JPH10281861A - 配光測定装置 - Google Patents

配光測定装置

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JPH10281861A
JPH10281861A JP9258297A JP9258297A JPH10281861A JP H10281861 A JPH10281861 A JP H10281861A JP 9258297 A JP9258297 A JP 9258297A JP 9258297 A JP9258297 A JP 9258297A JP H10281861 A JPH10281861 A JP H10281861A
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JP9258297A
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English (en)
Inventor
Kenji Imura
健二 井村
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Publication date
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定物の分光的配光を高精度で測定するこ
とができる配光測定装置を提供する。 【解決手段】 楕円面鏡2の第1の焦点22の近傍に位
置する被測定領域11から出射した光束Lが当該楕円面
鏡2の楕円反射面23で反射した後、第2の焦点25に
集光して被測定領域11の強度分布像を光学的焦点面3
上に形成するとともに、当該強度分布像に沿って設けら
れたアパーチャ板5の開口51から出射する光束が透過
型回折格子63で分散され、この分散像形成光学系6に
よって強度分布像の分散像が、結像位置67に配置され
た撮像面71上に形成される。そして、当該分散像が撮
像部7によって撮像され、分散像に関連する画像情報が
演算制御部83に与えられ、被測定領域11における変
角分光分布が一度に求められる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲンランプな
どの点光源、CRTや液晶ディスプレイなどの面光源の
一部領域、あるいは照明手段によって照明されている微
小領域(以下、これらを総称して「被測定領域」とい
う)の各方向への各波長ごとの光度分布、つまり分光的
配光を測定する配光測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】配光は重要な光学特性のひとつであり、
従来より種々の配光測定装置が提案されている。例え
ば、特公平3−4858号公報には、f・θレンズの前
側焦点に被測定領域を配置し、f・θレンズの後側焦点
面上に被測定領域の空中像を形成し、さらに当該空中像
をリレーレンズ系でテレビジョン撮像装置の撮像面に再
結像させることで被測定領域の配光画像を観察する配光
測定装置が開示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、被測定領域
の配光を測定する場合、その測定可能範囲が重要とな
る。というのも、例えば液晶ディスプレイでは、その配
光特性が近年改良されており、この改良型液晶ディスプ
レイを評価するためには、液晶ディスプレイの各微小領
域(被測定領域)について当該被測定領域の法線に対し
て少なくとも±80゜程度の範囲にわたって配光を測定
する必要がある。
【0004】しかしながら、当該従来技術では、f・θ
レンズを用いて被測定領域の配光画像を形成しているた
め、必然的に測定可能な範囲は被測定領域の法線に対し
て±60゜程度に止まっており、配光測定装置に対する
近年の要求を満足するのは困難な状況にある。
【0005】また、従来より周知のようにレンズへの入
射角によって当該入射光の偏光成分に対する透過率は変
化するため、f・θレンズを介して配光を測定する従来
技術では正確な測定が困難である。例えば、被測定領域
から同一の光強度を有する光が被測定領域の法線に対し
て互いに異なる角度θ1、θ2で出射した場合、上記透過
率の不均一性によりf・θレンズを透過する光の強度が
角度θ1、θ2に応じて変化してしまう。特に、偏光光源
である液晶ディスプレイでは、この問題が重大となる。
【0006】なお、被測定領域から離れた位置に光電子
増倍管、フォトダイオードなどの光検出器や分光手段を
配置し、当該光検出器や分光手段を被測定領域に対して
同心円状に順次移動させながら各移動位置で光強度を検
出することで、被測定領域の配光や分光的配光を測定す
る方法が従来より提案されているが、この方法によれ
ば、上記問題は解消されるものの、別の重大な問題が生
じる。
【0007】すなわち、この方法により高精度の配光測
定を行うためには、光検出器や分光手段の移動と測定を
数多く繰り返して測定点を増やす必要があり、測定に時
間がかかるという問題がある。また、この方法ではすべ
ての測定点を同時に測定できないため、測定開始から完
了までの間、被測定物(CRTや液晶ディスプレイ)あ
るいは被測定領域を照明している照明光源が安定してい
る場合にしか適用することができず、実際上、被測定領
域の配光を高精度で測定することは不可能である。
【0008】しかも、カラー画像を表示するCRTや液
晶ディスプレイなどを評価するためには、色彩情報を含
んだ実際に人間に観測される配光、つまり複数の波長毎
の配光(分光的配光)を測定することが重要となる。前
記特公平3−4858号公報に記載のfθレンズを用い
た装置でも、受光手段あるいは撮像手段に互いに異なる
分光特性を有するフィルタを順次挿入しながら配光測定
を繰り返す構成を組み込むことによって、分光的配光を
測定することは可能であるが、かかる構成を追加するこ
とで配光測定装置が複雑となり、測定に長時間を要して
しまう。特に、測定時間が伸びるにしたがって、上記し
たように光源の安定化がより重要となり、実際上、被測
定領域の配光を高精度で測定することは不可能である。
【0009】この発明は、上記のような問題に鑑みてな
されたものであり、被測定物の分光的配光を高精度で測
定することができる配光測定装置を提供することを目的
とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、上記
目的を達成するため、第1の焦点が被測定領域の近傍に
配置されるとともに、前記第1の焦点を含みしかも回転
対称軸に直交する仮想直交面近傍に位置する楕円反射面
によって前記被測定領域から出射した光を第2の焦点に
集光する楕円面鏡と、前記被測定領域から出射する平行
光束が前記楕円反射面によって集光する光学的焦点面上
に配置され、しかも前記楕円面鏡によって前記光学的焦
点面上に形成される前記被測定領域の強度分布像に沿っ
た開口を有するアパーチャ板と、前記アパーチャ板の前
記開口から出射する光束を分散させるとともに、所定の
結像位置に前記強度分布像の分散像を形成する分散像形
成手段と、前記分散像を撮像する撮像手段と、前記撮像
手段によって撮像された分散像に基づき前記被測定領域
における分光的配光を求める演算制御部とを備えてい
る。
【0011】請求項2の発明は、前記分散像形成手段
を、前記開口に形成された強度分布像を前記結像位置に
結像するレンズ系と、前記開口から出射する光束を分散
させる前記レンズ系の光軸に対して軸対称な波長分散手
段とで構成している。
【0012】請求項3の発明は、前記分散像形成手段
に、前記波長分散手段から出射された光束のうち0次光
を遮光して0次像を除去する規制手段をさらに設けてい
る。
【0013】請求項4の発明は、前記波長分散手段を前
記レンズ系と前記結像位置との間に配置された透過型回
折格子で構成している。
【0014】請求項5の発明は、前記波長分散手段を前
記レンズ系と前記結像位置との間に配置されたプリズム
で構成している。
【0015】請求項6の発明は、前記分散像形成手段
に、前記結像位置上、あるいは前記結像位置と前記波長
分散手段との間に配置され、前記波長分散手段から出射
された光束のうち0次光を遮光して0次像を除去する規
制手段をさらに設けている。
【0016】請求項7の発明は、前記波長分散手段を前
記レンズ系と前記結像位置との間に配置された反射型回
折格子で構成している。
【0017】請求項8の発明は、前記分散像形成手段
に、前記アパーチャ板と前記反射型回折格子との間に配
置され、前記反射型回折格子によって反射された光束の
うち0次光を除くすべての光束を反射し、前記撮像手段
に導光する規制手段をさらに設けている。
【0018】請求項9の発明は、前記分散像形成手段
に、前記被測定領域に対応した開口を有し、前記第2の
焦点に配置された絞り板を、さらに設けている。
【0019】請求項10の発明は、前記被測定領域が平
面状の被測定物の一部であり、前記楕円反射面が、前記
被測定物平面の上方側で、しかも前記回転対称軸回りに
約180゜にわたって設けられるように構成している。
【0020】請求項11の発明は、前記楕円面鏡、前記
アパーチャ板、前記分散像形成手段および前記撮像手段
を前記被測定物の上方位置に配置するとともに、前記被
測定物の上方位置に配置され、前記楕円反射面によって
反射された光束を前記撮像手段に向けて折り返す折り返
し手段を、さらに備えている。
【0021】請求項12の発明は、前記楕円面鏡、前記
アパーチャ板、前記折り返し手段、前記分散像形成手段
および前記撮像手段を前記被測定領域の法線回りに回転
自在に構成するとともに、前記楕円面鏡、前記アパーチ
ャ板、前記折り返し手段、前記分散像形成手段および前
記撮像手段を一体的に前記法線回りに回転駆動する回転
駆動手段を、さらに備えている。
【0022】請求項13の発明は、前記被測定領域が光
を出射する光源の一部領域であることを特徴としてい
る。
【0023】請求項14の発明は、前記被測定領域を照
明する照明手段をさらに備えている。
【0024】請求項15の発明は、前記照明手段を、照
明光を出射する光源と、前記光源からの照明光のうち一
部を前記被測定領域に導くとともに、残りの少なくとも
一部を前記楕円面鏡に導くビームスプリッターとで構成
している。
【0025】請求項16の発明は、前記演算手段によっ
て、前記撮像部によって撮像された分散像から、前記被
測定領域における分光強度分布と、前記照明光の分光強
度分布とを求め、両分光強度分布の比を前記被測定領域
で反射された反射光の変角分光分布として求めるように
構成している。
【0026】この発明では、楕円面鏡の第1の焦点の近
傍に位置する被測定領域から出射した光が当該楕円面鏡
の楕円反射面で反射された後、第2の焦点に集光される
ように構成されており、この被測定領域の強度分布像が
光学的焦点面上に配置されたアパーチャ板の開口に沿っ
て形成される。そして、分散像形成手段によって当該開
口から出射する光束が分散されるとともに、前記強度分
布像の分散像が所定の結像位置に形成される。この分散
像は撮像手段によって撮像され、さらに当該分散像に基
づき被測定領域における変角分光分布が演算される。
【0027】また、楕円反射面を被測定物平面の上方側
で、しかも前記回転対称軸回りに約180゜にわたって
設けた場合、当該回転対称軸回りに約180゜の範囲で
被測定領域から出射する光が楕円反射面で反射され、略
半円状の強度分布像が光学的焦点面上に形成され、さら
に分散像形成手段によって略半円状の分散像が結像位置
に形成される。そして、当該分散像が撮像部で撮像さ
れ、演算制御部で180゜の範囲にわたる分光的配光が
同時に演算される。
【0028】また、平面状の被測定物の上方位置に楕円
面鏡、アパーチャ板、分散像形成手段および撮像手段を
配置するとともに、折り返し手段によって楕円反射面か
らの光束を撮像手段に向けて折り返すように構成した場
合、反射光束が被測定物と交差することがなくなり、そ
の結果、被測定物の平面サイズに制限されることなく、
被測定領域の分光的配光を測定することができる。
【0029】また、楕円面鏡、アパーチャ板、折り返し
手段、分散像形成手段および撮像手段を被測定領域を一
体的に被測定領域の法線回りに回転させるように構成し
た場合、各回転角度位置で撮像部によって分散像を撮像
するとともに、当該分散像から各回転角度位置での1次
元の分光的配光を順次求めることで、被測定領域の二次
元的な配光が得られる。
【0030】さらに、照明手段によって照明光の一部を
被測定領域に照射するとともに、残りの少なくとも一部
を楕円面鏡に導くように構成した場合、撮像手段により
撮像される分散像には、被測定領域における分光強度分
布に関する情報と、照明光の分光強度分布に関する情報
とが含まれる。そして、両分光強度分布の比を求めるこ
とで被測定領域で反射された反射光の変角分光分布が求
められる。
【0031】
【発明の実施の形態】図1および図2は、この発明にか
かる配光測定装置の第1の実施形態を示す図であり、図
1は光学的構成および電気的構成を示すとともに、図2
は光学的構成の一部を示している。この配光測定装置
は、ハロゲンランプ等の点光源(被測定領域)11の分
光的配光を測定する装置である。
【0032】この配光測定装置は図2に示すように円環
状の楕円面鏡2を備えている。この楕円面鏡2は回転対
称軸21を有しており、その第1の焦点22が被測定領
域11の近傍位置に位置するように配置されている。ま
た、楕円面鏡2の楕円反射面23は、当該第1の焦点2
2を含み、しかも回転対称軸21に直交する仮想直交面
24上で回転対称軸21と平行に一定の幅を持ってお
り、被測定領域11から出射する光を反射して第2の焦
点25に集光するように構成されている。さらに、この
実施形態では、楕円反射面23は回転対称軸21回りに
360゜にわたって設けられている。このため、被測定
領域11の法線12に対して角度θをなす方向に出射し
た平行光束L(図3)は楕円面鏡2の楕円反射面23に
よって反射され、図2に示すように焦点面3上で法線1
2と平行に伸びる法線31に対して角度θをなす点Pθ
に結像される。したがって、法線12に対して±180
゜の範囲において被測定領域11から出射する平行光束
Lは楕円面鏡2によって焦点面3上の対応する位置に結
像され、その結果、円形状の被測定領域11の強度分布
像4が当該焦点面3上に形成される。なお、この明細書
では、楕円面鏡2の2つの焦点22、25と、上記焦点
面3とを明確に区別するため、被測定領域11から出射
する平行光束Lが楕円反射面23によって集光する焦点
面3を特に「光学的焦点面」と称する。
【0033】また、この光学的焦点面3上には、楕円面
鏡2によって光学的焦点面3上に形成される被測定領域
11の強度分布像4に沿った開口51を有するアパーチ
ャ板5が配置されている。このアパーチャ板5は、例え
ば図4に示すように、強度分布像4に対応する円形領域
Rを残して透明ガラス板52の表面全体に遮光層53を
形成したものであり、当該円形領域Rが開口51に相当
する。
【0034】このようにアパーチャ板5に形成された開
口51から出射した光束は分散像形成光学系6に入射す
るように構成されている。この分散像形成光学系6は、
図1に示すように、絞り板61、第1リレーレンズ6
2、透過型回折格子63、規制板64、コンデンサレン
ズ65および第2リレーレンズ66がアパーチャ板5側
からこの順に配置されており、強度分布像4の分散像を
所定の結像位置67に形成する。
【0035】この配光測定装置では、第2の焦点25の
近傍に第1リレーレンズ62が設けられており、上記の
ように光学的焦点面3上に形成された強度分布像4を中
間結像位置671に結像する。したがって、第1リレー
レンズ系62の倍率を調整することで強度分布像4を適
当な大きさで中間結像位置671に拡大、等倍あるいは
縮小リレーすることができるが、この実施形態では、図
1から明らかなように第1リレーレンズ62によって光
学的焦点面3上の強度分布像4を中間結像位置671に
縮小リレーしている。
【0036】この第1リレーレンズ62の前側近傍に被
測定領域11に対応する開口611が設けられた絞り板
61が配置されており、この絞り板61を設けることで
被測定領域11を決定している。すなわち、絞り板61
は視野絞りとして機能している。ただし、絞り板61の
配設位置は第1リレーレンズ62の前側近傍に限定され
るものではなく、リレーレンズ62の後側近傍であって
もよい。また、第1リレーレンズ62の外枠(図示省
略)などによって被測定領域11が実質的に決定される
場合には、絞り板61を設ける必要はない。
【0037】また、この第1リレーレンズ62と中間結
像位置671との間には、アパーチャ板5の開口51か
ら出射する光束を分散させる波長分散手段として透過型
回折格子63が配置されている。この実施の形態では、
透過型回折格子63は周期的な同心円状の回折パターン
を有しており、分散像形成光学系6の光軸(この実施形
態では回転対称軸21と一致している)に対して軸対称
に仕上げられている。このため、リレーレンズ62を通
過してきた光束は半径方向に分散され、中間結像位置6
71上に、図6に示すような強度分布像4の中間分散像
41が形成される。この中間分散像41は波長に対応し
て互いに異なる直径を有する円弧状の強度分布像41p
〜41rを連ねてなるものであり、同図の1点鎖線に沿
った半径方向の強度分布は例えば図7に示すように変化
する。なお、図6および図7における符号41cは回折
格子63から出射する0次光により形成される0次像で
あり、この0次像41cを除去するために、この実施の
形態では中間結像位置671に規制板64が設けられて
いる。すなわち、中間分散像41に対応するサイズの開
口641が規制板64の略中央部に設けられており、0
次像41cを構成する光束を規制板64で遮光する一
方、中間分散像41を構成する光束については当該開口
641を介して中間結像位置671に配置されたコンデ
ンサレンズ65を介して収束しつつ第2リレーレンズ6
6に入射するように構成されている。なお、ここでは、
規制板64を中間結像位置671に配置しているが、規
制板64の配設位置はこれに限定されるものではなく、
透過型回折格子63と中間結像位置671との間に配設
してもよい。
【0038】この第2リレーレンズ66は中間分散像4
1を縮小リレーし、図8に示すように撮像部7の撮像面
71上に分散像42を形成する。なお、この実施の形態
では、撮像部7は、その撮像面71が結像位置67と一
致するように配設されている。
【0039】次に、図1を参照しながら配光測定装置の
電気的構成について説明する。この配光測定装置では、
撮像部7にA/D変換回路81が接続されており、撮像
部7によって撮像された分散像42に対応する画像情報
がアナログ/ディジタル変換された後、I/O82を介
して演算制御部83に入力されるように構成されてい
る。この演算制御部83は、分散像42に対応する画像
情報に基づき被測定領域11の分光的配光を演算するC
PU831と、当該画像情報を一時的に記憶するための
RAM832と、後述するプログラムなどを予め記憶す
るためのROM833とで構成されており、次に説明す
るようにして分散像42から被測定領域11における分
光的配光を演算によって求める。
【0040】図9は、撮像面71を構成する画素に対応
するメモリ空間と、撮像面71上に再結像された分散像
42を構成する強度分布像(ここでは、上記強度分布像
41pの再結像である強度分布像42p)との対応関係
を模式的に示す図である。このメモリ空間は複数の画像
情報をマトリックス状に配列したものであり、演算制御
部83において、強度分布像42pの一部、例えば被測
定領域11の法線12と平行に伸びる法線に対して角度
θをなす部分に対応する3×3の画像データ(同図
(b))をRAM832から読み出し、それら9個の画像
データD(m-1,n-1)、…、D(m+1,n+1)の積分値を特定
波長pでの角度θへの光度として求める。このような処
理を、特定の波長範囲(p〜r)で、しかも法線に対し
て±180゜の範囲内のすべてについて行い、被測定領
域11の1次元的な分光的配光を演算する。なお、強度
分布像に対応する画像データの取り方は3×3のマトリ
ックスに限定されるものではなく、任意である。また、
ここでは、積分値を角度θへの光度として求めている
が、その他の特定値(例えば平均値など)を角度θへの
光度としてもよい。
【0041】以上のように、この第1の実施形態によれ
ば、被測定領域11の分散像42を撮像し、当該分散像
42に基づき被測定領域11における分光的配光を求め
るように構成しているので、簡単な構成で、しかも短時
間で分光的配光をもとめることができる。特に、この実
施形態では、一度に法線12に対し±180゜の範囲で
分散像42を撮像しているため、時間経過に伴う光源の
変動の影響を受けることなく、精度良く配光を測定する
ことができる。また、被測定領域11から出射する光束
Lを回転対称軸21に対して対称な形状を有する楕円反
射面23で反射して強度分布像4を形成し、さらに分散
像42を形成しているため、法線12に対するいずれの
角度においても、楕円反射面23への入射角は同一であ
り、被測定領域11が偏光光源である場合にも、偏光方
向と各面の相対関係が同一であるため、測定結果が角度
θに依存するという従来例の問題は発生せず、精度良く
分光的配光を測定することができる。
【0042】なお、上記第1の実施の形態では、光学的
焦点面3上に形成された強度分布像4の分散像42を中
間結像位置671で形成し、さらに第2リレーレンズ6
6によって撮像面1上に再結像することで結像位置67
上に形成しているが、図10に示すように、中間結像位
置671に撮像部7の撮像面71を一致させて当該中間
分散像41を撮像し、上記と同様にして被測定領域11
における分光的配光を求めるようにしてもよい。
【0043】また、アパーチャ板5の開口51から出射
した光束を分散させて分散像41を形成するために、上
記実施の形態では、透過型回折格子63を用いている
が、この代わりに円錐プリズムを波長分散手段として用
いてもよい。また、波長分散手段しては、図11に示す
ように反射型回折格子を用いることもできる。
【0044】図11は、この発明にかかる配光測定装置
の第2の実施形態を示す図である。この配光測定装置が
第1の実施形態のそれと大きく相違する点は分散像形成
光学系6の具体的構成のみである。なお、その他の構成
については第1の実施形態と同一であるため、以下にお
いては、同一構成に関しては同一符号を付して説明を省
略する一方、相違する構成、つまり分散像形成光学系6
の構成について詳細に説明する。
【0045】この第2の実施形態では、分散像形成光学
系6は、同図に示すように、絞り板61、第1リレーレ
ンズ62、コンデンサレンズ65、規制板68、反射型
回折格子69および第2リレーレンズ66がアパーチャ
板5側からこの順に配置されており、強度分布像4の分
散像を所定の結像位置67に形成する。この配光測定装
置では、第1の実施形態と同様に、被測定領域11から
出射する光は楕円面鏡2によって反射して第2の焦点2
5に集光し、光学的焦点面3上に被測定領域11の強度
分布像4が形成され、さらに当該強度分布像4に沿って
アパーチャ板5に設けられた円環状の開口51から出射
した光束が分散像形成光学系6に入射する。そして、こ
の分散像形成光学系6には、第2の焦点25の近傍に第
1リレーレンズ62が設けられており、上記のように光
学的焦点面3上に形成された強度分布像4を中間結像位
置671に縮小リレーする。なお、この第2の実施形態
においても、第1リレーレンズ62の前側近傍に被測定
領域11に対応する開口611が設けられた絞り板61
が配置されており、この絞り板61を設けることで被測
定領域11を決定している。
【0046】また、この分散像形成光学系6では、中間
結像位置671にコンデンサレンズ65が配置されてお
り、このコンデンサレンズ65から出射する光束を収束
しつつ円形の規制板68の外縁部のさらに外側を通過し
て円環状の反射型回折格子69に入射する。この実施の
形態では、反射型回折格子69は周期的な同心円状の回
折パターンを有しており、分散像形成光学系6の光軸
(この実施形態では回転対称軸21と一致している)に
対して軸対称に仕上げられている一方、光軸付近では中
空領域691が形成されている。したがって、上記のよ
うにして入射された光束は波長に応じて分散されながら
規制板68に向けて反射される。
【0047】そして、反射光束のうち0次光を除くすべ
ての光束が規制板68によって再度反射し、反射型回折
格子69の中空領域691を通過し、さらに第2リレー
レンズ66を介して結像位置67に導かれ、強度分布像
の分散像を再結像する。この結像位置67には、撮像部
7の撮像面71が配置されており、第1の実施形態と同
様に、撮像部7によって分散像が撮像され、この撮像部
7から出力される信号に基づき分散像から被測定領域1
1における分光的配光が演算によって求められる。
【0048】以上のように、反射型回折格子69を波長
分散手段としても採用し、当該反射型回折格子69によ
ってアパーチャ板5の開口51から出射した光束を分散
させて分散像を形成することもでき、この場合にも、第
1の実施形態と同様の効果が得られる。
【0049】ところで、上記実施形態では、1次元の配
光を測定するに止まるが、楕円面鏡2、アパーチャ板
5、分散像形成光学系6および撮像部7を一体的に、し
かも被測定領域11に対して相対的に、被測定領域11
の法線12回りに回転させながら、各回転位置で上記の
ようにして1次元の分光的配光を順次測定することで被
測定領域11の2次元の分光的配光を測定することがで
きる。
【0050】また、上記実施形態では、楕円反射面23
を回転対称軸21回りに360゜にわたって設けている
が、回転対称軸21に対する楕円反射面23の設定角度
範囲は上記360゜に限定されるものではなく、任意で
あり、例えば図12に示すように回転対称軸21回りに
約180゜にわたって設けることも可能であり、この楕
円反射面23を有する配光測定装置によればCRTや液
晶ディスプレイなどの面光源の配光を良好に測定するこ
とができる。以下、図12および図13を参照しつつ面
光源の配光測定に適した配光測定装置の構成について説
明する。
【0051】図12および図13は、この発明にかかる
配光測定装置の第3の実施形態を示す図であり、図12
は光学的構成および電気的構成を示すとともに、図13
は光学的構成の一部を示している。この配光測定装置
は、CRTや液晶ディスプレイなどの面光源(被測定
物)1の微小領域(被測定領域)11の配光を測定する
装置である。
【0052】この配光測定装置は、図13に示すよう
に、被測定物1の上面側に配置された半円環状の楕円面
鏡2を備えている。この楕円面鏡2は回転対称軸21を
有しており、その第1の焦点22が被測定領域11の近
傍位置に位置するように配置されている。また、楕円面
鏡2の楕円反射面23は、当該第1の焦点22を含み、
しかも回転対称軸21に直交する仮想直交面24上で回
転対称軸21と平行に一定の幅を持っており、被測定領
域11から出射する光を反射して第2の焦点25(図1
2)に集光するように構成されている。さらに、この実
施形態では、楕円反射面23は回転対称軸21回りに1
80゜にわたって設けられている。このため、被測定領
域11の法線12に対して角度θをなす方向に出射した
平行光束Lは楕円面鏡2の楕円反射面23によって反射
され、図13に示すように焦点面3上で法線12と平行
に伸びる法線31に対して角度θをなす点Pθに結像さ
れる。したがって、法線12に対して±90゜の範囲に
おいて被測定領域11から出射する平行光束Lは楕円面
鏡2によって光学的焦点面3上の対応する位置に結像さ
れ、その結果、半円形状の被測定領域11の強度分布像
4が当該焦点面3上に形成される。
【0053】また、この光学的焦点面3上には、楕円面
鏡2によって光学的焦点面3上に形成される被測定領域
11の強度分布像4に沿った開口51を有するアパーチ
ャ板5が配置されている。このアパーチャ板5が先の第
1の実施形態におけるそれと相違する点は、この実施形
態では半円環板状に仕上げられており、開口51から出
射した光束は次に説明するように折り返しミラー9によ
って折り返された光束をアパーチャ板5の中央開口54
を介して楕円面鏡2側に導光可能に構成されている点の
みであり、その他の構成は同一である。
【0054】このアパーチャ板5の後方側(図12の右
手側)には、折り返しミラー9が、その反射面91の面
法線が回転対称軸21に対して上方に傾くように配置さ
れており、反射した光束をアパーチャ板5の中央開口5
4および楕円面鏡2の中央開口26を介して分散像形成
光学系6側に入射する。
【0055】また、この配光測定装置では、分散像形成
光学系6および撮像部7は、図12に示すように、被測
定物1の上方位置に設けられている点を除いて、第1の
実施形態と同一であり、分散像形成光学系6によって強
度分布像4の分散像が撮像部7の撮像面71上に形成さ
れるとともに、当該分散像が撮像部7によって撮像され
る。すなわち、上記のようにして分散像形成光学系6に
入射した光束は絞り板6の開口611およびリレーレン
ズ62を通過し、透過型回折格子63に入射し、半径方
向に分散されて、中間結像位置671上に強度分布像4
の中間分散像が形成される。さらに、0次像を除去する
ための規制板64を通過した光束がコンデンサレンズ6
5を介して収束しつつ第2リレーレンズ66に入射して
中間分散像が撮像部7の撮像面71上に縮小リレーされ
るとともに、撮像部7によって分散像が撮像される。
【0056】また、この配光測定装置の電気的構成につ
いても、第1の実施形態と同一であり、撮像部7から出
力される信号に基づき分散像から被測定領域11におけ
る分光的配光が演算によって求められる。
【0057】以上のように、この第3の実施形態によれ
ば、被測定領域11の分散像を撮像し、当該分散像に基
づき被測定領域11における分光的配光を求めるように
構成しているので、第1の実施形態と同様に、簡単な構
成で、しかも短時間で分光的配光をもとめることができ
る。特に、被測定物1が液晶ディスプレイのように偏光
光源である場合であっても、被測定領域11から出射す
る光束Lを回転対称軸21に対して対称な形状を有する
楕円反射面23で反射して強度分布像4を形成し、回転
対称軸21に対し、対称な構造を持つ透過型回折格子6
3によって分散像42を形成しているため、法線12に
対するいずれの角度においても、楕円反射面23への入
射角は同一であり、被測定領域11が偏光光源である場
合にも、偏光方向と各面の相対関係が同一であるため、
測定結果が角度θに依存するという従来例の問題は生じ
ない。また、折り返しミラー9への入射角もほぼ垂直で
あるため、この反射特性も偏光方向に依存しない。
【0058】また、この実施形態では、楕円面鏡2、ア
パーチャ板5、折り返しミラー9、分散像形成光学系6
および撮像部7を被測定物1の上面側に配置し、折り返
しミラー9によって楕円反射面23からの光束を撮像部
7側に導光して当該撮像部7で分散像を撮像するように
構成しているので、反射光束が被測定物1と交差するこ
とがなくなり、その結果、被測定物1の平面サイズに制
限されることなく、被測定領域11の分光的配光を測定
することができる。
【0059】また、楕円面鏡2、アパーチャ板5、折り
返しミラー9、分散像形成光学系6および撮像部7を一
体的に、しかも被測定領域11に対して相対的に、被測
定領域11の法線12回りに回転させながら、各回転位
置で上記のようにして1次元の配光を順次測定すること
で被測定領域11の2次元配光を測定することができ
る。この場合、上記のように、折り返しミラー9によっ
て反射光束を折り返すように構成することで、回転体
(楕円面鏡2、アパーチャ板5、折り返しミラー9、分
散像形成光学系6および撮像部7)の回転半径を小さく
することができ、装置の小型化によって有利である。さ
らに、この場合、各回転位置の一次元的配光の測定デー
タはいずれも被測定領域の法線方向を含むので、この方
向の測定値で各回転位置での一次元的配光データを正規
化することで、回転中の光源の変動や光源の偏光方向と
楕円面鏡面の相対関係の変化による反射率の変化を補正
することができる。
【0060】なお、上記第3の実施形態では、開口51
からの光束を反射するように折り返しミラー9を配置し
ているが、折り返しミラー9の配設位置、さらにミラー
数(折り返し数)については任意である。
【0061】ところで、上記第1〜3の実施形態では、
光を出射する光源を被測定物として被測定領域11にお
ける分光的配光を測定しているが、次のように被測定物
の被測定領域を照明する照明部を追加することで、照明
された被測定領域における変角分光分布を測定すること
ができる。以下、図14ないし図16を参照しつつ第4
の実施形態について説明する。
【0062】図14および図15は、この発明にかかる
配光測定装置の第4の実施形態を示す図であり、図14
は楕円面鏡2を正面から見た図であり、図15は図14
のA−A線断面図である。この配光測定装置は、第3の
実施形態にかかる配光測定装置に照明部10が組み込ま
れたものであり、照明部10によって照明された被測定
領域11によって反射された反射光の分光的配光を測定
する装置である。
【0063】この照明部10は、図15に示すように、
光源101と、レンズ102と、ビームスプリッター1
03とを有しており、光源101から出射した照明光が
レンズ102を介してビームスプリッター103に入射
するように構成されている。このビームスプリッター1
03は、図14に示すように、法線12に対して角度ψ
をなすように配置されており、上記のようにして光源1
01からの照明光が入射面103aに入射されると、照
明光に対して45゜傾いた反射面103bによって照明
光の一部(反射成分)が被測定領域11に向けて照射さ
れて被測定領域11が照明される。また、照明光のうち
上記反射成分を除く成分(反射面103bを透過した成
分)は反射面103cおよび103dで反射されて反射
面103eに戻り、さらに反射されて楕円反射面23に
向けて導光される。すなわち、このビームスプリッター
103は光源101からの照明光の一部を被測定領域1
1に照射するとともに、残りの少なくとも一部を楕円反
射面23に向けて照射するように構成されている。
【0064】なお、第4の実施形態にかかる配光測定装
置は、上記照明部10を除いて、第3の実施形態と同一
であるため、ここでは、同一符号を付して説明を省略す
る。
【0065】この配光測定装置では、上記のように被測
定領域11が照明部10によって照明されているため、
当該被測定領域11で反射した光は、上記第3の実施形
態の場合と同様に、楕円面鏡2の楕円反射面23で反射
され、光学的焦点面3上で被測定領域11の強度分布像
4が形成される。さらに、この光学的焦点面3上に配置
されたアパーチャ板5の開口51から出射する光束が折
り返しミラー9によって楕円面鏡2側に折り返され、分
散像形成光学系6に入射し、強度分布像4の分散像42
が撮像部7の撮像面71上に形成される(図16)。
【0066】また、上記のようにして被測定領域11か
ら出射した光束により撮像面71上に分散像が形成され
ると同時に、ビームスプリッター103から直接楕円面
鏡2に向けて照射された照明光の一部は楕円面鏡2の楕
円反射面23で反射され、光学的焦点面3上で光源10
1の光源像が形成される。さらに、この光源像に対応す
る光束がアパーチャ板5の開口51から出射し、折り返
しミラー9によって楕円面鏡2側に折り返された後、分
散像形成光学系6に入射し、光源像の分散像43が撮像
部7の撮像面71上に形成される(図16)。
【0067】このように、第4の実施形態では、被測定
領域11の分散像42と、光源101の分散像43とが
同一の撮像面71上に同時に形成され、両分散像42、
43に対応する画像情報がアナログ/ディジタル変換さ
れた後、I/O82を介して演算制御部83に入力され
る。そして、この実施形態では、上記第1の実施形態に
おける分光的配光の測定手順と同様にして、分散像42
に対応する画像情報に基づき被測定領域11の分光強度
分布を求めるとともに、分散像43に対応する画像情報
に基づき光源101の分光強度分布を求めた後、各波長
毎の両分光強度分布の比を演算して被測定領域11での
反射光の変角分光分布を求めている。
【0068】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、楕円
面鏡の第1の焦点の近傍に位置する被測定領域から出射
した光を当該楕円面鏡の楕円反射面で反射した後、第2
の焦点に集光して被測定領域の強度分布像を光学的焦点
面上に形成するとともに、当該強度分布像に沿って設け
られたアパーチャ板の開口から出射する光束を分散し、
分散像形成手段によって強度分布像の分散像を形成し、
当該分散像に基づき被測定領域における分光的配光を求
めるように構成しているので、被測定領域の法線に対す
るいずれの角度においても、楕円反射面以下の各入射面
への入射角は同一であるだけでなく、被測定物が偏光光
源である場合にも、偏光方向と各面の相対関係が同一で
あるため、測定結果が角度に依存するという従来例の問
題を発生させることなく精度良く分光的配光を測定する
ことができる。さらに、一度に分散像を撮像しているた
め、光源の変動の影響を受けることなく、精度良く分光
的配光を測定することができる。
【0069】特に、請求項10記載の発明によれば、楕
円反射面を被測定物平面の上方側で、しかも前記回転対
称軸回りに約180゜にわたって設けているので、略半
円状の強度分布像を光学的焦点面上に形成し、さらに分
散像形成手段によって略半円状の分散像を結像位置に形
成することができ、当該分散像に基づき180゜の範囲
にわたる分光的配光を同時に求めることができる。
【0070】また、請求項11記載の発明によれば、平
面状の被測定物の上方位置に楕円面鏡、アパーチャ板、
分散像形成手段および撮像手段を配置するとともに、折
り返し手段によって楕円反射面からの光束を撮像手段に
向けて折り返すように構成しているので、反射光束が被
測定物と交差することがなくなり、その結果、被測定物
の平面サイズに制限されることなく、被測定領域の分光
的配光を測定することができる。
【0071】また、請求項12記載の発明によれば、楕
円面鏡、アパーチャ板、折り返し手段、分散像形成手段
および撮像手段を一体的に被測定領域の法線回りに回転
させるように構成しているので、各回転角度位置で撮像
部によって分散像を撮像するとともに、当該分散像から
各回転角度位置での1次元の分光的配光を順次求めるこ
とで、被測定領域の二次元的な分光的配光を求めること
ができる。
【0072】さらに、請求項16記載の発明によれば、
照明手段によって照明光の一部を被測定領域に照射する
とともに、残りの少なくとも一部を楕円面鏡に導くよう
に構成しているので、撮像手段により撮像される分散像
には、被測定領域における分光強度分布に関する情報
と、照明光の分光強度分布に関する情報とが含まれてお
り、両分光強度分布の比を求めることで被測定領域で反
射された反射光の変角分光分布を求めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明にかかる配光測定装置の第1の実施形
態における光学的および電気的構成を示す図である。
【図2】この発明にかかる配光測定装置の第1の実施形
態における光学的構成を示す斜視図である。
【図3】楕円面鏡を光学的焦点面側より見た正面図であ
る。
【図4】アパーチャ板を示す図である。
【図5】波長分散手段として機能する透過型回折格子の
正面図である。
【図6】中間結像位置に形成される像の模式図である。
【図7】中間結像位置に形成される像(図6)の強度分
布を示すグラフである。
【図8】撮像面上に形成される分散像の模式図である。
【図9】撮像面を構成する画素に対応するメモリ空間
と、撮像面上に再結像された強度分布像との対応関係を
模式的に示す図である。
【図10】第1の実施形態にかかる配光測定装置の変形
例を示す図である。
【図11】この発明にかかる配光測定装置の第2の実施
形態における光学的および電気的構成を示す図である。
【図12】この発明にかかる配光測定装置の第3の実施
形態における光学的および電気的構成を示す図である。
【図13】この発明にかかる配光測定装置の第3の実施
形態における光学的構成の一部を示す図である。
【図14】この発明にかかる配光測定装置の第4の実施
形態に示す部分正面図である。
【図15】図14のA−A線断面図である。
【図16】図14の配光測定装置において撮像面上に形
成される分散像の模式図である。
【符号の説明】
1 被測定物 2 楕円面鏡 3 光学的焦点面 4 強度分布像 41、42、43 分散像 5 アパーチャ板 6 分散像形成光学系 7 撮像部 9 折り返し光学系 10 照明部 11 被測定領域 12 (被測定領域11の)法線 21 回転対称軸 22 第1の焦点 23 楕円反射面 25 第2の焦点 31 法線 51 (アパーチャ板5の)開口 61 絞り板 62、66 リレーレンズ 63 透過型回折格子(波長分散手段) 64、68 規制板 67 結像位置 69 反射型回折格子(波長分散手段) 71 撮像面 83 演算制御部 101 光源 103 ビームスプリッター 611 (絞り板61の)開口 L 平行光束

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の焦点が被測定領域の近傍に配置さ
    れるとともに、前記第1の焦点を含みしかも回転対称軸
    に直交する仮想直交面近傍に位置する楕円反射面によっ
    て前記被測定領域から出射した光を第2の焦点に集光す
    る楕円面鏡と、 前記被測定領域から出射する平行光束が前記楕円反射面
    によって集光する光学的焦点面上に配置され、しかも前
    記楕円面鏡によって前記光学的焦点面上に形成される前
    記被測定領域の強度分布像に沿った開口を有するアパー
    チャ板と、 前記アパーチャ板の前記開口から出射する光束を分散さ
    せるとともに、所定の結像位置に前記強度分布像の分散
    像を形成する分散像形成手段と、 前記分散像を撮像する撮像手段と、 前記撮像手段によって撮像された分散像に基づき前記被
    測定領域における分光的配光を求める演算制御部とを備
    えたことを特徴とする配光測定装置。
  2. 【請求項2】 前記分散像形成手段が、 前記開口に形成された強度分布像を前記結像位置に結像
    するレンズ系と、 前記開口から出射する光束を分散させる前記レンズ系の
    光軸に対して軸対称な波長分散手段とを備えた請求項1
    記載の配光測定装置。
  3. 【請求項3】 前記分散像形成手段が、前記波長分散手
    段から出射された光束のうち0次光を遮光して0次像を
    除去する規制手段をさらに備えた請求項2記載の配光測
    定装置。
  4. 【請求項4】 前記波長分散手段が前記レンズ系と前記
    結像位置との間に配置された透過型回折格子である請求
    項2記載の配光測定装置。
  5. 【請求項5】 前記波長分散手段が前記レンズ系と前記
    結像位置との間に配置されたプリズムである請求項2記
    載の配光測定装置。
  6. 【請求項6】 前記分散像形成手段が、前記結像位置
    上、あるいは前記結像位置と前記波長分散手段との間に
    配置され、前記波長分散手段から出射された光束のうち
    0次光を遮光して0次像を除去する規制手段をさらに備
    えた請求項4または5記載の配光測定装置。
  7. 【請求項7】 前記波長分散手段が前記レンズ系と前記
    結像位置との間に配置された反射型回折格子である請求
    項2記載の配光測定装置。
  8. 【請求項8】 前記分散像形成手段が、前記アパーチャ
    板と前記反射型回折格子との間に配置され、前記反射型
    回折格子によって反射された光束のうち0次光を除くす
    べての光束を反射し、前記撮像手段に導光する規制手段
    をさらに備えた請求項7記載の配光測定装置。
  9. 【請求項9】 前記分散像形成手段が、前記被測定領域
    に対応した開口を有し、前記第2の焦点に配置された絞
    り板を、さらに備えた請求項1ないし8のいずれかに記
    載の配光測定装置。
  10. 【請求項10】 前記被測定領域が平面状の被測定物の
    一部であり、前記楕円反射面が、前記被測定物平面の上
    方側で、しかも前記回転対称軸回りに約180゜にわた
    って設けられた請求項1ないし9のいずれかに記載の配
    光測定装置。
  11. 【請求項11】 前記楕円面鏡、前記アパーチャ板、前
    記分散像形成手段および前記撮像手段が前記被測定物の
    上方位置に配置され、しかも、 前記被測定物の上方位置に配置され、前記楕円反射面に
    よって反射された光束を前記撮像手段に向けて折り返す
    折り返し手段を、さらに備える請求項10記載の配光測
    定装置。
  12. 【請求項12】 前記楕円面鏡、前記アパーチャ板、前
    記折り返し手段、前記分散像形成手段および前記撮像手
    段を前記被測定領域の法線回りに回転自在に構成すると
    ともに、 前記楕円面鏡、前記アパーチャ板、前記折り返し手段、
    前記分散像形成手段および前記撮像手段を一体的に前記
    法線回りに回転駆動する回転駆動手段を、さらに備えた
    請求項11記載の配光測定装置。
  13. 【請求項13】 前記被測定領域が光を出射する光源の
    一部領域である請求項1ないし12のいずれかに記載の
    配光測定装置。
  14. 【請求項14】 前記被測定領域を照明する照明手段を
    さらに備える請求項1ないし12のいずれかに記載の配
    光測定装置。
  15. 【請求項15】 前記照明手段は、 照明光を出射する光源と、 前記光源からの照明光のうち一部を前記被測定領域に導
    くとともに、残りの少なくとも一部を前記楕円面鏡に導
    くビームスプリッターとを備えた請求項14記載の配光
    測定装置。
  16. 【請求項16】 前記演算手段は、前記撮像部によって
    撮像された分散像から、前記被測定領域における分光強
    度分布と、前記照明光の分光強度分布とを求め、両分光
    強度分布の比を前記被測定領域で反射された反射光の変
    角分光分布として求める請求項15記載の配光測定装
    置。
JP9258297A 1997-01-20 1997-04-10 配光測定装置 Withdrawn JPH10281861A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015001434A (ja) * 2013-06-14 2015-01-05 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 配光測定装置および配光測定方法
CN111982281A (zh) * 2020-08-13 2020-11-24 广州爱闪思光电科技有限公司 一种波长可调的光源系统

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