JPS61130686A

JPS61130686A - 真空バルブ

Info

Publication number: JPS61130686A
Application number: JP25359084A
Authority: JP
Inventors: Hidetaka Jo; 城　英孝; Kosuke Oshio; 大塩　広介
Original assignee: Toshiba Corp; Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp; Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1984-11-30
Filing date: 1984-11-30
Publication date: 1986-06-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明は真空バルブに係り、特に真空ポンプの前段に設
けられるコールドトラップを洗浄する際における洗浄水
排出用の真空バルブに関する。

〔発明の技術的背景とその問題点）第２図は従来の真空処理装置に接続されるコールドトラ
ップ系統を示したもので、筒状ケーシング１の内部には
、コールドパネル２が配設され、このコールドパネル２
の内側には、液体璽素導′入管３が挿入され、上記コー
ルドパネル２を極低温に冷却するようになされている。

また、上記ケーシング１の上方には真空容器（図示せず
）からのガスを流入させるガス流入管４が、上記ケーシ
ング１の下方には真空ポンプ５にガスを排出するガス排
出管６がそれぞれバルブ７．７を介して接続されており
、さらに、上記ケーシング１の上方には、洗浄水導入管
８および乾燥ガス導入管９が並列に接続された洗浄用管
１０が接続されるとともに、上記ケーシング１の下端部
には、ドレン管１１が途中真空バルブ１２を介して接続
されている。

上記系統においては、エツチング等に使用される塩素系
等の腐食性ガスを真空ポンプ５により排気する場合、コ
ールドパネル２により上記腐食性ガスを吸着させ、その
他の気体をガス排出管６を介して真空ポンプ５に送り、
真空ポンプ５の腐食を防ぐようになされている。そして
、コールドバネル２にある程度腐食性ガスが吸着された
場合には、各パルプ７．７を閉じて洗浄水導入管８から
ケーシング内部に洗浄水を送り、上記腐食性ガスを水中
に溶解させた後、この水を真空バルブ１２を開いてドレ
ン′ｒ！！ｈ１１から排出する一方乾燥ガス導入管９か
らガスを送りケーシング１内部を乾燥するようになされ
る。これにより、腐食性ガスを大気中に蒸発させずに処
分することができる。

また、上記真空パルプ１２は、第３図および第４図に示
すように、ドレンの入口孔１３および出口孔１４を有す
る弁箱１５が設けられ、この弁箱１５の内部には、上記
入口孔１３を間ｍする弁体１６が配設されている。また
、上記弁箱１５には、内部にピストン１７を有するとと
もに、エア導入口１８．１８が設けられたシリンダ１９
が連結され、上記エア導入口１８．１８へ圧縮空気を送
ることにより、上記ピストン１７を往復動させるように
なされており、このピストン１７に連結され弁箱１５の
軸受７ランジ１０に軸支されたロッド２１の先端部が上
記弁体１６の裏面側に取付けられている。

上記真空バルブ１５は、真空排気中には弁体１６を入口
孔１３に当接して第３図に示すように開状態とし、洗浄
水を排出する場合にはピストン１７を駆動して第４図に
示すように弁体１６を軸受７ランジ２０側に当接させて
開状態とする。そのため、弁を開いたときにロッド２１
が洗浄水にさらされないため、ロッド２１の腐食を防止
することができる。

しかし、上記真空バルブ１５の場合、開状態のときに、
出口孔１４から弁箱１５内部に、蒸発した腐食性ガスが
侵入し、ロッド２１を腐食させてしまうという欠点を有
している。その結果、ロッド２１が円滑に往復動しなく
なり、確実にパルプ　　　　１の開閉駆動を行なうこと
ができなくなるという欠点をも有している。ざらに、真
空バルブ１５は金属製であるため、上述の開閉駆動が確
実に行なりれているかどうか、外部から確認することが
できず、信頼性を低下させていた。

〔発明の目的〕

本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、ロッドの
腐食を防止しかつ弁の開閉駆動を外部から確認すること
のできる真空バルブを提供することを目的とするもので
ある。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため本発明に係る真空バルブは、入口孔
および出口孔を有する弁箱の内部に、ロッドの往復動に
より上記入口孔の開閉を行なう弁体を配設してなる真空
バルブにおいて、上記ロッドの外周を伸縮自在なベロー
ズ部材により被覆するともに、上記弁箱の一部を透明部
材により形成したことをその特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図を参照して説明し、第２
図乃至第４図と同一部分には同一符号を付してその説明
を省略する。

本実施例においては、弁体１６の裏面側および軸受フラ
ンジ２０には、ゴム等の弾性体を蛇腹状に形成してなる
ベローズ部材２２の両端部が固着され、ロッド２１の外
周を上記ベローズ部材２２により被覆するようになされ
ている。また、弁箱１５の上面は、塩化ビニール等から
なる透明部材２３を勾じ２４により固着して形成されて
いる。

本実施例においては、ロッド２１がベローズ部材２２に
より被覆されているので、出口孔１４から腐食性ガスが
侵入した場合でも、ロッド２１の腐食を防ぐことができ
、ロッド２１の円滑な往復動すなわち弁の開閉駆動を確
保することができる。

また、上記透明部材２３により、弁箱１５の内部の弁体
１６の動作を容易に確認することができ、誤動作を容易
に発見することができる。

なお、本実施例においては空圧式のバルブについて説明
したが、油圧式あるいは手動式等いずれのバルブについ
ても適用することができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明に係る真空バルブは、弁体の開
閉駆動を行なうロッドの外周を伸縮自在なベローズ部材
により被覆するとともに、弁箱の一部を透明部材により
形成するように構成したので、ベローズ部材によりロッ
ドの腐食を防ぐことができ、円滑に弁の開閉を行なうこ
とができる。

また、透明部材により弁箱内部の弁体の動きを容易に確
認することができ、したがって、誤動作を確実に発見す
ることができ、信頼性も向上する等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は従
来のコールドトラップ系統を示す構成図、第３図および
第４図は従来の真空バルブのそれぞれ閉状態および開状
態を示す１ｉｉＩｉ面図である。１・・・ケーシング、２・・・コールドパネル、３・・
・液体窒素導入管、４・・・ガス流入管、５・・・真空
ポンプ、６・・・ガス排出管、７・・・バルブ、８・・
・洗浄水導入管、９・・・乾燥ガス導入管、１０・・・
洗浄用管、１１・・・ドレン管、１２・・・真空バルブ
、１３・・・入口孔、１４・・・出口孔、１５・・・弁
箱、１６・・・弁体、１７・・・ピストン、１８・・・
エア導入口、１９・・・シリンダ、　　２０・・・軸受
７ランジ、２１・・・ロッド、２２・・・ベローズ部材
、２３・・・透明部材。出願人代理人　　猪　　股　　　　清入

Claims

【特許請求の範囲】

入口孔および出口孔を有する弁箱の内部に、ロッドの往
復動により上記入口孔の開閉を行なう弁体を配設してな
る真空バルブにおいて、上記ロッドの外周を伸縮自在な
ベローズ部材により被覆するとともに、上記弁箱の一部
を透明部材により形成したことを特徴とする真空バルブ
。