JPS62250344A - 赤外線撮像装置 - Google Patents
赤外線撮像装置Info
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- JPS62250344A JPS62250344A JP61093556A JP9355686A JPS62250344A JP S62250344 A JPS62250344 A JP S62250344A JP 61093556 A JP61093556 A JP 61093556A JP 9355686 A JP9355686 A JP 9355686A JP S62250344 A JPS62250344 A JP S62250344A
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- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 claims description 9
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 4
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
集光光学系と視野切換手段と二次元検知素子とから成る
赤外線撮像装置において、少画素による解像度の不足を
解決するため、二次元赤外検知素子と集光光学系との間
に視野切換手段を介在させることにより、−観測視野を
分割して検知素子に読み取らせてこれを合成することで
、高解像な画像を実現するものである。
赤外線撮像装置において、少画素による解像度の不足を
解決するため、二次元赤外検知素子と集光光学系との間
に視野切換手段を介在させることにより、−観測視野を
分割して検知素子に読み取らせてこれを合成することで
、高解像な画像を実現するものである。
現在、医療における血行障害の診断や複合材料の内部欠
陥検企あるいはコンクリート壁のひび割れ検査診断等は
、観測物の温度分布を赤外線撮像装置により検知し、二
次的にTV表示させろことによって行なわれている。
陥検企あるいはコンクリート壁のひび割れ検査診断等は
、観測物の温度分布を赤外線撮像装置により検知し、二
次的にTV表示させろことによって行なわれている。
赤外線撮像装置としてはリニア素子を用いた検知器が実
用化されている。
用化されている。
第3図にその一構成を示す。
図中、35&工観測視野、36は集光光学系、37はポ
リゴンスキャナ、38は赤外線反射鏡、39はリニア検
知素子である。
リゴンスキャナ、38は赤外線反射鏡、39はリニア検
知素子である。
例えば観測視野35が水平解像度60本、垂直解像度1
20本の分解能から成る画面を構成するとき、観測視野
35の1フイールド(IF)の1−1.2−1〜6−1
から放出される赤外線を各面が異なる角度で構成された
10面鏡のポリゴンスキャナ37の一面へ入射させ、赤
外線反射鏡38及び集光光学系36を介して6画素から
成るリニア検知素子39へ入射させて解像し、水平走査
を行ないながら6本から成るlフィールド(IF)を解
像した後、ポリゴンスキャナ37を次の面に位置させて
2フイールド(2F)目へ垂直走査を行ない2フイール
ド(2F)の1−2.2−2〜6−2から放出される赤
外線を解像し、水平走査を行ないながら2フイールド(
2F)を解像して以下同様に垂直走査、水平走査をイン
タレース状に10フイールド(IOF)まで行なって(
60X120)の解像度から成ろ1フレームを形成する
。
20本の分解能から成る画面を構成するとき、観測視野
35の1フイールド(IF)の1−1.2−1〜6−1
から放出される赤外線を各面が異なる角度で構成された
10面鏡のポリゴンスキャナ37の一面へ入射させ、赤
外線反射鏡38及び集光光学系36を介して6画素から
成るリニア検知素子39へ入射させて解像し、水平走査
を行ないながら6本から成るlフィールド(IF)を解
像した後、ポリゴンスキャナ37を次の面に位置させて
2フイールド(2F)目へ垂直走査を行ない2フイール
ド(2F)の1−2.2−2〜6−2から放出される赤
外線を解像し、水平走査を行ないながら2フイールド(
2F)を解像して以下同様に垂直走査、水平走査をイン
タレース状に10フイールド(IOF)まで行なって(
60X120)の解像度から成ろ1フレームを形成する
。
しかし、上記のようなlJ=ア検知素子では画素数が少
ないため十分な線温度分解能’Pe解像贋な実現するこ
とができず性能的には十分でなかった。
ないため十分な線温度分解能’Pe解像贋な実現するこ
とができず性能的には十分でなかった。
高温度分解能な実現するためにをユ、次式%式%(1)
で与えられる装置の温度分解能NETDを少さくする必
要がある。
要がある。
上式において、第3図におけろ従来例のNETDを求め
ろと、V−「了マ〒7了アτ KよりNETD=0.4
℃となる。
ろと、V−「了マ〒7了アτ KよりNETD=0.4
℃となる。
この短が最Iトの温度分解能であるので0.4℃より小
の温度差は感知することができない。
の温度差は感知することができない。
したがって、更に高温度分解能でかつ高解像度を要求す
るならば、画素数nを大きくしなければならない。
るならば、画素数nを大きくしなければならない。
そこで、多素子二次元検知素子の実用化が望まれるが、
二次元検知素子は歩留り良く安価に製造するには技術的
に余り画素数を多くすることができず、高解像度馨得ろ
には不十分である。
二次元検知素子は歩留り良く安価に製造するには技術的
に余り画素数を多くすることができず、高解像度馨得ろ
には不十分である。
本発明では低解像度を解決するため、視野切換手段で観
測視野を分割して切換えることKより高解像な萌1像を
得られる赤外線撮像装置を提供する。
測視野を分割して切換えることKより高解像な萌1像を
得られる赤外線撮像装置を提供する。
本発明の赤外線撮像装置は二次元赤外検知素子と集光光
学系との間に視野切換子h&、を介在させ℃なろ。
学系との間に視野切換子h&、を介在させ℃なろ。
本発明の視野切換手段では時間的にステップ状に変位さ
せて複数のプロ、りに分割した観測視野を二次元赤外検
知素子上に順次投影さrろので、空間的に異なる観測視
野の複数ブロックを順次検知素子上に対応させることが
できる。
せて複数のプロ、りに分割した観測視野を二次元赤外検
知素子上に順次投影さrろので、空間的に異なる観測視
野の複数ブロックを順次検知素子上に対応させることが
できる。
よって、複数ブロックから成る一観測視野からは検知素
子の画素数以上の解像度を有する赤外二次元画像を得る
ことができる。
子の画素数以上の解像度を有する赤外二次元画像を得る
ことができる。
二次元検知素子に入射する赤外線は、′@秋動作により
一定時間信号電荷として蓄積され、続出動作によって信
号電荷を出力部へ転送して観測視野の読取動作を行なう
。
一定時間信号電荷として蓄積され、続出動作によって信
号電荷を出力部へ転送して観測視野の読取動作を行なう
。
第1図はこの、二次元検知素子を使用した本発明の一実
施例である。
施例である。
図中、5は観測視野、L 2.3.4は観測視野を17
4等分割したブロック、6は集光光学系、7はY方向視
野切換用プリズム、8はX方向視野切換用プリズム、9
は二次元検知素子である。
4等分割したブロック、6は集光光学系、7はY方向視
野切換用プリズム、8はX方向視野切換用プリズム、9
は二次元検知素子である。
尚、7及び8のプリズムには図1省略しであるが、プリ
ズムの角度(光軸に対する撮れ角)θを各々X方向、Y
方向へ振るためのガルバノメータがついている。
ズムの角度(光軸に対する撮れ角)θを各々X方向、Y
方向へ振るためのガルバノメータがついている。
振れ角θは検知素子9に入射する光束が観測視野の各ブ
ロックの視野に対応するようにX、Y方向の振れ角θX
、θYを反時計回りを正として、第1ブロックではθX
=−θ、θy”+θ、第2ブロックではσX=十θ、θ
Y=+θ、第3フ゛ロツクではθX=−θ、θY=−θ
、第4ブロックではθX = +” wθY=−〇とす
る。
ロックの視野に対応するようにX、Y方向の振れ角θX
、θYを反時計回りを正として、第1ブロックではθX
=−θ、θy”+θ、第2ブロックではσX=十θ、θ
Y=+θ、第3フ゛ロツクではθX=−θ、θY=−θ
、第4ブロックではθX = +” wθY=−〇とす
る。
また、観測視野5の1フレームの水平及び垂直解像度N
x、 Nyは各々128本、二次元検知素子9の画素数
nは(64X64)画素とする。これを実現すると前記
(1)式のNETDは0.1℃以下となり高温度分解能
な得ることができる。
x、 Nyは各々128本、二次元検知素子9の画素数
nは(64X64)画素とする。これを実現すると前記
(1)式のNETDは0.1℃以下となり高温度分解能
な得ることができる。
まず、視野切換用プリズム7.8を観測視野5の第1ブ
ロック1′4を見込む位fit(θX、θY)=(→、
十〇)にセットし、1フレー・ムのl/4である第1ブ
ロック(解像度(64X64)本)から得られる情報を
(64X64)画素の二次元検知素子9の集光光学系6
で結像し、入射させる。入射光は蓄積動作を受けた後続
出モードへ入る。このとき同時に観測視野5の第2ブロ
ック2へ視野の切換えを行なし・、X、Y方向視野切換
用プリズム7.8の振れ角を(θχ9θY)=(十〇、
十〇)にセットし、同様に蓄積動作、読出動作を行なう
。
ロック1′4を見込む位fit(θX、θY)=(→、
十〇)にセットし、1フレー・ムのl/4である第1ブ
ロック(解像度(64X64)本)から得られる情報を
(64X64)画素の二次元検知素子9の集光光学系6
で結像し、入射させる。入射光は蓄積動作を受けた後続
出モードへ入る。このとき同時に観測視野5の第2ブロ
ック2へ視野の切換えを行なし・、X、Y方向視野切換
用プリズム7.8の振れ角を(θχ9θY)=(十〇、
十〇)にセットし、同様に蓄積動作、読出動作を行なう
。
以後同様の手+11fiを縁り返し、第4ブロックまで
読取動作を行ない合成することで複数ブロックに分割さ
れた1ル−ムの画像の読取りを完了する。
読取動作を行ない合成することで複数ブロックに分割さ
れた1ル−ムの画像の読取りを完了する。
第2図は、本実施別におけ石動作状態図ケ示している。
視野切換用プリズム7.8が第1ブロックへ対応してい
るとき、検知索子9ではmlブロックの情報(電#)の
蓄積を行ない時間1.で視野切換えを行なうと、蓄積さ
れた情報は読出される。時間t、において視野切換えが
完了し第2ブロックへ視野切換用プリズムが対応すると
、検知索子9では第2ブロックの情報の蓄)★を行なう
。
るとき、検知索子9ではmlブロックの情報(電#)の
蓄積を行ない時間1.で視野切換えを行なうと、蓄積さ
れた情報は読出される。時間t、において視野切換えが
完了し第2ブロックへ視野切換用プリズムが対応すると
、検知索子9では第2ブロックの情報の蓄)★を行なう
。
時間tsにおいて第1ブロックの絖出しが終了したとこ
ろで視野切換えを行ない、第2ブロックの情報の蓄積を
終了し、第2ブロックの情報の絖出しを始める。
ろで視野切換えを行ない、第2ブロックの情報の蓄積を
終了し、第2ブロックの情報の絖出しを始める。
以後同機の動作を行なって時間taで1フレームを終了
する。プリズムの視野切換えは二次元検知素子の非蓄積
期間に同期させて行ない、蓄積時間の間はプリズムは角
度を一定に慄ち、蓄積時間の終了時から次の蓄積が始ま
るまでの間に視野の切換えを完了するように、時間的に
ステップ状の視野切換え動作を行なわせる。
する。プリズムの視野切換えは二次元検知素子の非蓄積
期間に同期させて行ない、蓄積時間の間はプリズムは角
度を一定に慄ち、蓄積時間の終了時から次の蓄積が始ま
るまでの間に視野の切換えを完了するように、時間的に
ステップ状の視野切換え動作を行なわせる。
この実施例によれば、観測視野を分割しその集束光なプ
リズムにより順次二次元検知素子に入射させ得るので検
知素子の画素数以上の解像度をもって赤外二次元画像を
得ることができる。
リズムにより順次二次元検知素子に入射させ得るので検
知素子の画素数以上の解像度をもって赤外二次元画像を
得ることができる。
本発明によれば、検知素子の画像数以上の解像度を有す
る赤外二次元画像を得ることができるので、高温度分解
能及び高解像度を実現することができる。
る赤外二次元画像を得ることができるので、高温度分解
能及び高解像度を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例であり、tI42図は本発明
の一実施例の動作状態図、第3図は従来例である。 図におい℃、 1、2.3.4・・・・・・ブロック、5.35 ・川
・・・川・・観測視野、6.36 ・・・・・・・川・
・集光光学系、7.8・・・・・・・・・・・・・・・
視野切換用プリズム、9・・・・・・・・・・・・・・
・明・・二次元検知素子、37・・・卵重・・・・・・
・・ポリゴンスキャナ、38・・・・・・・・・曲・・
・・・反射鏡、39・・・・・・・・・叩・、、、、
IJニア検知素子。
の一実施例の動作状態図、第3図は従来例である。 図におい℃、 1、2.3.4・・・・・・ブロック、5.35 ・川
・・・川・・観測視野、6.36 ・・・・・・・川・
・集光光学系、7.8・・・・・・・・・・・・・・・
視野切換用プリズム、9・・・・・・・・・・・・・・
・明・・二次元検知素子、37・・・卵重・・・・・・
・・ポリゴンスキャナ、38・・・・・・・・・曲・・
・・・反射鏡、39・・・・・・・・・叩・、、、、
IJニア検知素子。
Claims (3)
- (1)観測視野5から放出される赤外線を集光する集光
光学系6と該集光光学系により集光された赤外線を受け
る二次元検知素子9からなる赤外線撮像装置において、 前記集光光学系6と前記二次元検知素子9との間に前記
観測視野5を複数ブロックに分割するように視野切換を
行なう視野切換手段7、8を介在させたことを特徴とす
る赤外線撮像装置。 - (2)上記視野切換手段の視野切換えを前記赤外検知素
子における非蓄積期間に行なわせることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の赤外線撮像装置。 - (3)上記視野切換手段により定まる一観測視野上の一
領域を1ブロックとして複数ブロックの視野を読み取り
、合成することで一観測視野の画像を形成することを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の赤外線撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61093556A JPS62250344A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 赤外線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61093556A JPS62250344A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 赤外線撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62250344A true JPS62250344A (ja) | 1987-10-31 |
Family
ID=14085523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61093556A Pending JPS62250344A (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 赤外線撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62250344A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04174327A (ja) * | 1989-12-26 | 1992-06-22 | Hitachi Ltd | 赤外線温度画像測定装置及びそれを備えた成膜装置 |
-
1986
- 1986-04-23 JP JP61093556A patent/JPS62250344A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04174327A (ja) * | 1989-12-26 | 1992-06-22 | Hitachi Ltd | 赤外線温度画像測定装置及びそれを備えた成膜装置 |
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