JPS6225861A - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS6225861A JPS6225861A JP16463085A JP16463085A JPS6225861A JP S6225861 A JPS6225861 A JP S6225861A JP 16463085 A JP16463085 A JP 16463085A JP 16463085 A JP16463085 A JP 16463085A JP S6225861 A JPS6225861 A JP S6225861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat coils
- air gap
- magnetic air
- coil
- coils
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、一定の磁気空隙を有するように配置した永久
磁石の間を、複数組の偏平コイルが移動できるようにし
たリニアモータに関する。
磁石の間を、複数組の偏平コイルが移動できるようにし
たリニアモータに関する。
従来の技術
従来、一定の磁気空隙を有するように配置した永久磁石
の間に、2組の偏平コイルを設け、2組の偏平コイルに
順次、電流を印加することにより、偏平コイルを移動で
きるようにしたリニアモータがある(特公昭5B−49
100)。この場合、巻枠にコイルを巻いて1組の偏平
コイルを形成し、これを2組重ねたものを可動コイル組
立体として使用している。
の間に、2組の偏平コイルを設け、2組の偏平コイルに
順次、電流を印加することにより、偏平コイルを移動で
きるようにしたリニアモータがある(特公昭5B−49
100)。この場合、巻枠にコイルを巻いて1組の偏平
コイルを形成し、これを2組重ねたものを可動コイル組
立体として使用している。
発明が解決しようとする問題点
従来のリニアモータのように、偏平コイルを2組重ねて
可動コイルとした場合、一対の永久磁石の間の磁気空隙
を大きくしなければならず、その−P−め助署りけ刑イ
ki−で11士う、また一対の永久磁面間の巾が大きく
なることにより、磁力の大きな永久磁石を使用しなけれ
ば可動コイルに大きな移動力を生じさせることができな
いという問題があった。特に3組以上の偏平コイルから
可動コイルを形成しようとすると、上記事項はますます
問題となる。
可動コイルとした場合、一対の永久磁石の間の磁気空隙
を大きくしなければならず、その−P−め助署りけ刑イ
ki−で11士う、また一対の永久磁面間の巾が大きく
なることにより、磁力の大きな永久磁石を使用しなけれ
ば可動コイルに大きな移動力を生じさせることができな
いという問題があった。特に3組以上の偏平コイルから
可動コイルを形成しようとすると、上記事項はますます
問題となる。
そこで本発明は、磁気空隙を小間隔とするとともに、単
位磁石当りのコイル巻数を多くして大きな移動力が得ら
れるようにすることを目的とする問題点を解決するため
の手段 木考案のリニアモータを実施例に対応する第1〜3図に
より説明する。
位磁石当りのコイル巻数を多くして大きな移動力が得ら
れるようにすることを目的とする問題点を解決するため
の手段 木考案のリニアモータを実施例に対応する第1〜3図に
より説明する。
一定の磁気空隙lをあけて一対の永久磁石2a、2bを
複数順次逆極となるように一列に並べて磁気空隙路3を
形成し、この磁気空隙路に可動コイル6を設ける。
複数順次逆極となるように一列に並べて磁気空隙路3を
形成し、この磁気空隙路に可動コイル6を設ける。
可動コイル6は、合成樹脂板10の両面に偏平コイルを
設けて互いに連続した一組の偏平コイル6a、6b、6
Cを複数組設ける。各組の偏平コイルは、磁気空隙路3
に沿って偏平コイルのコイル巾だけ順次ずらして配置す
る。そして、各組の偏平コイル6a、6b、6Cは、磁
気空隙路3から外部に出た部分は互いに重なるが、磁気
空隙路内3では同一平面上に配置され、磁気空隙路を形
成する一対の永久磁石間の間隙を小さく形成する、各組
の偏平コイル6a、6b、6Cは2つの永久磁石2a、
2bにまたがる大きさとされ、各組の偏平コイルは順次
電流が印加されるようになっている。
設けて互いに連続した一組の偏平コイル6a、6b、6
Cを複数組設ける。各組の偏平コイルは、磁気空隙路3
に沿って偏平コイルのコイル巾だけ順次ずらして配置す
る。そして、各組の偏平コイル6a、6b、6Cは、磁
気空隙路3から外部に出た部分は互いに重なるが、磁気
空隙路内3では同一平面上に配置され、磁気空隙路を形
成する一対の永久磁石間の間隙を小さく形成する、各組
の偏平コイル6a、6b、6Cは2つの永久磁石2a、
2bにまたがる大きさとされ、各組の偏平コイルは順次
電流が印加されるようになっている。
作用
上記手段のリニアモータの作用を第8図A、 B、Cに
より説明する。
より説明する。
初めに偏平コイル6a、6bに互いに逆向きの電流を印
加すると、偏平コイル6a、6bに一第8図Aの矢印イ
の方向に力が作用して可動コイル6が移動し、偏平コイ
ル6aが2番目の永久磁石2bの中央まで移動するとそ
の位置を検出して、偏平コイル6a、6bへの電流印加
から、偏平コイル6b、6cへの電流印加に期変わる。
加すると、偏平コイル6a、6bに一第8図Aの矢印イ
の方向に力が作用して可動コイル6が移動し、偏平コイ
ル6aが2番目の永久磁石2bの中央まで移動するとそ
の位置を検出して、偏平コイル6a、6bへの電流印加
から、偏平コイル6b、6cへの電流印加に期変わる。
なお、偏平コイル6b、6Cでの電流の向きは6a、6
bの場合と同様に逆向きである。
bの場合と同様に逆向きである。
この切換えにより、偏平コイル6a、6bに第8図Bの
矢印イの方向に力が作用して可動コイル6が第8図Cの
状態まで移動する。この後、さらに可動コイルの偏平コ
イル6a、6bと偏平コイル6b、6Cとに順次切換え
て電流を繰返し印加すれば、可動コイル6を移動できる
。
矢印イの方向に力が作用して可動コイル6が第8図Cの
状態まで移動する。この後、さらに可動コイルの偏平コ
イル6a、6bと偏平コイル6b、6Cとに順次切換え
て電流を繰返し印加すれば、可動コイル6を移動できる
。
実施例
本発明のリニアモータの実施例を第1〜7図により説明
する。
する。
一定の磁気空隙lをあけた一対の永久磁石2a、2bが
、順次逆極となるように一列に配置されて、磁気空隙路
3が形成される。各永久磁石2a、2bは、一定の大き
さであって、上ヨーク4とセンターヨーク5とに取付け
られ、磁気空隙路3に可動コイル6が移動可能に設けら
れる。
、順次逆極となるように一列に配置されて、磁気空隙路
3が形成される。各永久磁石2a、2bは、一定の大き
さであって、上ヨーク4とセンターヨーク5とに取付け
られ、磁気空隙路3に可動コイル6が移動可能に設けら
れる。
一つの磁気空隙路3に1つの可動コイル6を設ければ、
この可動コイルを移動できるアクチュエータにかスが
*″I!I!協伺 市軸1イ1176か9個所で移動さ
せるため、センターヨーク5と下ヨーク7との間にも一
対の永久磁石2a、2bが上ヨーク側とは逆極となるよ
うに順次配列され、これら一対の永久磁石の間の磁気空
隙路3に可動コイル6が配置される。上ヨーク4とセン
ターヨーク5と下ヨーク7との端部にサイドヨーク8が
設けられて、磁気回路が形成される。また上下2つの可
動コイル6は、磁気空隙路3での移動が図示を省略した
装置により案内され、各永久磁石の磁気空隙1から外に
突出した部分に移動されるべき物体が取付けられる。
この可動コイルを移動できるアクチュエータにかスが
*″I!I!協伺 市軸1イ1176か9個所で移動さ
せるため、センターヨーク5と下ヨーク7との間にも一
対の永久磁石2a、2bが上ヨーク側とは逆極となるよ
うに順次配列され、これら一対の永久磁石の間の磁気空
隙路3に可動コイル6が配置される。上ヨーク4とセン
ターヨーク5と下ヨーク7との端部にサイドヨーク8が
設けられて、磁気回路が形成される。また上下2つの可
動コイル6は、磁気空隙路3での移動が図示を省略した
装置により案内され、各永久磁石の磁気空隙1から外に
突出した部分に移動されるべき物体が取付けられる。
可動コイル6は、第4図に示すガラスエポキシ等の1枚
の合成樹脂板lOに3組の偏平コイル6a、6b、6c
を設けたものである。−組の偏平コイルは、合成樹脂板
lOの両面に設けた偏平コイルを互いに連結したもので
あり、この偏平コイルの磁気空隙路3の方向の大きさは
前記永久磁石2a、2bの2つにまたがる大きさとされ
る。3組の偏平コイル6a、6b°、6Cは、偏平コイ
ルのコイル巾だけ磁気空隙路3に沿って順次ずらしてす
きまのないように配置される。そして3組の偏平コイル
は磁気空隙路3から外に突出した部分では重なるが、磁
気空隙路3内では同一平面上に位置するように配置され
る(第2.5.6.7図)。
の合成樹脂板lOに3組の偏平コイル6a、6b、6c
を設けたものである。−組の偏平コイルは、合成樹脂板
lOの両面に設けた偏平コイルを互いに連結したもので
あり、この偏平コイルの磁気空隙路3の方向の大きさは
前記永久磁石2a、2bの2つにまたがる大きさとされ
る。3組の偏平コイル6a、6b°、6Cは、偏平コイ
ルのコイル巾だけ磁気空隙路3に沿って順次ずらしてす
きまのないように配置される。そして3組の偏平コイル
は磁気空隙路3から外に突出した部分では重なるが、磁
気空隙路3内では同一平面上に位置するように配置され
る(第2.5.6.7図)。
各偏平コイル6a、6b、6Cは、順次逆向きに電流が
流れるように電源側に接続され、本実施例の場合、偏平
コイル6a、6bへの電流印加と、偏平コイル6b、6
Cへの電流印加とが順次切換えられる。なお、各偏平コ
イルへの電流印加の切換えは、偏平コイル6a、6b、
6Cが順次、各永久磁石2a、2bの中央に位置したと
きを。
流れるように電源側に接続され、本実施例の場合、偏平
コイル6a、6bへの電流印加と、偏平コイル6b、6
Cへの電流印加とが順次切換えられる。なお、各偏平コ
イルへの電流印加の切換えは、偏平コイル6a、6b、
6Cが順次、各永久磁石2a、2bの中央に位置したと
きを。
図示を省略した公知の磁気検出素子あるいは光学的位置
検出素子を使用して検出し、その検出信号に基すいてな
される。
検出素子を使用して検出し、その検出信号に基すいてな
される。
上記実施例の可動コイル6は、3つの偏平コイルを順次
コイル巾だけずらして合成樹脂板10に設けたが、3つ
に限るものではなく、また合成樹脂板の片面へのみ複数
の偏平コイルを設けるようにしてもよい。
コイル巾だけずらして合成樹脂板10に設けたが、3つ
に限るものではなく、また合成樹脂板の片面へのみ複数
の偏平コイルを設けるようにしてもよい。
発明の効果
本発明のリニアモータは、可動コイルを形成する複数組
の偏平コイルがコイル巾だけ磁気空隙路に沿ってずらし
て配置されるので、単位磁石長さ当りのコイル巻数が多
くなり、可動コイルに大きな移動力を生じさせることが
できる。また可動コイルの各偏平コイルは、磁気空隙路
内では同一平面上に配置されるので、磁気空隙は小さい
ままでよく、可動コイルに効率よく大きな移動力を生じ
させられ、しかも装置が大きくなることもない。
の偏平コイルがコイル巾だけ磁気空隙路に沿ってずらし
て配置されるので、単位磁石長さ当りのコイル巻数が多
くなり、可動コイルに大きな移動力を生じさせることが
できる。また可動コイルの各偏平コイルは、磁気空隙路
内では同一平面上に配置されるので、磁気空隙は小さい
ままでよく、可動コイルに効率よく大きな移動力を生じ
させられ、しかも装置が大きくなることもない。
第1図は本発明のリニアモータの正面の部分断面図、第
2図はリニアモータの可動コイル部分の平面図、第3図
はリニアモータの側面断面図、第4図は可動コイルを示
すもので第2図のA−A線断面図、第5図は同じく第2
図のB−B線断面図、第6図は同じく第2図のC−C線
断面図、第7図は同じく第2図のD−D線断面図、第8
図A、B、Cはリニアモータの作用を示す説明図である
18磁気空隙 2a、2b;永久磁石3;磁気空
隙路 6;可動コイル 6a、6b、6C;偏平コイル 10;合成樹脂板
2図はリニアモータの可動コイル部分の平面図、第3図
はリニアモータの側面断面図、第4図は可動コイルを示
すもので第2図のA−A線断面図、第5図は同じく第2
図のB−B線断面図、第6図は同じく第2図のC−C線
断面図、第7図は同じく第2図のD−D線断面図、第8
図A、B、Cはリニアモータの作用を示す説明図である
18磁気空隙 2a、2b;永久磁石3;磁気空
隙路 6;可動コイル 6a、6b、6C;偏平コイル 10;合成樹脂板
Claims (2)
- (1)一定の磁気空隙をあけた一対の永久磁石を順次逆
極となるように一列に並べて磁気空隙路を形成し、磁気
空隙路に2つの永久磁石にまたがる大きさの偏平コイル
を複数組設け、各組の偏平コイルに順次電流を印加する
ことにより偏平コイルを磁気空隙路に沿って移動できる
ようにしたリニアモータにおいて、1枚の合成樹脂板に
複数組の偏平コイルを設け、各組の偏平コイルは1つの
偏平コイルのコイル巾だけ磁気空隙路に沿って順次ずら
して配置し、各組の偏平コイルが磁気空隙路内では同一
平面上に配置されたことを特徴とするリニアモータ。 - (2)複数組の偏平コイルは第1、第2、第3の3組か
ら形成し、第1と第2の偏平コイルへの電流印加と、第
2と第3の偏平コイルへの電流印加とを繰返し切換えら
れるようにした特許請求の範囲第1項に記載のリニアモ
ータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60164630A JPH0813184B2 (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60164630A JPH0813184B2 (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6225861A true JPS6225861A (ja) | 1987-02-03 |
JPH0813184B2 JPH0813184B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=15796850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60164630A Expired - Lifetime JPH0813184B2 (ja) | 1985-07-25 | 1985-07-25 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0813184B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290152A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-30 | Toyota Auto Body Co Ltd | ブラシレス直流リニアモータ |
JPH08214529A (ja) * | 1995-10-26 | 1996-08-20 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
US6891285B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-05-10 | Parker-Hannifin Corporation | Linear motor with magnet rail support, end effect cogging reduction, and segmented armature |
CN108604853A (zh) * | 2016-02-12 | 2018-09-28 | Asml荷兰有限公司 | 多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法 |
US11303175B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-04-12 | Asml Netherlands B.V. | Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59122359A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-14 | Takahashi Yoshiteru | 直流発電機を有する直流リニアモ−タ |
JPS59179481U (ja) * | 1983-05-19 | 1984-11-30 | トヨタ車体株式会社 | 可動コイル型リニアモ−タ |
-
1985
- 1985-07-25 JP JP60164630A patent/JPH0813184B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59122359A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-14 | Takahashi Yoshiteru | 直流発電機を有する直流リニアモ−タ |
JPS59179481U (ja) * | 1983-05-19 | 1984-11-30 | トヨタ車体株式会社 | 可動コイル型リニアモ−タ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02290152A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-30 | Toyota Auto Body Co Ltd | ブラシレス直流リニアモータ |
JPH0746895B2 (ja) * | 1989-04-28 | 1995-05-17 | トヨタ車体株式会社 | ブラシレス直流リニアモータ |
JPH08214529A (ja) * | 1995-10-26 | 1996-08-20 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
US6891285B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-05-10 | Parker-Hannifin Corporation | Linear motor with magnet rail support, end effect cogging reduction, and segmented armature |
US6919654B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-07-19 | Parker-Hannifin Corporation | Linear motor with magnet rail support, end effect cogging reduction, and segmented armature |
CN108604853A (zh) * | 2016-02-12 | 2018-09-28 | Asml荷兰有限公司 | 多相线性电动机、多相平面电动机、平台、光刻设备和器件制造方法 |
US11303175B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-04-12 | Asml Netherlands B.V. | Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0813184B2 (ja) | 1996-02-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |