JPS62254105A - 反射鏡 - Google Patents

反射鏡

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Publication number
JPS62254105A
JPS62254105A JP61097669A JP9766986A JPS62254105A JP S62254105 A JPS62254105 A JP S62254105A JP 61097669 A JP61097669 A JP 61097669A JP 9766986 A JP9766986 A JP 9766986A JP S62254105 A JPS62254105 A JP S62254105A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
aluminum
multilayer film
laser
ray
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61097669A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Kajiyama
康一 梶山
Kaoru Saito
斉藤 馨
Yasuo Itakura
板倉 康夫
Osamu Wakabayashi
理 若林
Masahiko Kowaka
雅彦 小若
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to JP61097669A priority Critical patent/JPS62254105A/ja
Publication of JPS62254105A publication Critical patent/JPS62254105A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24SSOLAR HEAT COLLECTORS; SOLAR HEAT SYSTEMS
    • F24S23/00Arrangements for concentrating solar-rays for solar heat collectors
    • F24S23/70Arrangements for concentrating solar-rays for solar heat collectors with reflectors
    • F24S23/82Arrangements for concentrating solar-rays for solar heat collectors with reflectors characterised by the material or the construction of the reflector
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/40Solar thermal energy, e.g. solar towers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光源に1キシマレーザを用いた半導体露光装
置等の光学系に用6”=て好適な反射鏡に関する。
[従来の技vIi1 従来、半導体露光@置には光源に水銀ランプを用いたも
のがある。この水銀ランプを用いた半導体露光装置にお
いては光学系に用いられる反射鏡としてアルミニウムコ
ートを施したミラー(以下、アルミコートミラーという
。)が一般に使用されている。ところで最近半導体露光
![の光源としてJ−キシマレーザを利用でることが考
えられているが、この場合エキシマレーザはビークパワ
ーの大きいパルス光源であるのでアルミコートミラーを
用いると、アルミニウム膜がとけてしまい耐久性が悪い
という欠点がある。またアルミコートミラーは、紫外光
の反射率が低いので、紫外光に対する満足すべき醍射特
性が得られない。このため1キシマレーザを用いた半導
体露光装置では紫外光に対する反射率が良い誘電体多層
膜コートを施したミラー(以下、誘電体多層膜コートミ
ラーという。)が使用されていた。
1発明が解決しようとする問題点] しかしながら、エキシマレーザを光源に用いた場合、J
、キシマレーザ光は紫外光で目に見えずまたパルス発振
であるため、光軸調整が難かしいという問題点があった
。そこで光軸調整時のみヘリウム−ネオンレーザ等の可
視領域で連続発振づるレーザ光を用いる方法が考えられ
ているが、この場合には誘電体多層膜コートミラーが可
視光を吸収してしまい可視光の友釣率が低下するので光
軸調整が不可能であった。
本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、紫外光およ
び可視光に対する反射率、耐久性が向上する反射鏡を提
供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明はガラス基板上にアルミニウl\膜を形成し、該
アルミニウム膜上に誘電体多層膜を形成して構成される
[作用] したがって、本発明の反射鏡に紫外光が入射すると、紫
外光は誘電体多層膜で反射され、可視光が入射すると、
可視光は誘電体多層膜を透過し、アルミニウム膜で反射
される。
[実施例1 第1図は本発明の一実施例を示づ断面図である。第1図
において、ガラス基板1o−1−に番よアルミニウム膜
を蒸着してアルミニウム蒸着膜11が形成されており、
アルミニウム蒸着膜11上には誘電体多層膜10が被覆
形成される。ここで誘電体多層膜10は酸化シリコニウ
ム(ZrO2)層と酸化ケイ素(SiO2)層を交互に
積層した10層・〜30層の多層膜より形成されている
。かかる構成の反射鏡13において誘電体多層膜12は
エキシマレーザ等の紫外光14が入射されると、この紫
外光1/Iを高反射率で反射し、アルミニウム蒸着膜1
2は誘電体多層膜12で反射されずに透過した一部の紫
外光14を反射する。またヘリウム−ネオンレーザ等の
可視光15が入射されると、この可視光15は誘電体多
層膜12を透過し、アルミニウム蒸着膜で反射される。
第2図は、本発明の反射鏡13をエキシマレーザの縮小
投影露光装置に用いた一例を示すものである。第2図に
おいて、レーザの光軸調整時には1キシマレーザ20に
代えてヘリウム−ネオンレーザ光等の可視域で連続発振
するレーザを光源として用いる。反射鏡13はインテグ
レータ21を介して入射する上記可視域で連続発振する
レーザ光をアルミニウム蒸着膜12によって効率よく反
射し、反射光をコンデンサーレンズ22およびレチクル
23を介して縮小投影レンズ24に導く。
したがってオペレータは、可視光のレーザを用いて上記
した各装置の光軸を短時間で容易に調整η−ることがで
きる。
なお露光時において、反射鏡13は、入射するJキシマ
レーザ20からのレーザ光を誘電体多層膜12によって
友射し、反射光を光軸調整がなされたコンデンサーレン
ズ22おJ:びレチクル23を介して縮小投影レンズ2
2に導く。したがってレチクル23に形成された微細パ
ターンはレチクル23からつIハ25上に転写される。
このように、本発明の反射鏡によれば1キシマレーザを
用いた半導体露光装置においてレーザ発振装置との光軸
調整を可視光により短時間に行うことができる。また、
一般に1キシマレーザ川の誘電体熱6ミラーは、基板材
質どして高価な石英を用いていたが、本発明では反射鏡
を誘電体□多層膜iアルミニウム膜の二重構造にしてレ
ーザ光を高反射率で反射させるので、基板材質にはBK
7、耐熱ガラス等の安価な材質を使用あることができる
[発明の効!l!1   。
以上説明したように、本発明はガラス基板上にアルミニ
ウム膜を形成し、該アルミニウム膜上に誘電体多層膜を
形成したので、紫外光および可視光に対する反射率、耐
久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の反射鏡の一実施例を示す断面図、第2
図は水弁」をJ1シマレーザの縮小投影露光装置に用い
た一例である。 10・・・ガラス基板、11・・・アルミニウム蒸着膜
、12・・・誘電体多層膜、13・・・反射鏡、14・
・・紫外光、15・・・可視光。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ガラス基板上にアルミニウム膜を形成し、該アルミニウ
    ム膜上に誘電体多層膜を形成したことを特徴とする反射
    鏡。
JP61097669A 1986-04-26 1986-04-26 反射鏡 Pending JPS62254105A (ja)

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JP61097669A JPS62254105A (ja) 1986-04-26 1986-04-26 反射鏡

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JP61097669A JPS62254105A (ja) 1986-04-26 1986-04-26 反射鏡

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ID=14198437

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US9523516B2 (en) 2008-12-30 2016-12-20 3M Innovative Properties Company Broadband reflectors, concentrated solar power systems, and methods of using the same

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