JPH0915151A - 拡散特性測定装置 - Google Patents

拡散特性測定装置

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JPH0915151A
JPH0915151A JP18867595A JP18867595A JPH0915151A JP H0915151 A JPH0915151 A JP H0915151A JP 18867595 A JP18867595 A JP 18867595A JP 18867595 A JP18867595 A JP 18867595A JP H0915151 A JPH0915151 A JP H0915151A
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light
measured
light flux
condenser lens
diffusion characteristic
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Toshiyuki Mizuno
利幸 水野
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被測定物表面で拡散された光束の拡散方向と
その方向の強度とを、高い分解能で、短時間に測定可能
な拡散特性測定装置を得ること。 【構成】 光源からの光束を照射レンズにより平行光束
として被測定物体の被測定面を照射し、照射された被測
定面から透過叉は反射して拡散する光束を該スポットの
略中心に前側焦点を位置させる集光レンズにより集光
し、該集光レンズより射出する光束の光路中に配置する
複数の光電素子より成る光電変換手段により該拡散する
光束を検出して該被測定面の拡散特性を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は拡散特性測定装置に関
し、特に印刷物や成形部品等の表面での拡散反射光や、
紙やスクリーン等の表面からの拡散反射光、叉は内部や
表面からの拡散透過光の拡散方向と拡散強度を高精度に
測定する拡散特性測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】物体表面は平滑な面や、細かい凹凸があ
る面等、様々な表面状態となっている。これらに光が当
たると、その面で反射、叉は透過する光は一般にいろい
ろな広がり角度を持って拡散し、いわゆる艶、光沢感と
して視覚される。
【0003】この様な物体表面の艶、光沢感等を測定す
る方法として二つの方法が知られている。
【0004】第一の方法は、物体表面の鏡面光沢度を測
定する方法で、日本工業規格、JISZ 8741「鏡面光沢度
の測定」に規定されている。図5はこの方法による鏡面
光沢測定の要部説明図である。図中、101は光源、4
02は集光レンズ、403は視野絞り、102は投射レ
ンズ、105は被測定物、105aは被測定面、104
は被測定物取り付け部、407は受光レンズ、408は
測光絞り、409は集光レンズ、410はフォトダイオ
ードである。
【0005】この配置の作用に付いて説明する。光源1
01より発した光束は集光レンズ402を介して矩形の
視野絞り403を均一に照明し、視野絞り403を通過
した光束は投射レンズ102により被測定面105a上
に投射される。被測定面105aで正反射された光束は
受光レンズ407により、所定の開口の測光絞り408
上に視野絞り403の像を結ぶ。測光絞り408を透過
した光束は集光レンズ409を介してフォトダイオード
410に至り、入射光量に応じた電気信号として出力さ
れる。
【0006】光沢度の測定の手順は、まず反射率が既知
の鏡面に仕上げられた標準反射面を被測定物取付部10
4に取り付け、この時のフォトダイオード出力を光沢1
00(%)とし、次いで標準反射面に代えて被測定物1
05を被測定物取付部104に取り付け、その出力を測
定し、その後、先に測定した標準反射面との出力比から
光沢度を決定する。
【0007】物体表面の艶、光沢感等を測定する第二の
方法は変角光度計(ゴニオフォトメータ)を利用して拡
散度を測定するものであり、この変角光度計では拡散反
射光の拡散度又は拡散透過光の拡散度の両方が測定でき
る。
【0008】図6は変角光度計の要部概略図である。図
中、101は光源、102は投射レンズであり、絞りを
通過する光束を略平行な光束に変換して被測定物105
に投射する。光源101、投射レンズ102等は照射系
部100の一要素を構成している。照射系部100は被
測定物105への照射角度を任意に設定できる。
【0009】106は被測定物105を透過・拡散する
拡散光束である。407は集光レンズ、410はフォト
ダイオード、420はフォトダイオード410からの出
力信号を増幅・A/D 変換する電気信号変換器、430は
計算手段及びメモリーである。なお、集光レンズ40
7、フォトダイオード410等は受光系部400の一要
素を構成している。受光系部400は導入する拡散光束
の導入角θを小さく設定して測定精度を上げている。更
に、受光系部400は水平面内叉は垂直面内で回転可能
である。
【0010】この変角光度計による拡散度の測定方法に
付いて説明する。まず照射系部100の照射角度を決
め、被測定面105aの所定の範囲を照明する。被測定
物105を透過して発生する拡散光束106は、測定角
度が予めセットされている受光系部400の集光レンズ
407により集光され、フォトダイオード410に受光
される。フォトダイオード410からは受光する光量に
応じる電気信号が出力され、この出力は電気信号変換器
420で増幅・ディジタル化されて受光系部400の角
度情報と共にメモリーに蓄えられる。
【0011】次いで点線で図示しているように受光系部
400を水平面内で回転移動させ、その方向の光束強度
をフォトダイオード410で検出し、同様にメモリーに
記憶する。
【0012】同様な角度走査測定を拡散測定値が必要な
角度範囲で繰り返えし行い、計算手段にて補正計算や必
要な出力形態にして、拡散方向とその強度値を出力して
測定を終わる。
【0013】拡散反射光の測定は照明部系100を回転
させ、被測定物105との配置関係を変える事により、
上記の拡散透過光の測定と同様に測定することができ
る。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法を利用し
て、印刷物や成形部品等の表面での拡散反射光や、紙や
スクリーン等からの拡散反射光、叉は拡散透過光の拡散
特性を高精度に測定しようとすれば以下のような問題が
発生する。
【0015】従来の第一の方法による光沢度測定に於い
ては、光沢度の分類、順位付けはできるものの、拡散光
の拡散方向や拡散方向毎の光強度は正確には判らない。
この為、測定値と拡散面の視覚的感覚が一致しなかった
り、光沢度と拡散反射光の広がりや強さが関係付けられ
ないので、コンピュータグラフィック等での光沢感の表
現が困難である。
【0016】また、従来の第二の方法では拡散反射光の
広がりや強さが一応判るものの、拡散特性を完全に測定
しようとすれば、受光系部400の回転移動を多数回繰
り返して測定しなければならず、測定に長時間を要す
る。又、受光系部400による拡散光の導入に際して、
導入角θを小さくしているとはいえ、これを小さくすれ
ば回転測定の回数をさらに増やさなければならないの
で、θを十分小さくすることは困難である。そこで測定
角度の分解能に限度があり、拡散方向とその方向の強度
を高分解能で求めることが困難である。
【0017】本発明は、被測定物表面で拡散された光束
の拡散方向とその方向の強度とを、高い分解能で、短時
間に測定可能な拡散特性測定装置の提供を目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明の拡散特性測定装
置は、 (1−1) 光源からの光束を照射レンズにより平行光
束として被測定物体の被測定面を照射し、照射された被
測定面から透過叉は反射して拡散する光束を照射領域の
略中心に前側焦点を位置させる集光レンズにより集光
し、該集光レンズより射出する光束の光路中に配置する
複数の光電素子より成る光電変換手段により該拡散する
光束を検出して該被測定面の拡散特性を測定すること等
を特徴としている。
【0019】特に、 (1−1−1) 前記集光レンズと前記光電変換手段の
間に前記各光電素子に入射する光束の大きさを規制する
光束制御手段と、該各光電素子が測定する領域を規制す
る複数の絞り穴を有する絞り手段を配置している。 (1−1−2) 前記光束制御手段は前記各光電素子に
対応する複数のマイクロレンズより成るマイクロレンズ
アレイである。 (1−1−3) 前記光電変換手段、前記光束制御手
段、前記絞り手段が一体として前記集光レンズの光軸に
対して垂直な面内で移動可能である。 (1−1−4) 前記光電変換手段はエリアセンサ又は
ラインセンサである。 こと等を特徴としている。
【0020】
【実施例】図1は本発明の実施例1の要部概略図であ
る。図は拡散反射光の拡散度測定の配置を示している。
【0021】同図において、101は光源である。10
2は照射レンズであり、光源101からの光束をピンホ
ール状の絞りを介して略平行な光束に変換する。光源1
01、照射レンズ102等は照射系部100の一要素を
構成している。
【0022】104は被測定物取付部、105は被測定
物、105aは被測定面である。照射系部100は被測
定物取付部104に取り付けられた被測定物105の被
測定面105aの点Pの部分を角度(−θ0 )でスポッ
ト状に照射する。この角度−θ0 は任意に設定できる。
【0023】106は被測定面105aで反射して拡散
する拡散光束である。107は集光レンズであり、その
前側焦点は被測定面105a上の光照射領域の中心Pに
位置している。従って、P点で反射拡散する光束106
は集光レンズ107を屈折後、略平行な光束108とな
って射出する。又、集光レンズ107は広い範囲の拡散
光を集める為に大きな開口数(NA)を有している。
【0024】111は多数のマイクロレンズ111aで
構成される光束制御手段としてのマイクロレンズアレイ
であり、集光レンズ107から射出する光束108を個
々のマイクロレンズ111aによって極く細い光束(例
えば光束108a)に細分して集光する。つまり、マイ
クロレンズ111aは後記の光電素子113aに対応し
て射出光束108を分割すると共に、光電変換素子11
3aに入射する光の照度を増やしている。
【0025】112は絞り板(絞り手段)であり、各マ
イクロレンズ111aに対応する複数の絞り孔112a
を有する板で、照射系部100が被測定面105aを照
射するスポットの大きさに広がりがある為、この広がり
成分からの光束を制限し、光電素子113aが測定する
領域を規制している。
【0026】光電変換手段113は2次元の光電変換手
段(エリアセンサ)であり、各マイクロレンズ111a
に対応する複数の光電素子113aより成り、各マイク
ロレンズ111aが集光する光束を受光して、集光する
光量に応じて各光電素子113aから電気信号を出力す
る。なお、光電変換手段113は不図示の制御回路によ
り制御される。 マイクロレンズアレイ111、絞り板
112、光電変換手段113等は光強度検出器110の
一要素を構成している。なお、光強度検出器110は集
光レンズ107の光軸と直交する面内で移動できる構造
となっている。
【0027】又、集光レンズ107及び光強度検出器1
10等は受光系部120の一要素を構成している。な
お、受光系部120は紙面内及び紙面に垂直な方向の任
意の角度に回転可能であるが、図1の配置では測定面1
05aの法線に対してθ0 の角度に設定している。
【0028】130は電気信号変換器であり、光強度検
出器110からの出力信号を増幅・A/D 変換等を行う。
140は計算手段及びメモリー、150は表示器で測定
計算した結果を表示叉は記録する。
【0029】図1の配置において、被測定面105aで
拡散反射された光束106は、角度θ0 に設定された受
光部系120に達する。受光系部120に達した拡散光
束のうち、導入角θまでの光束は集光レンズ107で集
光され、集光レンズ107を屈折後、平行光束108と
なって光強度検出器110で受光され、光電変換手段1
13で電気信号に変換される。
【0030】本実施例による測定手順に付いて、図2の
フローチャートを用いて説明する。
【0031】ステップ1:電源を投入し、照射系部10
0の照射角度−θ0 を設定する。尚、集光レンズ107
の位置はその前側焦点面が被測定面105a上の測定点
Pに合致するように、前もって光強度検出器110を取
り除き、この側からコリメータなどを使用して平行光束
を入射させて設定している。
【0032】ステップ2:光電変換手段113を構成す
る各光電素子113aの出力を補正して均一にする(シ
ェーディング補正)ために標準拡散面の測定を行う(こ
のステップはその都度行う必要はなく、測定の最初か、
照明ランプの交換等、測定系に変更が生じた時行えば十
分である。)。
【0033】この標準拡散面としては予め変角分光計で
測定された値の判った物でも良いが、通常は完全拡散面
と同等である例えばオパール硝子や硫酸バリウムの粉末
を固めた物等を使用する。標準拡散面を被測定物取付面
104にセットして光電出力を測定し、その結果をメモ
リー140に記憶し、後の測定値を補正するのに使用す
る。
【0034】ステップ3:受光系部120の角度を照射
系部100からの光束が正反射する方向θ0 に設定す
る。この時、光強度検出器110も位置決めされ、これ
らの角度と位置情報はメモリー140に蓄えられる。
【0035】ステップ4:被測定物105を被測定物取
付部104に取付ける。
【0036】ステップ5:受光系部120内に拡散光束
106を取り込み、角度θ0 に応じて集光レンズ107
が集光して屈折した光束108を光強度検出器110で
検出し、その光電変換出力を電気信号変換器130で増
幅デジタル化した上、計算手段140内のメモリーに記
憶する。
【0037】ステップ6:他の拡散角の測定を行うか否
かの判断をする。すなわち、図3に示すように光強度検
出器110の測定範囲が集光レンズ107からの射出光
束108に対して小さいときは、1回の測定で射出光束
108全体を測定出来ないので、この時はステップ7へ
進む。もし、光強度検出器110が射出光束108全体
をカバーする大きさであればステップ8へ進む。
【0038】ステップ7:光強度検出器110を図3で
示す矢印Yの方向、叉は紙面と直交するX方向へ、先の
測定範囲と一部が重なる程度まで移動し、ステップ5へ
進む(なお、この部分は光強度検出器110はそのまま
で、受光系部120の設定角度θ0 を変化させて測定し
ても同様な結果が得られる)。
【0039】ステップ8:被測定面105a上の他の部
分を測定するか否かを判断する。もし、他の部位を測定
する場合にはステップ9へ進む。他の部分を測定しなく
て良ければステップ10へ進む。
【0040】ステップ9:被測定面105aの他の部位
を測定する場合のステップで被測定物105を移動し、
再度ステップ5よりの動作を行う。
【0041】ステップ10:計算手段140により、ス
テップ2で得られた補正値やステップ3で設定された値
や、予め測定された集光レンズ107の収差等を用い光
電変換出力値を補正する。叉、必要に応じてステップ6
で得られた複数の測定範囲のデータを繋ぎ合わせた形に
メモリー内データを基にまとめる。
【0042】ステップ11:測定結果を必要な形で記録
叉は表示する。
【0043】次の試料の測定が有ればステップ4より再
度行い、行う必要が無ければ終了となる。
【0044】本実施例で拡散透過光束の測定を行うとき
は図4に示すように照射系部100の照射角度を被測定
面105aに対して垂直に設定し、受光系部120の受
光角度θ0 も被測定面105aに垂直に設定し、1つの
直線上に受光系部120の光軸と照射系部100の光軸
とを設定すれば、拡散反射光測定と同様な手順で測定出
来る。
【0045】実施例1では受光系部120の1回のセッ
トで集光レンズ107の開口数NAまでの拡散光束につ
いてその拡散方向とその方向の光強度を1回で求めるこ
とができ、極めて短時間で拡散特性を求めることができ
る。
【0046】更に、光電変換手段113は多数の光電素
子113aで構成しており、これに対応して集光レンズ
107からの射出光束108を細かく分けてそれぞれの
細分した光束108aを測光するので、射出光束10
8、更には導入角θまでの拡散光束を細分して測光して
いる。これによって拡散光束106の拡散特性は高い分
解能で測定出来る。
【0047】なお、射出光束108の断面に対して光電
変換手段113が小さい場合には、光強度検出器110
を走査して測定しなければならないが、その場合でも従
来の方法に比べて走査回数は著しく少なくなり、測定の
分解能は高くなる。
【0048】又、実施例1の集光レンズ107は焦点距
離fと、光線の入射角度(拡散光束角度)θ、瞳半径h
の関係は、 h=f・sinθ 又は h=f・tanθ で表される通常のレンズである。
【0049】これに対して、これらの関係が h=f・ θ となる、所謂Fθレンズを使用して、光線の入射角度θ
とこの光線が集光レンズ107を屈折後、光軸に平行な
光線として射出する際の光軸からの距離hとの関係を完
全な比例関係にすることも可能である。
【0050】この時の構成や使用方法は先に述べた実施
例1と全く同様である。
【0051】尚、実施例1では光電変換手段としてエリ
アセンサを使用したが、ラインセンサによって集光レン
ズ107からの射出光束108を走査すれば、実質的に
実施例1と同じ測定結果が得られる。この場合でも従来
の方法に比べて走査が1次元で済むので測定は簡単であ
る。
【0052】
【発明の効果】本発明は以上の構成により、被測定物表
面で拡散された光束の拡散方向とその方向の強度とを、
高い分解能で、短時間に測定可能な拡散特性測定装置を
達成する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1の要部概略図
【図2】 実施例1の測定フローチャート図
【図3】 実施例1の派生例の要部概略図
【図4】 本発明の拡散透過光を測定する実施例の要部
概略図
【図5】 従来の鏡面光沢度測定装置の要部概略図
【図6】 従来の変角分光計の要部概略図
【符号の説明】
100 照射系部 105 被測定物 105a 被測定面 106 被測定面で拡散された光束 107 集光レンズ 108 集光レンズから射出する平行光束 110 光強度検出器 111 マイクロレンズアレイ 111a マイクロレンズ 112 絞り板 112a 絞り孔 113 光電変換手段 113a 光電素子 120 受光系部 130 電気信号変換器 140 計算手段 150 表示/記録器

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源からの光束を照射レンズにより平行
    光束として被測定物体の被測定面を照射し、照射された
    被測定面から透過叉は反射して拡散する光束を照射領域
    の略中心に前側焦点を位置させる集光レンズにより集光
    し、該集光レンズより射出する光束の光路中に配置する
    複数の光電素子より成る光電変換手段により該拡散する
    光束を検出して該被測定面の拡散特性を測定することを
    特徴とする拡散特性測定装置。
  2. 【請求項2】 前記集光レンズと前記光電変換手段の間
    に前記各光電素子に入射する光束の大きさを規制する光
    束制御手段と、該各光電素子が測定する領域を規制する
    複数の絞り穴を有する絞り手段を配置していることを特
    徴とする請求項1の拡散特性測定装置。
  3. 【請求項3】 前記光束制御手段は前記各光電素子に対
    応する複数のマイクロレンズより成るマイクロレンズア
    レイであることを特徴とする請求項2の拡散特性測定装
    置。
  4. 【請求項4】 前記光電変換手段、前記光束制御手段、
    前記絞り手段が一体として前記集光レンズの光軸に対し
    て垂直な面内で移動可能であることを特徴とする請求項
    2又は3の拡散特性測定装置。
  5. 【請求項5】 前記光電変換手段はエリアセンサ又はラ
    インセンサであることを特徴とする請求項4の拡散特性
    測定装置。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485191B1 (ko) * 2003-01-07 2005-04-22 학교법인단국대학 의료용 레이저빔 산란광 공간적 분포 측정 방법 및 그시스템
JP2006170925A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Dainippon Printing Co Ltd 光沢度測定方法および装置
JP2006234613A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Toyota Motor Corp 塗膜評価装置及び方法
JP2007524807A (ja) * 2003-02-26 2007-08-30 レイモンド, ジェイ. キャストンガイ, 球形光散乱及び遠視野位相の測定
JP2008128873A (ja) * 2006-11-22 2008-06-05 Nireco Corp オンライン分光透過色測定方法及びオンライン分光透過色測定装置
US7952715B2 (en) 2007-03-20 2011-05-31 Seiko Epson Corporation Printing device, method of controlling printing device, and recording medium
JP2012198188A (ja) * 2011-03-09 2012-10-18 Toshiba Corp 光検出装置、及び光検出装置を備える紙葉類処理装置
JPWO2020090299A1 (ja) * 2018-11-01 2021-09-09 富士フイルム株式会社 分光測定装置
JPWO2020090300A1 (ja) * 2018-11-01 2021-09-16 富士フイルム株式会社 分光測定装置

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485191B1 (ko) * 2003-01-07 2005-04-22 학교법인단국대학 의료용 레이저빔 산란광 공간적 분포 측정 방법 및 그시스템
JP2007524807A (ja) * 2003-02-26 2007-08-30 レイモンド, ジェイ. キャストンガイ, 球形光散乱及び遠視野位相の測定
JP2006170925A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Dainippon Printing Co Ltd 光沢度測定方法および装置
JP4549838B2 (ja) * 2004-12-20 2010-09-22 大日本印刷株式会社 光沢度測定方法および装置
JP2006234613A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Toyota Motor Corp 塗膜評価装置及び方法
JP4534795B2 (ja) * 2005-02-25 2010-09-01 トヨタ自動車株式会社 塗膜評価装置及び方法
JP2008128873A (ja) * 2006-11-22 2008-06-05 Nireco Corp オンライン分光透過色測定方法及びオンライン分光透過色測定装置
JP4592023B2 (ja) * 2006-11-22 2010-12-01 株式会社ニレコ オンライン分光透過色測定方法及びオンライン分光透過色測定装置
US7952715B2 (en) 2007-03-20 2011-05-31 Seiko Epson Corporation Printing device, method of controlling printing device, and recording medium
JP2012198188A (ja) * 2011-03-09 2012-10-18 Toshiba Corp 光検出装置、及び光検出装置を備える紙葉類処理装置
JPWO2020090299A1 (ja) * 2018-11-01 2021-09-09 富士フイルム株式会社 分光測定装置
JPWO2020090300A1 (ja) * 2018-11-01 2021-09-16 富士フイルム株式会社 分光測定装置

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