JPS6227148A - 自動カツテイングラミネ−タ - Google Patents

自動カツテイングラミネ−タ

Info

Publication number
JPS6227148A
JPS6227148A JP60165770A JP16577085A JPS6227148A JP S6227148 A JPS6227148 A JP S6227148A JP 60165770 A JP60165770 A JP 60165770A JP 16577085 A JP16577085 A JP 16577085A JP S6227148 A JPS6227148 A JP S6227148A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
dry film
roller
cutting
pressure bonding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60165770A
Other languages
English (en)
Inventor
藤川 昇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP60165770A priority Critical patent/JPS6227148A/ja
Publication of JPS6227148A publication Critical patent/JPS6227148A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 3 金811の許細り霊φ叩 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光性積層フィルム(通称ドライフィルムと
称されるので以下ドライフィルムということあり)を基
板に額縁状に圧着・積層するだめの自動カッティングラ
ミネータに関する。
〔従来技術〕
近年、印刷配線板の配線密度は年々高まっておシ、高い
解像力を発揮するようなレジスト画像形成技術が重要視
されている。高い信頼性を保持した高い解像力のレジス
ト画像形成技術は、ドライフィルムの特性以外に、印刷
配線板製造工程の中、特にラミネートから現像工程まで
が極めて重要であυ、その中でもラミネート工程は基板
とレジストの接点であシ、種々の条件、管理を必要とす
るもので、基板の粗度、基板温度、ラミネート温度、ラ
ミネート圧力、ラミネート速度等の条件である。
一方、高密度化されるにつれて、製造時の信頼性、収率
を上げるため、ラミネートの際のごみ、レジストチップ
、カッティング粉の混入防止をどのように行うかが工業
生産段階での重要な課題となつている。
これらの問題点の解決及び合理化を目的とした種々の額
縁カッティング式のラミネータが提案されており、その
例を挙げるとアメリカ合衆国特許第3658629号明
細書、特開昭52−14876号公報、特開昭56−4
9592号公報、特開昭59−110188号公報等で
ある。前記したアメリカ合衆国特許第3658629号
明細書に記載されるものは、一定寸法の基板に一定寸法
のドライフィルムをラミネートするものであり、種々の
長さの基板に適用することは困難であり、特開昭52−
14876号公報に記載されるものは、真空ペイルで保
持し仮付けしてからラミネートするものであるが、仮付
は後、ドライフィルムがたるみ、基板に粘着し、空気の
抱き込みや、仮付部からの離脱などが起こり、条件の設
定が極めて狭い範囲になっている。そして、基板への仮
付は後、ドライフィルムが拘束されない状態であるので
、キャリヤフィルムが薄く、腰の弱いドライフィルムに
対しては使用し難い点がある。また、特開昭56−49
592号公報に記載されるものは、ドライフィルムをす
べり台の上を滑らせながら長さ方向の位置を決め、ラミ
ネートするものであるが、キャリヤフィルムが薄く、柔
かく腰が弱いドライフィルムに適用することは困難であ
り、また、すべり台の上の摩擦係数が温度、湿度の影響
を受けるため、ドライフィルムのキャリヤフィルムの水
分管理、ラミネート雰囲気の温度、湿度の管理をきびし
くする必要があり、汎用性に乏しいという問題がある。
更に、特開昭59−110188号公報に記載されるも
のは、一枚のドライフィルムで両面をラミネートするも
のであり、額縁状にラミネートする方法に比べ、ドライ
フィルムのロス分が大きく、また、ドライフィルムの引
き出し時間を必要とし、ラミネートサイクル時間が両面
張りに比べ大きくとる必要があり生産性に問題がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、前述した従来技術の問題点なり難点なシを解
決し、薄くてしかも腰の弱いキャリヤフィルムを用いた
ドライフィルムにも適用できる額縁式自動カッティング
ラミネータの提供を目的とするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、ドライフィルムを基板に感光層側を圧着・積
層するラミネート装置において、外周に吸引用の多数の
小孔を開口せしめるとともに、外周面にローラ軸と平行
に適宜の間隔を隔てて複数の切断用溝を形成し、該切断
用溝に隣接して加熱ヒータを備えた予備圧着ローラを回
転自在にかつ基板に対して垂直方向に移動自在に装架し
、前記基板の搬送径路に基板の先端及び後端を検知する
検知装置を配設し、該検知装置の検知によってドライフ
ィルムを予備圧着ローラを回転しながら所定の長さに切
断する切断装置を設け、前記予備圧着ローラの基板の搬
送方向側に近接して支持ホルダを備え、更に前記支持ホ
ルダに近接して本圧着ホットローラを設けた自動カッテ
ィングラミネータに関する。
〔作用〕
ドライフィルムを保持・拘束する予備圧着ローラは、そ
の外周に吸引用の多数の小孔を開口させたので、薄く腰
のないキャリヤフィルムを用いたドライフィルムであっ
ても前記の予備圧着ローラにしわ、たるみのないように
拘束できるものであり、該ドライフィルムを基板に予備
圧着ローラの加熱ヒータにて予備圧着し、予備圧着後、
基板を本圧着ホットローラまで搬送し、本圧着ホットロ
ーラにてドライフィルム端部を基板に圧着した後、前記
の予備圧着ローラを回転して所定の切断用溝に切断刃を
位置せしめて基板の後端の検知により基板を移動しなが
ら、すなわち予備圧着ローラを回転しながら切断刃にて
ドライフィルムを所定の長さに切断するようにし、基板
を移動しラミネートを行うものである。
〔実施例〕 本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
1は予備圧着ローラであシ、該予備圧着ローラ1の外瘤
層2には真空引き用の多数の小孔3,3゜3、・・・・
・・が開口されるとともに、外周面にローラ軸1′ど平
行に適宜の間隔を隔てて複数の切断用溝4,4,4.・
・・・・・が設けられ°、さらに該切断用溝4.4,4
.・・・・・・の予備圧着ローラ1の正転のときにその
回転方向からみて後方に隣接して加熱ヒータ5,5,5
.・・・・・・が設けられるとともに、該予備圧着ロー
ラ1は回転自在でかつ搬送径路を移動してくる基板6に
対して予備圧着ローラアーム7.7,7.γを介してエ
アシリンダー8,8゜8.8等により垂直方向に接・離
されるように装架される。
前記した予備圧着ローラは、錆びにくいアルミ製の金属
ローラが好ましいが、熱硬化性プラスチック製のものも
用いることができ、前記の加熱ヒータ5,5,5.・・
・・・・は最高150℃まで加熱可能とシフ、テフロン
ゴム、合成ゴム製が用いられるが、導電性ゴム製のもの
が最も好ましいものである。更に、前記予備圧着ロー2
1の外周面に穿設される小孔3,3,3.・・・・・・
の孔径は、ドライフィルムXが変形しなければ出来得る
限υ大きくすることが好ましいが、通常は0.1〜3+
m程度が可能であシ、前記の小孔は切断用溝の底部にも
設けられ、切粉等の吸引ができるようにする。予備圧着
ローラ1の外表面はドライフィルムのキャリヤフィルム
に傷がつかない程度に粗面化されていることが好ましい
。また、予備圧着ローラ1の外周面にローラの軸と平行
に設けられる切断用溝4゜4.4.・・・・・・は同局
方向に2カ所以上設けることが好ましく、通常は4〜6
カ所が最高で、その円周上の間隔を長さの異なる数種の
基板の長さのそれぞれよりも多少短かい所定の間隔とす
るとよい。
9は、前記予備圧着ローラ1の外周面に設けられた切断
用溝4に対応して設置された切断装置でちシ、該切断装
置9には回転刃、レーザ刃、熱線、レーザ光線等を用い
ることができるが、回転刃9′を用いた切断装置の例を
説明すると、第2図において、10は回転刃案内用ホル
ダであり、該回転刃案内用ホルダ10は、軸方向に回転
刃9′が挿入されるスリット11を設けるとともに表面
にラック12を刻設した本体部13と、該本体部13の
両端を直角に折曲して前記の本体部13を支持する腕杆
14,14とより略口状に構成され、前記の回転刃案内
用ホルダ10゛の腕杆14,14の先端部には予備圧着
ローラ1の軸1′が遊嵌され、15.15は図示しない
駆動モータのギアと噛合して回転刃案内用ホルダ10を
駆動するギアであり、前記した回転刃案内用ホルダ10
は腕杆14゜14の先端部を中心として前記の本体部1
3が予備圧着ローラ1の外周表面と小間隙を存して回動
、せしめられるようにされる。
また、回転刃9′の軸には前記した回転刃案内用ホルダ
100本体部13に設けられたラック12に噛合するビ
ニオン16.16が設けられ、回転刃駆動用モータ17
,17によって回転刃9′は回転駆動され、この回転に
よシビニオン16はラック12と噛合して回転刃9′は
回転刃案内用ホルダ10の一端から他端へと予備圧着ロ
ーラ1の外周面を移行するドライフィルムXを切断しな
がら走行するようにされる。
18は前記基板6の搬送径路に設けられた基板6の先端
及び後端を検知する光センサ、音波センサ等の検知装置
であり、該検知装置によって基板6の先端を検知して基
板6を予備圧着位置に停止するだめのタイマ(図示しな
い)を作動させる。
また、基板6の後端を検知して切断装置9を作動してド
ライフィルムXを所定の長さに切断する。
また、19は前記した予備圧着ローラ1の基板搬送方向
側に近接して設けられたドライフィルム支持ホルダであ
り、20.20は前記支持ホルダ19に近接して設けら
れた一対の本圧着ホットローラでちる。I前記本圧着ホ
ットローラ20,20は通常は一対であるが、更に一対
のローラによる2段式本圧着ホットローラとすることも
できる。
なお、21はドライフィルムが巻かれたロールであり、
22はドライフィルムにカバーフィルムがあったときの
カバーフィルム剥離ロール、23は剥離されたカバーフ
ィルムの巻き上げ用ロールである。
そして、前述した予備圧着ローラ1.切断装置9、支持
ホルダ19.ドライフィルムが巻かれたロール21.剥
離ロール22.)”ライフィルム巻き上げ用ロール23
等は搬送されてくる基板6の上・下にそれぞれ同形・同
大で一対設けられておシ、それらによって基板60両面
よシラミネートするものである。そして、作動について
も同一であるので、上方にある装置について説明する。
先ず、ロール状に巻かれたドライフィルムXは繰り出さ
れてそのカバーフィルムが剥離ロール22によって剥離
され、ロール23によって巻き上げられ、一方、カバー
フィルムを剥離されたドライフィルムXは、予備圧着ロ
ー21にその外周に設けられている真空吸引用の小孔3
,3,3.・・・・・・によって吸引、吸着される。次
に、予価圧着ローラ1を回動して、該予備圧着ローラ1
の外周表面に設けられる切断用溝4と切断装置9とを一
致させ、切断族@9を作動させてドライフィルムXを切
断し、余分なドライフィルムXを除去し、この状態で基
板6が搬送されてくるのを待ち、これでラミネートの準
備が完了することとなる。
次に、予熱された基板6が搬送径路によって搬送されて
基板6の先端が検知装置によって検知されると、予備圧
着ローラ1は回動されて該予備圧着ローラ1に吸着され
ている前記切断されたドライフィルム端が真下になる位
置に至9、ここで、前記のドライフィルム端が加熱ヒー
タ5により予熱されながら基板6が搬送されて来るまで
待機している。また、前記した一基板6の先端の検知に
より、前記予備圧着ローラ1が待機している位置、すな
わち基板6の先端部所定箇所にドライフィルムの先端が
予備圧着されるだめの位置に基板6を停止せしめるよう
にタイマーを作動し、基板6が前記の所定の位置まで搬
送され停止すると、予備圧着ローラ1は基板6に接する
方向にエアー゛シリンダ機構等によシ垂直に移動し、予
備圧着ローラ1の加熱ヒータ5によシ予熱されたドライ
フィルム端を基板6の先端部所定位置に予備圧Tする。
予備圧着が終了すると、予備圧着ローラ1は前記と反対
に基板6より離れる方向に垂直に移動し、前記の待機位
置に戻る。ドライフィルムXの先端が所定の位置に予備
圧着された基板6は搬送が開始され、それにつれて予備
圧着a−−71も回動しながらドライフィルムXを繰り
出す状態を続け、基板6の先端部が本圧着ローラ20,
20に到達して本圧着が開始されると、予備圧着ローラ
1の真空吸引は停止され、基板6の長さによって予じめ
予備圧着ローラ1の外周面に設けられる複数の切断用溝
4,4,4.・・・・・・の中から特定の切断用溝4を
定めておき、その特定の切断用溝4を切断装置9と同位
置となるように予備圧着ローラ1を正転あるいは逆転さ
せ、ドライフィルムXを所定長さに切断するために備え
る。一方、基板6は本圧着のために搬送・移動されてお
υ、その移動の結果、基板6の後端部が検知装置18に
よって検知されると、前述したように基板6の搬送及び
本圧着ホットロー220.20を引き続き回転させた状
態すなわちラミネート作業を進行させた状態としたま\
、前記の検知により回転刃駆動用モータ17が駆動され
、同時に予備圧着ローラ1を回転させ、この予備圧着ホ
ットローラ1の回転速度と同速度で回転刃案内用ホルダ
10を回転させ、前記の回転刃駆動用モータ17の駆動
により回転される回転刃9′のビニオン16と、回転刃
案内用ホルダ10に設けられるラック12との噛合によ
り回転刃9′は回転刃案内用ホルダ10のスリット11
をとおして予備圧着ローラ1の切断用溝4内にドライフ
ィルムXを切断して挿入し、ドライフィルムXを切断し
ながら、回転刃案内用ホルダ10の一方から他方へと切
断用溝4内をドライフィルムXを切断しながら走行する
。切断が終了すると回転刃9′は前記の切断用溝4及び
スリット11より離れる方向に脱出され、予備圧着ロー
ラ1と同速度で回動していたカッタ案内用ホルダ10は
停止され、直ちに元の位置へと反転復帰させ次の切断に
備えて待機する。このように基板6の後端部が検知装置
によって検知される前記したように基板6の搬送及び本
圧着ホットローラ20,20を回転したま\ドライフィ
ルムXを所定の長さに切断するものであり、ドライフィ
ルムXの切断された後端部が基板6の所定位置に圧着さ
れるように、前記のドライフィルムXの後端部は予備圧
着ローラ1の外周表面で真空吸引されながらす々仔移動
していくようにするか、又は、ドライフィルムの切断さ
れた端部を真空吸引して保持しながら予備圧着ローラ1
をラミネート速度と同速で回転してドライフィルムXを
移動する方法がとられる。
ドライフィルムXは予備圧着ロー21から離れると、直
ちに予備圧着ローラ1の基板6の搬送方向側に近接して
設けられている真空吸引可能な支持ホルダ19に保持さ
れながら本圧着ホットローラ20.20によりラミネー
トされる。予備圧着ローラ1に吸引保持された他のドラ
イフィルム端は予備圧着ローラの回動によシ所定の位置
まで移動し基板の搬入を待つ。このようにして、第3図
に示すようにドライフィルムXが基板6に比し内側に人
ってラミネートされている。この状態を額縁ラミネート
と呼ばれている。
本発明の実施例は上述したように、ドライフィルムXを
外周面で真空吸引して順次搬送されてくる基板6にラミ
ネートするために、基板6にまでドライフィルムXを拘
束・保持して移送する予備圧着ローラ1はその外周面の
幅方向に複数の切断用溝4,4,4.・・・・・・と該
切断用溝4,4,4゜・・・・・・に隣接して加熱ヒー
タ5,5.・・・・・・が設けられているので、ドライ
フィルムXの先端を基板6に予備圧着するには複数の加
熱ヒータ5,5.・・・・・・の内の何れを用いて予備
圧着してもよいし、また、前記した複数の切断用溝4,
4,4.・・・・・・のそれぞれの円周上の間隔を長さ
の異なる数種の基板の長さのそれぞれよりも多少短かい
所定の間隔としておけば、ドライフィルムXを基板の長
さに応じた所定長さに切断できるので、数種の長さの異
なる基板に適用できるものである。また、基板6にドラ
イフィルムXを予備圧着した後、ドライフィルムXの切
断のために切断装置と所定の切断用溝4とを同位置とな
るように予備圧着ローラを回動せしめるとき、前記の所
定の切断用溝4までの距離が近い方を選んで正転又は逆
転させることにより速かに前記の位置とすることができ
、また、ドライフィルムの切断装置は予備圧着ローラを
回動しながら作動するので作業の連続性が保たれ、更に
、ドライフィルムの切断された端部は予備圧着ローラフ
によって案内され、更に前記の予備圧着ローラに近接し
て設けた真空吸引できる支持ホルダ19に吸着されて本
圧着ホットローラ20゜20に移行されるので、本圧着
される直前までドライフィルムを支持することとなり、
空気の抱き込みのないラミネートが可能である。
〔発明の効果〕
本発明に係る自動カッティングラミネータは、予備圧着
ローラの外周表面でドライフィルムを吸着し2て拘束、
保持して基板まで移行させて基板先端部に予備圧着し、
予備圧着後、本圧着ホットローラまで送るものでちるが
、本圧着ホットローラの移行直前までドライフィルムを
真空吸引可能な支持ホルダで支持するので、空気の抱き
込みのないラミネートをすることができる。
また、予備圧着ローラを回転させながら切断装置を作動
させることによυ本圧着ローラが停止されることによる
基板上のドライフィルムの厚み変化が起こらず均一な良
好なラミネート性が得られる。
本発明によるときは、キャリヤフィルムとして、薄い9
〜15μのポリエステルフィルム、ポリスチレンフィル
ム、ポリメチルメタアクリレートフィルムや、ポリプロ
ピレン、ポリビニールアルコール等の腰の弱いフィルム
を用いたドライフィルムを額縁状に自動的にラミネート
することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
図面は、本発明の実施例を示すものであって、第1図は
説明のだめの概略図、第2図は切断装置の斜視図、第3
図は額縁状にラミネートされた基板を示し、(イ)はそ
の平面図、(ロ)は側面図である。 Xニドライフィルム  1,1:予備圧着ローラ2.2
:予備圧着ローラの外周層 3.3,3・・・・・・:小 孔 4.4.4・・・・・・:切断用溝 5.5・・・・・・:加熱ヒータ 6:基板 7、T:予備圧着ローラアーム q、9:切断装置   9L、cJ:回転刃io、io
:回転刃案内用ホルダ 11,11ニスリツト 12,12ニラツク16.16
:ビニオン 19,19:支持ホルダ20 、20 :
本圧着ホットローラ 24:ラミネートされた基板 25:ラミネートされたドライフィルム特許出願人 旭
化成工業株式会社 /□−1 7ゝ 第1図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  感光性積層フィルムを基板に感光層側を圧着・積層す
    るラミネート装置において、外周に吸引用の多数の小孔
    を設けるとともに、外周面にローラ軸と平行に適宜の間
    隔を隔てて複数の切断用溝を形成し、該切断用溝に隣接
    して加熱ヒータを備えた予備圧着ローラを回転自在にか
    つ基板に対して垂直方向に往復動自在に装架し、前記基
    板の搬送径路に基板の先端及び後端を検知する検知装置
    を配設し、該検知装置の検知によつて感光性積層フィル
    ムを予備圧着ローラを回転しながら所定の長さに切断す
    る切断装置を設け、前記の予備圧着ローラの基板搬送方
    向側に近接して支持ホルダを備え、更に前記の支持ホル
    ダに近接して本圧着ホットローラを設けたことを特徴と
    する自動カッティングラミネータ。
JP60165770A 1985-07-29 1985-07-29 自動カツテイングラミネ−タ Pending JPS6227148A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60165770A JPS6227148A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 自動カツテイングラミネ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60165770A JPS6227148A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 自動カツテイングラミネ−タ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6227148A true JPS6227148A (ja) 1987-02-05

Family

ID=15818703

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60165770A Pending JPS6227148A (ja) 1985-07-29 1985-07-29 自動カツテイングラミネ−タ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6227148A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001076743A (ja) * 1999-07-02 2001-03-23 Toyota Motor Corp 薄膜積層装置
JP2013508745A (ja) * 2009-10-16 2013-03-07 エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー 半導体ウェーハにフィルムを付加する装置および方法ならびに半導体ウェーハを処理する方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001076743A (ja) * 1999-07-02 2001-03-23 Toyota Motor Corp 薄膜積層装置
JP2013508745A (ja) * 2009-10-16 2013-03-07 エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー 半導体ウェーハにフィルムを付加する装置および方法ならびに半導体ウェーハを処理する方法
US9245765B2 (en) 2009-10-16 2016-01-26 Empire Technology Development Llc Apparatus and method of applying a film to a semiconductor wafer and method of processing a semiconductor wafer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20040074607A1 (en) Laminating apparatus
JP6096005B2 (ja) シート剥離装置および剥離方法
JP2873182B2 (ja) フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置
JPS6227148A (ja) 自動カツテイングラミネ−タ
JP6236206B2 (ja) シート剥離装置および剥離方法
CN211061399U (zh) 一种钢化玻璃生产钢化前检测台
JP2718849B2 (ja) テープ貼着方法および装置
JPS61195841A (ja) 自動ラミネ−タ
JPS6225035A (ja) 回動シユ−を用いたカツテイングラミネ−ト装置
JP2859183B2 (ja) フィルム供給方法及び装置
JPS61199950A (ja) ラミネ−タ
JPH07121778B2 (ja) 多軸ターレット型巻取機のシート切断端処理装置
JP2926701B2 (ja) フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置
JPS6225034A (ja) 連続自動切断ラミネ−タ
JPS61193854A (ja) 回動シユ−を用いたラミネ−ト装置
CN220965818U (zh) 一种高效覆膜机
JPH0650443Y2 (ja) 複層板の剥離装置
JP3362251B2 (ja) 折箱枠材用接着装置
JP2004106954A (ja) 粘着テープ引出し・切断・貼付方法ならびに装置
JPS61193852A (ja) 自動切断ラミネ−タ
JPH0549038B2 (ja)
JP6315751B2 (ja) シート供給装置および供給方法
JPH11255223A (ja) ラベル貼着装置
JPH0419006Y2 (ja)
JPH0351583B2 (ja)