KR870010613A - 진공식 래치 - Google Patents

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KR870010613A
KR870010613A KR870003638A KR870003638A KR870010613A KR 870010613 A KR870010613 A KR 870010613A KR 870003638 A KR870003638 A KR 870003638A KR 870003638 A KR870003638 A KR 870003638A KR 870010613 A KR870010613 A KR 870010613A
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KR
South Korea
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door
cell
closed
vacuum
sealing means
Prior art date
Application number
KR870003638A
Other languages
English (en)
Inventor
피. 레이만 프레드릭
엠. 벡타 로저
Original Assignee
스탠리 젯드. 코울
배리언 어소시에이츠 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스탠리 젯드. 코울, 배리언 어소시에이츠 인코포레이티드 filed Critical 스탠리 젯드. 코울
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Abstract

내용 없음

Description

진공식 래치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 웨이퍼 처리 시스템의 부분 단면 정면도.
제2도는 제1도 선 2-2를 따라 취한 제1도 시스템의 부분 단면도.
제3도는 제2도의 선 3-3을 따라 제1도 및 제2도 시스템을 통한 단면도.

Claims (18)

  1. 진공실의 본체에 문을 폐쇄 유지시키는 래치에 있어서,
    문과 대면한 개구를 가지면서 진공실 본체의 벽내에 있는 작은 진공 셀과, 진공실 본체에 문을 밀봉시키는 밀봉수단과, 상기 작은 진공 셀을 진공펌핑 수단에 연결시키는 수단을 포함하는 것이 특징인 래치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은, 문이 폐쇄될때 작은 진공 셀내의 개구를 둘러싸는 진공실 본체의 벽의 외면상에 있는 것이 특징인 래치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은, 문이 폐쇄될때 작은 진공 셀내의 개구를 둘러싸는 문의 내면상에 있는 것이 특징인 래치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 연결 수단은 작은 진공 셀로부터 진공 펌핑 수단을 차단 시키는 펌핑 차단 밸브를 포함하는 것이 특징인 래치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 연결 수단은 상기 차단 밸브가 폐쇄될때 상기 작은 진공 셀을 대기로 배기시키도록 하는 배출 밸브를 포함하는 것이 특징인 래치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 차단 밸브와 배출 밸브는 문의 핸들에 설치된 스위치 수단과 제어 컴퓨터로부터 전기적으로 작동되는 것이 특징인 래치
  7. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은 연질 탄성 종합체 재료로 형성되는 것이 특징인 래치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은 네오프렌 발포체로 형성되는 것이 특징인 래치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 네오프렌 발포체는 폐쇄 셀 네오프렌 발포체인 것이 특징인 래치.
  10. 진공실의 본체에 문을 폐쇄 유지시키는 래치에 있어서,
    진공실의 본체와 면하는 개구를 가지면서 문의 내면상에 있는 작은 진공 셀과, 진공실 본체에 문을 밀봉시키는 밀봉수단과 상기 작은 진공 셀을 진공 펌핑 수단에 연결시키는 수단을 포함하는 것이 특징인 래치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은 문이 폐쇄될때 작은 진공 셀내의 개구를 둘러싸는 진공실 본체의 벽의 외면상에 있는 것이 특징인 래치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 밀봉수단은 문이 폐쇄될때 작은 진공 셀내의 개구를 둘러싸는 문의 내면상에 있는 것이 특징인 래치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 연결 수단은 작은 진공 셀로부터 진공 펌핑 수단을 차단시키는 펌핑 차단 밸브를 포함하는 것이 특징인 래치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 연결 수단은 상기 차단 밸브가 폐쇄될때 상기 작은 진공 셀을 대기로 배기시키도록 하는 배출 밸브를 포함하는 것이 특징인 래치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 차단 밸브와 배출 밸브는 문의 핸들에 설치된 스위치 수단과 제어 컴퓨터로부터 전기적으로 작동되는 것이 특징인 래치.
  16. 제10항, 제11항 또는 제12항에 있어서,
    상기 밀봉 수단은 연질 탄성 중합체 재료로 형성되는 것이 특징인 래치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 밀봉수단은 네오프렌 발포체로 형성되는 것이 특징인 래치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 네오프렌 발포체는 폐쇄 셀 네오프렌 발포체인 것이 특징인 래치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR870003638A 1986-04-17 1987-04-16 진공식 래치 KR870010613A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US85310786A 1986-04-17 1986-04-17
US853107 1986-04-17

Publications (1)

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ID=25315071

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Application Number Title Priority Date Filing Date
KR870003638A KR870010613A (ko) 1986-04-17 1987-04-16 진공식 래치

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EP (1) EP0242064A2 (ko)
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JPS62253769A (ja) 1987-11-05
EP0242064A2 (en) 1987-10-21

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