JP2006113189A - 鏡筒の検査装置及び鏡筒の検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 鏡筒の片ぼけや、光軸傾き、像面湾曲収差を精度良く測定できるようにすることである。
【解決手段】 検査を行う被検鏡筒２を通してチャート４の像を取得する撮像ヘッド５と、撮像ヘッド５からの信号を取り込む映像信号生成部１４と、チャート像からＭＴＦ値を算出するＭＴＦ値算出部１６と、ＭＴＦ値に基づいて被検鏡筒２のピント位置の差を算出する位置ずれ算出部１８と、光軸上の測定チャート４ａのＭＴＦ値のピーク位置に対して他の測定チャート４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅのＭＴＦ値のピーク位置のずれから被検鏡筒２の傾きを算出する鏡筒傾き算出部１７とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、カメラ等のレンズを内部に収容した鏡筒（以下、単に鏡筒という）の光学性能を検査する鏡筒の検査装置、及び鏡筒の検査方法に関する。

複数のレンズを含んで構成されている鏡筒を検査する装置としては、鏡筒の片ぼけや、レンズ傾き、歪曲収差及び中心ずれの有無を自動で測定するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
ここで、特許文献１に開示されている検査装置のブロック図を図５に示し、従来の検査装置の概要を説明する。図５に示すように、鏡筒１０１に向かい合う位置には、白線と黒線とで構成されたチャート１０２が設置される。鏡筒１０１には、接続手段１０３を介して撮像素子１０４が接続されており、鏡筒１０１を通して得られる光学信号を電気信号に変換する。映像信号生成手段１０５は、撮像素子１０４からの電気信号に基づいて映像信号を生成し、フォーカス制御手段１０６と画像メモリ手段１０７とに出力する。フォーカス制御手段１０６は、映像信号の高周波成分が最大になるように鏡筒１０１のフォーカスレンズを移動させ、合焦制御を行う。画像メモリ手段１０７は、映像信号を１フレーム記憶し、記憶した映像信号を解像度測定手段１０８に出力する。解像度測定手段１０８は、映像信号の振幅値を測定することで鏡筒１０１の水平方向、及び垂直方向の解像度を測定する。さらに、画面の４隅の解像度を取得し、各々の差を演算処理して鏡筒１０１の片ぼけの有無を検出する片ぼけ検出手段１０９と、測定検出結果を表示する表示手段１１０とが設けられている。
特開平１０−７５４６７号公報

しかしながら、従来の検査装置では、高精度の測定が要求される場合に、高周波成分だけでの合焦では、実写時の撮影像とコントラストや、解像を正しく合致させることができず、実写時の撮影像との対応をとることが難しいという問題があった。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、鏡筒の片ぼけや、光軸傾き、像面湾曲収差を精度良く測定できるようにすることである。

上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、離間して配置されたチャートを鏡筒を通して撮像し、対応するチャート像を取り込む撮像手段と、該撮像手段の位置を制御する位置制御手段とを有する検査装置において、前記チャートについて取り込んだ前記チャート像のＭＴＦ値を、前記位置制御手段で前記撮像手段を移動させながら算出するＭＴＦ値算出手段と、光軸上に配置された前記チャートに対するＭＴＦ値に基づいて前記鏡筒のピント位置を算出し、前記位置制御手段に予め登録されている前記撮像手段の基準位置に対する前記ピント位置の差を算出する位置算出手段と、を備えることを特徴とする鏡筒の検査装置とした。
この鏡筒の検査装置では、検査対象となる鏡筒を介して得られるチャートの像からＭＴＦ（変調伝達関数）値を求め、このＭＴＦ値を撮像手段の位置を変化させながら複数取得してＭＴＦ値のピーク位置を求め、このピーク位置を実際のピント位置とし、予め想定されていたピント位置とのずれを求める。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の鏡筒の検査装置において、光軸上の前記チャートと同一平面をなすように配置された複数チャートのそれぞれについて、前記撮像手段を移動させながら算出したＭＴＦ値から、それぞれのピーク位置を求め、これらピーク位置に対して、光軸上の前記チャートから算出されたピント位置からのずれ量を求める鏡筒傾き算出手段を設けたことを特徴とする。
この鏡筒の検査装置では、鏡筒のチャートのそれぞれについて、ＭＴＦ値を求め、光軸上のチャートに対するＭＴＦ値のピーク位置からのずれ量、及びずれ方向を求める。ずれ方向に指向性がある場合には、鏡筒がその方向に傾いていると判断できる。また、全てのピーク位置が基準位置に対して同じ方向にずれていた場合には、像面湾曲収差があると判断する。

請求項３に係る発明は、離間して配置されたチャートを鏡筒を通して撮像し、対応するチャート像を取り込む工程と、前記位置制御手段で前記撮像手段を移動させながら取り込んだ前記チャート像のそれぞれについてＭＴＦ値を算出するＭＴＦ値算出工程と、前記ＭＴＦ値算出手段によって得られた出力から光軸上に配置された前記チャートに対する前記鏡筒のピント位置を算出し、前記位置制御手段に予め登録されている前記撮像手段の基準位置に対する前記ピント位置の差を算出する位置算出工程と、を備えることを特徴とする鏡筒の検査方法とした。
この鏡筒の検査方法では、光軸上に配置されたチャートに対してＭＴＦ値算出工程と、位置算出工程とを実行することで、ＭＴＦ値のピーク位置を実際のピント位置を求めることができ、このピント位置と予め想定されていたピント位置とを比較することでピント位置のずれ量が求まる。

請求項４に係る発明は、請求項３に記載の鏡筒の検査方法において、光軸上の前記チャートと同一平面をなすように配置された複数のチャートのそれぞれについて、前記撮像手段を移動させながら算出したＭＴＦ値から、それぞれのピーク位置を求め、これらピーク位置について、光軸上の前記チャートから算出されたピント位置に対するずれ量を求める鏡筒傾き算出工程を備えることを特徴とする。
この鏡筒の検査方法では、他のチャートに対してＭＴＦ値算出工程と、鏡筒傾き算出工程とを実行することで、光軸上のチャートに対するＭＴＦ値のピーク位置からのずれ量、及びずれ方向が求められ、これに基づいて鏡筒の傾きや、像面湾曲収差の検査を行うことができる。

本発明によれば、光軸上のチャートについて鏡筒を介して得られる像を、撮像手段を移動させながら取り込んで、ＭＴＦ値を算出し、このＭＴＦ値に基づいて鏡筒のずれ量を求めるようにしたので、実写時の撮影像にコントラストや解像を正しく合致させることが可能になり、鏡筒の検査を精度良く行うことが可能になる。また、複数のチャートについてのＭＴＦ値を算出し、光軸上におけるＭＴＦ値と比較するようにすると、鏡筒の傾きなどを精度良く、すみやかに検査することが可能になる。

発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は本発明が適用される鏡筒の検査装置の概略構成を示し、図２は図１の要部の斜視図を示す。図３は検査装置により得られる各チャートに対するＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ；変調伝達関数）値の測定結果の一例を示すグラフである。
図１に示すように、鏡筒の検査装置１は、レンズ２ａを含む被検鏡筒２の一端部が取り付けられる被検鏡筒取付治具３を有し、被検鏡筒２の他端部側には、チャート４が離間して配置されている。チャート４は、被検鏡筒２の光軸上での測定に用いられる測定チャート４ａと、この測定チャート４ａと同一の平面上に配置される４つの測定チャート４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅとを備えている。測定チャート４ｂは、被検鏡筒２の第１象限に対応した位置に設けられており、測定チャート４ｃは、第２象限に対応した位置に設けられている。測定チャート４ｄは、被検鏡筒２の第３象限に対応した位置に設けられており、測定チャート４ｅは、第４象限に対応した位置に設けられている。これら４つの測定チャートは、測定チャート４ａを中心として、被検鏡筒２が使用される撮像素子や、フィルムの縦横比に応じた位置に配置されている。例えば、縦横比３：４の撮像素子を使用する被検鏡筒２の場合では、測定チャート４ａを通る水平線と、測定チャート４ａ及び測定チャート４ｂを通る直線とのなす角は、ｔａｎ^−１（３／４）＝３６．８７°となる。測定チャート４ａと測定チャート４ｂとの間の距離は、使用する撮像素子の大きさと、被検鏡筒２の倍率、チャート４までの距離で決まる。なお、各測定チャート４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅは、例えば、裏面に照明装置を配置したスリット、又はピンホールによって構成されている。

被検鏡筒２の一端部側で、被検鏡筒取付治具３から所定長離れた位置には、被検鏡筒２を介してチャート４を撮影する撮影手段である撮像ヘッド５が配置されている。撮像ヘッド５には、撮像レンズ６を介して入力される光学信号を電気信号に変換する光電変換素子５ａが内蔵されている。図２に示すように、撮像ヘッド５は、撮像レンズ６の光軸に平行なＺ方向に移動自在なＺ軸ステージ７上に取り付けられている。Ｚ軸ステージ７は、光軸に直交するＹ方向に移動自在なＹ軸ステージ８上に取り付けられており、Ｙ軸ステージ８は、Ｚ方向及びＹ方向に直交するＸ方向に移動自在なＸ軸ステージ９上に取り付けられている。各軸ステージ７，８，９の駆動は、それぞれＸ軸モータ１０、Ｙ軸モータ１１、及びＺ軸モータ１２によって行われ、これらモータ１０，１１，１２は、図１に示す位置制御部１３に接続されている。位置制御部１３は、モータ１０，１１，１２の駆動量の制御を行う位置制御手段である。また、位置制御部１３には、メモリが設けられており、このメモリには撮像ヘッド５の基準位置の情報や、被検鏡筒２の光軸上の焦点位置の情報などが予め格納されている。

また、撮像ヘッド５には、映像信号生成部１４が接続されており、撮像ヘッド５の光電変換素子５ａで光電変換された信号が映像信号に変換されるようになっている。映像信号生成部１４の出力先には、画像メモリ部１５が設けられており、画像メモリ部１５は、位置制御部１３から出力される撮像ヘッド５の位置決め完了信号を受け取ったら、映像信号生成部１４から映像信号を取り込んで、ＭＴＦ値算出部１６に出力するように構成されている。ＭＴＦ値算出部１６は、映像信号を基にしてＭＴＦ値を算出するＭＴＦ値算出手段である。ここで、ＭＴＦ値とは、光学系を通して正弦波チャートや、明暗の縞模様を結像させたときに、対物側のコントラストに対する像側のコントラストの比率を求めた値である。ＭＴＦ値算出部１６には、位置制御部１３が接続されており、ＭＴＦ値の算出が終了したら各ステージ７，８，９を移動させるための移動指令を出力するようになっている。さらに、ＭＴＦ値算出部１６には、被検鏡筒２の傾きを算出する鏡筒傾き算出部１７と、被検鏡筒２の位置ずれを算出する位置ずれ算出部１８と、各部１５，１６，１７で算出したデータを表示する表示部１９とが接続されている。位置ずれ算出部１８には、位置制御部１３が接続されており、各モータ１０，１１，１２の移動指示量、移動指示量から算出される各ステージ７，８，９の位置情報が入力されるようになっている。

ここで、鏡筒の検査装置１の測定結果について図３を参照して説明する。なお、図３には、各測定チャート４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅに対するＭＴＦ値の変化の一例を示すもので、横軸は、Ｚ軸ステージ７の移動量、つまりデフォーカス量を示し、縦軸はデフォーカス量に対する指定周波数でのＭＴＦ値を示している。また、図３において、各グラフの配置は、各測定チャート４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅの配置に対応させてある。

グラフＡは、光軸用の測定チャート４ａについての測定結果を示すもので、撮像ヘッド５の中央に測定チャート４ａの像が写るようにＸ軸ステージ９、Ｙ軸ステージ８を移動させた状態で、Ｚ軸ステージ７を移動させて、デフォーカスしながら取得した指定周波数でのＭＴＦ値の変化を示している。Ｐ０は、光軸上の被検鏡筒２のＭＴＦ値のピーク位置である。
グラフＢは、第１象限用の測定チャート４ｂについての測定結果を示すもので、撮像ヘッド５の中央に測定チャート４ｂの像が写るようにＸ軸ステージ９、及びＹ軸ステージ８を移動させた状態で、Ｚ軸ステージ７を移動させてデフォーカスしながら取得した指定周波数でのＭＴＦ値の変化を示している。Ｐ１は、第１象限でのＭＴＦ値のピーク位置である。
グラフＣは、第２象限用の測定チャート４ｃに対して、撮像ヘッド５の中央に測定チャート４ｃの像が写るようにＸ軸ステージ９、及びＹ軸ステージ８を移動させた状態で、Ｚ軸ステージ７を移動させてデフォーカスしながら取得した指定周波数でのＭＴＦ値の変化を示している。Ｐ２は、第２象限でのＭＴＦ値のピーク位置である。
グラフＤは、第３象限用の測定チャート４ｄに対して、撮像ヘッド５の中央に測定チャート４ｄの像が写るようにＸ軸ステージ９、及びＹ軸ステージ８を移動させた状態で、Ｚ軸ステージ７を移動させてデフォーカスしながら取得した指定周波数でのＭＴＦ値の変化を示している。Ｐ３は、第３象限でのＭＴＦ値のピーク位置である。
グラフＥは、第４象限用の測定チャート４ｅに対して、撮像ヘッド５の中央に測定チャート４ｅの像が写るようにＸ軸ステージ９、及びＹ軸ステージ８を移動させた状態で、Ｚ軸ステージ７を移動させてデフォーカスしながら取得した指定周波数でのＭＴＦ値の変化を示している。Ｐ４は、第４象限でのＭＴＦ値のピーク位置である。

次に、このように構成される鏡筒の検査装置１における検査手順について、図１、図３、及び図４を参照して説明する。なお、図４は、被検鏡筒の検査方法を示すフローチャートである。
まず、被検鏡筒２を被検鏡筒取付治具３に取り付けたら、ステップＳ１として、光軸結像位置まで撮像ヘッド５を移動させる。具体的には、位置制御部１３からの指示によってモータ１０，１１，１２を駆動させ、対応するステージ７，８，９の位置制御を行い、撮像ヘッド５を被検鏡筒２の光軸上の焦点位置と撮像レンズ６の焦点位置とが合致する位置の近傍に移動させる。なお、被検鏡筒２の光軸上の焦点位置は、予め位置制御部１３にメモリされているデータが使用される。

撮像ヘッド５の移動が完了したら、ステップＳ２として、被検鏡筒２、及び撮像レンズ６を通して得られる光軸上の測定チャート４ａのチャート像を検出する。この際に、画像メモリ部１５は、被検鏡筒２を通して測定チャート４ａのチャート像を撮像ヘッド５で写した画像から画像メモリ部１５で生成した光量のピーク値と、映像信号生成部１４から出力される映像信号内の光量ピーク位置とを確認しながら、画像メモリ部１５と位置制御部１３とで情報を交換しつつ、撮像ヘッド５の位置制御を行い、取得した信号から画像メモリ部１５で形状や光量に応じたチャート像として検出する。
ステップＳ３では、位置制御部１３が予めメモリされている指定量でＺ軸ステージ７を光軸と平行に移動させ、撮像ヘッド５をデフォーカス位置に移動させる。
ステップＳ４では、ＭＴＦ値算出部１６が、映像信号生成部１４、画像メモリ部１５から取得する信号に基づいて、この状態における映像信号のＭＴＦ値を算出する。

ステップＳ５では、位置制御部１３に予めメモリされている光軸上の被検鏡筒２の全てのデフォーカス範囲でＭＴＦ値を算出したか否かを位置制御部１３で判断し、全てのデフォーカス範囲でＭＴＦ値の算出が完了するまでステップＳ３、ステップ４を繰り返す。これにより、図３のグラフＡに示すように、Ｚ軸移動量、つまりデフォーカス量（横軸）で、例えば、−０．５ｍｍ、−０．４ｍｍ、−０．３ｍｍ、・・・、０．４ｍｍ、０．５ｍｍというように、位置制御部１３の指定量に応じて変化させつつ測定し、各位置でのＭＴＦ値が算出される。

ステップＳ６では、前述のステップＳ３、Ｓ４で算出した光軸上での被検鏡筒２のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ０を、ＭＴＦ値算出部１６で算出する。このとき、表示部１９は、グラフＡにおいて、ピーク位置Ｐ０が被検鏡筒２のＺ方向の基準位置（Ｚｄ＝０ｍｍ）として中央に配置されるように表示する。さらに、位置制御部１３は、ピーク位置Ｐ０におけるＸ軸ステージ９、Ｙ軸ステージ８、及びＺ軸ステージ７の位置情報を位置ずれ算出部１８に送る。位置ずれ算出部１８は、位置制御部１３から受け取ったピーク位置Ｐ０における各ステージ７，８，９の位置情報と、各ステージ７，８，９の基準位置として予め位置制御部１３にメモリされている位置情報との差を演算し、光軸に対する中心ずれを算出する。同様にして、ピーク位置Ｐ０におけるＺ軸ステージ７の位置情報、つまり実測したピント位置と、ピント合わせの基準位置として予め位置制御部１３にメモリされているＺ軸ステージ７の位置情報とから、ピント位置ずれを算出する。

ステップＳ７では、位置制御部１３からの指示により、必要なモータ１０，１１，１２を駆動させ、対応するステージ７，８，９の位置を制御し、撮像ヘッド５を予め位置制御部１３にメモリされている被検鏡筒２の第１象限の焦点位置と、撮像レンズ６の焦点位置とが合致する位置の近傍に移動させる。
ステップＳ８では、被検鏡筒２を通して得られる第１象限用の測定チャート４ｂのチャート像を、形状や光量から画像メモリ部１５で検出する。この際に、画像メモリ部１５は、被検鏡筒２を通して測定チャート４ｂのチャート像を撮像ヘッド５で写した画像から画像メモリ部１５で生成した光量のピーク値と、映像信号生成部１４から出力される映像信号内の光量ピーク位置とを確認しながら、画像メモリ部１５と位置制御部１３とで情報を交換しつつ、撮像ヘッド５の位置制御を行う。
ステップＳ９では、位置制御部１３が予めメモリされている指定量でＺ軸ステージ７を光軸と平行に移動させ、撮像ヘッド５をデフォーカス位置に移動させる。このとき、被検鏡筒２のＦ値、倍率によっては、Ｚ軸ステージ７の移動によって、被検鏡筒２を透過した測定チャート４ｂの像が撮像レンズ６に入射しなくなるので、第１象限用の測定チャート４ｂの像を撮像ヘッド５に入射させるために、Ｚ軸ステージ７の移動と共に、Ｘ軸ステージ９や、Ｙ軸ステージ８を移動させる。
ステップＳ１０で、ＭＴＦ値算出部１６が、映像信号生成部１４、画像メモリ部１５から取得する信号に基づいて、この状態における映像信号のＭＴＦ値を算出する。

ステップＳ１１では、位置制御部１３に予めメモリされている第１象限での被検鏡筒２の全てのデフォーカス範囲でＭＴＦ値を算出したか否かを位置制御部１３で判断し、全てのデフォーカス範囲でＭＴＦ値を算出が完了するまでステップＳ９、ステップＳ１０を繰り返す。これにより、図３のグラフＢに示すように、Ｚ軸移動量、つまりデフォーカス量（横軸）で、例えば、−０．５ｍｍ、−０．４ｍｍ、−０．３ｍｍ、・・・、０．４ｍｍ、０．５ｍｍの位置のＭＴＦ値がそれぞれ算出される。

ステップＳ１２では、前述のステップＳ９、Ｓ１０によって求めた第１象限での被検鏡筒２のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ１を、ＭＴＦ値算出部１６で算出し、表示部１９に図３に示すグラフＢのように、基準位置Ｚｄ＝０を中心にして表示させる。
ステップＳ１３では、第１象限から第４象限までの全ての象限でステップＳ７からステップＳ１２までの処理が終了したか否かを判断し、全ての象限のＭＴＦ値や、そのＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４）を算出するまで、ステップＳ７からステップＳ１２を繰り返す。なお、算出する象限の順番は、任意に選択することができる。
ステップＳ１４では、第１象限のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ１、第２象限のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ２、第３象限のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ３、第４象限のＭＴＦ値の指定周波数でのピーク位置Ｐ４から、被検鏡筒２の片ぼけや、像面湾曲収差を鏡筒傾き算出部１７において算出する。つまり、図３に示すように、第１象限でのＭＴＦ値のピーク位置Ｐ１が＋０．２で、第４象限でのＭＴＦ値のピーク位置Ｐ４が＋０．３５で、共に基準位置に対してプラス側にずれており、第２象限でのピーク位置Ｐ２が−０．３５で、第３象限のＭＴＦ値のピーク位置Ｐ３が−０．２で、共にマイナス側にずれていた場合には、片ぼけ状態になった鏡筒であると判断する。また、全ての象限のピーク位置が基準位置に対して同じ側にずれている場合には、像面湾曲収差がある鏡筒として判断する。このように、実写時の撮影像との対応がとれたＭＴＦ値を用いることで、鏡筒傾き算出部１７で、実写時の撮影像とコントラストや、解像を正しく合致させた状態で判断することができる。

この実施の形態によれば、光軸上、及び各象限に対応する複数の測定チャート４ａ、４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅを用い、光軸上のＭＴＦ値のピーク位置Ｐ０を基準として、各象限のＭＴＦ値のピークＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４を算出するようにしたので、光軸上のピーク位置Ｐ０とのずれ方向、及びずれ量を検査することができる。さらに、光軸上のピーク位置Ｐ０と、各象限のピーク位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４とから、被検鏡筒２の片ぼけや、像面湾曲収差を高精度に検査することが可能になる。

なお、本発明は、前記の実施の形態に限定されずに、その趣旨を逸脱しない範囲で変形させることができる。
例えば、評価部を設け、各ピーク値Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の配置から被検鏡筒２の片ぼけの有無や、像面湾曲集さの有無の判定し、その結果を表示部１９に表示させたり、光軸のずれ量を表示部１９に表示させたりしても良い。このようにすることで、表示部１９を確認するだけで、被検鏡筒２の評価を目視ですみやかに行うことが可能になる。
また、位置制御部１３と、映像信号生成部１４と、画像メモリ部１５と、ＭＴＦ値算出部１６と、鏡筒傾き算出部１７と、位置ずれ算出部１８と、表示部１９とは、パーソナルコンピュータに所定のプログラムを実行させることで実現させることもできる。

本発明の実施の形態における鏡筒の検査装置の概略構成図である。 図１の機構部分を示す斜視図である。 複数の測定用チャートのそれぞれに対するＭＴＦ値の測定結果の一例を示すグラフである。 鏡筒の検査方法を示すフローチャートである。 従来の検査装置の概念を示す図である。

符号の説明

１ 鏡筒の検査装置
２ 被検鏡筒
４ チャート
４ａ 測定チャート（光軸上に配置されたチャート）
４ｂ，４ｃ，４ｄ，４ｅ 測定チャート
５ 撮像ヘッド（撮像手段）
１３ 位置制御部（位置制御手段）
１６ ＭＴＦ値算出部（ＭＴＦ値算出手段）
１８ 位置ずれ算出部（位置算出手段）
１７ 鏡筒傾き算出部（鏡筒傾き算出手段）
Ｓ２、Ｓ８ チャート像を取り込む工程
Ｓ４，Ｓ１０ ＭＴＦ値算出工程
Ｓ６，Ｓ１２ 位置検出工程
Ｓ１４ 鏡筒傾き算出工程

Claims (4)

1. 離間して配置されたチャートを鏡筒を通して撮像し、対応するチャート像を取り込む撮像手段と、該撮像手段の位置を制御する位置制御手段とを有する検査装置において、
   前記チャートについて取り込んだ前記チャート像のＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）値を、前記位置制御手段で前記撮像手段を移動させながら算出するＭＴＦ値算出手段と、
   光軸上に配置された前記チャートに対するＭＴＦ値に基づいて前記鏡筒のピント位置を算出し、前記位置制御手段に予め登録されている前記撮像手段の基準位置に対する前記ピント位置の差を算出する位置算出手段と、
   を備えることを特徴とする鏡筒の検査装置。
2. 光軸上の前記チャートと同一平面をなすように配置された複数チャートのそれぞれについて、前記撮像手段を移動させながら算出したＭＴＦ値から、それぞれのピーク位置を求め、これらピーク位置に対して、光軸上の前記チャートから算出されたピント位置からのずれ量を求める鏡筒傾き算出手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の鏡筒の検査装置。
3. 離間して配置されたチャートを鏡筒を通して撮像し、対応するチャート像を取り込む工程と、
   前記位置制御手段で前記撮像手段を移動させながら取り込んだ前記チャート像のそれぞれについてＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）値を算出するＭＴＦ値算出工程と、
   前記ＭＴＦ値算出手段によって得られた出力から光軸上に配置された前記チャートに対する前記鏡筒のピント位置を算出し、前記位置制御手段に予め登録されている前記撮像手段の基準位置に対する前記ピント位置の差を算出する位置算出工程と、
   を備えることを特徴とする鏡筒の検査方法。
4. 光軸上の前記チャートと同一平面をなすように配置された複数のチャートのそれぞれについて、前記撮像手段を移動させながら算出したＭＴＦ値から、それぞれのピーク位置を求め、これらピーク位置について、光軸上の前記チャートから算出されたピント位置に対するずれ量を求める鏡筒傾き算出工程を備えることを特徴とする請求項３に記載の鏡筒の検査方法。
   
   

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