JPH10300446A - Surface defect inspection device - Google Patents

Surface defect inspection device

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Publication number
JPH10300446A
JPH10300446A JP9112784A JP11278497A JPH10300446A JP H10300446 A JPH10300446 A JP H10300446A JP 9112784 A JP9112784 A JP 9112784A JP 11278497 A JP11278497 A JP 11278497A JP H10300446 A JPH10300446 A JP H10300446A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stripe
image
work
pitch
defect inspection
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9112784A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Suzuki
裕 鈴木
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Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Nissan Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nissan Motor Co Ltd filed Critical Nissan Motor Co Ltd
Priority to JP9112784A priority Critical patent/JPH10300446A/en
Publication of JPH10300446A publication Critical patent/JPH10300446A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface defect inspection device capable of surely detecting defects in the surface of work of low surface gloss without depending on manual power. SOLUTION: A surface defect inspecting device has: a projecting device 11 projecting an image of stripes on the surface of work 50; an image pickup camera 12 photographing the surface of the work 50 on which the image of stripes were projected; support 30 which enables the projection angle of the stripes projected by the projecting device 11 to be varied in an inspection device inspecting the surface state of the work 50; and a computing unit calculating the amount of changes in the pitch of the image of stripes obtained by the image pickup camera 12.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ワーク表面の歪み
などの欠陥を検査する表面欠陥検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface defect inspection apparatus for inspecting defects such as distortion of a work surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、自動車の内装、外装および車体部
品、例えばフロントパネルやダッシュボード、バンパ
ー、ドアモールなどとして、樹脂形成品が多用されてい
る。このような樹脂形成品は、製造時の条件によって、
部品の表面に波打ち状の欠陥ができたり、部分的な歪み
ができたりすることがある。このような欠陥は製品の見
栄えを悪くするため、検査工程により、欠陥のある部品
を取り出さなければならない。
2. Description of the Related Art In recent years, resin molded products have been frequently used as interior, exterior and body parts of automobiles, for example, front panels, dashboards, bumpers, door moldings, and the like. Depending on the conditions at the time of manufacture, such resin-formed products
Wavy defects may be formed on the surface of the component, or partial distortion may occur. Since such defects deteriorate the appearance of a product, a defective part must be removed by an inspection process.

【0003】従来、このような樹脂形成品の表面欠陥
は、樹脂形成品に蛍光灯などの照明を当て、作業者が部
品表面を見て、部品表面の歪みなどの欠陥を検査してい
る。
Conventionally, for such a surface defect of a resin-formed product, an operator such as a fluorescent lamp illuminates the resin-formed product, and an operator looks at the surface of the component to inspect for defects such as distortion of the component surface.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところがこのような検
査は、人間による判断に頼っているために、どうしても
作業者の熟練度によって、製品の欠陥検出頻度にばらつ
きが生じてしまうことがあり問題となる。特に樹脂形成
品は、塗装前の段階(通常この段階で表面欠陥の検査を
行う)では、部品表面に光沢がなく、反射光による部品
表面の歪みなどが非常に見づらいため、作業者の高度な
熟練を要する工程となっている。
However, since such inspections rely on human judgment, the frequency of detecting defects in products may vary depending on the skill level of the operator. Become. In particular, in the case of resin-formed products, at the stage before painting (usually inspecting surface defects at this stage), the surface of the component is not glossy, and the distortion of the component surface due to reflected light is very difficult to see. This is a process that requires skill.

【0005】そこで、本発明の目的は、樹脂形成品、特
に表面光沢の低いワークの表面欠陥を人手によらず、か
つ確実に検出することができる表面欠陥検査装置を提供
することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a surface defect inspection apparatus capable of reliably detecting a surface defect of a resin-formed product, particularly a work having a low surface gloss, without manual operation.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の請求項1記載の本発明は、ワーク表面にストライプ画
像を投影する投影手段と、該ストライプ画像が投影され
たワーク表面を撮像する撮像手段と、前記投影手段が投
影するストライプ画像の投影角度を可変する可変手段
と、前記撮像手段によって得られたストライプ画像のピ
ッチの変化量を求める演算手段と、を有することを特徴
とする表面欠陥検査装置である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a projection apparatus for projecting a stripe image on a work surface, and an imaging apparatus for imaging the work surface on which the stripe image is projected. A surface defect comprising: means for changing a projection angle of a stripe image projected by the projection means; and arithmetic means for calculating an amount of change in a pitch of a stripe image obtained by the imaging means. It is an inspection device.

【0007】この発明は、ワーク表面にストライプ画像
を投影することで、もしワーク表面に歪みや波打ちなど
の欠陥があると、この投影されたストライプ画像のピッ
チや直線性が変化する。そこで、投影されたストライプ
を撮像手段によりに撮影し、得られた画像からストライ
プのピッチの変化量を求めることで、このようなワーク
表面の欠陥を検出する検査装置であり、投影手段のワー
クへの投影角度を可変できるようにしたことで、最もス
トライプ画像を撮影しやすい角度でワーク表面にストラ
イプ画像を投影することできるようになる。これによ
り、例えばワーク表面に光沢がない場合でも、ワーク表
面に鮮明なストライプを投影し、ワーク表面でのストラ
イプ画像の変化を捕らえることができる。
According to the present invention, by projecting a stripe image on the surface of a work, if there is a defect such as distortion or waving on the surface of the work, the pitch or linearity of the projected stripe image changes. Therefore, the inspection apparatus detects such a defect on the surface of the work by photographing the projected stripe by the imaging means and calculating the amount of change in the pitch of the stripe from the obtained image. Is made variable, it is possible to project the stripe image on the work surface at an angle at which the stripe image can be most easily taken. Thus, for example, even when the work surface has no gloss, a clear stripe can be projected on the work surface, and a change in the stripe image on the work surface can be captured.

【0008】また、請求項2記載の本発明は、前記請求
項1記載の構成において、前記表面欠陥検査装置は、前
記演算手段によって得られたストライプピッチの変化量
から、その変化量の周期性を求め、前記ワーク表面の波
打ち欠陥を検出することを特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the surface defect inspection apparatus determines a periodicity of the change amount from the change amount of the stripe pitch obtained by the arithmetic means. And a wavy defect on the surface of the work is detected.

【0009】この発明は、前記演算手段が求めたストラ
イプのピッチの変化量からその周期性を検出すること
で、ワーク表面に生じている波打ち状の欠陥を検出する
ものである。
According to the present invention, a wavy defect occurring on the surface of a work is detected by detecting the periodicity of the stripe from the variation in the pitch of the stripe obtained by the arithmetic means.

【0010】また、請求項3記載の本発明は、前記請求
項1記載の構成において、前記表面欠陥検査装置は、前
記撮像手段によって得られたストライプ画像の各ストラ
イプの直線性を調べ、前記ワークの表面の部分的な欠陥
を検出することを特徴とする。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first aspect, the surface defect inspection apparatus checks the linearity of each stripe of the stripe image obtained by the imaging means, and The method is characterized in that a partial defect on the surface is detected.

【0011】この発明は、前記撮像手段が撮像したスト
ライプの個々の直線の直線性を調べることで、例えばワ
ーク表面の部分的な凹みや歪みなどの欠陥を検出するも
のである。
According to the present invention, for example, a defect such as a partial dent or distortion on the work surface is detected by checking the linearity of each straight line of the stripe imaged by the imaging means.

【0012】また、請求項4記載の本発明は、前記請求
項1〜3のいずれか一つに記載の構成において、前記ワ
ークが樹脂形成品であることを特徴とする。
According to a fourth aspect of the present invention, in the configuration according to any one of the first to third aspects, the work is a resin-formed product.

【0013】この発明は、特に樹脂形成品の表面欠陥の
検出に適するものである。
The present invention is particularly suitable for detecting a surface defect of a resin-formed product.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、添付した図面を参照して、
本発明の一実施の形態を説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.
An embodiment of the present invention will be described.

【0015】図1および図2は、本発明を適用した表面
欠陥検査装置の構成を示す図面である。
FIGS. 1 and 2 are views showing the structure of a surface defect inspection apparatus to which the present invention is applied.

【0016】この装置は、大別して、測定光学系である
測定ヘッド部10(図1)と、測定ヘッド部10の制御
や測定結果の演算などを行う測定処理部1(図2)とに
分けられる。
This apparatus is roughly divided into a measurement head unit 10 (FIG. 1), which is a measurement optical system, and a measurement processing unit 1 (FIG. 2) for controlling the measurement head unit 10 and calculating a measurement result. Can be

【0017】測定ヘッド部10は、ワーク50の測定面
に、ストライプ画像を写し出すための投影手段である投
影装置11と、投影された画像を撮影する撮像手段であ
る撮像カメラ12と、投影装置11および撮像カメラ1
2を支持し、かつこれらの測定面に対する角度を変更す
ることができる可変手段である支持具30と、によって
構成されている。
The measuring head unit 10 includes a projection device 11 as a projection unit for projecting a stripe image on a measurement surface of the work 50, an imaging camera 12 as an imaging unit for photographing the projected image, and a projection device 11. And imaging camera 1
2 and a support 30 which is a variable means capable of changing the angle with respect to these measurement surfaces.

【0018】投影装置11内には、光源21が設けられ
ており、この光源21からの光をスリット22およびレ
ンズ23を通して測定面に照射することにより、測定面
にストライプ画像を投影する。
A light source 21 is provided in the projection device 11, and a light beam from the light source 21 is applied to the measurement surface through a slit 22 and a lens 23 to project a stripe image on the measurement surface.

【0019】撮像カメラ12はその内部に、CCDカメ
ラ(不図示)を有しており、測定面を撮影する。
The image pickup camera 12 has a CCD camera (not shown) therein, and takes an image of a measurement surface.

【0020】支持具30は、投影装置11から測定面へ
の光の入射角αと、測定面からの反射を受ける撮像カメ
ラ12の受光角α′が常に一致し、かつ、これら投影装
置11および撮像カメラ12を、入射角αおよび受光角
α′の角度が可変自在に支持する半円形の支持リング3
1と、投影装置11および撮像カメラ12の上端部を支
持し、モータ33の動作によって回転する送りねじによ
って上下動する支持アーム32と、によって構成されて
いる。この支持具30の動作は、後述する測定処理部1
からの指示によりモータ33が動作して送りねじが回転
し、これにより支持アーム32が上下動することによ
り、投影装置11および撮像カメラ12の、測定面への
入射角αと測定面からの受光角α′を一致させつつ、そ
の角度を変更する。ここで、使用するモータ33として
は、送りねじの回転量を制御するため、パルスモータを
用いており、測定処理部1からのパルス信号により必要
量だけ回転する。
In the support 30, the angle of incidence α of the light from the projection device 11 to the measurement surface always coincides with the light reception angle α ′ of the imaging camera 12 that receives the reflection from the measurement surface. A semi-circular support ring 3 for supporting the imaging camera 12 variably in angles of an incident angle α and a light receiving angle α ′.
1 and a support arm 32 that supports the upper ends of the projection device 11 and the imaging camera 12 and that moves up and down by a feed screw that is rotated by the operation of a motor 33. The operation of the support 30 is determined by the measurement processing unit 1 described later.
When the motor 33 operates and the feed screw rotates in response to the instruction from the controller, the support arm 32 moves up and down. The angle is changed while the angle α 'is matched. Here, a pulse motor is used as the motor 33 to control the rotation amount of the feed screw, and the motor 33 rotates by a required amount according to a pulse signal from the measurement processing unit 1.

【0021】測定処理部1の内部は、後述する各種演算
処理およびこの装置全体の制御を行い、またストライプ
ピッチの変化量を算出する演算手段として機能する演算
部2、撮像カメラ12が撮像した画像を一時的に記憶す
るメモリ3、撮像カメラ12からの映像信号(ビデオ信
号)を受けとり、またモニタ7に画像を出力するビデオ
信号入出力インターフェース4、モータ33に対する動
作指示信号によりモータ33へ必要なパルス数を出力す
るモータ制御インターフェース5、および受信した画像
を必要に応じて記憶するための記憶装置6よりなる。
The inside of the measurement processing unit 1 performs various arithmetic processing to be described later and controls the entire apparatus, and also has an arithmetic unit 2 functioning as arithmetic means for calculating an amount of change in the stripe pitch, and an image captured by the imaging camera 12. , A video signal input / output interface 4 for receiving an image signal (video signal) from the imaging camera 12 and outputting an image to the monitor 7, and an operation instruction signal for the motor 33, which is necessary for the motor 33. It comprises a motor control interface 5 for outputting the number of pulses, and a storage device 6 for storing received images as necessary.

【0022】図3は、この表面欠陥検査装置の動作手順
を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing the operation procedure of the surface defect inspection apparatus.

【0023】まず、測定開始の指示がなされると(S
1)、投影装置11および撮像カメラ12の角度α、
α′を初期位置として10度に設定する(S2)。この
状態で、投影装置11からストライプ画像を測定面に投
影し、その画像を撮像カメラ12で読み込む(S3)。
First, when an instruction to start measurement is given (S
1), the angle α of the projection device 11 and the imaging camera 12;
α ′ is set to 10 degrees as an initial position (S2). In this state, a stripe image is projected from the projection device 11 onto the measurement surface, and the image is read by the imaging camera 12 (S3).

【0024】そして、撮像した画像全体の明るさ(CC
Dカメラにより撮像した画像全体の平均値)が予め定め
たしきい値以上であるか否かを判断する(S4)。ここ
で、しきい値以下の場合には、投影装置11および撮像
カメラ12の角度α、α′をさらに+10度(前記図1
において角度α、α′が開く方向)移動させる(S
5)。そして、前記ステップS4において、撮像した画
像の明るさがしきい値以上になるまで、ステップS3〜
S5まで処理を繰り返す。なお、角度α、α′が限界
(理論的には90度であるが、実際の装置構成によって
はそれより小さな角度(例えば80〜85度程度)に達
した場合に、測定不能として処理を中止する。
Then, the brightness of the entire captured image (CC
It is determined whether or not the average value of the entire image captured by the D camera is equal to or greater than a predetermined threshold value (S4). If the angle is equal to or smaller than the threshold value, the angles α and α ′ of the projection device 11 and the imaging camera 12 are further increased by +10 degrees (see FIG. 1).
(In the direction in which the angles α and α ′ open) at (S)
5). In step S4, steps S3 to S3 are performed until the brightness of the captured image becomes equal to or higher than the threshold value.
The process is repeated until S5. When the angles α and α ′ reach a limit (theoretically 90 degrees, but depending on the actual apparatus configuration, an angle smaller than that (for example, about 80 to 85 degrees), measurement is disabled and processing is stopped. I do.

【0025】このように、投影装置11および撮像カメ
ラ12の角度を変えることにより、光沢のないワーク
や、しぼ(梨地状加工面)のついた測定面などでも測定
に適したストライプ画像を投影し、それを撮像すること
ができる。
As described above, by changing the angles of the projection device 11 and the imaging camera 12, a stripe image suitable for measurement can be projected even on a non-glossy work or a measurement surface having a grain (satin-finished surface). , It can be imaged.

【0026】なお、ステップS5においては、角度αお
よびα′を+10度ずつ変化させたが、これは任意の角
度でよく、+10度に限定されるものではない。また、
ステップS3〜S5の処理に代えて、例えば角度αおよ
びα′連続的に変化させて、そのうち最も明るくなった
ときの角度を記憶し、その角度にて画像の取り込みを行
うようにしてもよい。
In the step S5, the angles α and α 'are changed by +10 degrees, but this may be any angle, and is not limited to +10 degrees. Also,
Instead of the processing in steps S3 to S5, for example, the angles α and α ′ may be continuously changed, the angle at which the image becomes brightest may be stored, and the image may be captured at that angle.

【0027】ステップS4において、撮像した画像の明
るさがしきい値以上であると判断されたときには、次
に、一旦撮像した画像をメモリ3に記憶し、演算処理部
2がこの記憶した画像を処理して、投影されていたスト
ライプのピッチの変化量を求める(S6)。そして、演
算処理の結果に基づき、検査結果をモニタ7に表示して
(S7)、検査を終了する。
If it is determined in step S4 that the brightness of the captured image is equal to or greater than the threshold value, the captured image is stored in the memory 3, and the arithmetic processing unit 2 processes the stored image. Then, the amount of change in the pitch of the projected stripe is obtained (S6). Then, based on the result of the arithmetic processing, the inspection result is displayed on the monitor 7 (S7), and the inspection ends.

【0028】以下、上記のステップS6における演算処
理について説明する。
Hereinafter, the calculation processing in step S6 will be described.

【0029】ここでまず、測定面に投影されたストライ
プと、測定面の部分的な歪みや全体的な波打ちなどの表
面欠陥との関係について説明する。
First, the relationship between the stripe projected on the measurement surface and a surface defect such as partial distortion or overall undulation of the measurement surface will be described.

【0030】図4は、測定面の状態と、そこに写し出さ
れたストライプ画像を示す図面である。ここで投影する
ストライプ画像は、前述のように投影装置11のスリッ
ト22より形成され、レンズ23を通して均等な間隔の
ストライプ画像として測定面に投影される。
FIG. 4 is a drawing showing the state of the measurement surface and the stripe image projected thereon. The stripe image to be projected here is formed by the slit 22 of the projection device 11 as described above, and is projected onto the measurement surface as a stripe image at even intervals through the lens 23.

【0031】まず、図4(A)に示すように、測定面が
平らな場合には、測定面でのストライプ画像は、等間隔
のストライプとして写し出される。したがって、ストラ
イプのピッチがほぼ均等間隔であれば平衡面であると分
かる。
First, as shown in FIG. 4A, when the measurement surface is flat, stripe images on the measurement surface are displayed as stripes at equal intervals. Therefore, if the pitch of the stripes is substantially equal, it can be understood that the surface is an equilibrium surface.

【0032】次に、図4(B)に示すように、測定面に
部分的な傾斜がある場合には、測定面に写し出されてい
るストライプのピッチが傾斜部分で変化する。したがっ
て、ストライプピッチが部分的に変化しているところが
あれば、そのストライプのピッチの変化しているところ
で測定面に部分的な傾斜があると分かる。
Next, as shown in FIG. 4B, when the measurement surface has a partial inclination, the pitch of the stripe projected on the measurement surface changes at the inclined portion. Therefore, if there is a portion where the stripe pitch is partially changed, it is understood that there is a partial inclination on the measurement surface where the stripe pitch is changed.

【0033】次に、図4(C)に示すように、測定面の
一部に凹みや歪みなどがある場合には、ストライプの線
がその凹みや歪み部分のあるところで部分的に直線性が
崩れる。したがって、ストライプの直線性が崩れている
部分に部分的な凹みや出っ張り、歪みなどがあることが
分かる。
Next, as shown in FIG. 4C, when there is a dent or distortion on a part of the measurement surface, the linearity of the stripe is partially reduced where the dent or distortion is present. Crumble. Therefore, it can be seen that there are partial dents, protrusions, distortions, and the like in portions where the linearity of the stripe is broken.

【0034】次に、図4(D)に示すように、測定面が
全体的に波打っている場合には、ストライプのピッチが
周期的に変化する。したがって、このストライプピッチ
の変化の周期性から測定面が波打っていると分かる。そ
してこの場合には、後述する演算によりこの測定面での
波の波長と振幅を求めることになる。
Next, as shown in FIG. 4D, when the measurement surface is entirely wavy, the stripe pitch changes periodically. Therefore, it can be seen from the periodicity of the change in the stripe pitch that the measurement surface is wavy. In this case, the wavelength and the amplitude of the wave on the measurement surface are obtained by the calculation described later.

【0035】このような各ストライプの状態を確認する
ための演算処理は、撮像カメラ12によって撮像された
画像をメモリ3に2値化して記憶し、この記憶した画像
を元に算出する。
The arithmetic processing for confirming the state of each stripe is performed by binarizing and storing the image captured by the imaging camera 12 in the memory 3 and calculating based on the stored image.

【0036】まず、図5に示すように、メモリ3に記憶
した画像にあるストライプの各直線に対して、ナンバリ
ングが施される。そして、各直線ごとに各直線の位置
(各直線のストライプ間隔方向の座標(X座標))を求
める。
First, as shown in FIG. 5, numbering is performed on each straight line of the stripe in the image stored in the memory 3. Then, for each straight line, the position of each straight line (the coordinate (X coordinate) of each straight line in the stripe interval direction) is obtained.

【0037】続いて、求めた各直線のX座標からストラ
イプのピッチを計算する。そして、求めたピッチに変化
があり、その変化が周期的であれば前記図4(Dに示し
たように、測定面が波打っている場合である。この場合
にはさらに、その波の波長と、振幅を求める。具体的に
は、図6に示すように、ストライプの各直線のX座標か
ら各直線の差をとりストライプピッチを求め、求めたス
トライプピッチをフーリエ変換し、一番大きい周波数成
分を求める。そして、画像上の座標ピッチ(例えば画素
ピッチ)と実際の測定面上での距離との関係(画像の画
素分解能、例えばmm/ドット)から、求めた周波数を
もとに波長に変換する。
Subsequently, the pitch of the stripe is calculated from the obtained X coordinate of each straight line. Then, if there is a change in the obtained pitch and the change is periodic, it means that the measurement surface is wavy as shown in FIG. 4D. In this case, the wavelength of the wave is further increased. Specifically, as shown in Fig. 6, the difference between the straight lines of the stripe is determined by taking the difference between the straight lines to determine the stripe pitch, and the obtained stripe pitch is Fourier-transformed to obtain the largest frequency. From the relationship between the coordinate pitch on the image (for example, pixel pitch) and the distance on the actual measurement surface (the pixel resolution of the image, for example, mm / dot), the wavelength is calculated based on the obtained frequency. Convert.

【0038】また、振幅は、前記で求めたストライプピ
ッチの最大ピッチの値Wmaxを抽出し、この最大ピッ
チWmaxと予め求められている平面上でのストライプ
ピッチの値Wavとの差(Wmax−Wav)を求め
る。そして、前記波長と測定ヘッド部10の光学的な位
置関係から振幅を求める。
The amplitude is obtained by extracting the maximum pitch value Wmax of the stripe pitch obtained as described above, and calculating the difference (Wmax-Wav) between the maximum pitch Wmax and the stripe pitch value Wav on the plane previously determined. ). Then, the amplitude is determined from the wavelength and the optical positional relationship of the measurement head unit 10.

【0039】次に、図7に示すように、ストライプの各
直線について、直線方向に並んでいる画素の直線方向座
標(Y座標)を求め、最小2乗法により直線近似する。
なお、このとき直線方向の座標値は、直線方向の画素の
全てについて求める必要はなく、例えば10画素ごと、
あるいは20画素ごとといった適当な間隔でよい。ただ
し、この間隔があまり広いと正確な測定ができなくなる
ので広すぎないようにする。
Next, as shown in FIG. 7, for each straight line of the stripe, the linear direction coordinates (Y coordinate) of the pixels arranged in the linear direction are obtained, and the straight line is approximated by the least square method.
At this time, the coordinate values in the linear direction need not be obtained for all the pixels in the linear direction.
Alternatively, an appropriate interval such as every 20 pixels may be used. However, if the interval is too wide, accurate measurement cannot be performed, so that the interval should not be too wide.

【0040】そして、実際のストライプ線の各画素の座
標と、近似直線との差を求め、この差が予め定めた規定
値より大きい場合に、部分的な歪みがあると判断でき
る。
Then, a difference between the coordinates of each pixel of the actual stripe line and the approximate straight line is obtained, and if this difference is larger than a predetermined value, it can be determined that there is partial distortion.

【0041】このようにして求めた波長や振幅、歪みな
どの値は、モニタ7に測定面上の画像と共に表示され、
これらが規定値より大きい場合には欠陥のあることを表
示する。
The values of the wavelength, amplitude, distortion, and the like thus obtained are displayed on the monitor 7 together with the image on the measurement surface.
If these are larger than the specified values, it indicates that there is a defect.

【0042】以上により樹脂形成品のように、光沢度の
低い部品においても測定面での歪やうねり、また波打ち
などの表面欠陥を検査することができる。
As described above, even a component having a low glossiness, such as a resin-formed product, can be inspected for surface defects such as distortion, undulation, and undulation on the measurement surface.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項ご
とに以下のような効果を奏する。
According to the present invention described above, the following effects can be obtained for each claim.

【0044】請求項1記載の本発明によれば、ストライ
プ画像をワーク表面に投影する投影手段の投影角度を可
変としたことにより、ワーク表面の状態、例えば光沢度
などに合わせて最適なストライプパターンをワーク表面
に投影することができ、ワーク表面に投影したストライ
プのピッチ変化量を求めることにより、ワーク表面の欠
陥による投影されたストライプのピッチ変化量から、容
易にワーク表面の欠陥を検出することができる。
According to the first aspect of the present invention, the projection angle of the projection means for projecting the stripe image on the work surface is variable, so that the optimum stripe pattern can be adjusted according to the state of the work surface, for example, the glossiness. Can be projected on the work surface, and by detecting the pitch change amount of the stripe projected on the work surface, the defect on the work surface can be easily detected from the change amount of the projected stripe pitch due to the work surface defect. Can be.

【0045】請求項2記載の本発明によれば、ワーク表
面に投影されたストライプのピッチ変化量の周期性を検
出することで、容易にワーク表面における波打ち欠陥を
検出することができる。
According to the second aspect of the present invention, by detecting the periodicity of the pitch change amount of the stripe projected on the work surface, it is possible to easily detect a wavy defect on the work surface.

【0046】請求項3記載の本発明によれば、ワーク表
面に投影されたストライプの直線性を調べることで、容
易にワーク表面における部分的な凹みや歪みといった歪
み欠陥を検出することができる。
According to the third aspect of the present invention, by examining the linearity of the stripe projected on the work surface, it is possible to easily detect a distortion defect such as a partial dent or distortion on the work surface.

【0047】請求項4記載の本発明によれば、樹脂形成
品のように表面の光沢度が少ないワークのように、従
来、人手による表面検査が難しかったワークにおいて
も、前記請求項1〜3のいずれか一つに記載した構成に
より、表面欠陥の検査を行うことができる。
According to the fourth aspect of the present invention, even in the case of a work which has conventionally been difficult to inspect by hand, such as a work having a low glossiness on the surface, such as a resin-formed product, the first to third embodiments are also applicable. With the configuration described in any one of the above, an inspection for a surface defect can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明を適用した表面欠陥検査装置の測定ヘ
ッド部の構成を示す図面である。
FIG. 1 is a drawing showing a configuration of a measuring head unit of a surface defect inspection apparatus to which the present invention is applied.

【図2】 上記表面欠陥検査装置の測定処理部の構成を
示す図面である。
FIG. 2 is a drawing showing a configuration of a measurement processing unit of the surface defect inspection device.

【図3】 上記表面欠陥検査装置の動作手順を示すフロ
ーチャートである。
FIG. 3 is a flowchart showing an operation procedure of the surface defect inspection apparatus.

【図4】 測定面の状態とストライプ画像との関係を示
す図面である。
FIG. 4 is a drawing showing a relationship between a state of a measurement surface and a stripe image.

【図5】 上記装置による演算処理を説明するための図
面である。
FIG. 5 is a drawing for explaining the arithmetic processing by the above device.

【図6】 上記装置による演算処理を説明するための図
面である。
FIG. 6 is a drawing for explaining the arithmetic processing by the above device.

【図7】 上記装置によるストライプの直線性を調べる
処理を説明するための図面である。
FIG. 7 is a diagram for explaining a process of checking the linearity of a stripe by the above-described device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…測定処理部、 2…演算部、 3…メモリ、 4…ビデオ信号入出力インターフェース、 5…モータ制御インターフェース、 6…記憶装置、 7…モニタ、 10…測定ヘッド部、 11…投影装置、 12…撮像カメラ、 21…光源、 22…スリット、 23…レンズ、 30…支持具、 32…支持アーム、 33…モータ、 50…ワーク。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Measurement processing part, 2 ... Calculation part, 3 ... Memory, 4 ... Video signal input / output interface, 5 ... Motor control interface, 6 ... Storage device, 7 ... Monitor, 10 ... Measurement head part, 11 ... Projection device, 12 ... Imaging camera, 21 ... Light source, 22 ... Slit, 23 ... Lens, 30 ... Support, 32 ... Support arm, 33 ... Motor, 50 ... Work.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ワーク表面にストライプ画像を投影する
投影手段と、 該ストライプ画像が投影されたワーク表面を撮像する撮
像手段と、 前記投影手段が投影するストライプ画像の投影角度を可
変する可変手段と、 前記撮像手段によって得られたストライプ画像のピッチ
の変化量を求める演算手段と、を有することを特徴とす
る表面欠陥検査装置。
A projection unit configured to project a stripe image on a work surface; an imaging unit configured to capture an image of a work surface on which the stripe image is projected; and a variable unit configured to change a projection angle of the stripe image projected by the projection unit. A surface defect inspection apparatus, comprising: an arithmetic unit for calculating an amount of change in the pitch of the stripe image obtained by the imaging unit.
【請求項2】 前記表面欠陥検査装置は、前記演算手段
によって得られたストライプピッチの変化量から、その
変化量の周期性を求め、前記ワーク表面の波打ち欠陥を
検出することを特徴とする請求項1記載の表面欠陥検査
装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the surface defect inspection apparatus obtains a periodicity of the change amount from a change amount of the stripe pitch obtained by the calculation means, and detects a wavy defect on the work surface. Item 2. A surface defect inspection device according to Item 1.
【請求項3】 前記表面欠陥検査装置は、前記撮像手段
によって得られたストライプ画像の各ストライプの直線
性を調べ、前記ワークの表面の部分的な欠陥を検出する
ことを特徴とする請求項1記載の表面欠陥検査装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the surface defect inspection apparatus checks a linearity of each stripe of the stripe image obtained by the imaging means, and detects a partial defect on the surface of the work. The surface defect inspection device according to the above.
【請求項4】 前記ワークが樹脂形成品であることを特
徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の表面欠陥
検査装置。
4. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the workpiece is a resin-formed product.
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