先ず、第1図及び第2図について説明する。
第1図及び第2図中、1は筐体、2はバッキング、3は
蓋体、3aは上記蓋体3に形成された支持部、4はロッ
ド、5はモータ、5aは上記モータ5のシャフト、6は
上記モータ5のシャフト5aに取り付けられた送りねじ
、7はベアリング、8は支持部材、9は支持ロッド、1
0はホルダ、11は砥粒噴射ノズル、llaは砥粒室、
llbは空気室、llcは圧縮空気供給路、11 dは
弁座、lieは上記弁座】ldに形成されたブリード孔
、llhはノズル出口、12はハウジング、12aは上
記ハウジング12に形成されたスプリングケース、13
はスプリング、14はバルブ、14aはそのロッド、1
5はコイル、16はOリング、17はスクリュウ式押出
装置、】8はシリンダ、19はモータ、19aは上記モ
ータ19のシャフト、20はスクリュウ、21は補給器
、22は砥粒タンク、23はその蓋体、24は砥粒、2
5は圧力調整弁、26はポンプ、27は基台、28及び
29は被加工体30をX軸及びY軸方向に移動するクロ
ススライドテーブル、31は上記クロススライドテーブ
ル29上に搭載され、上記被加工体30に回転運動を与
えるターンテーブル、32及び33は上記クロススライ
ドテーブル28及び29を駆動するモータ、34は筐体
1内に納められる砥粒回収箱、35は補給器21と砥粒
タンク22とを接続するホース、36は電源回路、37
は上記支持部材8を上下に移動するモータ5、圧力調整
弁25、クロススライドテーブル28及び27を駆動す
るモータ32及び33、ターンテーブル31を駆動する
図示されていないモータ及び電源回路36等を予め定め
られたプログラムに従って一括して制御する数値制御装
置が内蔵された制御装置、38は上記クロススライドテ
ーブル29を駆動するモータ33及び送りねじ部分を覆
う蛇腹、39は筐体1の側壁面に取り付けられた扉であ
る。
而して、筐体l内の基台27上にはクロススライドテー
ブル28及び29、ターンテーブル31が固定されてお
り、上記クロススライドテーブル29を駆動するモータ
33及び送りねじ等は砥粒24がかかることのないよう
に全体が蛇腹38で覆われている。そして被加工体30
は上記ターンテーブル31上に固定される。また、筺体
1の側壁面には、開閉自在な扉39が取り付けられてお
り、上記扉39を開けて筐体l内のターンテーブル31
上に被加工体30を据え付けたり、砥粒噴射ノズル11
を加工に最適なノズルと容易に交換することができるよ
うに構成されている。
また、上記筺体1をバンキング2を介して密閉している
蓋体3には、砥粒24が収容された砥粒タンク22が取
り付けられると共に、支持部3aが形成されている。
支持部3aにはロッド4とモータ5が固定されており、
上記モータ5のシャツ)5aに取り付けられた送りねじ
6がベアリング7を介して蓋体3に回動自在に取り付け
られている。
支持部材8には孔8a及び8bが形成され、上記孔8b
には雌ねじが切られていおり、上記支持部材8の孔8a
及び8bにロッド4及び送りねじ6が挿通され、モータ
5の回動に伴って支持部材8が上下に移動する。
支持部材8には支持ロッド9が取り付けられており、そ
の先端部分にはホルダ10が固定されており、上記ホル
ダ10に砥粒噴射ノズル11が取り付けられる。
砥粒噴射ノズル11は、砥粒室11 aと空気室11 
bとに分割され、上記砥粒室11aの側壁部には砥粒室
11a内に砥粒24を供給するスクリュウ式押出装置1
7のシリンダ18が固定されている。一方、空気室11
 bの側壁部には圧縮空気供給路11 Cが形成される
と共に、空気室11 bから砥粒室+13に噴出供給さ
れる空気の量を制御するバルブ14が昇降自在に収容さ
れている。
バルブ14の口・ノド14 aの他の一端は、ハウジン
グ12のスプリングケース12a内に収容されている。
また、ハウジング12内にはコイル15が納められ、上
記コイル15には電源回路36を介して所定の周波数の
交流電圧又はパルス電圧が印加される。
而して、バルブ14はコイル15に印加される電圧の周
波数に応じて上下に振動し、弁座11dに接離する。こ
のとき砥粒室11 aに噴出する圧縮空気は、ブリード
孔11 eが設けられているときは脈流状となり、ブリ
ード孔11 eが設けられていないときは、パルス状に
なる。
なお、支持部材8を上下に移動して砥粒噴射ノズル11
の位置を調節するモータ5、上記砥粒噴射ノズル11に
供給する圧縮空気の空気圧を制御する圧力調整弁25、
被加工体30をX軸及びY軸方向に移動するクロススラ
イドテーブル28及び釘を駆動するモータ32及び33
、上記被加工体30に回転運動を与えるターンテーブル
31を駆動する図示されていないモータ及びハウジング
12内のコイル15に所定の周波数の電圧を供給し、空
気室11 b内のバルブ14を制御して、砥粒室11a
に噴出供給する圧縮空気を脈流状又はパルス状とし、砥
粒室11 aから被加工体30の加工面に噴出供給され
る砥粒24の量及び圧力を制御する電源回路36等は数
値制御装置が内蔵された制御装置37によって一括して
制御が行なわれるように構成されている。
而して、本発明にかかる表面処理装置によって加工が行
なわれる場合には、筐体1内のターンテーブル31上に
被加工体30が搭載され、ホルダ10に加工に最適な砥
粒噴射ノズル11が取り付けられると、モータ5が回動
して上記砥粒噴射ノズル11を加工に最適な位置迄移動
し、同時にスクリュウ式押出装置17の補給器21にホ
ース35を介して砥粒タンク22から砥粒24が供給さ
れる。
然る後、スクリュウ式押出装置17のモータ19が回動
してスクリュウ20によってシリンダ18から砥粒室1
1 aに砥粒24が供給されると共に、空気室11b内
にはポンプ26から圧力調整弁25を経て、所定の値に
設定された圧縮空気が、圧縮空気供給路11Cを介して
供給される。
空気室11bから砥粒室11 a内に供給される圧縮空
気は、バルブ14の昇降によって脈流状又はパルス状と
されるので、砥粒噴射ノズル11から噴射される砥粒2
4の被加工体面に対する衝撃力が飛躍的に拡大し、加工
速度及び加工精度が大幅に向上すると共に、被加工体3
0の隅部及び細部の表面処理も良好に行なわれるように
なる。
〔実 施 例〕
以下、7 kg/ c+++2Gの圧縮空気を用い、S
iC粒子を噴射してAl2O3板を切断するとき、従来
方法(連続噴射)により加工した場合と、本発明方法に
より加工した場合とを比較して示す。
本実施例は、511zで供給空気をパルス状とした場合
の加工例であり、本発明方法によるときには、切断速度
が大幅に増すのに、切断部の幅が減少し、切断面が滑ら
かになることが判明する。
次に、第3図について説明する。
第3図に示した砥粒噴射ノズルは、高圧気体の噴射を脈
動流とするために乱流型の純流体素子を使用したもので
あり、第3図中、40は砥粒噴射ノズル、41は制御室
筐体、41 aは制御室、41 bは高圧空気供給口、
41 cはベント、42は砥粒混合室筐体、42aは出
力ノズル、43は制御管、44は砥粒供給管、45.4
5は取付ねし、46は受圧管である。
而して、砥粒噴射ノズル40は支持口・ノド9の先端部
に固定されたホルダ10に取り付けられる。
砥粒噴射ノズル40は制御室筺体41と砥粒混合室筐体
42とから構成されており、上記制御室筺体41には制
御室41 a、高圧空気供給口41 b及びベント41
 Cが形成されると共に、制御管43が取付けられてい
る。
また、砥粒混合室筺体42には出力ノズル42aが形成
されると共に、砥粒供給管44及び受圧管46が取付け
られている。
而して、高圧空気供給管41 bから制御室41a内に
空気が供給されると共に、制御管43から制御空気パル
スが供給される。
制御管43から制御空気の噴流がないときには、上記高
圧空気供給口41 bから供給される空気は、層流のま
一制御室41 aを介して受圧管46に達し、高いエネ
ルギを保有したま\受圧管46を通り、砥粒供給管44
から供給される砥粒と共に出力ノズル42aから高速で
噴出する。
然しなから、制御管43から制御空気が噴出していると
きには高圧空気供給口41 bからの噴流は乱流となっ
て、流れと直角の方向へ拡散するので、供給された空気
のうちの相当量がベント41 Gから流出するようにな
り、受圧管46内の空気の流速が大幅に低下することに
なる。
従って、高圧空気供給口41 bから制御室41aに供
給される圧縮空気流は一定であっても、受圧管46を流
れる空気は制御管43から供給される制御空気パルスに
対応し脈流状又はパルス状となる。
而して、加工時には制御室43から供給される制御空気
パルスによって、出力ノズル42aから噴射される砥粒
24の噴出速度が大幅に変動せしめられるので、砥粒2
4の衝撃力が増大し、被加工体30の隅や細部の処理も
良好に行なわれると共に、精度の高い加工を短時間に施
すことができるようになる。
〔発明の効果〕
本発明は、叙上の如く構成されるから、本発明によると
きは、被加工体に付着した砂や汚れを落したり、ガラス
やプラスチック表面に模様を付けたり、被加工体の仕上
げ加工及び表面処理や各種材料の切断等を小型な表面処
理又は材料切断装置によって、高精度に且つ短時間に行
なうことができるものである。
なお1、本発明の構成は叙上の実施例に限定されるもの
ではない。即ち、例えば、本実施例に於ては砥粒噴射ノ
ズルから噴射される砥粒の量及び圧力を空気室11 b
内のバルブ14を昇降して制御するか、又は純流体素子
を利用して制御するようにしたが、同様な効果を達成で
きるものであれば他の制御方法及び制御装置を利用し得
るものである。
また、砥粒噴射ノズル11の砥粒室11a内にスクリュ
ウ式押出装置17で砥粒24を供給するように構成した
が、上記スクリュウ式押出装置17に限定されず、広く
公知の押出装置が利用できるものである。
その他、砥粒噴射ノズル11及び40の取り付は方法、
砥粒24の回収の仕方及び各部の制御の仕方等は本発明
の目的の範囲内で自由に設計変更できるものであって、
本発明はそれらの総てを包摂するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明にかかる表面処理又は材料切断方法を
実施するための装置の一実施例を示す説明図、第2図は
、その砥粒噴射ノズル部分の構成を示す拡大断面図、第
3図は、砥粒噴射ノズルの他の実施例を示す説明図であ
る。 1−−−−−−−・−一−−−−筐体 2−−−−−−−−−−−−バッキング3−一−−−−
−−−−−−−一蓋体 3a”−”−”−”’ ”’ ”’ −’−’−−支持
部4−〜−・=−−−一一−−−〜ロッド5.19.3
2.33−モータ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)高圧気体により硬質粒子を被加工体の加工面に噴射
    して加工面に所望の処理を施す表面処理又は材料切断方
    法に於て、 上記高圧気体の噴射を脈流状として加工を行なうことを
    特徴とする上記の表面処理又は材料切断方法。 2)高圧気体により硬質粒子を被加工体の加工面に噴射
    して加工面に所望の処理を施す表面処理又は材料切断装
    置に於て、 上記高圧気体の噴射を断続させるバルブと、上記バルブ
    の開閉制御装置とを設けたことを特徴とする上記の表面
    処理又は材料切断装置。 3)高圧気体により硬質粒子を被加工体の加工面に噴射
    して加工面に所望の処理を施す表面処理又は材料切断装
    置に於て、 上記高圧気体の噴射を脈動流とする純流体素子を設けた
    ことを特徴とする上記の表面処理又は材料切断装置。
JP16674685A 1985-07-30 1985-07-30 表面処理又は材料切断方法及び装置 Pending JPS6228173A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16674685A JPS6228173A (ja) 1985-07-30 1985-07-30 表面処理又は材料切断方法及び装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16674685A JPS6228173A (ja) 1985-07-30 1985-07-30 表面処理又は材料切断方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6228173A true JPS6228173A (ja) 1987-02-06

Family

ID=15836980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16674685A Pending JPS6228173A (ja) 1985-07-30 1985-07-30 表面処理又は材料切断方法及び装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6228173A (ja)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01164560A (ja) * 1987-12-08 1989-06-28 Ted N Magee プラスチック部材の表面に模様を形成するための装置および方法
JPH0839431A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Nitsuchiyuu:Kk ファインセラミックスの加工方法
WO2007057426A2 (en) * 2005-11-18 2007-05-24 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. Device and method for feeding particles into a stream
CN104139344A (zh) * 2013-05-06 2014-11-12 昆山瑞恒峰技术咨询有限公司 一种新型的带有工件旋转架的喷砂机
CN104827409A (zh) * 2015-05-21 2015-08-12 遵义市节庆机电有限责任公司 超高压水切割机喷嘴
CN105382707A (zh) * 2014-08-28 2016-03-09 富士重工业株式会社 喷丸加工装置及喷丸加工方法
JP2016047586A (ja) * 2014-08-28 2016-04-07 ブラスト工業株式会社 ブラスト加工装置及びブラスト加工方法
JP2019022938A (ja) * 2018-09-26 2019-02-14 ブラスト工業株式会社 ブラスト加工装置及びブラスト加工方法
WO2019081403A1 (de) * 2017-10-26 2019-05-02 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und verfahren zum behandeln eines bauteils
CZ307863B6 (cs) * 2018-05-22 2019-07-03 PTV, spol. s r.o. Abrazivní hlavice s přívodem čistého plynu
CN110724802A (zh) * 2019-10-24 2020-01-24 周宇凡 一种喷丸机
CN110815053A (zh) * 2019-11-25 2020-02-21 温州实事传媒有限公司 一种精确喷砂雕刻的背景墙制作设备

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS556865U (ja) * 1978-06-29 1980-01-17

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS556865U (ja) * 1978-06-29 1980-01-17

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01164560A (ja) * 1987-12-08 1989-06-28 Ted N Magee プラスチック部材の表面に模様を形成するための装置および方法
JPH0839431A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Nitsuchiyuu:Kk ファインセラミックスの加工方法
WO2007057426A2 (en) * 2005-11-18 2007-05-24 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. Device and method for feeding particles into a stream
WO2007057426A3 (en) * 2005-11-18 2007-08-30 Shell Int Research Device and method for feeding particles into a stream
GB2444884A (en) * 2005-11-18 2008-06-18 Shell Int Research Device and method for feeding particles into a stream
GB2444884B (en) * 2005-11-18 2009-01-28 Shell Int Research Device and method for feeding particles into a stream
US8087480B2 (en) 2005-11-18 2012-01-03 Shell Oil Company Device and method for feeding particles into a stream
CN104139344A (zh) * 2013-05-06 2014-11-12 昆山瑞恒峰技术咨询有限公司 一种新型的带有工件旋转架的喷砂机
JP2016047586A (ja) * 2014-08-28 2016-04-07 ブラスト工業株式会社 ブラスト加工装置及びブラスト加工方法
CN105382707A (zh) * 2014-08-28 2016-03-09 富士重工业株式会社 喷丸加工装置及喷丸加工方法
JP2016047585A (ja) * 2014-08-28 2016-04-07 ブラスト工業株式会社 ブラスト加工装置及びブラスト加工方法
US10118275B2 (en) 2014-08-28 2018-11-06 Subaru Corporation Blast treatment device and blast treatment method
US10144112B2 (en) 2014-08-28 2018-12-04 Subaru Corporation Blast treatment device and blast treatment method
CN104827409A (zh) * 2015-05-21 2015-08-12 遵义市节庆机电有限责任公司 超高压水切割机喷嘴
WO2019081403A1 (de) * 2017-10-26 2019-05-02 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und verfahren zum behandeln eines bauteils
CZ307863B6 (cs) * 2018-05-22 2019-07-03 PTV, spol. s r.o. Abrazivní hlavice s přívodem čistého plynu
US11712782B2 (en) 2018-05-22 2023-08-01 PTV, spol. s r. o. Abrasive head with clean gas infeed
JP2019022938A (ja) * 2018-09-26 2019-02-14 ブラスト工業株式会社 ブラスト加工装置及びブラスト加工方法
CN110724802A (zh) * 2019-10-24 2020-01-24 周宇凡 一种喷丸机
CN110815053A (zh) * 2019-11-25 2020-02-21 温州实事传媒有限公司 一种精确喷砂雕刻的背景墙制作设备
CN110815053B (zh) * 2019-11-25 2021-08-20 杭州床邢科技有限公司 一种精确喷砂雕刻的背景墙制作设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6228173A (ja) 表面処理又は材料切断方法及び装置
US5230185A (en) Blasting apparatus and method
EP1670615B1 (en) Cnc abrasive fluid-jet milling
US5704824A (en) Method and apparatus for abrasive water jet millins
EP3658332B1 (en) Air flow management systems and methods to facilitate the delivery of abrasives to an abrasive fluid jet cutting head
KR102491059B1 (ko) 민감성 재료를 절단하기 위한 연마제 유체 제트 절단 시스템, 구성요소 및 관련 방법
KR20160110413A (ko) 고압 워터제트 절단 헤드 시스템, 구성요소 및 관련 방법
US20030194950A1 (en) Adaptive nozzle system for high-energy abrasive stream cutting
CA2458882A1 (en) Apparatus for generating and manipulating a high pressure fluid jet
US5042618A (en) Liquid/gas delivery system
US4575603A (en) TW-Electroerosion with controlled flushing flow guidance means
GB1232034A (ja)
JPH06304898A (ja) ウォータージェット加工装置及びそれを用いた加工方法
JP2021126743A (ja) 加工装置
CN104759374B (zh) 喷洒装置及其喷洒方法
JP2005103734A (ja) 三次元造形装置および三次元造形方法
JP4486222B2 (ja) 粘性材料の塗布装置
JPH0637075A (ja) 砥石を用いる加工方法
CN114434338B (zh) 一种磨料水射流系统及磨料射流的切割方法
JPS6239199A (ja) 切断又は表面処理加工方法及び装置
WO2023081606A1 (en) Abrasive fluid jet with recycling system for abrasives and methods of use of same
JP2003117768A (ja) オイルミスト供給装置、そのオイルミスト供給装置を用いた加工機械および加工方法
JPH0493176A (ja) ブラスト装置
JP2531431B2 (ja) ラジカル反応式精密加工装置のガス供給ノズル
JPS6228199A (ja) 切断又は表面処理方法及び装置