JP2004101213A

JP2004101213A - 光学系のｍｔｆを測定する装置及び方法

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Publication number: JP2004101213A
Application number: JP2002259596A
Authority: JP
Inventors: Minokichi Ban; 伴　箕吉
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2002-09-05
Filing date: 2002-09-05
Publication date: 2004-04-02

Abstract

【課題】省スペース化、迅速な測定、並びに、コストダウンを実現する光学系（即ち、被検レンズ）のＭＴＦを測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】光源と、測定基準となるチャートと、前記光源を前記チャートに照明する第１の光学部材と、前記チャートを仮想的に所定の距離から発光したようにさせる第２の光学部材と、前記光学系を所定の配置にする支持装置と、前記光学系を経た光を反射する反射鏡と、前記チャートの像を前記光学系と共に結像させる第３の光学部材と、当該第３の光学部材によって形成された前記像を検出する検出手段と、前記検出手段から得られた前記像の情報から前記光学系のＭＴＦを算出し、かつ、出力する演算出力装置とを有することを特徴とした測定装置を提供する。
【選択図】　　　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
物体を結像させる光学系の光学性能中でとりわけ重要な解像性能の評価として、その光学系による物体または像面での空間周波数成分の劣化度を示すＯＴＦ（Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）またはそのＯＴＦの位相成分を除いたＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ　Ｔｒａｎｓｆｅｒ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）がある。本発明はこのＯＴＦ、ＭＴＦ測定の技術分野に属するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から結像レンズのＯＴＦやＭＴＦを測定する方法や装置は多々提案されている。例えば、米国特許第４，１１０，０４６号は、図５に示すように、テストレンズ（又は被検レンズ）１２を解析装置１０についているマウントに取付け、物体位置に設けた光源１４からの光がテストレンズ１２を介して透過した光を解析装置１０で検出し、信号処理装置１６にてテストレンズ１２のＭＴＦを測定する。
【０００３】
また、例えば、本出願人による特開平７−５０７３は、結像レンズ（又は被検レンズ）の像面からチャートをその結像レンズを介して投影する投光部と、物体側に受光部を設けて更に受光部が所定平面内で移動可能な機構とを追加することによってＭＴＦの測定の自動化を提案している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
これらの装置や方法は、被検レンズの物体面に光源や基準のチャートを配置して被検レンズの結像面に解析装置を配置するか、被検レンズの結像面にチャートを配置して物体面に受光部を配置している。これらの装置や方法は、このように、被検レンズの実際の物体距離に投光部か受光部を配置するために、距離が長く、かつ、被検レンズの画角が大きければ更なる幅や高さが必要となるため、測定装置の大型化を招く。また、測定の主要部分である投光部又は受光部を被検レンズの画角に応じて精度よく長距離移動させるために測定時間が長くなり、その機構や広い空間を有する暗室を必要とするため装置価格とその付帯設備を必要とする結果、測定装置のコストアップを招く。
【０００５】
高品質のレンズ生産にはＭＴＦの測定が必須であり、レンズの多機能化に伴う、高倍ズームや防振機能などの測定項目の増加に伴って、工場の省スペース・迅速な測定、低価格な測定装置が要求されている。
【０００６】
そこで、本発明は、省スペース化、迅速な測定、並びに、コストダウンを実現する光学系（即ち、被検レンズ）のＭＴＦを測定する装置及び方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての光学系のＭＴＦを測定する装置は、測定基準となるチャートと、光源からの光を前記チャートに照明する第１の光学部材と、前記チャートを仮想的に所定の距離から発光したようにさせる第２の光学部材と、前記光学系を所定の配置にする支持装置と、前記光学系を経た光を反射する反射鏡と、前記チャートの像を前記光学系と共に結像させる第３の光学部材と、前記チャートの像を検出する検出手段と、前記検出手段から得られた前記像の情報から前記光学系のＭＴＦを算出し、かつ、出力する演算出力装置とを有することを特徴とする。
【０００８】
前記反射鏡は、前記光学系の物体位置又は結像位置にほぼ曲率中心を有してもよい。前記第２の部材は前記第３の光学部材の少なくとも一部を兼ねてもよい。前記光源と前記チャートと前記第１の光学部材と前記第２の光学部材と前記第３の光学部材と前記検出手段とを含む測定装置本体と、前記支持装置と、前記反射鏡とは、相対的に並行移動及び回転可能に構成されていてもよい。前記検出手段は光量も検出し、前記光学系の透過率も測定してもよい。
【０００９】
前記チャートは、微細な形状や十字状のスリットを含んでもよい。前記検出手段は２次元撮像素子を有してもよい。この場合、前記２次元撮像素子の画素は、前記スリットの方位に対して非平行に配列されていることが好ましい。
【００１０】
前記第２の光学部材から発する光束を第１の直線偏光とし、前記反射鏡からの戻り光束を該直線偏光と直交する第２の直線偏光とし、前記第３の光学部材は前記第２の直線偏光のみを結像させてもよい。
【００１１】
前記第２及び／又は第３の光学部材は結像レンズとしてのズームレンズを有してもよい。
【００１２】
前記測定装置によってＭＴＦが測定された前記光学系も本発明の一側面を構成する。
【００１３】
本発明の別の側面としての上述の測定装置を使用して前記光学系のＭＴＦを測定する方法は、前記測定装置の測定条件及び位置、前記光学系の位置及び測定条件、前記反射鏡の条件と位置を設定する第１のステップと、前記測定装置と前記光学系と前記反射鏡を光学的に調整する第２のステップと、前記光学系のＭＴＦを測定する第３のステップと、測定された前記ＭＴＦを出力する第４のステップとを有することを特徴とする。
【００１４】
前記第１のステップにおいて設定された条件を変化させて前記第２乃至第４のステップを繰り返してもよい。変化される前記条件は、前記測定装置の測定条件及び／又は位置、前記光学系の位置及び／又は条件、及び、前記反射鏡の条件及び／又は位置である。
【００１５】
前記方法によってＭＴＦが測定された前記光学系も本発明の一側面を構成する。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、被検レンズＴＬのＭＴＦを測定する本発明の一実施形態のＭＴＦ測定装置１００について添付図面を使って説明する。ここで、図１は、ＭＴＦ測定装置１００の概略的な光路図である。ＭＴＦ測定装置１００は、光源１１２を含んだ第１の光学部材１０２と、第２の光学部材１０４と、第３の光学部材１０６と、チャート１２４と、光学系としての被検レンズＴＬを支持する支持装置１４０と、反射鏡１５０と、検出手段１６０と、ＭＴＦ演算出力装置１７０とを有する。
【００１７】
第１の光学部材１０２は、光源１１２、楕円鏡１１４、拡散板１１６、遮光板１１８、集光レンズ１２０、色フィルター１２２を含み、光源１１２の光エネルギーを後述のチャート面に有効照明する機能を有する。
【００１８】
光源１１２、例えば、ハロゲンランプや水銀ランプは、楕円鏡１１４の１焦点に配置され、楕円鏡１１４のもう１つの焦点に光源１１２を結像させる。結像位置には光が漏れないように遮光板１１８が配置されている。これはクリティカル照明と呼ばれる照明方法であるが、光源の強度分布や配光特性をそのまま伝えることになる。そのためそれらを平均化するために光源１１２と遮光板１１８との間には、拡散板１１６が配置され、実際の物体からの光に極力近づけている。集光レンズ１２０と色フィルター１２２は、スリットを設けているチャート１２４を、所定の分光特性をもつ光で照明する。このように、第１の光学部材１０２は擬似結像位置を照明するものである。
【００１９】
チャート１２４は、ＭＴＦ測定のための擬似結像位置となる。具体的には微小な線幅を透過させ、その他は吸収または反射させるものである。後述する図２（ａ）のような十字または矩形な形状を有する。チャート１２４は、第１の光学部材１０２が形成した２次光源の近傍に設けられ、２次光源からの光の一部を透過し、一部を遮光する機能を有する。
【００２０】
第２の光学部材１０４は、ハーフミラー１２６と、結像レンズ１２８と、絞り１３０とを含み、チャート１２４を仮想的に所定の距離から発光したようにする機能を有する。チャート１２４をハーフミラー１２６と結像レンズ１２８と絞り１３０で、所定の距離に所定の光束径でチャート１２４を経た光束を結像させる。図１の例では被検レンズＴＬの結像面１３２にチャート１２４を結像させている。この場合のチャート結像倍率βは、近似的に、β＝ｓ２／ｓ１となる。但し、ｓ１は、チャート１２４から結像レンズ１２８までの距離、ｓ２は結像レンズ１２８から結像面１３２までの距離である。絞り１３０は被検レンズＴＬに有効な光束になるように設定される。第２の光学部材１０４から射出される光束が被検レンズＴＬの所望な結像位置になるように、被検レンズＴＬを配置する。
【００２１】
被検レンズＴＬは支持装置１４０に搭載され、支持装置１４０は被検レンズＴＬを所定の姿勢に配置する。被検レンズＴＬを射出した光束は、被検レンズＴＬの物体位置にチャート１２４のスリットを結像する。
【００２２】
被検レンズＴＬの物体位置には、当該物体位置にほぼ曲率中心を有する反射鏡１５０が配置される。図１に示す例では、反射鏡１５０はその物体位置に曲率中心をもつ凸面鏡から構成されている。被検レンズＴＬの物体位置が無限縁の場合には凸面鏡の代わりに平面鏡を、また、その物体位置が反射鏡よりも左側にある場合には凹面鏡を配置する。また、別の実施形態では反射鏡１５０は平面鏡から構成される。反射鏡１５０の表面は使用波長で反射するよう膜が形成されている。
【００２３】
第３の光学部材１０６は、絞り１３０と、結像レンズ１２８と、ハーフミラー１２６とを含み、チャート１２４の像を被検レンズＴＬと共に結像させる機能を有する。本実施形態では、第２の光学部材１０４は第３の光学部材を兼ねており、部品点数の削減とそれによる測定装置のコストダウンを図ることができる。反射鏡１５０によって反射された光束は、反射されて被検レンズＴＬを通り、絞り１３０と結像レンズ１２８も通過し、ハーフミラー１２６で反射する。別の実施形態においては、別のハーフミラーを第２の光学部材１０４と被検レンズＴＬの間に配置し、第２の光学部材１０４及び第３の光学部材１０６に共に結像レンズを設けてもよい。結像レンズ１２８と被検レンズＴＬ、及び、第３の光学部材１０６に配置される図示しない結像レンズの性能と位置からチャート１２４の総合倍率が決まるため、総合倍率がより自由に変更可能となる。
【００２４】
チャート１２４と共役な位置には、第３の光学部材１０６によって形成された像を検出する検出手段としての２次元撮像素子１６０が配置され、チャート１２４のスリットの結像状態を検出する。
【００２５】
２次元撮像装置１６０はＭＴＦ演算出力装置１７０に接続される。ＭＴＦ演算出力装置１７０は、２次元撮像装置１６０が検出した結像状態をＭＴＦ値に変換する演算部と、ＭＴＦ値を記録、表示、並びに、紙にプリントアウトなどする出力部を含む。
【００２６】
以上のように、本実施形態のＭＴＦ測定装置１００は、従来のように同じような複雑な投光、受光の光学ユニットが２体ある代わりに、第１の光学部材１０２とチャート１２４と第２の光学部材１０４と第３の光学部材１０６そして検出手段１６０からなるＭＴＦ測定装置本体１０１が一体化され、残りは単純な構成の反射鏡１５０から構成されるため、光源１１２や検出手段１６０などに電気を供給するケーブルはＭＴＦ測定装置本体１０１のみに接続となることや精密な光学調整されるユニットもその本体１０１のみで取り扱いが非常に容易になっている。
【００２７】
また、ＭＴＦ測定の重要なパラメータである被検レンズＴＬの物体距離や画角位置を変化させるには、ＭＴＦ測定装置本体１０１と被検レンズＴＬ又は支持装置１４０と反射鏡１５０を相対的に並行移動や回転を行なうことで可能になる。そのためには　ＭＴＦ測定装置本体１０１と被検レンズＴＬ又は支持装置１４０と反射鏡に並行移動や回転できる図示しない機構を設け、ＭＴＦ測定装置本体１０１の検出手段１６０などを使い各光学軸を所定に光学調整する。また、本実施形態は、従来の被検レンズの１回透過での測定に対して、本発明は２回透過するため、２倍高感度で測定できる特徴がある。
【００２８】
図２は、２次元撮像素子１６０で検出する場合の２種類のチャート１２４を示す。図２（ａ）は、チャート１２４が十字状のスリット１２５ａを有し、微小な線幅を有する十字状のスリット１２５ａでＭＴＦの直交するｙ−ｚ方位のＭＴＦを同時に測定可能にする場合を示している。これによりＭＴＦのデフォーカス特性から非点収差測定ができる。図２（ａ）は、２次元撮像素子上での十字スリット１２５ａを模式的に示しており、実際には十字スリット１２５ａの像は被検レンズＴＬにより像劣化を起こすため十字スリットの端は不明瞭になる。
【００２９】
Ｙ−Ｚに配列されている小さな黒色矩形Ｐは２次元撮像素子の画素を示している。その画素Ｐ配列と十字スリット１２５ａの端の方位を非平行に構成することによって、画素Ｐとその端の方位との相対差による測定誤差を軽減することができる。十字スリット１２５ａのｙ方向の像は上下の斜線部Ｐｙで検出し、各ｙの高さに応じて十字スリットの端とのｚの相対差を補正して、積算してｚ方向のＭＴＦを測定する。ｙ方向のＭＴＦは十字スリット１２５ａのｚ方向の像は左右の斜線部Ｐｚで検出し、ｚ方向同様にｙ方向のＭＴＦを測定する。
【００３０】
図２（ｂ）は、直交した矩形チャート１２５ｂ及び１２５ｃをお互いに像が干渉しない範囲で離し、図２（ａ）と同様に、ｙ−ｚ方位のＭＴＦを測定可能にした状態を示している。図２（ａ）と同様に、斜線部Ｐｙ’及びＰｚ’が２次元撮像素子１６０での検出部分である。矩形のスリット１２５ｂ及び１２５ｃの方位は、１つであれば、それと直交方位の１つのＭＴＦが測定でき、それを多数配置すれば、多くの方位のＭＴＦが同時に測定できる。ただしその分、お互いの像が干渉しないようチャートを大きくする。
【００３１】
本発明は、前述の２次元撮像素子１６０の代わりに、従来よく使われている単スリットとその結像面での単スリット走査による光量検出方式によるＭＴＦ測定も使用することができる。そのためには　チャート１２４として細い矩形のスリットを設け、２次元撮像素子１６０の代わりに走査可能な細い矩形スリットとその背後に透過光量を検出可能なホトマルやシリコンセンサーを配置する。
【００３２】
実際のＭＴＦ測定では、他の手段でベストフォーカス位置を設定することは難しく、具体的には反射鏡を光軸方向に微動させ、２次元撮像素子上のチャート像を相対的にデフォーカスしＭＴＦを測定し、一番良好なＭＴＦを示すデフォーカス位置をベストフォーカス位置としている。本実施形態は一枚の反射鏡１５０のみを移動させることで、簡単にデフォーカスを達成できる。別の実施実施形態においては、反射鏡１５０の代わりにＭＴＦ測定装置本体１０１や被検レンズＴＬを移動させてデフォーカスを行なう。
【００３３】
以下、図４を参照して、本発明の別の実施形態のＭＴＦ測定装置１００Ａについて説明する。ここで、図４は、ＭＴＦ測定装置１００Ａの概略的な光路図であり、図１と同一の部材は同一の参照番号を付している。
【００３４】
ＭＴＦ測定装置１００においては、反射鏡１５０は被検レンズＴＬの物体位置にほぼ曲率中心を有するように配置されるが、ＭＴＦ測定装置１００Ａにおいては、反射鏡１５０Ａは被検レンズＴＬの結像位置にほぼ曲率中心を有するように配置される。図４の例では、第２の光学部材１０４は、無限遠にチャート１２４を結像させているが、被検レンズＴＬの物体距離に合わせて結像させる。被検レンズＴＬからでた光束は、被検レンズＴＬの結像位置にチャート１２４のスリットを結像する。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すスリット１２５ａ乃至１２５ｃの形状と２次元撮像素子１６０の画素配列は図１に示すＭＴＦ測定装置１００Ａにそのまま適用することができる。
【００３５】
図１の更に別の実施形態を以下列記する。
（１）　第１の光学部材１０２として、直接光源を屈折系のみで、チャート１２４を照明することもできる。光源１１２の発散量を有効に使用しないが、自然な配光分布を提供できる利点がある。
（２）　反射鏡１５０としてコリメータレンズ及び平面鏡で反射させることもできる。また被検レンズＴＬが、結像レンズ１２８の一部となっており理想的にその結像位置近傍の波面が球面波にならない場合は、反射鏡１５０として非球面を使い、元の光路に戻すようにすることでその被検レンズＴＬのＭＴＦ測定ができる。
（３）　図１に示す実施形態は被検レンズＴＬを光束が２回透過させるため、光束が１回透過する際に、被検レンズＴＬの表面反射が２次元撮像素子１６０に入る可能性がある。これを防ぐために、図１のハーフミラー１２６を偏光ビームスプリッターとし、被検レンズＴＬに入る光を直線偏光にして、次に被検レンズＴＬと凹面鏡としての反射鏡１５０の間に１／４波長板を所定の方位に設け円偏光にして、反射鏡１５０で反射させ、再度１／４波長板を透過すると１回目の透過光と直交した直線偏光となるように構成する。この結果、被検レンズＴＬの１回目の透過の際に発生する表面反射は、入射偏光と同じ方位なので偏光ビームスプリッターにより、２次元撮像素子１６０には入射せず、光源の方に戻り、表面反射は除去できる。
（４）　２次元撮像素子１６０の全画素の光量を検出すれば、被検レンズＴＬの透過率も同時に測定できる。更に透過率のわかっている被検レンズで校正しておき、かつ光源の変動をモニターすることで容易に透過率測定ができる。
（５）　拡散板１１６の代わりに光ファイバーにすることで、その光ファイバーでの拡散特性を利用することができる。
（６）　焦点距離やＦナンバーなどの異なる多種の被検レンズＴＬやズームレンズの被検レンズＴＬを検査するために、被検レンズＴＬへの入射光束、チャートの線幅や測定感度などの最適化を行なう。そのためには結像レンズ、チャート、結像レンズや絞りを交換できるようにする。また結像レンズをズームレンズにすれば交換せずに、そのズームレンズの焦点距離、Ｆナンバー、物体距離を変えることで、焦点距離やＦナンバーなどの異なる多種の被検レンズやズームレンズの被検レンズを容易に測定できるようになる。
【００３６】
以下、図３を参照して本発明の被検レンズのＭＴＦを測定する方法について説明する。ここで、図３は、本発明の測定方法の一例を示すフローチャートである。かかる測定方法は測定装置１００及び１００Ａのいずれも使用することができる。
【００３７】
まず、ＭＴＦ測定装置の電源等を点灯する（ステップ１００２）。これは特に光源などのように点灯直後では不安定な場合は事前に点灯しておくことが好ましい。
【００３８】
次に、ＭＴＦ測定条件である各種の拡散板１１６、色フィルター１２２、チャート１２４、結像レンズ１２８、絞り１３０、そしてそのチャート１２４の結像位置（被検レンズからみると結像位置に相当する）などを設定する（ステップ１００４）。
【００３９】
次に、被検レンズＴＬの測定条件であるズーム比、物体距離、Ｆナンバー、像面位置、画角とそのＭＴＦ測定機との相対位置などを設定する（ステップ１００６）。次に、反射鏡１５０の条件及び／又は位置などを設定する（ステップ１００８）。なお、これらＭＴＦ測定条件や被検レンズＴＬの測定条件や反射鏡１５０の位置の設定は独立で行なえるので、順番は任意である。
【００４０】
次に、チャート１２４の像が２次元撮像素子１６０の所定の位置に正しく結像されるように、ＭＴＦ測定装置本体１０１（即ち、第１光学部材１０２、チャート１２４、第２光学部材１０４、第３光学部材１０６及び２次元撮像素子１６０で構成されているユニット）、被検レンズＴＬ、反射鏡１５０の相対位置を調整する。この時、２次元撮像素子１６０の画像を見ながら行なうことで可能であるが、別の代替手段たとえばハーフミラー１２６の上部から戻り光のチャート１２４上または２次元撮像素子１６０上を目視で見ながらでも良い。
【００４１】
次に、ＭＴＦを測定する（ステップ１０１２）。具体的には２次元撮像素子１６０からの画像信号を処理し、演算してＭＴＦ値を算出する。更に、各種条件を変え、ＭＴＦを測定し、その各種条件とそのときのＭＴＦ値を数値、表あるいは図で出力する（ステップ１０１４）。最後に被検レンズＴＬを取り外したり、各電源を切るなど行い、完了となる。
【００４２】
以上説明したように、本発明の実施形態によれば、物体位置や画角位置は反射鏡又は第２光学部材によって任意の物体距離に、かつ、ＭＴＦ測定装置本体１０１と反射鏡１５０と被検レンズＴＬとの相対位置や角度により任意に設定できるため、大きなスペースが不要になる。また、ＭＴＦ測定装置１００は、移動量も少なく、操作が簡単で被検レンズＴＬのＭＴＦを迅速に測定することができる。またチャート１２４の投光と受光をＭＴＦ測定装置本体１０１として一体化できるため、装置の小型化と低価格化を図ることができる。また被検レンズＴＬを２回透過するため、高感度かつ信頼性良く、被検レンズＴＬのＭＴＦを測定することができる。
【００４３】
【発明の効果】
本発明によれば、省スペース化、迅速な測定、並びに、コストダウンを実現する光学系（即ち、被検レンズ）のＭＴＦを測定する装置及び方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態のＭＴＦ測定装置の単純化された光路図である。
【図２】図１に示すＭＴＦ測定装置に使用される２次元撮像素子上のチャートの像の位置と２次元撮像素子に使用される画素配列を説明するための図である。
【図３】本発明による測定方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の別の実施形態のＭＴＦ測定装置の単純化された光路図である。
【図５】従来のＭＴＦ測定装置を説明するための外観斜視図である。
【符号の説明】
１００、１００Ａ　　　　ＭＴＦ測定装置
１０１　　　　　　　　　ＭＴＦ測定装置本体
１０２　　　　　　　　　第１の光学部材
１０４　　　　　　　　　第２の光学部材
１０６　　　　　　　　　第３の光学部材
１２４　　　　　　　　　チャート
１４０　　　　　　　　　支持装置
１５０、１５０Ａ　　　　反射鏡
１６０　　　　　　　　　２次元撮像素子
１７０　　　　　　　　　ＭＴＦ演算出力装置

Claims

光学系のＭＴＦを測定する装置であって、
測定基準となるチャートと、光源からの光を前記チャートに照明する第１の光学部材と、
前記チャートを仮想的に所定の距離から発光したようにさせる第２の光学部材と、
前記光学系を所定の配置にする支持装置と、
前記光学系を経た光を反射する反射鏡と、
前記チャートの像を前記光学系と共に結像させる第３の光学部材と、
前記チャートの像を検出する検出手段と、
前記検出手段から得られた前記像の情報から前記光学系のＭＴＦを算出し、かつ、出力する演算出力装置とを有することを特徴とした測定装置。
前記反射鏡は、前記光学系の物体位置にほぼ曲率中心を有することを特徴とする請求項１記載の測定装置。
前記反射鏡は、前記光学系の結像位置にほぼ曲率中心を有することを特徴とする請求項１記載の測定装置。
前記第２の部材は前記第３の光学部材の少なくとも一部を兼ねることを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記光源と前記チャートと前記第１の光学部材と前記第２の光学部材と前記第３の光学部材と前記検出手段とを含む測定装置本体と、前記支持装置と、前記反射鏡とは、相対的に並行移動及び回転可能に構成されていることを特徴とした請求項１乃至４のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記検出手段は光量も検出し、前記光学系の透過率も測定することを特徴とした請求項１乃至５のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記チャートは、微細なスリットを含むことを特徴とした請求項１乃至６記載のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記チャートは、十字状のスリットを含むことを特徴とした請求項１乃至６記載のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記検出手段は２次元撮像素子を有することを特徴とした請求項１乃至８のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記検出手段は２次元撮像素子を有し、前記２次元撮像素子の画素は、前記スリットの方位に対して非平行に配列されていることを特徴とした請求項７又は８記載の測定装置。
前記第２の光学部材から発する光束を第１の直線偏光とし、前記反射鏡からの戻り光束を該直線偏光と直交する第２の直線偏光とし、前記第３の光学部材は前記第２の直線偏光のみを結像させる請求項１乃至１０のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記第２の光学部材は結像レンズとしてのズームレンズを有する請求項１乃至１１のうちいずれか一項記載の測定装置。
前記第３の光学部材は結像レンズとしてのズームレンズを有する請求項１乃至１２のうちいずれか一項記載の測定装置。
請求項１乃至１３のうちいずれか一項記載の前記測定装置によってＭＴＦが測定された前記光学系。
請求項１乃至１３のうちいずれか一項記載の測定装置を使用して前記光学系のＭＴＦを測定する方法であって、
前記測定装置の測定条件及び位置、前記光学系の位置及び測定条件、前記反射鏡の条件と位置を設定する第１のステップと、
前記測定装置と前記光学系と前記反射鏡を光学的に調整する第２のステップと、
前記光学系のＭＴＦを測定する第３のステップと、
測定された前記ＭＴＦを出力する第４のステップとを有することを特徴とする方法。
前記第１のステップにおいて設定された条件を変化させて前記第２乃至第４のステップを繰り返すことを特徴とした請求項１５記載の方法。
変化される前記条件は、前記測定装置の測定条件及び／又は位置であることを特徴とした請求項１６記載の方法。
変化される前記条件は前記光学系の位置及び／又は条件であることを特徴とした請求項１６記載の方法。
変化される前記条件は前記反射鏡の条件及び／又は位置であることを特徴とした請求項１６記載の方法。
請求項１５乃至１９のうちいずれか一項記載の方法によって測定された光学系。