JPH0854349A - カメラ及び該カメラを用いた画質検査装置 - Google Patents
カメラ及び該カメラを用いた画質検査装置Info
- Publication number
- JPH0854349A JPH0854349A JP6211765A JP21176594A JPH0854349A JP H0854349 A JPH0854349 A JP H0854349A JP 6211765 A JP6211765 A JP 6211765A JP 21176594 A JP21176594 A JP 21176594A JP H0854349 A JPH0854349 A JP H0854349A
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- JP
- Japan
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- camera
- lens
- panel
- image pickup
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 斜めから見たＬＣＤ画像をＬＣＤパネル全面
に渡って焦点を合わせて取り込み、画像のゆがみを生じ
ず、ＬＣＤ画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を検出
できるカメラ及び該カメラを用いた画質検査装置を実現
する。 【構成】 レンズの面に対して並行な全方向に移動可能
なＣＣＤのような撮像素子を設ける。そして、上記撮像
素子に対し垂直方向に移動可能なレンズを設け、上記撮
像素子と一体となったカメラを構成する。上記カメラ
は、ＬＣＤのような検査対象パネルの面に対して、上記
撮像素子及び上記レンズが垂直方向及び並行な全方向に
移動可能なカメラの移動手段によって移動できる。ま
た、カメラから出力する画像データをデジタルに変換す
るＡ／Ｄ変換部を設ける。上記撮像素子、上記レンズ及
び上記カメラの移動を制御し、デジタルに変換された画
像を演算処理し、画像欠陥を検出するＣＰＵ制御部を設
ける。
に渡って焦点を合わせて取り込み、画像のゆがみを生じ
ず、ＬＣＤ画像を忠実に取り込み、視角依存欠陥を検出
できるカメラ及び該カメラを用いた画質検査装置を実現
する。 【構成】 レンズの面に対して並行な全方向に移動可能
なＣＣＤのような撮像素子を設ける。そして、上記撮像
素子に対し垂直方向に移動可能なレンズを設け、上記撮
像素子と一体となったカメラを構成する。上記カメラ
は、ＬＣＤのような検査対象パネルの面に対して、上記
撮像素子及び上記レンズが垂直方向及び並行な全方向に
移動可能なカメラの移動手段によって移動できる。ま
た、カメラから出力する画像データをデジタルに変換す
るＡ／Ｄ変換部を設ける。上記撮像素子、上記レンズ及
び上記カメラの移動を制御し、デジタルに変換された画
像を演算処理し、画像欠陥を検出するＣＰＵ制御部を設
ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査対象パネルの視角
依存欠陥を検出できるカメラ及び該カメラを用いた画質
検査装置に関するものである。
依存欠陥を検出できるカメラ及び該カメラを用いた画質
検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）パネ
ル欠陥のうち、ＬＣＤパネルの正面から観測したとき
の、点欠陥、線欠陥は、従来のＬＣＤパネル画質検査装
置で検出可能である。しかし、ＬＣＤパネル欠陥の中に
図７に示すように斜めから見たときに発見される視角依
存欠陥がある。そこで、図６（ａ）に示すように従来の
カメラでＬＣＤパネルを斜めから観測すると、図６
（ｂ）に示すように一部にしか焦点が合わず、ゆがんだ
画像になるため測定検査できない。そのため、視角依存
欠陥については、目視検査に頼っている。
ル欠陥のうち、ＬＣＤパネルの正面から観測したとき
の、点欠陥、線欠陥は、従来のＬＣＤパネル画質検査装
置で検出可能である。しかし、ＬＣＤパネル欠陥の中に
図７に示すように斜めから見たときに発見される視角依
存欠陥がある。そこで、図６（ａ）に示すように従来の
カメラでＬＣＤパネルを斜めから観測すると、図６
（ｂ）に示すように一部にしか焦点が合わず、ゆがんだ
画像になるため測定検査できない。そのため、視角依存
欠陥については、目視検査に頼っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、通
常のカメラは正面から見る事を基本にしているため、斜
めにして１部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。また、斜めから見て取り込んだ画像は、正面
から見て取り込んだ画像に比べて、取り込み画像にゆが
みを生じる。本発明は、斜めから見たＬＣＤ画像をＬＣ
Ｄパネル全面に渡って焦点を合わせて取り込み、画像の
ゆがみを生じず、ＬＣＤ画像を忠実に取り込み、視角依
存欠陥を検出できるカメラ及び該カメラを用いた画質検
査装置を実現することを目的としている。
常のカメラは正面から見る事を基本にしているため、斜
めにして１部に焦点を合わせると他の部分の焦点が合わ
なくなる。また、斜めから見て取り込んだ画像は、正面
から見て取り込んだ画像に比べて、取り込み画像にゆが
みを生じる。本発明は、斜めから見たＬＣＤ画像をＬＣ
Ｄパネル全面に渡って焦点を合わせて取り込み、画像の
ゆがみを生じず、ＬＣＤ画像を忠実に取り込み、視角依
存欠陥を検出できるカメラ及び該カメラを用いた画質検
査装置を実現することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、レンズの面に対して並行な全方
向に移動可能なＣＣＤ（Charge Coupled Device ）のよ
うな撮像素子を設ける。そして、上記撮像素子に対し垂
直方向に移動可能なレンズを設け、上記撮像素子と一体
となったカメラを構成する。上記カメラは、ＬＣＤのよ
うな検査対象パネルの面に対して、上記撮像素子及び上
記レンズが垂直方向及び並行な全方向に移動可能なカメ
ラの移動手段によって移動できる。また、カメラから出
力する画像データをデジタルに変換するＡ／Ｄ変換部を
設ける。上記撮像素子、上記レンズ及び上記カメラの移
動を制御し、デジタルに変換された画像を演算処理し、
画像欠陥を検出するＣＰＵ制御部を設ける。
に、本発明においては、レンズの面に対して並行な全方
向に移動可能なＣＣＤ（Charge Coupled Device ）のよ
うな撮像素子を設ける。そして、上記撮像素子に対し垂
直方向に移動可能なレンズを設け、上記撮像素子と一体
となったカメラを構成する。上記カメラは、ＬＣＤのよ
うな検査対象パネルの面に対して、上記撮像素子及び上
記レンズが垂直方向及び並行な全方向に移動可能なカメ
ラの移動手段によって移動できる。また、カメラから出
力する画像データをデジタルに変換するＡ／Ｄ変換部を
設ける。上記撮像素子、上記レンズ及び上記カメラの移
動を制御し、デジタルに変換された画像を演算処理し、
画像欠陥を検出するＣＰＵ制御部を設ける。
【０００５】また、検査対象パネルの正面及び視角依存
欠陥を検出できる斜め方向に、撮像素子及びレンズが検
査対象パネルに並行に構成された複数のカメラを設け
る。各カメラから出力する画像データをそれぞれデジタ
ルに変換する複数のＡ／Ｄ変換部を設ける。上記複数の
Ａ／Ｄ変換部の出力を選択して出力するマルチプレクサ
を設け、ＣＰＵが、マルチプレクサの出力であるデジタ
ルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検出す
る。
欠陥を検出できる斜め方向に、撮像素子及びレンズが検
査対象パネルに並行に構成された複数のカメラを設け
る。各カメラから出力する画像データをそれぞれデジタ
ルに変換する複数のＡ／Ｄ変換部を設ける。上記複数の
Ａ／Ｄ変換部の出力を選択して出力するマルチプレクサ
を設け、ＣＰＵが、マルチプレクサの出力であるデジタ
ルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検出す
る。
【０００６】また、検査対象パネルの正面及び視角依存
欠陥を検出できる斜め方向に、撮像素子及びレンズが検
査対象パネルに並行に構成された複数のカメラを設け
る。各カメラから出力する画像データを選択して出力す
るデータセレクタを設け、上記データセレクタの出力を
デジタルに変換するＡ／Ｄ変換部を設ける。ＣＰＵは、
デジタルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検
出する。
欠陥を検出できる斜め方向に、撮像素子及びレンズが検
査対象パネルに並行に構成された複数のカメラを設け
る。各カメラから出力する画像データを選択して出力す
るデータセレクタを設け、上記データセレクタの出力を
デジタルに変換するＡ／Ｄ変換部を設ける。ＣＰＵは、
デジタルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検
出する。
【０００７】
【作用】上記のように構成されたカメラにおいては、斜
めから見た検査対象パネルの全面に渡って焦点を合わせ
て取り込むことができ、画像のゆがみを生じない。ま
た、上記のように構成された移動可能なカメラを使用し
た画質検査装置においては、視角依存欠陥を任意の角度
で検出できる。また、上記のように構成された視角依存
欠陥を検出できる斜め方向に複数のカメラを固定した画
質検査装置においては、カメラに対するＣＰＵによる制
御の必要が無いため、カメラの移動などの時間が必要な
く、カメラ移動のための機構部が必要ない。このため、
画質検査装置の高速化、小型化、低コスト化ができる。
めから見た検査対象パネルの全面に渡って焦点を合わせ
て取り込むことができ、画像のゆがみを生じない。ま
た、上記のように構成された移動可能なカメラを使用し
た画質検査装置においては、視角依存欠陥を任意の角度
で検出できる。また、上記のように構成された視角依存
欠陥を検出できる斜め方向に複数のカメラを固定した画
質検査装置においては、カメラに対するＣＰＵによる制
御の必要が無いため、カメラの移動などの時間が必要な
く、カメラ移動のための機構部が必要ない。このため、
画質検査装置の高速化、小型化、低コスト化ができる。
【０００８】
【実施例】図３に、斜めから見たＬＣＤ画像をＬＣＤパ
ネル全面に渡って焦点を合わせて取り込み、画像のゆが
みを生じない、ＬＣＤパネル、レンズ及びエリアＣＣＤ
の関係を示す。この図において、Ｃ１は視角０度でのエ
リアＣＣＤ素子、Ｌ１は視角０度でのレンズ、Ｃ２は視
角をα度ずらした時のエリアＣＣＤ素子、Ｌ２は視角を
α度ずらした時のレンズ、Ａ−ＢはＬＣＤパネル、Ｏ−
Ｄ１は視角０度での光軸線、Ｏ−Ｄ２は視角をα度ずら
した時の光軸線を示す。なお、Ｃ１、Ｃ２、Ｌ１及びＬ
２はＬＣＤパネルの表示面に対して平行の位置関係にあ
る。視角０度でのＣ１、Ｌ１及びＬＣＤパネルは、ｍを
倍率、ｆをレンズの焦点距離としたとき、近軸光線にお
ける次の関係式を満足する位置に設定する。 ａ0 ＝ｆ（１＋ｍ） ｍ＝ａ0 ／ｂ0 視角α度でＬＣＤ画像を取り込む場合は、図３（ａ）の
ように、角度αとａ0及びｂ0 を満足する位置であるＣ
２及びＬ２へ移動させることにより、図３（ｂ）のよう
な、視角０度でのＬＣＤ画像と同じ寸法の画像をＣ２の
エリアＣＣＤ素子に結像させることができる。
ネル全面に渡って焦点を合わせて取り込み、画像のゆが
みを生じない、ＬＣＤパネル、レンズ及びエリアＣＣＤ
の関係を示す。この図において、Ｃ１は視角０度でのエ
リアＣＣＤ素子、Ｌ１は視角０度でのレンズ、Ｃ２は視
角をα度ずらした時のエリアＣＣＤ素子、Ｌ２は視角を
α度ずらした時のレンズ、Ａ−ＢはＬＣＤパネル、Ｏ−
Ｄ１は視角０度での光軸線、Ｏ−Ｄ２は視角をα度ずら
した時の光軸線を示す。なお、Ｃ１、Ｃ２、Ｌ１及びＬ
２はＬＣＤパネルの表示面に対して平行の位置関係にあ
る。視角０度でのＣ１、Ｌ１及びＬＣＤパネルは、ｍを
倍率、ｆをレンズの焦点距離としたとき、近軸光線にお
ける次の関係式を満足する位置に設定する。 ａ0 ＝ｆ（１＋ｍ） ｍ＝ａ0 ／ｂ0 視角α度でＬＣＤ画像を取り込む場合は、図３（ａ）の
ように、角度αとａ0及びｂ0 を満足する位置であるＣ
２及びＬ２へ移動させることにより、図３（ｂ）のよう
な、視角０度でのＬＣＤ画像と同じ寸法の画像をＣ２の
エリアＣＣＤ素子に結像させることができる。
【０００９】ＬＣＤパネルの視角依存欠陥は、図２に示
すＸ方向及びＹ方向における斜め方向にも依存する場合
がある。このため、図２に示すように、ＣＣＤとレンズ
を含んだカメラ全体のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向への移
動、ＣＣＤのｘ方向及びｙ方向への移動、レンズのｚ方
向への移動を独立して可能とする構造にする必要があ
る。ここで、カメラのＺ方向の移動及びレンズのｚ方向
への移動は、倍率と焦点を精密に設定する為に必要であ
り、レンズの収差、レンズの個体差の補正も行う。ま
た、カメラのＸ方向、Ｙ方向への移動、ＣＣＤのｘ方向
及びｙ方向への移動は、ＬＣＤパネルを移動せずに斜め
方向からの撮像を可能にするために必要である。
すＸ方向及びＹ方向における斜め方向にも依存する場合
がある。このため、図２に示すように、ＣＣＤとレンズ
を含んだカメラ全体のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向への移
動、ＣＣＤのｘ方向及びｙ方向への移動、レンズのｚ方
向への移動を独立して可能とする構造にする必要があ
る。ここで、カメラのＺ方向の移動及びレンズのｚ方向
への移動は、倍率と焦点を精密に設定する為に必要であ
り、レンズの収差、レンズの個体差の補正も行う。ま
た、カメラのＸ方向、Ｙ方向への移動、ＣＣＤのｘ方向
及びｙ方向への移動は、ＬＣＤパネルを移動せずに斜め
方向からの撮像を可能にするために必要である。
【００１０】図１は、ＣＣＤとレンズを含んだカメラ２
２のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、ＣＣＤのｘ方向、ｙ方向
及びレンズのｚ方向の移動制御をＣＰＵ制御部２０で行
い、それぞれの位置でカメラより出力する画像データを
Ａ／Ｄ変換器２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ制御部２
０で画像演算処理により欠陥を検出する画質検査装置を
示す。
２のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向、ＣＣＤのｘ方向、ｙ方向
及びレンズのｚ方向の移動制御をＣＰＵ制御部２０で行
い、それぞれの位置でカメラより出力する画像データを
Ａ／Ｄ変換器２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ制御部２
０で画像演算処理により欠陥を検出する画質検査装置を
示す。
【００１１】図４は、正面から画像データを測定するカ
メラと、斜めから画像データを測定し視角依存欠陥を検
出する複数のカメラを固定し、それぞれのカメラより出
力する画像データを、それぞれに対応したＡ／Ｄ変換部
２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ３０で画像演算処理に
より欠陥を検出する画像検査装置を示す。
メラと、斜めから画像データを測定し視角依存欠陥を検
出する複数のカメラを固定し、それぞれのカメラより出
力する画像データを、それぞれに対応したＡ／Ｄ変換部
２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ３０で画像演算処理に
より欠陥を検出する画像検査装置を示す。
【００１２】図５は、正面から画像データを測定するカ
メラと、斜めから画像データを測定し視角依存欠陥を検
出する複数のカメラを固定し、それぞれのカメラより出
力する画像データを選択して出力するデータセレクタ３
３を設け、データセレクタより出力する画像データをＡ
／Ｄ変換部２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ３０で画像
演算処理により欠陥を検出する画像検査装置を示す。
メラと、斜めから画像データを測定し視角依存欠陥を検
出する複数のカメラを固定し、それぞれのカメラより出
力する画像データを選択して出力するデータセレクタ３
３を設け、データセレクタより出力する画像データをＡ
／Ｄ変換部２１でデジタルに変換し、ＣＰＵ３０で画像
演算処理により欠陥を検出する画像検査装置を示す。
【００１３】複数のカメラを固定した上記のような画像
検査装置においては、それぞれのカメラが固定されてい
るため、カメラに対するＣＰＵ３０による制御の必要が
無い。このため、カメラの移動などの時間が必要なく、
カメラ移動のための機構部が必要ないため、検査の高速
化、装置の小型化、低コスト化できる。
検査装置においては、それぞれのカメラが固定されてい
るため、カメラに対するＣＰＵ３０による制御の必要が
無い。このため、カメラの移動などの時間が必要なく、
カメラ移動のための機構部が必要ないため、検査の高速
化、装置の小型化、低コスト化できる。
【００１４】なお、以上の説明は、主にＬＣＤパネルを
検査対象パネルとし、エリアＣＣＤ素子を撮像素子とし
て詳述してきたが、この発明はこれに限るものではな
く、検査対象パネルとしてＥＬ（Erectoro Luminesenc
e）パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラッ
トパネルディスプレイ全般に及び、撮像素子としてＭＯ
Ｓ（Metal Oxide Semiconductor）型センサなどに及ぶ
ものである。
検査対象パネルとし、エリアＣＣＤ素子を撮像素子とし
て詳述してきたが、この発明はこれに限るものではな
く、検査対象パネルとしてＥＬ（Erectoro Luminesenc
e）パネルやプラズマディスプレイパネルなどのフラッ
トパネルディスプレイ全般に及び、撮像素子としてＭＯ
Ｓ（Metal Oxide Semiconductor）型センサなどに及ぶ
ものである。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 斜めから見た検査対象パネルにおいて、全面に渡っ
て焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じない画像を得
ることができる。 任意の視角にカメラを移動し、視角依存欠陥を検出
できる画質検査装置を実現できる。 複数のカメラを、検査対象パネルの正面及び視角依
存欠陥を検査できる位置に固定することで、カメラに対
するＣＰＵによる制御の必要が無いため、カメラの移動
などの時間が必要なく、カメラ移動のための機構部が必
要ないため、検査の高速化、装置の小型化、低コスト化
できる。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 斜めから見た検査対象パネルにおいて、全面に渡っ
て焦点を合わせて取り込み、ゆがみを生じない画像を得
ることができる。 任意の視角にカメラを移動し、視角依存欠陥を検出
できる画質検査装置を実現できる。 複数のカメラを、検査対象パネルの正面及び視角依
存欠陥を検査できる位置に固定することで、カメラに対
するＣＰＵによる制御の必要が無いため、カメラの移動
などの時間が必要なく、カメラ移動のための機構部が必
要ないため、検査の高速化、装置の小型化、低コスト化
できる。
【図１】本発明の画質検査装置の説明図である。
【図２】本発明のカメラ制御の説明図である。
【図３】本発明の原理を示す説明図である。
【図４】本発明の別の画質検査装置の説明図である。
【図５】本発明の別の画質検査装置の説明図である。
【図６】従来のカメラを使った場合の説明図である。
【図７】従来の目視検査の説明図である。
１０ 検査対象パネル（ＬＣＤ） ２０ ＣＰＵ制御部 ２１ Ａ／Ｄ変換器 ２２、３２ カメラ ２３ 撮像素子（ＣＣＤ） ２４ レンズ ２５ カメラの移動手段 ３０ ＣＰＵ ３１ マルチプレクサ ３３ データセレクタ
フロントページの続き (72)発明者 青木 博幸 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式会 社アドバンテスト内
Claims (4)
- 【請求項１】 レンズ（２４）の面に対して並行な全方
向に移動可能な撮像素子（２３）を設け、 上記撮像素子（２３）に対し垂直方向に移動可能なレン
ズ（２４）を設け、 以上を具備することを特徴とするカメラ。 - 【請求項２】 レンズ（２４）の面に対して並行な全方
向に移動可能な撮像素子（２３）を設け、 上記撮像素子（２３）に対し垂直方向に移動可能なレン
ズ（２４）を設け、 上記撮像素子（２３）及び上記レンズ（２４）で構成さ
れたカメラ（２２）を一体として、検査対象パネル（１
０）の面に対して上記撮像素子（２３）及び上記レンズ
（２４）が垂直方向及び並行な全方向に移動可能なカメ
ラの移動手段（２５）を設け、 カメラ（２２）から出力する画像データをデジタルに変
換するＡ／Ｄ変換部（２１）を設け、 上記撮像素子（２３）、上記レンズ（２４）及び上記カ
メラ（２２）の移動を制御し、デジタルに変換された画
像を演算処理し、画像欠陥を検出するＣＰＵ制御部（２
０）を設け、 以上を具備することを特徴とする画質検査装置。 - 【請求項３】 検査対象パネル（１０）の正面及び斜め
方向に、撮像素子及びレンズが検査対象パネル（１０）
に並行に構成された複数のカメラ（３２）を設け、 各カメラから出力する画像データをそれぞれデジタルに
変換する複数のＡ／Ｄ変換部（２１）を設け、 上記複数のＡ／Ｄ変換部（２１）の出力を選択して出力
するマルチプレクサ（３１）を設け、 デジタルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検
出するＣＰＵ（３０）を設け、 以上を具備することを特徴とする画質検査装置。 - 【請求項４】 検査対象パネル（１０）の正面及び斜め
方向に、撮像素子及びレンズが検査対象パネル（１０）
に並行に構成された複数のカメラ（３２）を設け、 各カメラから出力する画像データを選択して出力するデ
ータセレクタ（３３）を設け、 上記データセレクタ（３３）の出力をデジタルに変換す
るＡ／Ｄ変換部（２１）を設け、 デジタルに変換された画像を演算処理し、画像欠陥を検
出するＣＰＵ（３０）を設け、 以上を具備することを特徴とする画質検査装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211765A JPH0854349A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | カメラ及び該カメラを用いた画質検査装置 |
| TW084106647A TW298628B (ja) | 1994-07-14 | 1995-06-28 | |
| TW084106643A TW410524B (en) | 1994-07-14 | 1995-06-28 | LCD panel image quality examining device and LCD image sampling method |
| KR1019950020460A KR0156656B1 (ko) | 1994-07-14 | 1995-07-12 | 화질 검사 장치 |
| US08/502,533 US5696550A (en) | 1994-07-14 | 1995-07-14 | Image quality inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211765A JPH0854349A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | カメラ及び該カメラを用いた画質検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854349A true JPH0854349A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16611217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6211765A Pending JPH0854349A (ja) | 1994-07-14 | 1994-08-15 | カメラ及び該カメラを用いた画質検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854349A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6590643B2 (en) | 2000-03-28 | 2003-07-08 | Japan Science And Technology Corporation | Method and apparatus for measuring viewing angle characteristic and positional characteristic of luminance |
| JP2009036696A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Yokogawa Electric Corp | 画像検査装置 |
| KR100946840B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2010-03-09 | 쿠오 순-쿤 | Ｌｃｄ 패널을 고정하는 검사 기구 |
| KR101311981B1 (ko) * | 2011-12-30 | 2013-09-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 |
-
1994
- 1994-08-15 JP JP6211765A patent/JPH0854349A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6590643B2 (en) | 2000-03-28 | 2003-07-08 | Japan Science And Technology Corporation | Method and apparatus for measuring viewing angle characteristic and positional characteristic of luminance |
| JP2009036696A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-02-19 | Yokogawa Electric Corp | 画像検査装置 |
| KR100946840B1 (ko) * | 2008-05-27 | 2010-03-09 | 쿠오 순-쿤 | Ｌｃｄ 패널을 고정하는 검사 기구 |
| KR101311981B1 (ko) * | 2011-12-30 | 2013-09-30 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021112 |