JPS62273503A - レ−ザアライメント計測装置 - Google Patents
レ−ザアライメント計測装置Info
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- JPS62273503A JPS62273503A JP11778986A JP11778986A JPS62273503A JP S62273503 A JPS62273503 A JP S62273503A JP 11778986 A JP11778986 A JP 11778986A JP 11778986 A JP11778986 A JP 11778986A JP S62273503 A JPS62273503 A JP S62273503A
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- JP
- Japan
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- screen
- mirror
- laser beam
- laser
- scale marks
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- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザビームアライメント計測装置、特に、
大口径のレーザビームのアライメントのためにビーム装
置を監視するためのレーザビームアライメント計測装置
に関する。
大口径のレーザビームのアライメントのためにビーム装
置を監視するためのレーザビームアライメント計測装置
に関する。
従来のレーザビームアライメント計測装置としては、次
の２つがある。
の２つがある。
一つは第２図に示すように供給されたレーザビーム１が
スクリーン４に当たったレーザパターンを筺体８に収容
されている撮像素子を含む′１゛ｖカメラ９で側面より
モニタする装置である。
スクリーン４に当たったレーザパターンを筺体８に収容
されている撮像素子を含む′１゛ｖカメラ９で側面より
モニタする装置である。
もう１つは第３図に示すようにレーザビーム１の一部ま
たは全部をレンズ１０を含むレンズ光学系を介して一体
８に収容されている撮像素子を含むＴＶ右カメラの撮像
面ａに直接導入する装置である。
たは全部をレンズ１０を含むレンズ光学系を介して一体
８に収容されている撮像素子を含むＴＶ右カメラの撮像
面ａに直接導入する装置である。
すなわち、上述した従来のレーザアライメント装置は、
第２図に示す側面モニタ方式の場合撮像素子でスクリー
ン面を斜めに監視するためにレーザビームの断面形状が
楕円に見えビームパターンが不正確になるという欠点が
ある。この欠点はスクリーンと撮像素子の距離を長くと
れば、ある程度改善されるが、その場合検出器のサイズ
が犬きくなシ実用上不便である。
第２図に示す側面モニタ方式の場合撮像素子でスクリー
ン面を斜めに監視するためにレーザビームの断面形状が
楕円に見えビームパターンが不正確になるという欠点が
ある。この欠点はスクリーンと撮像素子の距離を長くと
れば、ある程度改善されるが、その場合検出器のサイズ
が犬きくなシ実用上不便である。
また、第３図に示すような直接導入方式では、レーザビ
ームを直接撮像面に導入しているため、光量調整用の光
学フィルタを数多く使用してビーム強度を落とす必要が
あシ、また、レーザビーム特性、すなわち、拡が９角・
強度等が変化した時、撮像面のビーム強度が強まシ撮像
面が損傷をうける恐れもあって好ましくない。
ームを直接撮像面に導入しているため、光量調整用の光
学フィルタを数多く使用してビーム強度を落とす必要が
あシ、また、レーザビーム特性、すなわち、拡が９角・
強度等が変化した時、撮像面のビーム強度が強まシ撮像
面が損傷をうける恐れもあって好ましくない。
さらに、レンズ光学系を使用しているために、レーザビ
ームの口径が大きい場合、大口径のレンズを必要としそ
の結果コストがあがる。また撮像面に映る像は、光路上
のどの地点の像かを考慮する必要が生じるが、これは光
学素子の増加をもたらし、簡便な検出器の場合、かえっ
て扱いが面倒であるという欠点がある。
ームの口径が大きい場合、大口径のレンズを必要としそ
の結果コストがあがる。また撮像面に映る像は、光路上
のどの地点の像かを考慮する必要が生じるが、これは光
学素子の増加をもたらし、簡便な検出器の場合、かえっ
て扱いが面倒であるという欠点がある。
本発明のレーザアライメント計測装置は、ビーム位置を
明確にするための目盛付のスクリーンと、スクリーンを
照明するだめの照明装置と、スクリーンの手前の光路上
に挿入された部分透過ミラーと、スクリーン散乱光を受
光するために部分透過ミラーの反射光軸上に置かれた撮
像素子と、外部光を遮断し前記部品を収納する筐体とを
有して構成される。
明確にするための目盛付のスクリーンと、スクリーンを
照明するだめの照明装置と、スクリーンの手前の光路上
に挿入された部分透過ミラーと、スクリーン散乱光を受
光するために部分透過ミラーの反射光軸上に置かれた撮
像素子と、外部光を遮断し前記部品を収納する筐体とを
有して構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図であるＯ
第１図に示すレーザアライメント計測装置において、入
射したレーザビーム１は、光量調整用の光学フィルタ２
を通過し、部分透過ミラーであるハーフミラ−３に達す
る。ハーフミラ−３は透過率約５０チでありレーザビー
ム１のゴースト防止用に片面に無反射コーティングを施
しである。ハーフミラ−３で反射された約５０％のレー
ザビーム１は、黒色メッキされた筺体８で吸収される。
射したレーザビーム１は、光量調整用の光学フィルタ２
を通過し、部分透過ミラーであるハーフミラ−３に達す
る。ハーフミラ−３は透過率約５０チでありレーザビー
ム１のゴースト防止用に片面に無反射コーティングを施
しである。ハーフミラ−３で反射された約５０％のレー
ザビーム１は、黒色メッキされた筺体８で吸収される。
透過したレーザビーム１は目盛のついたスフＩＪ ＋ン
４に当たるが、このレーザパターンをハーフミラ−３を
介してＣＣＤカメラ７で監視する。撮像素子を含むＣＣ
Ｄカメラ７の手前には光量調整用の光学フィルタ６がは
いっている。またスクリーン４のそばには目盛照明用の
照明装置としてＬＥＤ５があってスクリーン上の目盛を
ＣＣＤカメラ７で見ることができるようになっている。
４に当たるが、このレーザパターンをハーフミラ−３を
介してＣＣＤカメラ７で監視する。撮像素子を含むＣＣ
Ｄカメラ７の手前には光量調整用の光学フィルタ６がは
いっている。またスクリーン４のそばには目盛照明用の
照明装置としてＬＥＤ５があってスクリーン上の目盛を
ＣＣＤカメラ７で見ることができるようになっている。
本発明のレーザアライメント計測装置は、片面に無反射
コーティングを施した部分透過のハーフミラ−をスクリ
ーンの手前に挿入することにより、スクリーンに当たっ
たレーザパターンを正面からモニタすることができると
ともに、スクリーンを使用しているためにレーザビーム
特性の変化によって撮像素子の撮像面が損傷を受けると
いうことがなく、全体をコンパクトにできるという効果
がある。
コーティングを施した部分透過のハーフミラ−をスクリ
ーンの手前に挿入することにより、スクリーンに当たっ
たレーザパターンを正面からモニタすることができると
ともに、スクリーンを使用しているためにレーザビーム
特性の変化によって撮像素子の撮像面が損傷を受けると
いうことがなく、全体をコンパクトにできるという効果
がある。
第１図は本発明のｍ−実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の一例を示す縦断面図、第３図は従来の他の例を示
す縦断面図である。 １・・・・・・レーザビーム、２・・・・・・光学フィ
ルタ、３・・・・・・ハーフミラ−１４・・・・・・ス
クリーン、５・・・・・・ＬＥＤ、６・・・・・・光学
フィルタ、７・・・・・・ＣＣＤカメラ、８・・・・・
・筐体、９・・・・・・ＴＶカメラ、１０・・・・・・
レンズ、１１・・・・・・ビームスプリッタ−１１２・
・・・・・吸収体、ａ・・・・・・撮像面。
従来の一例を示す縦断面図、第３図は従来の他の例を示
す縦断面図である。 １・・・・・・レーザビーム、２・・・・・・光学フィ
ルタ、３・・・・・・ハーフミラ−１４・・・・・・ス
クリーン、５・・・・・・ＬＥＤ、６・・・・・・光学
フィルタ、７・・・・・・ＣＣＤカメラ、８・・・・・
・筐体、９・・・・・・ＴＶカメラ、１０・・・・・・
レンズ、１１・・・・・・ビームスプリッタ−１１２・
・・・・・吸収体、ａ・・・・・・撮像面。
Claims (1)
- 目盛付のスクリーンと、前記スクリーンを照明するため
の照明装置と、前記スクリーンの手前の光路上に挿入さ
れレーザビームを部分透過するための部分透過ミラーと
、前記スクリーンによる散乱光を受光するために前記部
分透過ミラーの反射光軸上に置かれた撮像素子と、外部
光を遮断し前記スクリーン、前記部分透過ミラー、前記
照明装置、前記撮像装置を収納するための筐体とを含む
ことを特徴とするレーザアライメント計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11778986A JPH0682166B2 (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | レ−ザアライメント計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11778986A JPH0682166B2 (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | レ−ザアライメント計測装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62273503A true JPS62273503A (ja) | 1987-11-27 |
| JPH0682166B2 JPH0682166B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=14720344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11778986A Expired - Lifetime JPH0682166B2 (ja) | 1986-05-21 | 1986-05-21 | レ−ザアライメント計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682166B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324678A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-11-22 | Nikon Corp | 光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡 |
| JP2018163245A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | 日本電気株式会社 | ボアサイト調整用装置及び光路再現方法 |
-
1986
- 1986-05-21 JP JP11778986A patent/JPH0682166B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324678A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-11-22 | Nikon Corp | 光路ズレ検知装置、および共焦点顕微鏡 |
| JP2018163245A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | 日本電気株式会社 | ボアサイト調整用装置及び光路再現方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0682166B2 (ja) | 1994-10-19 |
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