JPS62274245A - Surface inspection device for discoid component - Google Patents

Surface inspection device for discoid component

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JPS62274245A
JPS62274245A JP61119797A JP11979786A JPS62274245A JP S62274245 A JPS62274245 A JP S62274245A JP 61119797 A JP61119797 A JP 61119797A JP 11979786 A JP11979786 A JP 11979786A JP S62274245 A JPS62274245 A JP S62274245A
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mask image
image
shaped
disk
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義和 藤原
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Aisin Takaoka Co Ltd
Aichi Prefecture
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Abstract

PURPOSE:To improve productivity and to attain accurate inspecition by setting the mask image of a sectional pattern to be inspected, photographing a specific part within a constant angle range about the center axis, and inputting a reference image signal and an image signal to be inspected and deciding whether or not the image is normal. CONSTITUTION:A discoid component 90 to be inspected is set on a rotary inspection table 10 equipped with a turntable 12R, a roll bearing 12B, and a frame 11F and when a start switch is turned on, the functions of an AND part 41, a comparative addition part 43, a rotation command part 45, and a decision part 47 are made effective and the component 90 is rotated by a specific angle around the center axis with a rotation command outputted by a controller 40 consisting of a computer 430 and input/output interfaces 420 and 440. When a mask image setting device 20 sets the mask image of the sectional pattern to be inspected and outputs the reference image signal and a television camera 3 outputs the image signal to be inspected, the controller 40 performs mask matching between the mask image and television image, ANDs the brightness data of the superposed part, and compares and adds a threshold value to decide whether or not there is a flaw, so that the result is displayed on a CRT display 70.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [産業上の利用分野] 本発明は、円盤状部品の表面をI11彰して、その画像
からこの表面の傷等を検査でる円盤状部品の表面検査装
置に関する。
Detailed Description of the Invention 3. Detailed Description of the Invention [Industrial Field of Application] The present invention provides a disc-shaped part in which the surface of the disc-shaped part is imaged and the scratches etc. on the surface can be inspected from the image. The present invention relates to a surface inspection device.

[従来の技術] 従来、自動車のIII vJ装置の部品であるディスク
ロータ(以下、単にワークと記す)は、所定の加工工程
を終えた後検査工程で、外観検査、面精度検査、寸法検
査等の各種検査が行われていた。これらの検査の内でワ
ークの表面の、傷の有無の検査は、定盤の上にこのワー
クを一方の側面で当接するように載せるワーク設定の工
程、他方の側面を目視で閂の有無を確認する目視工程、
ワークを定盤からとり除く工程、とを順次作業者が実行
していた。
[Prior Art] Conventionally, a disc rotor (hereinafter simply referred to as a workpiece), which is a part of an automobile's III vJ device, has been subjected to an inspection process such as an appearance inspection, a surface accuracy inspection, a dimensional inspection, etc. after completing a predetermined processing process. Various tests were being conducted. Among these inspections, the inspection for the presence or absence of scratches on the surface of the workpiece involves the workpiece setting process in which the workpiece is placed on a surface plate so that it is in contact with one side, and the other side is visually checked for the presence or absence of bolts. Visual process to confirm,
The process of removing the workpiece from the surface plate was carried out sequentially by the worker.

[発明の解決しようとする問題点〕 ところが、これら各工程の作業は繰り返し作業であり、
傷等の目視検査には神経の集中が必要であるため、作業
者は一定の作業時間が経過すると疲労する。そのため、
作業性が悪くなったり、傷の見落しが行すれる可能性が
大きい。
[Problems to be solved by the invention] However, the work in each of these steps is repetitive work,
Visual inspection for scratches and the like requires concentration of nerves, so workers become fatigued after a certain amount of work time. Therefore,
There is a high possibility that work efficiency will deteriorate or that scratches may be overlooked.

[発明の目的〕 しかし、この作業性をよくしたり、傷の見落しをなくす
には、このような繰り返し作業をロボットで行い、傷、
読みとりをセンサにより行い、その判定をコンビ」−夕
等で求めるのが望ましい。
[Purpose of the Invention] However, in order to improve the efficiency of this work and eliminate the possibility of overlooking scratches, robots should be used to perform this repetitive work.
It is preferable to take readings using a sensor and make a determination using a combination sensor, etc.

そこで本発明はこの1具等の検査を行う円盤状部品の表
面検査装置を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a surface inspection device for a disk-shaped component that inspects this single tool.

〔問題点を解決するための手段1 木兄」の円盤状部品の表面検査装置は、検査づべき円盤
状部品を保持し、該円盤状部品の中心軸を中心に所定角
度回転させる回転検査台と、検査すべき扇型のマスク画
像を設定し、基準画像信号を出力するマスク画像設定装
置と、該回転検査台に保持された該円盤状部品の検査す
べき表面の咳中心軸より一定角度範囲にある小型部分を
含む所定部分の表面を囮影し、被検査画像信号を出力す
るテレビカメラと、 該マスク画像設定装置、該テレビカメラからそれぞれ基
準画像信号、被検査画像信号を入力し、該円盤状部品の
表面状態の良否を判定するiil+御装置とから成り、 前記制御装置は、 前記マスク画像設定装置で設定されたマスク画像と前記
テレビカメラで1lii彰された前記所定部分の画像と
をマスク合わせし、該マスク画像と該所定部分の重畳部
の対応点のR1度データの論理積を求める論理積演算部
と、 該論理積演算部で求められた各論理積の値を、しきい値
と比較して(9た正またはOの個数をカウントする比較
加惇部と、 前記所定部分が@影された後、前記回転検査台を前記一
定角度回転させる回転指令信号を出力する回転指令部と
、 前記比較加等部の値が一定値以上の時に、良または否の
判定を示す良否判定信号を出力する判定部とで構成され
ることを特徴とする。
[Means for solving the problem 1: Ki-ni's surface inspection device for disc-shaped parts is a rotating inspection table that holds a disc-shaped part to be inspected and rotates the disc-shaped part by a predetermined angle around the central axis of the disc-shaped part. a mask image setting device that sets a fan-shaped mask image to be inspected and outputs a reference image signal; and a mask image setting device that sets a fan-shaped mask image to be inspected and outputs a reference image signal; a television camera that imitates the surface of a predetermined portion including a small portion within a range and outputs an image signal to be inspected, and inputs a reference image signal and an image signal to be inspected from the mask image setting device and the television camera, respectively; a control device for determining the quality of the surface condition of the disk-shaped component; a logical product operation unit that performs a logical product of the R1 degree data of corresponding points of the mask image and the superimposed portion of the predetermined portion; a comparison controller that counts the number of positives or O's in comparison with a threshold; and a rotation controller that outputs a rotation command signal that rotates the rotating inspection table by the predetermined angle after the predetermined portion is shadowed. It is characterized by being comprised of a command section and a determination section that outputs a pass/fail determination signal indicating pass or fail determination when the value of the comparison/addition section is equal to or greater than a certain value.

この発明の円盤状部品の表面検査装置は、その概念が第
1図のブ[]ツクダイアグラムで示される。
The concept of the surface inspection apparatus for disk-shaped parts of the present invention is shown in the block diagram of FIG.

叩ら、円盤状部品の表面検査装置は、回転検査台10と
、マスク画像設定装置20と、テレビカメラ30と、制
御Il装置40とから構成される。
The surface inspection device for a pressed, disk-shaped component is comprised of a rotary inspection table 10, a mask image setting device 20, a television camera 30, and a control device 40.

回転検査台10は、検査すべき円盤状部品を保)、1し
、該円盤状部品の中心軸を中心に所定角度回転させる装
置である。即ち、この回転検査台10の特徴は、この円
盤状部品の検査面を分FFJ L/て検査するために、
テレビカメラ30が1ffl影する間は回転を停止させ
、この園影が完了すると次の検査領域が囮彰できるよう
に回転さぜるve、置である。
The rotating inspection table 10 is a device that holds a disk-shaped component to be inspected and rotates the disk-shaped component at a predetermined angle about its central axis. That is, the feature of this rotary inspection table 10 is that in order to inspect the inspection surface of this disk-shaped component,
The rotation is stopped while the television camera 30 casts a 1ffl shadow, and when this shadow is completed, it is rotated so that the next inspection area can be illuminated.

所定角度の油、即ち1回転を何個の検査領域に分割する
かは、テレビカメラ30の分解能、又その配;Jlli
llにより決定するのが望ましい。例えばこの検査領域
の個数は、8個、12個、16個等が考えられる。なお
、ここで保持とは、円盤状部品の検査面を後で述べるテ
レビカメラ30の撮影部に安定して対面させるように保
てるように、円盤状部品90を位M設定することである
。従って、この保持の形態はテレビカメラ3oとの相対
位置によって異なる。例えば、テレビカメラ30が上方
に設定された時は、回転検査台10は円盤状部品90を
単に載せるだけでよいが、テレビカメラ20が横方向な
いしは斜め方向から撮影する場合は、この円盤状部品9
0が回転した時にt−)落下しないように、クランプ装
置等で保持することが必要である。この回転検査台10
の駆動源としては、周知のステッピングモータ、DCモ
ータ、エアモータ等のアクチュエータが利用できる。
The number of inspection areas into which oil at a predetermined angle, that is, one rotation, is divided depends on the resolution of the television camera 30 and its arrangement;
It is preferable to determine by ll. For example, the number of inspection areas may be 8, 12, 16, etc. Note that holding here means setting the disc-shaped component 90 at a position M such that the inspection surface of the disc-shaped component can be kept stably facing the photographing section of the television camera 30, which will be described later. Therefore, the form of this holding differs depending on the relative position with respect to the television camera 3o. For example, when the television camera 30 is set upward, it is sufficient to simply place the disc-shaped component 90 on the rotary inspection table 10, but when the television camera 20 takes pictures from the side or diagonally, this disc-shaped component 9
It is necessary to hold it with a clamp device or the like so that it does not fall when it rotates. This rotating inspection table 10
As a drive source, a well-known actuator such as a stepping motor, a DC motor, or an air motor can be used.

マスク画像設定装W120は、検査すべき扇型のマスク
画像を設定し、基準画像信りを出力する装置である。こ
の扇型のマスク画像が設定されるのは、円盤状部品の全
面積を効率よく分割して検査されるためである。そして
、この原型の形状は検査される円盤状部品の形状に応じ
て設定される。
The mask image setting device W120 is a device that sets a fan-shaped mask image to be inspected and outputs a reference image. This fan-shaped mask image is set so that the entire area of the disk-shaped component can be efficiently divided and inspected. The shape of this prototype is set according to the shape of the disc-shaped component to be inspected.

マスク画像の内外は、2種類デジタル値により区画され
るように設定される。この設定は、ハード的に設定され
てもよいし、ソフト的に設定されてもよい。
The inside and outside of the mask image are set to be divided by two types of digital values. This setting may be set in hardware or software.

テレビカメラ30は、該回転検査台に保持された該円盤
状部品の検査すべき表面の該中心軸より一定角度範囲に
ある扇型部分を含む所定部分の表面を撮影し、被検査画
像信号を出力するものである。即ち1、このテレビカメ
ラ30は、検査すべき表面から少なくとb扇型部分の形
状を撮影することを特徴とする。この単位領域は検査し
ようとする精度に応じて決められる領域である。例えば
、この単位領域は、100μm 110μm 等に設定
することができる。
The television camera 30 photographs a predetermined portion of the surface of the disc-shaped component to be inspected held on the rotary inspection table, including a fan-shaped portion within a certain angle range from the central axis, and outputs an image signal to be inspected. This is what is output. That is, 1. This television camera 30 is characterized in that it photographs at least the shape of a fan-shaped portion b from the surface to be inspected. This unit area is an area determined according to the accuracy to be inspected. For example, this unit area can be set to 100 μm, 110 μm, etc.

そして、検査すべき面が、表面、寝間の両方を検査する
場合は、表面、裏面のそれぞれを検査する2台のテレビ
カメラを用いるのが望ましい。
If the surfaces to be inspected are both the front surface and the sleeping area, it is desirable to use two television cameras that inspect the front surface and the back surface, respectively.

ここでテレビカメラ30のta部としては、撤像管、又
は固体II像素了が用いられる。
Here, as the TA section of the television camera 30, a retractor tube or a solid-state II imager is used.

制御装置40は、該マスク画像設定装置、該テレビカメ
ラからそれぞれ基準画像信号、被検査画像信号を入力し
、該円盤状部品の表面状態の良否を判定する装置である
。この制御装!ff40は、論I!!積演算部41と、
比較加算部43と、回転指令部45と、判定部47とで
構成されている。
The control device 40 is a device that inputs a reference image signal and an image signal to be inspected from the mask image setting device and the television camera, respectively, and determines whether the surface condition of the disk-shaped component is good or bad. This control device! ff40 is theory I! ! A product calculation unit 41;
It is composed of a comparison and addition section 43, a rotation command section 45, and a determination section 47.

論理積演算部41は、前記マスク画像設定装Vで設定さ
れたマスク画像と前記テレビカメラで■彰された前記所
定部分の画像とをマスク合ねゼし、該マスク画像と該所
定部分の重畳部の対応点の輝度データの論理積を求める
装置である。この論理積を求めるのは、円盤状部品の表
面の傷の部分と、そうでない部分が判別するためである
。例えば、マスク画像の内部frI域の各点のデータが
1に設定されている時、円盤状部品の表面の偏部が0、
正常部がO以外の正の値で示“される値の時、この論理
積を求めることにより、偏部が0となる。
The AND calculation unit 41 combines the mask image set by the mask image setting device V with the image of the predetermined portion captured by the television camera, and superimposes the mask image and the predetermined portion. This is a device that calculates the logical product of brightness data of corresponding points in a part. The purpose of calculating this logical product is to determine which parts of the surface of the disc-shaped part are scratched and which parts are not. For example, when the data of each point in the internal frI region of the mask image is set to 1, the uneven part of the surface of the disk-shaped part is 0,
When the normal part is a positive value other than O, the partial part becomes 0 by calculating this logical product.

これら、マスク画像の内部領域、偏部、正常部の値をO
に設定するか1に設定するかは、円盤状部品の傷の有無
が検査できれば、その時のIll ml装置、テレビカ
メラ等の条件に応じて決めてよい。
These values of the internal area, eccentric part, and normal part of the mask image are O
Whether to set it to 1 or 1 may be determined depending on the conditions of the Illml device, television camera, etc. at that time, as long as the presence or absence of scratches on the disc-shaped component can be inspected.

比較加算部43は、該論理積演算部で求められた各論理
積の値を、しきい値と比較して正またはOの個数を力1
ンントする装置である。このカウントは、傷の有無を判
定するために行われるものである。このカランとは、例
えば円盤状部品の表面を#1乃至#16の16個の部分
に分割して検査する時、#1でカウントした値を次の#
2のカウントの初期値とするように順次積分していって
もよいし、各部分毎に初III (aを0にするように
してもよい。この加算部43の加算法は円盤状部の検査
条件に応じC決定することができる。
The comparison and addition unit 43 compares the value of each logical product obtained by the logical product calculation unit with a threshold value, and calculates the number of positive or O values as 1.
It is a device that monitors This count is performed to determine the presence or absence of scratches. For example, when inspecting the surface of a disc-shaped part by dividing it into 16 parts #1 to #16, the value counted in #1 is divided into 16 parts #1 to #16.
The addition method of the adding section 43 is based on the initial value of the disk-shaped section. C can be determined depending on the inspection conditions.

回転指令i!!IK/15は、前記所定部分が撮影され
た後、前記回転検査台を曲記一定角度回転させる回転指
令信号を出力する装置である。
Rotation command i! ! The IK/15 is a device that outputs a rotation command signal to rotate the rotary inspection table by a certain angle after the predetermined portion is photographed.

判定部47は、前記加暉部の値が一定l1lI以上の時
に、良又は否の判定を示す良否判定信号を出力する装置
である。つまり判定部47は、この加惇部43からの信
号を入力しこの円盤状部品90の傷の有無等を判定し、
その判定結果を出力する手段である。
The determining unit 47 is a device that outputs a quality determination signal indicating whether the product is acceptable or not when the value of the abrading unit is equal to or greater than a certain value l1lI. In other words, the determining unit 47 inputs the signal from the adding unit 43 and determines the presence or absence of scratches on the disc-shaped component 90.
This is means for outputting the determination result.

これら、論理積演算部41、比較加r5部43、回転指
令部45、判定部47としては、例えば、コンパレータ
とか、カウンター、或いはマイクロコンピュータ等が利
用できる。
For example, a comparator, a counter, a microcomputer, or the like can be used as the logical product operation section 41, the comparison/addition section 43, the rotation command section 45, and the determination section 47.

[作用] 検査すべき円盤状部品がこの回転検査台にセットされ、
表面検査装置の起動スイッチが投入されると、回転検査
台は、保持している検査すべき円盤状部品を該円盤状部
品の中心軸を中心に所定角度回転させる。
[Operation] A disk-shaped part to be inspected is set on this rotating inspection table,
When the start switch of the surface inspection device is turned on, the rotary inspection table rotates the disk-shaped component to be inspected held therein by a predetermined angle around the central axis of the disk-shaped component.

マスク画像設定S賃は、検¥rタベさ扇型のマスク画像
を設定し、基準画像信号を出力する。テレビカメラは、
該回転検査台に保持された該円盤状部品の検査すべき表
面の該中心軸より一定角度範囲にある扇型部分を含む所
定部分の表面を撮影し、被検査画像信号を出力する。
Mask image setting S sets a vertical fan-shaped mask image and outputs a reference image signal. The TV camera is
The surface of a predetermined portion of the surface to be inspected of the disc-shaped component held on the rotary inspection table, including a fan-shaped portion within a certain angle range from the central axis, is photographed and an image signal to be inspected is output.

υ)す(l装置は、該マスク画像設定装置、該テレビカ
メラからそれぞれ基準画像信号、被検査画像信号を入力
し、該円盤状部品の表面状態の良否を判定する。即ち、
その論理積演算部は、前記マスク画!&設定装置で設定
されたマスク画像と前記テレビカメラで撮影された前記
所定部分の画像とをマスク合わせし、該マスク画像と所
定部分の重畳部の対応点のa度データの論理積を求める
。そして、その比較IXI算部鼻部該−1!l!槓演算
部で求められた各論理積の値を、しきい値と比較して得
た正またはOの個数をカウントする。その後、回転指令
部は、前記所定部分が撮影された後、前記回転検査台を
前記一定角度回転させる回転指令信号を出力する。−h
、判定部は、前記比較加鼻部の値が一定値以上の時に、
良または否の判定を示す良否や1定fh号を出ツノする
υ) The (l device inputs a reference image signal and an image signal to be inspected from the mask image setting device and the television camera, respectively, and determines the quality of the surface condition of the disk-shaped component. That is,
The logical product calculation section is the mask image! & Mask the mask image set by the setting device and the image of the predetermined portion taken by the television camera, and calculate the logical product of the a-degree data of the corresponding points of the overlapping portion of the mask image and the predetermined portion. And the comparison IXI calculation part nose section -1! l! The value of each logical product obtained by the calculation unit is compared with a threshold value, and the number of positive or O results obtained is counted. Then, after the predetermined portion is photographed, the rotation command unit outputs a rotation command signal to rotate the rotary inspection table by the certain angle. -h
, the determination unit determines when the value of the comparison nose unit is equal to or higher than a certain value,
It outputs a pass/fail mark and a constant fh number indicating whether it is pass or fail.

[実施例1 以下、本発明の円盤状部品の表面検査装置を具体的な実
施例に基づいて詳しく説明する。
[Example 1] Hereinafter, the surface inspection apparatus for a disk-shaped component of the present invention will be described in detail based on a specific example.

この円盤状部品の表面検査装置は、自動車のυJ動装置
に用いられるディスクロータの表面検査表でとして適用
したものであり、その構成が第2図のブロックダイアグ
ラムで示される。円盤状部品の表面検査装置は、回転検
査台10と、マスク画像設定gAilff20と、テレ
ビカメラ30と、制御ll装茸40と、本発明装置に結
合され、判定結果を表示させるCRTディスプレイ70
と、ロボット装置80とから構成される。
This surface inspection device for disk-shaped parts is applied as a surface inspection table for disk rotors used in υJ motion devices of automobiles, and its configuration is shown in the block diagram of FIG. The surface inspection device for disk-shaped parts includes a rotating inspection table 10, a mask image setting gAilff 20, a television camera 30, a control device 40, and a CRT display 70 that is coupled to the device of the present invention and displays the determination results.
and a robot device 80.

この回転検査台10は、測定すべきディスクロータ91
を載せる回転台12Rと、この回転台12Rの軸部を回
転自在に保持するころがり軸受12Bと、このころがり
軸受12Bを保持するフレーム11Fと、このフレーム
11Fを保持するベース11Bと、この回転台12Rを
継手13Cを介して回転力を与えるステッピングモータ
13と、このステップモータ13を駆動する回路のステ
ッピング七−タ駆肋装置で構成されている。
This rotary inspection table 10 has a disk rotor 91 to be measured.
A rotating table 12R on which the rotating table 12R is placed, a rolling bearing 12B that rotatably holds the shaft of the rotating table 12R, a frame 11F that holds this rolling bearing 12B, a base 11B that holds this frame 11F, and this rotating table 12R. The motor is comprised of a stepping motor 13 which applies rotational force through a joint 13C, and a stepping seven-stage drive device which is a circuit for driving this stepping motor 13.

このマスク画像設定装置20は、扇型形状が設定できる
マスク画像設定部゛と、後述するテレビカメラ30から
の画像信号を取入れ、これらを輝度に対応させて記憶J
る画像メモリとで構成されている。なお、この画像メモ
リは、記憶容認が1フレーム当り1データ8ピツトデー
タとして、256X256個のデータが記憶できるもの
である。
This mask image setting device 20 incorporates a mask image setting section capable of setting a fan-shaped shape and image signals from a television camera 30, which will be described later, and stores them in correspondence with brightness.
It consists of an image memory and an image memory. Note that this image memory can store 256×256 pieces of data, with one data and 8 pit data per frame.

この画像メモリは、1画面が縦256画iX横256画
素で構成され、1画素は256階調の濃淡が記憶できる
。なお、1画素は1単位領域に対応し、ワーク而では0
.4mmx0.4mmに相当する。
In this image memory, one screen is composed of 256 pixels vertically by 256 pixels horizontally, and one pixel can store 256 gradations of light and shade. Note that 1 pixel corresponds to 1 unit area, and 0 in the workpiece.
.. It corresponds to 4mm x 0.4mm.

このテレビカメラ3oは、ディスクロータ91の表面、
裏面を囮彰する表面用カメラ31、裏面用カメラ33と
で構成する。各テレビカメラ31.33は、モノクロー
ム型で、CODのデバイスを用いた装置である。又、こ
れらのテレビカメラは、後述する制岨装ff140から
の信号でズームにJ、る囮彰Ii!囲が調整できる乙の
である。
This television camera 3o has a surface of the disc rotor 91,
It is composed of a front camera 31 that decoys the back surface, and a back camera 33. Each television camera 31, 33 is a monochrome type device using a COD device. In addition, these television cameras can be zoomed by signals from the control system FF140, which will be described later. The area can be adjusted.

この制御I装置40は、論l[l!積演算部41、比較
加棹部43、回転指令部45、判定部47の機能を有す
るマイクロコンピュータ430(以下、]ンビュータ4
30と略記する。)と、入力インタフェース4201出
力インタフエース440と、で構成されている。
This control I device 40 has logic l[l! A microcomputer 430 (hereinafter, referred to as a) having the functions of a product calculation section 41, a comparison processing section 43, a rotation command section 45, and a determination section 47
It is abbreviated as 30. ), an input interface 4201 and an output interface 440.

CRTディスプレイ70は、制御lJ装置からのその判
定結果を表示できるように、本発明Miiffに接続さ
れている。
A CRT display 70 is connected to the Miiff of the present invention so that the determination results from the control lJ device can be displayed.

0ボツト装″ei80は、コンピュータ430からの制
御信号を出力インタフェース440を介して入力し、こ
のl!、lJ Ill信月に応じて良品のディスクロー
タと不良品のディスクロータをそれぞれ、良品搬送コン
ベア、不良品搬送コンベアに振り分けで積載するもので
ある。このロボット装置は、公知のロボット装置である
が、その構成の説明は省略する。
The ``0bot installation''ei80 inputs the control signal from the computer 430 via the output interface 440, and transfers the good disc rotor and the defective disc rotor to the good product conveyor, respectively, according to the l!, lJ Ill Shingetsu. The defective products are sorted and loaded onto a conveyor.This robot device is a well-known robot device, but a description of its configuration will be omitted.

なお、図中示される外部入力機器85は、リミットスイ
ッヂ、ホトセンサ専をまとめて示したものである。
Note that the external input device 85 shown in the figure includes a limit switch and a photo sensor.

本実施例装置は以上のように構成されている。The device of this embodiment is configured as described above.

以下、本実施例装置の作用を、コンピュータ430が実
行するプログラムを示す第3図のフローチャートに従っ
て説明する。
The operation of the apparatus of this embodiment will be described below with reference to the flowchart of FIG. 3 showing the program executed by the computer 430.

コンピュータ430は&1lIO装置40の超勤スイッ
チが投入されるとステップ100より実行を開始する。
The computer 430 starts execution from step 100 when the overtime switch of the &1lIO device 40 is turned on.

コンピュータ430は、このステップでパラメータX、
Gの値を初期設定する。
In this step, the computer 430 sets the parameters X,
Initialize the value of G.

パラメータXは、ディスクロータ91の1個の検査領域
から欠陥画素が抽出できるためのしきい値のことである
。パラメータGは、抽出された欠陥画素数がい(つ以上
を超えた時にこのディスクロータ91を不良品と判定す
る良否判定基準値のことである。本実施例の場合、X−
85、G−3と初期設定する。
The parameter X is a threshold value for extracting defective pixels from one inspection area of the disc rotor 91. The parameter G is a standard value for determining whether the disc rotor 91 is defective when the number of extracted defective pixels exceeds 2. In the case of this embodiment,
The initial settings are 85 and G-3.

ステップ102,106では、この分割された検査領域
の表面の状態を検査する。そして、ステップ108.1
10.112ではこの円盤状部品90の裏面の検査領域
の状態を検査する。
In steps 102 and 106, the surface condition of the divided inspection area is inspected. and step 108.1
At 10.112, the state of the inspection area on the back surface of this disk-shaped component 90 is inspected.

このステップ104.110は、第4図のサブルーチン
に示すフローチャートに従って、テレビカメラ31.3
3からそれぞれ検出すべき表面と裏面の画像でデータを
処即するステップである。
This step 104.110 is performed by the television camera 31.3 according to the flowchart shown in the subroutine of FIG.
This is a step of processing data from images of the front side and the back side to be detected respectively from step 3.

この第48のフローチャートについて説明する。This 48th flowchart will be explained.

ステップ129で、マイクロコンピュータ430は入力
画一の原型検査部とマスク画像のズレを修正し位置合わ
せを(る。
In step 129, the microcomputer 430 corrects the misalignment between the input image of the prototype inspection part and the mask image, and performs position alignment.

ステップ130は、入力画像と、マスク画像(第5図に
示される扇型25の形状で、各画素の 。
In step 130, the input image and the mask image (in the shape of a sector 25 shown in FIG. 5) are calculated for each pixel.

アドレスは同図に示される順で定義されている)INの
一1!I!積を求め検査領域外は良品データに行換える
。この様子は第5図乃至第9図で示される。
Addresses are defined in the order shown in the figure) IN 1! I! The product is calculated and data outside the inspection area is replaced with non-defective data. This situation is shown in FIGS. 5 to 9.

ここで第5図は、検査しようとする扇型部分の領域を2
値化によって示したものであり、検査領域内を「1」、
これ以外の領域を「0」で示しである。
Here, Fig. 5 shows the area of the fan-shaped part to be inspected.
It is shown as a value, and the inside of the inspection area is ``1'',
Areas other than this are indicated by "0".

第6図はテレビカメラ31(又は33)から入力した画
像を示すものであり、各点の輝度が8ピツトデータ(O
乃至255で最も暗い点の輝度をoltl、最も明るい
点の輝度を255と定義しである)で示したものであり
、これから検査しようとする部分を扇型で示してあ−る
Figure 6 shows an image input from the television camera 31 (or 33), where the brightness of each point is 8-pit data (O
255, the brightness of the darkest point is defined as oltl, and the brightness of the brightest point is defined as 255), and the area to be inspected is shown in a fan shape.

第7図は、この第6図で示された各点の輝度の内、扇型
外の部分をその輝度のいかんにかかわらず0値とした時
の状態を示している。これは後述する論理積を求めた時
に検査外の領域の輝度鎖が0となるようにするためであ
る。
FIG. 7 shows a state in which the brightness of each point shown in FIG. 6 is set to 0, regardless of the brightness of the part outside the fan shape. This is to ensure that the luminance chain in the non-inspection area becomes 0 when calculating the logical product to be described later.

第8図は、第5図に於ける扇型の検査領域と第7図に於
ける現実の輝度領域に各点の輝度の論理積を求めた状態
を示している。そして、検査領域に於ける値が1を点の
個数をカウントしようとするところである。なお第9図
はCRTディスプレイ上の点の定義を示す図であり、左
上方角をo。
FIG. 8 shows a state in which the logical product of the brightness of each point is calculated in the fan-shaped inspection area in FIG. 5 and the actual brightness area in FIG. 7. Then, the number of points whose value is 1 in the inspection area is to be counted. FIG. 9 is a diagram showing the definition of points on a CRT display, where the upper left corner is o.

Oo番地、右上方角を0OFFfi地、左下り角をFF
oO番地、右下方角をFFFF番地としてそれぞれ16
進数表示で示したちのである。
Oo address, upper right corner is 0OFFfi address, lower left corner is FF
16 each with oO address and lower right corner as FFFF address
It is shown in decimal notation.

ステップ132は検査領域内の画像データをステップ1
00で設定したしきい値Xで2値化処理するステップで
ある。
Step 132 transfers the image data within the inspection area to step 1.
This is a step of performing binarization processing using a threshold value X set as 00.

ステップ134は2値化後のlijmデータ中の欠陥画
素数を1■るステップである。
Step 134 is a step in which the number of defective pixels in the lijm data after binarization is incremented by 1.

その後プログラムは主プログラムに復帰する。The program then returns to the main program.

ステップ106.112はこれまで加絆された欠陥画素
数と、良否を判定する判定基準(aGとの大小を判定す
るステップである。
Steps 106 and 112 are steps for determining the size of the number of defective pixels that have been combined so far and the criterion (aG) for determining pass/fail.

本実施例の場合、少なくともその大きざが面積で0.5
mrn’以上の傷は必ず検出できることを目的としてい
る。即ち、11i素が0.4mmであるから、 0.4X0.4XG≦0.5・−・・−(1)式(1)
を満たすGLtG≦3.125である。
In the case of this embodiment, the size difference is at least 0.5 in area.
The aim is to be able to always detect flaws larger than mrn'. That is, since the 11i element is 0.4 mm, 0.4X0.4XG≦0.5・−・・−(1) Formula (1)
GLtG≦3.125.

従って、判定基準Gを3(画素の個数)と設定すれば、
0.5mm2以上の傷は必ず検出することができる。本
実施例ではこのようにしてGが初期設定されている。
Therefore, if the criterion G is set to 3 (number of pixels),
Scratches larger than 0.5 mm2 can always be detected. In this embodiment, G is initialized in this manner.

ステップ106.112で傷が有りとマり定された時は
ステップ192にジレンブし、IBMす(NG)の判定
がなされロボット装置80へその判定結果が出力され、
ロボット装置8oがこの検査されたディスクロータを不
良品搬送コンベアに載せる。
When it is determined that there is a flaw in steps 106 and 112, the process goes to step 192, where a determination is made that the IBM is damaged (NG), and the determination result is output to the robot device 80.
The robot device 8o places the inspected disk rotor on the defective product conveyor.

このステップで傷なしと711定された時は、ステップ
116で、コンピュータは次の検査領域が検査できるよ
うにディスクロータ91を回転させるために、ステッピ
ングモータ13を作動させる制御信号を出力する。
When it is determined in this step that there is no flaw 711, in step 116 the computer outputs a control signal to operate the stepping motor 13 in order to rotate the disk rotor 91 so that the next inspection area can be inspected.

そして、ステップ114で全検査領域(本実施例におい
ては16個の領域に分割)が検査されたと判定されるま
でスーアップ116乃至102の繰り返しルーチンが実
行される。全での検査領域が検査され、ステップ114
でこのディスクロータ91に傷がなしと判定されるとス
テップ190にジ1?ンプし、傷なしくOK>の判定が
なされロボット装置80へ、その判定結果が出力され、
ロボット装置80が検査されたディスクロータ91を良
品搬送コンベアに載せる。
Then, the repeat routine of swiping up 116 to 102 is executed until it is determined in step 114 that all inspection areas (divided into 16 areas in this embodiment) have been inspected. The entire inspection area is inspected, step 114
If it is determined that there is no scratch on the disc rotor 91, step 190 is performed. and the judgment result is output to the robot device 80.
The robot device 80 places the inspected disk rotor 91 on a non-defective product conveyor.

[発明の効果] 本発明によれば、円盤状部品の表面検査装置を、検査す
べき円盤状部品を保持し、該円盤状部品の中心軸を中心
に所定角度回転させる回転検査台と、 検査すべき扇型のマスク画像を設定し、基準画像信号を
出力するマスク画@設定装置と、該回転検査台に保持さ
れた該円盤状部品の検査すべき表面のこの中心軸より一
定角度範囲にある扇型部分を含む所定部分の表面を暗影
し、被検査画像信号を出力するテレビカメラと、 該マスク画像設定装置、該テレビカメラからそれぞれ基
準画像信号、被検査画像信号を入力し、該円盤状部品の
表面状態の良否を判定する制御装置とから成り、 前記制御V装置は、 このマスク画像設定v装置で設定されたマスク画像と前
記テレビカメラで撮影された前記所定部分の画像とをマ
スク合わせし、該マスク画像と該所定部分の重畳部の対
応点の輝度データの論理積を求める論理積演算部と、 該論理積演算部で求められた論J!I!積の値を、しき
い値と比較して轡た正またはOの個数をカウントする比
較加算部と、 前記所定部分が陽形された後、前記回転検査台を前記一
定角度回転させる回転指令信号を出力する回転指令部と
、 前記比較加口部の値が一定値以上の時に、良または否の
判定を示す良否判定信号を出力する判定部とで構成した
ことで、円盤状部品の傷5等が作業者により目視作業等
を介することなく高速に誤りなく検査ができる。又、前
記判定部からの信号を利用して、ロボット装置の作動を
制御することができ・、円盤状部品の検査工程を無人化
Jることもでき、検査工程の生産性を向上させることが
できる。
[Effects of the Invention] According to the present invention, a surface inspection device for a disk-shaped component includes a rotary inspection table that holds a disk-shaped component to be inspected and rotates the disk-shaped component by a predetermined angle about the central axis of the disk-shaped component; A mask image @ setting device that sets a fan-shaped mask image to be inspected and outputs a reference image signal; A television camera that darkens the surface of a predetermined portion including a fan-shaped portion and outputs an image signal to be inspected; the mask image setting device inputs a reference image signal and an image signal to be inspected from the television camera, respectively; and a control device that determines the quality of the surface condition of the shaped part, and the control V device masks the mask image set by the mask image setting device and the image of the predetermined portion taken by the television camera. a logical AND calculation unit that calculates the logical product of the brightness data of the corresponding points of the mask image and the superimposed portion of the predetermined portion; I! a comparison and addition unit that compares the product value with a threshold value and counts the number of positives or O's; and a rotation command signal that rotates the rotary inspection table by the certain angle after the predetermined portion is positive. A rotation command part that outputs a rotation command part that outputs a value of etc., can be inspected quickly and without error by the operator without visual inspection or the like. Further, the operation of the robot device can be controlled using the signal from the determination section, and the inspection process for disk-shaped parts can be automated, thereby improving the productivity of the inspection process. can.

本発明によれば、円盤状部品の表面検査装置をステッピ
ングモータをもつ回転検査台と、CODデバイスを用い
た2台のテレビカメラと、マスク画像設定装置と、制御
11装置と、CR1−デCスプレィと、ロボット装置と
から構成し、そして、前記−り御菰nの、論理積演算部
と、比較加算部と、回転指令部と、判定部とをマイクロ
コンピュータと、で構成したことで、 (1)ディスクロータを1度回転検査台にセットするだ
けでその両面が同時に検査できる。
According to the present invention, a surface inspection device for a disk-shaped component includes a rotary inspection table having a stepping motor, two television cameras using COD devices, a mask image setting device, a control 11 device, and a CR1-deC device. By configuring the sprayer and the robot device, and by configuring the logical product operation section, the comparison addition section, the rotation command section, and the determination section of the above-mentioned microcomputer, (1) By simply setting the disc rotor on the rotating inspection table once, both sides of the disc rotor can be inspected at the same time.

(2)画像メモリ、マイクロコンピュータを用いた制御
]装置辷より高速に傷の有無が検査でき、その結果を他
の1fdlへ出力し、又CRTディスプレイに表示でき
る。
(2) Control using image memory and microcomputer] The presence or absence of scratches can be inspected faster than the device itself, and the results can be output to another FDL or displayed on a CRT display.

(3)更に、ディスクロータの1回転を16周の検査領
域に分割して検査したことで、傷有りが判定された時点
で検査結果を出力し表示及び分類ができる。
(3) Furthermore, by dividing one revolution of the disc rotor into 16 inspection areas, inspection results can be output, displayed, and categorized at the time when it is determined that there is a flaw.

(4)又、ロボット装置により、検査されたディスクロ
ータが良品、不良品に応じてそれぞれの搬送コンベアに
li!Itされるために、従来のように人手を介するこ
となく検査ができ、生産性の向上と共に正確な検査がで
き、検査ミスを皆無にすることができる。
(4) Also, the robot device transfers the inspected disk rotors to the respective transport conveyors depending on whether they are good or defective. Because it is integrated, inspection can be performed without manual intervention as in the past, and productivity can be improved, accurate inspection can be performed, and inspection errors can be completely eliminated.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の具体的な実施例に係る円盤状部品の
表面検査装置の概念を示すブロックダイアグラムである
。第2図は本発明の具体的な実施例に係る円盤状部品(
ディスクロータ)の表面検査i置のブロックダイアグラ
ムである。第3図、第4図は同実施例において用いたマ
イクロコンピュータの実行プるプログラムを示すフロー
ヂ1?−トである。第5図乃至第8図は、第4図に示さ
れるフローチ11−トの作業内容の説明図、第5図はマ
スク画像、第6図は入力画像、第7図は検査領域外をO
値とした画像、第8図は輝度の論yI!積を求めた図で
ある。第9図は同実施例に於いて用いた扇型部の位置設
定の説明図である。 10・・・回転検査台
FIG. 1 is a block diagram showing the concept of a surface inspection apparatus for a disk-shaped component according to a specific embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a disc-shaped part (
1 is a block diagram of surface inspection of a disc rotor. 3 and 4 are flowcharts 1 and 4 showing programs executed by the microcomputer used in the same embodiment. - It is. 5 to 8 are explanatory diagrams of the work contents of the flowchart 11 shown in FIG. 4, FIG. 5 is a mask image, FIG. 6 is an input image, and FIG. 7 is an O
The image with the value, Figure 8, is the theory of brightness yI! It is a figure which calculated the product. FIG. 9 is an explanatory diagram of the position setting of the fan-shaped portion used in the same embodiment. 10...Rotating inspection table

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)検査すべき円盤状部品を保持し、該円盤状部品の
中心軸を中心に所定角度回転させる回転検査台と、 検査すべき扇型のマスク画像を設定し、基準画像信号を
出力するマスク画像設定装置と、 該回転検査台に保持された該円盤状部品の検査すべき表
面の該中心軸より一定角度範囲にある扇型部分を含む所
定部分の表面を撮影し、被検査画像信号を出力するテレ
ビカメラと、 該マスク画像設定装置、該テレビカメラからそれぞれ基
準画像信号、被検査画像信号を入力し、該円盤状部品の
表面状態の良否を判定する制御装置とから成り、 前記制御装置は、 前記マスク画像制御装置で設定されたマスク画像と前記
テレビカメラで撮影された前記所定部分の画像とをマス
ク合わせし、該マスク画像と該所定部分の重畳部の対応
点の輝度データの論理積を求める論理積演算部と、 該論理演積演算部で求められた各論理積の値を、しきい
値と比較して得た正または0の個数をカウントする比較
加算部と、 前記所定部分が撮影された後、前記回転検査台を前記一
定角度回転させる回転指令信号を出力する回転指令部と
、 前記比較加算部の値が一定値以上の時に、良または否の
判定を示す良否判定信号を出力する判定部とで構成され
ていることを特徴とする円盤状部品の表面検査装置。
(1) A rotating inspection table that holds a disc-shaped part to be inspected and rotates it by a predetermined angle around the central axis of the disc-shaped part, a fan-shaped mask image to be inspected, and outputs a reference image signal. A mask image setting device is used to photograph a predetermined portion of the surface of the disk-shaped component held on the rotary inspection table, including a fan-shaped portion within a certain angle range from the central axis, and generate an image signal to be inspected. a control device that inputs a reference image signal and an image signal to be inspected from the mask image setting device and the television camera, respectively, and determines whether the surface condition of the disk-shaped component is good or bad; The device performs mask matching between a mask image set by the mask image control device and an image of the predetermined portion taken by the television camera, and calculates luminance data of corresponding points of the overlapping portion of the mask image and the predetermined portion. a logical product calculation unit that calculates a logical product; a comparison and addition unit that compares each logical product value obtained by the logical product calculation unit with a threshold value and counts the number of positive or zero results; a rotation command unit that outputs a rotation command signal to rotate the rotary inspection table by the certain angle after a predetermined portion is photographed; and a pass/fail unit that indicates pass or fail when the value of the comparison and addition unit is equal to or greater than a certain value. 1. A surface inspection device for a disc-shaped component, comprising: a determination section that outputs a determination signal.
(2)テレビカメラは2台設けられており、円盤状部品
の表側、および裏側をそれぞれ撮影する特許請求の範囲
第1項記載の円盤状部品の表面検査装置。
(2) The surface inspection device for a disk-shaped component according to claim 1, wherein two television cameras are provided and each takes pictures of the front side and the back side of the disk-shaped component.
JP61119797A 1986-05-23 1986-05-23 Surface inspection device for disk-shaped parts Expired - Lifetime JPH0668470B2 (en)

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