JPS62281483A

JPS62281483A - ガスレ−ザ発振装置

Info

Publication number: JPS62281483A
Application number: JP12348186A
Authority: JP
Inventors: Shigeyuki Takagi; 茂行高木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-05-30
Filing date: 1986-05-30
Publication date: 1987-12-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明はガスレーザ発振装置に関する。

（従来の技術）紫外光領域での発振波長が得られる希ガスノーライドエ
キシマレーザ発振装置を一例に挙げて説明する。第３図
はその従来例でガス溜め部（１）と放電部（２）とに分
れて構成されている。ガス溜め部（１）は管状体（３）
と、この管状体（３）内例設けられている環流用の送風
機（４）および冷却用の熱交換器（５）とで構成されて
いる。管状体（３）の両端部は閉塞体く図示せず）で着
脱可能に封止され、側部の一部は軸方向に沿って大きく
切欠され、７リング部（６）をもつ開口部（７）に形成
されている。一方、放電部（２）は開口部（７）に気密
に取り付けられた電気絶縁体からなる筐体（８）と、こ
の筐体（８）内に対峙して取り付けられた陰極（９）お
よび陽極Ｈからなる主放電電極と。

これらの両側の近傍に設けられた予備放電電極となる第
１の導電体（ｌｌａ）、　（１２ａ）および第２の導電
体（ｌｌｂ）、　（１２ｂ）がそれぞれ対をなし所定間
隔を置いて多数設けられている。上記ピーキングコンデ
ンサ霞群および陰極員はスイッチング素子１．充放電コ
ンデンサ霞を介し高圧電源部αｅに接続されている。ま
た、この高圧電源部（ＩＱは充放電コンデンサＩｉ９を
介して上記主放電電極に所定の電力を供給するようにな
っている。なお図示せぬが、主放電方向に直交した光軸
をもつ光共振器が陰極【９）。

陽極α１を間にして設けられている。

（発明が解決しようとする問題点）上記の構成では管状体（３）に気密に取り付けられる放
電部（２）が筐体のため気密構造とするには複雑な構造
が要求されまた部品点数も多くなり１組立や点検に多く
の時間が費されてしまう問題があった。また、放電部が
独立した状態になっているので、ガスレーザ媒質の流れ
も円滑にならない問題もあった。そこで１本発明は簡易
な構造でしかも気密性が十分高く保つことのできるガス
レーザ発振装置を提供することを目的とする。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）主放電電極が設
けられた管状体の側部に設けた開口部に絶縁部材からな
る単一の蓋体を気密に取り付けるとともに、この板体に
多数の絶縁管と管状体内側へ一体に取り付け、外部に設
けたピーキングコンデンサに接続され予備放電電極とな
る一方のビン状の導体を蓋体および絶縁管を気密に通さ
せて、管状体内に突出させた構成としたもので、主放電
電極間の放電部におけるガスレーザ媒質の流れが円滑と
なり、また気密性がより安定【維持できるようになった
。

（発明の実施例）以下、実施例を示す図面に基すいて本発明を説明する。

なお、第３図と共通する部分には同一符号を付し説明を
省略する。

第１図は本発明の一実施例で管状体（３）の開口（７）
における７リング部（６）にはふっ素系樹脂（硬質型）
からなる板状の蓋体翰がポル）２υにより気密に取り付
けられている。蓋体■の内側、すなわち管状体（３）内
に向く百には同じくふっ素系樹脂からなる多数の管状の
被覆体＠が管状体（３）の軸方向に沿って２列になって
多数配列されている。これら、被覆体＠と蓋体（イ）と
は溶着てよって一体となり、蓋体翰には上記一体となっ
た各被覆体＠とそれぞれ連通ずる通孔（図示せず）がそ
れぞれの部位に穿設されている。なお、被覆体りは管状
以外の形状であってもよい。管状体（３）内（は蓋体（
イ）と同等の絶縁材からなる一対の保持板（２３ａ）、
　（２３ｂ）が平行に相対向して設けられている。これ
ら保持板（２３ａ）。

（２３ｂ）の対向面には陰極（９）、陽極（１０が設け
られている。被覆体■は一方の保持板（２３ａ）を貫通
してほぼ陰極（９）の厚み分各党端部を突出させている
。

また、被覆体（社）には第１の導電体（ｌｌａ）、　（
１２ａ）が蓋体■の上記透孔を通してそ′れぞれ押通さ
れ、各先端部が被覆体（社）の先端部から突出している
。これら第１の導電体（ｌｌａ）、　（１２ａ）の後端
部は蓋体■から外部に突出し雄ねじ部が形成されている
。また、他方の保持板（２３ｂ）上には第２の導電体（
ｌｌｂ）。

（１２ｂ）が陽極α口と導通状態にされて設けられてい
る。ところで、被覆体（２りに挿通された第２の導電体
（ｌｌａ）、　（１２りは第２図に示すように０リング
（財）Ｋよって気密に封止されている。

一方、管状体（３）の外部【おいて、第１の導電体（１
１ａ）、　（１２ａ）の後端部（形成された雄ねじ部に
ピーキングコンデンサα３の一端が接続されている。

またピーキングコンデンサＵの他端はボルト（ハ）によ
って、リード板（ハ）ＩＣ接続されており、互いに導通
状態となっている。また、ピーキングコンデンサ０階群
および陰臣住のはスイッチ素子σ優および充放電コンデ
ンサ止を介して高圧電源部（Ｌ［９Ｋ　Ｍ続されている
。

以上の構成において１例えば波長が３０８１ｍのＸｅＣ
Ｊエキシマレーザを出力する場合には、管状体（３）内
にＨ（ｊ　、　Ｘｅ　、　Ｈｅを所定の割合に混合した
ガスレーザ媒質が所定の圧力で封入される。このガスレ
ーザ媒質は送風機（５）で環流され陰ｆｆｌ　（９）　
、陽極ｏＱ間の放電部に送られるようになっている。な
お、放電部を経たガスレーザ媒質は熱交喚器（４）で冷
却されるようになっている。上記ガスレーザ媒質の環流
において、第１の導電体（ｌｌａ）、　（ｘｚａ）、第
２の導電体（ｌｌｂ）、　（１２ｂ）による予備放電後
、陰極（９）。

陽極αＩＫよる主放電が開始されてレーザ発振が行われ
る。また、構成のうえで、ピーキングコンデンサ群を外
部に設けるために単一の板体を管状体の側部に形成した
開口部に気密に取り付けた構成としたので着脱が容易と
なった。また予備電極を挿通ずる絶縁管は板体と一体と
なっているのでガス漏れの心配を不要とした構成となっ
ている。

〔発明の効果〕

ガス溜めおよびガスが環流する管状体内に予備放電およ
び主放電の構成を設け、さらに外側にピーキングコンデ
ンサ群を取り付けた単一の蓋体を管状体く気密に取り付
け、さらに被覆体を管状体内側で上記蓋体く一体に取、
り付けてピーキングコンデンサ群に接続された予備放電
電極を上記被覆体に気密に挿通した構成としたので、構
成が著しく簡易となり、信頼性の高い気密構造となるば
かりでなく１組立や保守点検が極めて容易となる構造に
することができた。また、従来のようにガス溜め部と放
電部が分れていないのでガスレーザ媒質の流れも円滑と
なり、安定なレーザ発振を続けることができるようにな
った。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す横断１図、第２図は第
１図における絶、碌管部分の部分縦断面図。第３図は従来例を示す断面図である。（３１・・・管状体、（６）・・・開口部。（７）・・・７ランジ部、（９）・・・陰極（第１の電
極）、（１■・・・陽極（第２の電極）（ｌｌａ）、　（１２ａ）・・・第１の導”成体。（ｌｌｂ）、　（１２ｂ）・・・第２の導電体。 α階・・・ピーキングコンデンサ。 αａ・・・高圧電源部。 ■・・・蓋　体。（η・・・被覆体。代理人　弁理士　　則　近　憲　佑同　　　　　竹　花　喜久男７　　第２図第３図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）両端が一体もしくは着脱可能な閉塞部になり側部
に開口をもつ管状体と、この管状体内に互いに対向して
設けられて主放電電極を構成する第１の電極および第２
の電極と、上記第１の電極の近傍に設けられる第１の導
電体と、上記第２の電極の近傍に設けられかつ上記第１
の導電体と対をなして予備放電電極を構成する第２の導
電体と、上記開口に気密に取り付けられた電気絶縁性の
蓋体と、上記管状体の外部に設けられ上記蓋体を通して
上記第１の導電体に接続されたピーキングコンデンサと
、電気絶縁性を有し上記第１の導電体をその上記第２の
導電体側端部を露出状態にして気密に覆いかつ上記蓋体
に気密に取り付けられた被覆体と、上記第１の電極およ
び上記ピーキングコンデンサを通して第１の導電体に電
圧を印加する電源部と、気密封止された上記管状体内に
封入されたガスレーザ媒質を励起することによって生じ
たレーザ光を共振する光共振器とを備えたことを特徴と
するガスレーザ発振装置。
（２）蓋体および被覆体はふっ素系樹脂系もしくはセラ
ミックス系材料になることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のガスレーザ発振装置。