JPS62253769A - 真空ラツチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空チェンバへのドアのためのラッチに圓し
、特に、それ自体幾つかの小さい真空セルから成るラッ
チに関する。

〔発明の背景〕

工業用処１１！ｌ！ｔａ内の真空チェンバが、作業チェ
ンバ又はロードロックチェンバのいずれか一方の中に直
接、被加工物を挿入するための１；アを必要とする。一
度真空ポンピングがチェンバで始まると、ドアを閉めた
ままにするために大気圧を用いることができるが、大気
圧がもたらされるまでラッチング手段がドアを保持する
ために設けられなければならない。

オートメーションがより普通となるとき、オートメーシ
ョンに＊　合した方法で目的を満足させる手段を発明す
ることが要求される。

人間の手の複雑な動作を必要とするラッチは望ましくな
く、簡単で電気的に動作するラツチが望ましい、ＪＲ械
的ラッチはまた、半導本製造で重大な問題である微粒子
を発生させる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、チェンバに対するポンピングが始まる
まで真空チェンバのドアを保持する手段を提供すること
である。

本発明の他の目的は、電気的に制御可能な方法で保持手
段を提供することである。

〔発明の概要〕

以下に明らかとなる本発明のこれらの目的及び他の目的
、特徴、利点は、簡潔に述べると、小さな真空セルがよ
り大きな真空チェンバ又はドアの壁で形成される本発明
によって達成される。各々の小さな真空セルが、小さな
セルのｎｉ１部開口開口密手段によって囲まれている。

気密手段に接触するドアの表面は、滑らかで、ドアが閏
じるとき気密部に一致する。小さな真空セルに対するポ
ンピングは、真空チェンバが排気される間、ドアを■じ
たままにする。チェンバが十分に排気された後、小さな
セルＧミ対するポンピングは停止され、セルは大気に通
じられる。

本発明のこれらの及び曲のｖＩ造上及び励作上の特徴は
、好適実施例及び変形例を制限的でない例によって説明
する図面を参照して以下の詳細な説明からより明らかに
なるであろう。

〔好適実施例〕

図面を参照すると、図面全体を通して各部品を示すため
に参照番号が使用されており、第１図には本発明に従っ
たウェーハ処理装置の部分断面正面図が示されている。

投入ロードロック１０がウェーハのカセットを装填する
ために使用されている０分離バルブ１２がウェーハの通
路内で第１処理チエンバ１４の前に設置さＪしている。

第２分類パルプ１６がウェーハの通路内で第２処理チエ
ンバ１８の前に設置されている。第３分離バルブ２０は
第２処理チエンバ１８と取出しロードロック２２との間
に設置されている。キーボードとタッチスクリーンで制
御するコンピュータ２４が装置の動作を制御するために
使用されている１分離真空ポンピング接続口１４．２Ｇ
、２８．３０．３２．３４．３６及び３８がロードロッ
ク１２．２２、バルブ１２．１６．２０及び処理チェン
バ１４．１８の各々になされている。各ポンピング接続
口はコンピュータ２４によってｆ［１ｌＪｔ１１される
。この例では処理ステーションが２つだけ示されている
が、どんな数の処理ステーション及び分離バルブをいく
つでも直列に使用できる。

第２図は第１図の装置を線２−２で切断した部分断面を
示し、第３図は同じ装置を！ａ３−３で切断した部分断
面を示す、第２図において、収納位置のウェーハ操作ア
ーム４０．４２．４４が実線によって示されている。ウ
ェーハ操作アーム４０は点線４６で示されているように
カセット５０からウェーハ４８を取り出ず、ウェーハ操
作アーム４０は点線５２で示されているようにウェーハ
４８を処理チェンバ１４内に配置する。

同様に、点線５４で示されているようにウェーハ操作ア
ームは第１処理チエンバ内でウェーハを取り、点１ａ５
Ｂで示されているように第２処理チエンバ１８内にウェ
ーハを配置する。ウェーハ操作アーム４４は点線５８で
示されているように第２処理チエンバ１８からウェーハ
を取り、点線６０で示されたところでウェーハを取出し
カセット６２内に配置する。

第３図において、ウェーハ操作アーム４０．４４がバル
ブ１２．２０内側の収納位置にあることが示されている
。そのバルブ１２．２０は閉じた位置にあるバルブウェ
ッジ（ｗｅｃｌｇｅ　）を有している。バルブ１６内の
ウェーハ操作アームは第１処理チエンバ１４内では実線
６８で示されており、第２処理チエンバ１８内では点線
５６によって示されている。バルブ１６のバルブウェッ
ジ６９は開いた位置で示されている。操イヤアームがバ
ルブシー１−内の開孔７１を通ってどちらの方向にも動
くことができる。

前記のバルブ及びウェーハ操作アームの各々の細部が第
４−９図に示されている。その装置は第４図に側面図で
示されている。密口１０リング７２を有するプレート７
０は、バルブ及びウェーハ燥ｔヤアームを装置の中に密
ｍするために使用されている。第３図に示されるように
、プレー）・７０は装置の主フレームに配置されている
。第４−６図は、バルブウェッジ７４とその動作ｉ椹及
びウェーハ操作アーム８４とその動作機構は全て統一し
た構造をなす、ようにプレート７０に収り付けられてい
ることを示す、第８図には、バルブ及びウェーハアーム
ユニットを装置の主フレームに取り付けるためのボルト
（図示せず）を通すためのスロット７１及びアパーチャ
ア３が備わったプレート７０を示している。この構造は
、装置の如何なる部分も取り外すことなく、バルブとウ
ェーハアームを一体として迅速に取り外し、交換するこ
とを可能にしている。

バルブウェッジ７４はその両側にバルブシー１−８０（
第３図参照）に密閉するための０リング７６．７８を有
する。リニアーアクチュエータ（ｌｉｎｅａｒ　ａｃｔ
ｕａＬｏｒ）　８２は空気、液体又は電気で駆動される
ものでもよく、バルブウェッジ７４をシートの中へと上
方に動かすために１史用される。この上方への移動が、
最上の■じた位置にある点線に示されたバルブウェッジ
７４とともに第５図に示されている。

ウェーハ操作アーム８４は、バルブウェッジ７４が最高
点の閑じた位置にあるか、又は最下点の開いた位置にあ
るか否かによらず、装置内で同じ高さにある。バルブウ
ェッジ７４は、それが回転して通り、また、バルブ内で
アーム８４を密閉できるように収納ノツチ８８を有する
。

ウェーハ操作アーム８４には２つの回転アクチュエータ
９０．９２が備えられており、該アク、チュエータは歯
付きベルト９８．１００及び歯付きプーリー１０２．１
０４．１０５．１０６によって同心シャフト９４．９６
を駆動する。同心シャフト９４．９６はシャフトホルダ
１０７内に取り付けられており、その頭部と底部がロー
ラベアリング１０８．１１０．１１２で支持されている
。シャフトに良好な回転真空シールを与えるために、二
組のＯリング１１４．１１６，１１８．１２０が各シャ
フトのまわりに設けられている。穴１２２が外シヤフト
９６を貫通して設けられており、内シャツ１−９４の溝
１２４と通じている。外シヤフト９６の溝１２６は各シ
ャフト上のＯリングシールの各組の間に別の真空ポンピ
ング及び加圧をするために穴１２２及びポンプ排気口１
２８と通じている。バルブウェッジ７４とプレート７０
との間にはベローズシール１３０が設けられている。

操作アーム８４は４つの小さな部品からできている。Ｕ
部支持部品１３２の第１端部が外シヤフト９６と直角と
なるようにそのシャフトにしっかりと取り付けられてい
る。末端支持部品１３４の一端は基部支持部品１３２の
他の端部に枢着されている。Ｍ部エクステンサ（ｃｘＬ
ｃｎｓｏｒ）部品１３Ｇが第１端部と直角になるように
しっかりと内シヤフト９４に取り付けられている。

末端エクステンサ部品１３８は、その一端が、基部エク
ステンサ部品１３０の第２端部に枢着されている。末端
エクステンサ部品１３８は末端支持部品１３４の第２端
部に′ｕ１着されている。

末端支持部品１３４上にある基部支持部品１３２と末端
エクステンサ部品１３８との取り付は点は、その間隔が
基部エクステンサ部品１３６の大きさの分だけ離れてい
る。！＄ｉ部エクステンサ部品１３６は基部支持部品１
３２よりもずっと短くできる。基部支持部品に対して基
部エクステンサ部品１３６が小さくなればなるほど、折
りたたまれた位置にあるときのアームは小さくなる。ア
ームの４つの部品は取り付は点とシャフト軸との間に平
行四辺形を形成する。

もし４つのアーム部品の全てがブレードのように形成さ
れるならば、枢動止め具はゆるく固定されたリベットで
よい、外シヤフト９６を回転させると、全アームが回転
する。内シヤフト９４が外シヤフトに関して回転させら
れると、アームが伸び又、折りたたまれる。

このように記載したアームは、独立に同心シャフトを回
転させることによって、ウェーハを保持する先端部をど
のように複雑な曲線にでも動くようできる。アームを保
管するために必要とされる小さなスペースはアームが分
離バルブハウジング内に収納されることを可能にする。

バルブのハウジングは前に説明した分離ユニット又は処
理チェンバに対して不可欠な部分として形成され得る。

前記のようにアームのための駆動手段を取り付け、イｒ
ることは、駆動パーツが１つのユニットとじて迅速に取
りはずされ、また交換されることを可能にし、それによ
って稼働体止時間が最小にされる。

バルブは処理チェンバに使用されるものと同じポンピン
グ装置によって同時に、又は交換バルブによってポンピ
ングａｍをタイムシェアリングでポンプされてもよい、
もし同時ポンピングが必要であるならば、処理チェンバ
かＩ；ポンプされる化学活性処理ガスはバルブハウジン
グ中に逆流する。これはバルブハウジング中への不活性
ガスの小さな流れを維持して連続的にハウジング及びポ
ンプラインを流すことで防げ得る。この流れは５　ｃｃ
／分はどの小さなものでよい。

第１図及び第１０図において、本発明に従ったロードロ
ック及びエレベータ機構が示されている。ロードロック
ドア１５０は一組のロッド１５２に取り付けられており
、そのロッドはロードロックチェンバ１５６の外側に設
置されたベアリング１５４上に乗っている。カセット６
２はテーブル１５８上に乗っており、テーブルはカセッ
ト６２をただ一個所に置くために固定されている。マイ
クロスイッチ１６０又は別の同等のセンサーがカセット
が適切に置かれているとき、それを検知するのに使用さ
れる。装置を制御するコンピュータはカセット６２が適
切に置かれるまでロードロックドア１５０を開いたまま
で保持するようにプログラムされている。テーブル１５
８はシャツ１−１０２上に乗っており、そのシャフトは
バー１６４内で終っている。バー１６４はモータ１６８
及びプーリー１７０並びにスクリュー１６６によって駆
動される。ガイドロッド１フ２とベアリング１７４はエ
レベータを安定させるのに使用される。シャフト１６２
のまわりに真空シールをつくるためにベローズ１７６は
チェンバ１５Ｇとバー１６４を密閉する。

第１．１０及び１１図に示されているように、ドア１５
０の後ろにＯリング１７８が設置され、ドアが押し閑じ
られるとき゛チェンバ１５６の表面を密閉する。ロード
ロックの主要なロッキング機構とは、チェンバ１５６が
ボンビングロ１８０から排気されたときにドア１５０上
にかかる大気の圧力によるものである。０リング１７８
を押し付け、ドア１５０を閉じたまま保持するのに十分
なほどチェンバ１５Ｇ内の圧力が下がるまでドア１５０
を保持することを助けるために、真空又はソフトラッチ
が設けられている。

ソフトラッチは第１１図に示されているようにチェンバ
１５６の壁の中で０リング１７８の外側に取り付けられ
た、好適にはネオプレンフオーム製の４つのＯリングシ
ール１８２がら成る。

これら０リングシールは０リング１７８と密着してドア
を保持するのに十分な力を与えるのに適した形状と大き
さに作ってもよい、ネオブレンフオーム０リングはオー
プンセル又はクローズドセル型にしてもよいが、柔軟ク
ローズドセル型ネオブレン０リングは特に良い機能を果
たす、第１１図は１つの例のドアの背面の図であり、０
リングシール１８２が合わさる位置が点線で示されてい
る（シール１８２はチェンバの表面上にあるからである
）、Ｏリングシール１８２はドア上にも置けるが、ポン
ピングチャネルをチェンバを介して動がした方がより便
利である。各シール１８２は、もしそれらが図示したよ
うにチェンバ上にあるならば、ドア１５０の後ろ側のス
ムーズな表面を密閉する。もしシールがドア側にあれば
、スムーズな表面はチェンバ側にある。各シール１８２
の中心には第１２図に示されているようにチャネル１８
６を通ってバルブ及びポンビング装置に通じる穴１８４
がおいている。マイクロスイッチ検知器１８８はドア１
５０が閉じるのを検知する。大気中へ通じるバルブ１８
８は閉じられ、ポンピング装置に通じるバルブ１９０は
引き続き開けられている。シール１８２のもとての真空
排気はドア１５０を閉じた状態で保持する。もし、チェ
ンバ１５６がチェンバの排気以前に手で開くことができ
るならば、ハンドル１９４上のスイッチ１９２は連続し
てポンピング装置に通じるバルブ１９０を閑じ、外気に
通じるバルブ１８８を開くために使用される０次にシー
ル１８２はドアを開放する。一度チェンバ１５６でポン
ピングが開始されると、ソフトラッチはコンピュータ２
４によって自動的に開放される。このようにソフＩ・ラ
ッチを主０リングシール１７８の外側に置くのが有利で
ある。ソフトラッチングのこの装置はカセットの自動操
作に特に有利である。

ドアの大きさ及び取トｔけ装置の嵌合の密閏具合とに依
存して、２乃至４つ或いはそれ以上のソフトラッチが必
要となろう、十分に嵌合したヒンジをもつ小さなドアに
ついては、十分な大きさの単一のソフトラッチが適切で
ある。第１３図には一つの実施例が示されており、ヒン
ジ１９７に取り付けられ、一つだけＯリング１９８を有
するドア１９６がソフトラッチとして４１１　ｆｍする
チェンバ上に取り付けられた単一シール１８２を有する
。ソフトラッチがドアと接触する点が点線で示されてい
る。

カセットは摩耗したり、そうでなければ変形したりする
ので、エレベータｄｎＩ″Ｊに相対するウェーハの位置
は既知のカセットの形状からは決定できない、ウェーハ
は前の処理工程中にこわされ、又は除去され、従ってカ
セットのスロットからなくなることもあるかもしれない
、これらの問題を補償するためにチェンバ内に光学又は
赤外線発射器１５６が同じ高さでチェンバの反対側にあ
る光学又は赤外線検知器２０２と向い合わせて設けられ
ている。

チェンバ１５６が排気されるに従って、エレベータテー
ブル１５８が上に！ｍ勤され、次に下降される。各ウェ
ーハが発射器２００からのビームを横切ると、ビームの
遮断が検知器２０２で感知される。その遮断は制御コン
ピュータ及び結合したハードウェアに記録される。エレ
ベータは位置が速度と時間の積から分かるように一定の
既知の速度で駆動される０位置はエレベータテーブル１
５８に関して測定される。

このようにして、カセットの各スロットの位置及び各ウ
ェーハの存在が確認される。制御コンピュータ２４は次
にコンピュータメモリー内の測定位置で各ウェーハを取
り上げ、カセットをウェーハのない所へ飛び越すように
プログラムされる。前記のウェーハ操作Ｖ！１ｕｌｉと
ウェーハ位置決定システムとの組み合わせにより、シス
テムは投入カセット内のウェーハにランダムアクセスに
動作し、出て行くウェーハを収納するカセットの間隔を
任意選択できる。

第１４−１６図には本発明に従って処理中のウェーハを
受は取り、中心づけ、保持するための装置を示ず、ウェ
ーハは、ウェーハ操作アームを用いてチャックプラット
フォーム上で中心づけられる。３本又はそれ以上の岨と
なったリフトビン２１Ｚが、ウェーハの下から上昇し、
ウェーハを操作アームから持ち上げる。

次に、操作アームは、チェンバから引込められる１次に
、ウェーハは、第１５図で破線で第１６図で実線で示す
ように、ビンが伸長位置にあるリフトビン２１２の上に
位置する。リフトビン２１２が上方にのびると同時に、
保持ビン２１４はウェーハから斜め上方に離れるように
伸長する。各保持ビン２１４は、保持ビンのシャフトの
直径より大きいヘッド拡張部２１６を有する。ヘッド拡
張部２１６は、小さい円盤、円、筒、又は他の物のよう
に形成してもよい、ヘッド拡張部２１６は、ウェーハの
エツジを捕えるために十分に大きくて切り立った形状で
ある。

リフトビン２１２がバネ２１３によって下方に引張られ
てウェーハをチャックプラットフォーム２１０の最上部
の上に配置するとき、医持ビン２１４はヘッド２１６を
用いてウェーハのエツジを締め付ける。保持ビン２１４
は２本又はそれ以上であってよく、保持ビン２１４が多
くなるとウェーハはよりしっかりとチャックに保持され
る。ＨＰ電容量センサ（ａａｐａｃｉＬａｔｉｖｅ　５
ｅｎｓｏｒ）２１８が、ウェーハのチャック上への設置
を確認するために使用されている。

各保持ビン２１４が、ビンのためのガイドを形成するビ
ンボルダ２２０に固定される。各ビンボルダ２２０は、
バネ２２２によって下方向の力を受ける。リフトビン２
１２及び保持ビン２１４は、リフトテーブル２２４によ
って共に駆動される。

リフトテーブル２２４の上方縁は丸みがつけられ、ビン
ボルダ２２０の下方縁は丸みがつけられている。そのた
め、リフＩ・テーブル２２４上でのビンボルダ２２０の
円滑な滑動を容易にする。リフトテーブル２２４は、ネ
ジシャツ＋−２２０及びネジシリンダ２２８により上方
へと駆動される。ネジシリンダ２２８のまわりに位置す
るベローズ及び０リングシール２３０が、真空シールと
して用いられている。ネジシャツｌ−２２０は、プーリ
ー２３２及びモータ２３４によって駆動される。

前述のようにチャックプラットフォーム２１０にしっか
りと締め付けられたウェーハを、チャックの内部から供
給されるガスによって裏側から加熱又は冷却することが
できる。そのガスは、チャックとウェーハとの間の伝達
媒体として用いられるものである。チャックプラットフ
ォーム２１０内で、プリナム２３６には、内部チャネル
（図示せず）を通じて真空の外側にあるガス源からガス
が供給される。半径方向経路２３８が、チャックの表面
上の一連の半径方向の溝、或いは同心の溝、又は（半径
方向及び同心の溝）組合せ溝（図示せず）内へそのガス
を供給するために用いられる。ウェーハの下からガスが
漏出することで、ガスの連続的な流れが必然的に形成さ
れることになる。チャックの温度は、センサを用いてモ
ニターされ、それによって調節される。

池のチャックが第１７及び第１８図に示されている。ヘ
リウムガスを使用するのに適したいくつかの応用例にお
いては、ウェーハをチャックの表面により確実に密着さ
せるための締付は手段を設ける必要がある。このチャッ
クにおいて、ウェーハ３００はチャック表面３０２上に
示されている。３つ又はそれ以上のリフトビン３０４は
、ウェーハ３００を繰作アームから持ち上げ、表面３０
２へとウェーハ３００を下降させる。

ビン３０４はスパイダ３０６に取り付けられ、空気式ア
クチュエータにより駆動される。ベローズ３１０により
ビンのまわりが真空の伏皿に保たれる。温度制御ガスが
入口３１２から導入され、内側チャネル３１４を通り、
チャック表面３０２にある中央穴へと流れる。チャネル
３１８は、チャックの内側のまわりの温度を調節する流
木のために設けられたものである。放射状スロッｌ−３
２０がチャック上の表面上に穴３１６と連結するように
設けられている。スロットストップリウムが逃げないよ
うにする。

ウェーハをチャックに確実に保持するために、複数のク
ランプが設けられている．６インチ（　１５．２４ａ鵬
）のウェーハでは３−７２個のクランプが使用できる．
より小さいウェーハに対しては数を減らして使用しても
よく、より大きなウェーハに対しては数を増して使用し
てもよい．ここでは簡略化のため８個のものが示されて
いる．各クランプは、ウェーハの外側のまわりに配置さ
れたバネ３２６に連結され金属製シートの薄いフック３
２４から成る。

各フック３２４が通るスロッＩ−３３０を備えた展開リ
ング３２８がある．スロッｌ−３３０は、フックがスロ
ットなしでリフトリング３３２上に位置しているときに
は任意的なものである．展開リング３２８の下方にリフ
トリング３３２がある，展開リングには２つ又はそれ以
上の空気式アクチュエータ３３４（ここでは３つ示され
ている）及びベローズ真空シール３３６が備えつけられ
ている．リフトリング３３２も同様に２つ又はそれ以上
の空気式アクチュエータ３３８（ここでは３つ示されて
いる）及びベロー、ズ真空シール３４０が備えつけられ
ている。

各フック３２４は上方師持リップ３４２、下方展開リッ
プ３４４及びリフ）−スロッｌ−３４６を有する。

フックが上方の［開位置から下方の締付は位置へと動く
と、バネ３２６の力によって、？ツクはりフトスロッ）
−３４６のところでリフトリングのまわりにｗＡ動し、
ウェーハ３００の縁に押しつけられる。これにより、ウ
ェーハはフックの間で中心に置かれる。フックが下方の
締付は位置から上方の展開位置へと動くと、リフトリン
グ３３２はウェーハの方向に持ち上げられ、フック３２
４は上方向の力を受けて、保持リップ３４２によってウ
ェーハ上に作用した力を解放する。展開リング３２８が
下降してフック３２４のｙｔｒＪｄリップ３４４に圧力
を加えると、フック３２４はリフトスロット３４６のと
ころで外側に駆動する。ｎ；容量センサ３４８及び／若
しくは光学センサ３３０並びに／又は背圧センサ（図示
せず）がウェーハ３００の存在を検知するために使用す
ることができる。検知情報はシステムコンピュータ２４
に送信される。チャック本体３５２は、締付は機構を適
切な位置に保持しつつポルｌ−３５４をはずすことによ
り、センサ３４８又は３５０の保守点検のための取外し
ができる。ウェーハ保持チャックの他の実施例としては
、チャックをカー１〜リツジ式ヒータにより加熱しても
よく、水のような流体で冷却してもよい、また、その流
体を外部で加熱、冷却してもよい、チャックの温度はセ
ンサによりモニターすることができ、その温度は処理コ
ンピュータ２４と接続し得る制御コンピュータにより調
節することができる。

第１９図において、タスク位置づけシステムが図式化さ
れている。この例では、２基の処理チェンバ、ウェーハ
ハンドラーを備えた３基のバルブ及び２基のロードロッ
クが用いられている。バルブ及びウェーハハンドラーに
応じて、任意の数の処理チェンバを用いることができる
。この図式の左上には、種々のタスク記号が定義されて
いる０例えば、ＳＮＤは、センダーロードロックを換気
または排気することを芯味する０種ＩＣのタスク状態記
号が図式の右側において定ａされている。状態＃１は、
エレメントが準備されていないことあるいは何かをする
ために待機していることを意味する。状態＃２は、エレ
メントがウェーハを操作すべき準備ができていること、
を意味する。状態＃３は、ニレメンｈが活動中であるこ
とを意味する。このコードは、第１９図中の図式の７ト
リクスには用いられていないが、完全性を期すために定
義した。操作すべきある特定のタスクのために、活動性
の欠除のみが必要となる。状態＃４は、ニレメンｌ−が
状態１まはた２にあって、３ではないことを意味する。

第５番口の状態記号“任意”は、エレメント他の４つの
状態のいずれかであることを意味する。１．２または３
のいずれかで良いタスクの状態と、４及び５の組きわぜ
または１または２であって良い必要状態との間には、差
異がある。多くのタスクは、１から２．３へと進み１に
戻る。しかしＳＮＤは、１から２．３へと進んで２に戻
る。これらの状態のカテゴリーの意味の理解を助けるた
めに、いくつかの例を挙げる。

処理チェンバにウェーハが無いとき、例えばＣＩＰの状
態は＃１である。ウェーハがチェンバへと移動した後に
は、状態は＃２に変化する。そして処理が始まって、状
態が＃３に変化する。処理が終了すると、状態は＃１へ
と戻る。バルブは、状態変化と同様な順序で進行する。

しかしウェーハの存在は、バルブ自身内ではなくむしろ
上流のコンパートメントにあるのは、バルブが活動中の
ときだけである。

タスク位置づけシステムは、システムの各ニレメン）・
の実際の状態を感知して、上記の３種のカテゴリーに従
って状態をコンビュータ内に記憶する。各エレメントは
池のエレメントの活動とは独立に命令を受ける。ただし
、他のエレメントの状態が正しいことを条ｆ’ｌ二とす
る。システムは固定した時間の順序に従って運転するわ
けではない。

タスク位置づけシステムは、第１９図の７１−リクスの
左側に記されたタスクの実際の状態と、図式化されたテ
ーブル内の必要状態を示すコラム各々とを比較して、タ
スクを開始して良いか否かを決定する。もし条件が第１
９図のテーブルに示すようであったならば、タスクを始
めて、次に状態を最新にする。

このようにして、タスクの各々の相対的期間に拘らず最
適の順序が進行する。このことは、タスク位置づけシス
テムが順序を決定しようとしないで、常にできるだけ忙
しくシステムを保つという抽象的な目標を追求するとい
うことによる。

例えば、第２の処理チェンバをレシーバ−ロードロック
との間のレシーバ−バルブがどのような条件で運転する
かを決定するために、最後から２番目の列にあるＨＩＭ
まで、頂部の行にあるタスクの名前を読む０次に、各状
態記号へと読んでゆき、タスク名のために左へと読んで
ゆく、システムは、センダーが同をしているのかについ
て注目せず、また第１のバルブについても同様であり、
第１の処理チェンバが活動中か否かについても注目しな
い。

システムが要求することは、チェンバ間のバルブ＃２が
非活動であること（Ｗ２）１＝４＞　、第２の処理チェ
ンバ内の処理が完了していること（Ｃ２Ｐ＝　１　）　
、レシーババルブが第２の処理チェンバ（ＷＲＭ＝　２
　）内にあるウェーハを操作する準備ができていること
、及びレシーバロードロックが空であること（ＲＣＶ＝
　１　）である、これらの諸条件の下で、レシーババル
ブは順序に関係無く動作する。

本発明は、上述の好適実施例や変形実施例に限定される
ものではない１本発明の範囲を外れることなく、種々の
部分についてｖ１械的、電気的に等価な修正や変化がな
され得る１本発明の範囲は、特許請求の範囲のみによっ
て定まる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従ったウェーハ処理装置の部分断面正
面図である。 第２図は第１図の装置２−２線に沿って切断した部分断
面図である。 第３図は第２図の３−３１１に沿って明断した第１図及
び第２図の装置の部分凹面図である。 第４図はバルブ及びウェーハ操作アームの側面図である
。 第５図は第４図の装置を５−５線に沿って切断した断面
図である。 第６図は第４図の装置を６−６線に沿って切断した断面
図である。 第７図は第４図の装置を７−７線に沿って切面した断面
図である。 第８図は第４図の装置の平面図である。 第９図は部分的に伸びた位置にある第４図の装置のウェ
ーハ操作アームである。 第１０図は第１図の１０−１０線に沿った側面部分断面
図に示されたロードロックのドアを示す。 第１１図はソフトラッチの位置を点線にして示した第１
０図の１１−１１線に沿ったロードロックのドアの気密
部を示す。 第１２図は本発明に従ったソフトラッチを制御するのに
用いるバルブ配列の略示図である。 第１３図は本発明に従ったソフトラッチの別の応用例の
正面図である。 第１４図は本発明に従ったウェーハ閑持チャックの平面
図である。 第１５図は１５−１５ｔａに沿って切断した第１４図の
チャック断面図である。 第１６図は１６−１６線に沿って切断した第１４図のチ
ャックの断面図である。 第１７図は本発明に従ったウェーハ保持チャックの別の
実施例の断面図で、第１８図の１７−１７線に沿って切
断したものである。 第１８図は第１７図のチャックを１８−１８線に沿つて
切断し、上から見た部分断面図である。 第１９図はタスクロケータシステムの図表である。 〔主要符号の説明〕 １５０・・・ロードロックドア　１７８・・・０リング
１８２・・・０リングシール　１８４・・・穴１８６・
・・チャネル　１９０・・・バルブ１９２・・・スイッ
チ　１９４・・・ハンドル１９６・・・ドア　１９８・
・・０リング特許出願人　　パリアン・アソシェイッ・
インコーホレイテッド

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空チェンバの本体に対しドアを閉じたままにする
   ためのラッチであつて： 前記ドアに面する開口を有する、前記真空チェンバの本
   体の壁の内部の小さな真空セル；前記真空チェンバの本
   体に対し前記ドアを気密するための気密手段； 前記小さな真空セルを真空ポンピング手段に接続するた
   めの手段； から成るラッチ。 ２、特許請求の範囲第１項に記載されたラッチであって
   、 前記気密手段は、前記ドアが閉じているとき前記小さな
   真空セルの前記開口を囲んで前記真空チェンバの本体の
   前記壁の外面上にあるラッチ。 ３、特許請求の範囲第１項に記載されたラッチであって
   、 前記気密手段は、前記ドアが閉じているとき前記小さな
   真空セルの前記開口を囲んで前記ドアの内面上にあるラ
   ッチ。 ４、特許請求の範囲第１項に記載されたラッチであつて
   、 前記接続するための手段は、前記真空ポンピング手段を
   前記小さな真空セルから分離するためのポンピング分離
   バルブを含むラッチ。 ５、特許請求の範囲第４項に記載されたラッチであって
   、前記接続するための手段は、前記分離バルブが閉じて
   いるとき前記小さな真空セルを大気に通じるための通気
   バルブを含むラッチ。 ６、特許請求の範囲第５項に記載されたラッチであって
   、 前記分離バルブ及び前記通気バルブは、前記ドア上にハ
   ンドルで取り付けられたスイッチ手段及び制御コンピュ
   ータから電気的に動作されるラッチ。 ７、特許請求の範囲第１項、第２項又は第３項に記載さ
   れたラッチであって、 前記気密手段は柔軟なエラストマー材料から形成される
   ラッチ。 ８、特許請求の範囲第７項に記載されたラッチであって
   、 前記気密手段はネオプレンフォームから形成されるラッ
   チ。 ９、特許請求の範囲第８項に記載されたラッチであって
   、 前記ネオプレンフォームはクローズドセル型ネオプレン
   フォームであるラッチ。 １０、真空チェンバの本体に対しドアを閉じたままにす
   るためのラッチであって： 前記真空チェンバの本体に面する開口を有する、前記ド
   アの内側にある小さな真空セル；前記真空チェンバの本
   体に対し前記ドアを気密するための気密手段；並びに 前記小さな真空セルを真空ポンピング手段に接続するた
   めの手段； から成るラッチ。 １１、特許請求の範囲第１０項に記載されたラッチであ
   って、 前記気密手段は、前記ドアが閉じているとき前記小さな
   真空セルの前記開口を囲んで前記真空チェンバの本体の
   前記壁の外面上にあるラッチ。 １２、特許請求の範囲第１０項に記載されたラッチであ
   って、 前記気密手段は、前記ドアが閉じているとき前記小さな
   真空セルの前記開口を囲んで前記ドアの内面上にあるラ
   ッチ。 １３、特許請求の範囲第１０項に記載されたラッチであ
   って、 前記接続するための手段は、前記真空ポンピング手段を
   前記小さな真空セルから分離するためのポンピング分離
   バルブを含むラッチ。 １４、特許請求の範囲第１３項に記載されたラッチであ
   つて、前記接続するための手段は、前記分離バルブが閉
   じているとき前記小さな真空セルを大気に通じるための
   通気バルブを含むラッチ。 １５、特許請求の範囲第１４項に記載されたラッチであ
   って、 前記分離バルブ及び前記通気バルブは、前記ドア上にハ
   ンドルで取り付けられたスイッチ手段及び制御コンピュ
   ータから電気的に動作されるラッチ。 １６、特許請求の範囲第１０項、第１１項又は第１２項
   に記載されたラッチであって、 前記気密手段は柔軟なエラストマー材料から形成される
   ラッチ。 １７、特許請求の範囲第１６項に記載されたラッチであ
   って、 前記気密手段はネオプレンフォームから形成されるラッ
   チ。 １８、特許請求の範囲第１７項に記載されたラッチであ
   つて、 前記ネオプレンフォームはクローズドセル型ネオプレン
   フォームであるラッチ。