JPS62273710A - グリ−ンシ−ト成形用キヤリアテ−プ及びそれを用いたグリ−ンシ−トの製造方法 - Google Patents

グリ−ンシ−ト成形用キヤリアテ−プ及びそれを用いたグリ−ンシ−トの製造方法

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JPS62273710A
JPS62273710A JP61117757A JP11775786A JPS62273710A JP S62273710 A JPS62273710 A JP S62273710A JP 61117757 A JP61117757 A JP 61117757A JP 11775786 A JP11775786 A JP 11775786A JP S62273710 A JPS62273710 A JP S62273710A
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JP
Japan
Prior art keywords
green sheet
carrier tape
manufacture
forming
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP61117757A
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English (en)
Inventor
吉長 雅治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、グリーンシート成形用キャリアテープの構造
と、そのキャリアテープを用いたグリーンシートの製造
方法に関する。
〔従来の技術〕
一般に、多層セラミ、り基板、積階セラミ、クコンデン
サ等に使用されるグリーンシートは、例えば、次のよう
に形成されている。
すなわち、ポリエチレンテレフタレートフィルムの上に
シリコン塗膜を形成したキャリアテープ上にドクターグ
レードを有する容器を載置する。
そしてこの容器にセラミ、り粉末、有機溶剤、可塑剤、
バインダーを含む泥しようを所要量注入する。次に、キ
ャリアテープな一定力向に移動させると、キャリアテー
プ上にはドクターグレードとキャリアテープの隙間にほ
ぼ対応する厚さのグリーンシートが連続的に形成される
0次に熱風または赤外線等でグリーンシート中の有機溶
剤を乾燥させ、しかるのち、中ヤリアテープからグリー
ンシートを剥離することによって得られる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来手段では、キャリアテープおよびグリーン
シートはともに絶縁物であるため、キャリアチーブから
グリーンシートを剥離するときに大きな静電気が発生し
て剥離したグリーンシートに静電気が帯電し、連続して
グリーン7−トを打抜き、定形にしたグリーンシートを
収容する工程でグリーンシート同志が密着し作業性を悪
化する一因になっていた0 また、グリーンシートの厚さが30μm以下の極めて薄
い場合は、キャリアシートからグリーンシートを破損す
ることなく剥離すること自体が静電気の発生のため困難
であった。
〔問題点を解決するだめの手段〕
本発明の目的は、かかる従来欠点を解決したグリーンシ
ート成形用キャリアテープおよびそのテープを用いたグ
リーンシートの製造方法を提供することにある。
本発明によれば有機フィルムの一刀の面に離型性被膜を
形成し、他力の面に導電層を形成したことを特徴とする
グリーンシート成形用キャリアテープが得られる。
さらに上記キャリアテープの離型性被膜面にセラミ、り
粉末、有機溶剤、可塑剤、バインダーを混練してなる泥
しようをドクターグレードにて成膜する工程からなるこ
とを特徴とするグリーンシートの裏造方法が得られる。
〔実施例〕
以下本発明について図面を参照して説明する0第1図は
本発明一実施例のグリーンシート成形用ギヤリアテープ
の断面図である。
図中の符号1はペースとなる厚さ38〜188μmのポ
リエチレンテレフタレートフィルムである。
このポリエチレンテレフタレートフィルム1の片面に、
真空蒸着などの手段によシアルミニウムなどを厚さ50
X〜500X蒸着して導電層2を形成スる。そしてポリ
エチレンテレフタレートフィルム1の導電層2を形成し
た面の反対面に、厚さ0.05μm〜0.2μmのシリ
コン樹脂などの離型性塗膜3をディ、ピング手段などに
よシ形成して本発明実施例のグリーン7−ト成形用キヤ
リアテープ(以後キャリアテープと略称)4を得る0次
に本発明のキャリアテープを用いたグリーンシートの製
造方法を説明する。
第1図に示したキャリアテープ4上に上下面を開口した
箱体内にドクターブレード5を介挿した容器6を適当な
隙間を保持して置き、この容器5にチタン酸バリウム等
のセラミ、り粉末、メチルセロノルプ等の有機溶剤、フ
タル酸ジオクチル等の可塑剤、ポリビニルブチラール等
のバインダーを含む泥しょう8を所要量注入する0  
 次にキャリアテープ4を一定力向、すなわち右方向に
移動させるとキャリアテープ4上には、ドクターグレー
ド5の下端とキャリアテープ4の隙間に対応する厚さの
グリーンシート7が連続的に形成される(第2図)0 次にこのグリーンシート7を熱風、赤外線等で加熱して
グリーンシート7中の有機溶剤を蒸発・乾燥させる。
次にキャリアテープ4からグリーンシート7を剥離する
0この剥離したときの静電気量な7シド靜電気(株)製
のスタチロンM型測定器にて測定し、その結果を第1表
に示す。
第   1   表 本発明例(イ)と従来例(ロ)のグリーンシートの成膜
に使用したセラミ、り粉末は、ランタン−チタン系誘電
体粉末である。
また従来例中ヤリアテープには、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム上にシリコン樹脂ノ離型性塗膜を形成し
たものを用いた。
第1表から明らかなように本発明例(イ)の刀が従、1
1 来例(ロ)より発生静電気量か■〜π以下であり、その
有効性が判明した。
〔発明の効果〕
以上、本発明により、次の効果がある。
(i)キャリアテープからグリーン7−トを剥離すると
きに発生する静電気が非常に少なくなるのでグリーンシ
ートの取扱いが楽になシ、作業性が向上する。
6一 (ii)従来不可能であった厚さ30μm以下のグリー
ンシートの剥離が可能となった。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のグ!J−7−/−)成形用キャリア
テープの断面図、第2図は第1図のキャリアテープ上に
グリーンシートを形成する状態を示す断面図。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)有機フィルムの一方の面に離型性被膜を形成した
    ことを特徴とするグリーンシート成形用キャリアテープ
  2. (2)前記キャリアテープの離型性被膜面にセラミック
    粉末、有機溶剤、可塑剤、バインダーを混練してなる泥
    しょうをドクターブレード法にて成膜する工程からなる
    ことを特徴とするグリーンシートの製造方法。
JP61117757A 1986-05-21 1986-05-21 グリ−ンシ−ト成形用キヤリアテ−プ及びそれを用いたグリ−ンシ−トの製造方法 Pending JPS62273710A (ja)

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