JPS6224412A - 単磁極型磁気ヘツド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録媒体の厚み方向即ち垂直方向に磁化
して記録し、高密度記録をし得る単磁極型磁気ヘッド装
置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、磁気記録媒体の厚み方向即ち垂直方向に磁化
して記録し、高密度記録をし得る磁気記録媒体摺動面全
形成するスライダとこのスライダの磁気記録媒体摺動面
に主磁極の一端が臨むようになし之単伍極磁気ヘッド素
子とを有する単磁極型磁気ヘッド装置に於いて、スライ
ダを磁性材料によって形成したことによシ、単磁極磁気
ヘッド素子を外部浮遊磁界からシールドし外来磁気ノイ
ズの影響を大幅に低減する様にすると共にスライダを主
磁極の磁束のリターンパスとなるリターンパス部とし記
録再生感度の向上を図シ、もって良好な記録再生を行う
ことが出来る様にしたものである。

〔従来の技術〕

従来、磁気記録媒体の厚み方向部ち垂直方向に磁化して
記録し、冒密度記録をし得る単磁極型磁気ヘッド装置と
して第１２図に示す如きものが提案されている。

この第１２図に於いて（１）は単磁極磁気ヘッド素子上
水し、この単磁硬磁気ヘッド素子（１）は第１３図に示
す如く軟磁性材料薄膜より成り磁気記録媒体（２）に対
接する一端を所定幅とした記録再生用主磁極（３）を非
磁性ガード部材（４ａ）及びその後方に接合された磁気
コア（５＆）と非磁性ガード部材（４ｂ）及びその後方
に接合された非磁性体（５ｂ）とで両側から一体に挟持
接合すると共に軟磁性材料薄膜よ構成シ記録再生用主磁
極（３）より下流側に記録再生用主磁極り３）の幅より
小なる間隔で配されたトンネル消去用主磁極（６ａ）及
び（６ｂ）を非磁性ガード部材（４ｂ）及びその後方に
接合された非磁性体（５ｂ）と非磁性ガード部材（４ｃ
）及びその後方に接合された磁気コア（５ｃ）とで両側
から一体に挟持接合する如くされている。この場合、磁
気コア（５ａ）の非磁性ガード部材（４ａ）の接する側
の記録再生用主磁極（３）の近傍にこの記録再生用主磁
極（３）の補助磁極部（７ａ）とこの記録再生用主磁極
（３）の磁束のリターンパスとなるリターンパス部（７
ｂ）とを分離する溝部（８ａ）が設けられると共に非母
性体（５ｂ）の非磁性ガード部材（４ｂ）に接する側に
所定の溝部（８ｂ）が設けられ、２等溝部（８ｍ）（８
ｂ）を通して記録再生用主磁極（３）に記録再生用巻＃
　（９）が施されている。また磁気コア（５Ｃ）の非磁
性ガード部材（４ｃ）の接する側のトンネル消去用主磁
極（６ｍ）（６ｂ）の近傍にこのトンネル消去用土ａＶ
ｉ（６ａ）（６ｂ）の補助磁極部（１０ｍ）とこのトン
ネル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ）の磁束のリターンパ
スとなるリターンパス部（１０ｂ）と全分離する溝部（
８Ｃ）が設けられ、この溝部（８ｃ）及び非磁性体（５
ｂ）の溝部（８ｂ）を通してトンネル消去用主磁極（６
ｍ）（６ｂ）に消去用巻線（ｌｌｌ）が施されている。

そして、この様に構成された単磁極磁気ヘッド素子（１
）の両側に非磁性材料よ構成るスライダ（１２ａ）及び
（１２ｂ）が夫々接合され、磁気記録媒体（２）全裏側
から押さえる図示しないバットの加重を支え、比較的広
い面積で磁気記録媒体（２）を摺動し、良好に磁気記録
媒体を当接する如くされている。この場合、スライダ（
１２ａ）（１２ｂ）の単磁極磁気ヘッド素子（１）の接
する側には磁気記録媒体の当たシを向上させるための窓
部（１３ｍ　）及び（１３ｂ）が設けられている。

この様に構成された単磁橙型磁気ヘッド装置を例えばフ
レキシブルディスク装置の記録再生用ヘッドとして使用
し磁気記録媒体（２）、例えば合成樹脂のペース（２ｍ
）上にパーマロイ等によるハイミュー磁性材層（２ｂ）
　’？設け、このハイミュー磁性材層（２ｂ）上に記録
層として垂直磁化容易軸をもつ磁性材層（２ｃ）　ｖ設
けた磁気記録媒体に記録するときは、記録再生用主磁極
（３）の記録再生用巻ｍ（９）に記録信号を供給してこ
の記録再生用主磁極（３）によシ垂直磁気記録が行われ
る如くすると共にトンネル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ
）の消去用巻線α■に消去電流（直流）を供給してこの
記録トラックの両側が消去される如くする。

従って、斯る従来例の単磁極型磁気ヘッド装置に依れば
、磁気記録媒体の厚み方向即ち垂直方向に磁化して記録
するので、リング型ヘッド装置に比し極めて高密度の磁
気記録を行えると共に磁気記録媒体（２）の取付は時の
多少のずれ、温度、湿度の変化による伸縮等がありトラ
ックのずれが生じても再書き込み時に前データの消し残
り等が生じることなく、再生時に正確なデータを得るこ
とが出来る。

〔発明が解決しようとする問題点、〕

しかしながら、斯る単磁極型磁気ヘッド装置は、開磁路
構成である為、閉磁路構成のリング型ヘッド装置と異な
シ外来磁気ノイズの影響を受は易く、特に高記録再生感
度になる様に設計された単磁極型磁気ヘッド装置に於い
ては外来磁気ノイズに対しても窩感度になってしまい極
めて外来８気ノイズの影音を受は易いという不都合があ
った。

本発明は、斯る点に鑑み、単磁極磁気ヘッド素子（１）
を外部浮遊磁界からシールドし外来磁気ノイズの影響を
大幅に低減する砂にすると共にスライダ（１２ａ）（１
２ｂ）を主磁極（３）　（６ｍ）（６ｂ）の磁束のリタ
ーンパスとなるリターンパス部とし記録再生感度の向上
を図り、もって良好な記録再生をし得る単磁極型磁気ヘ
ッド装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、第１図に示す如く、磁気記録媒体摺動面Ｓを
形成するスライダ（１２ａ）（１２ｂ）と、このスライ
ダ（１２ｍ）（１２ｂ）の磁気記録媒体摺動面Ｓに主磁
極（３）の一端が臨むようになした単磁極磁気ヘッド素
子（１）とを有する単磁極型磁気ヘッド装置において、
スライダ（１２ａ）（１２ｂ）を磁性材料により形成し
たものである。

〔作　用〕

斯る本発明に依れば、スライダ（１２ｍ）（１２ｂ）は
磁性材料によシ形成されているので、このスライダ（１
２ａＸ１２ｂ）　ｌ’を単磁極磁気ヘッド素子（１）を
外部浮遊磁界からシールドし、外来磁気ノイズの影響を
低減することが出来る。

ま几スライダ（１２ｍ）（Ｚ２ｂ）は記録再生用主磁極
（３）の磁束のリターンパスとなるリターンパス部を形
成し、記録再生感度を向上させることが出来る。

〔実施例〕

以下、第１図及び第２図を参照して本発明の単磁極型磁
気ヘッド装置の一実施例につき説明しよう。この第１図
及び第２図に於いて第１２図及び第１３図に対応する部
分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。

この第１図に於いて（１）は単磁極磁気ヘッド素子を示
し、この単磁極磁気ヘッド素子（１）を第２図に示す如
く軟磁性材料薄膜よ構成シ磁気記録媒体（２）に対接す
る一端を所定幅とした記録再生用主磁極（３）を非磁性
ガード部材（４ａ）及びその後方に接合した磁気コア（
５ａ）と非磁性ガード部材（４ｂ）及びその後方に接合
した非磁性体（５ｂ）とで両側から一体に挟持接合する
と共に軟磁性材料＃膜より成り記録再生用主磁極（３）
よシ下流側に記録再生用主磁極（３）の輪よシ小なる間
隔で配したトンネル消去用主磁極（６ａ）及び（６ｂ）
を非磁性ガード部材（４ｂ）及びその後方に接合した非
母性体（５ｂ）と非磁性ガード部材（４ｃ）及びその後
方に接合した磁気コア（５ｃ）とで両側から一体に挾持
する如く構成する。この場合、磁気コア（５ｍ）の非磁
性ガード部材（４ａ）の接する側の記録再生用主磁極（
３）の近傍にこの記録再生用主磁極（３）の補助磁極部
（７ａ）とこの記録再生用主磁極（３）の磁束のリター
ンパスとなるリターンパス部（７ｂ）とを分離する溝部
（８ａ）を設けると共に非磁性体（５ｂ）の非磁性ガー
ド部材（４ｂ）に接する側に所定の溝部（８ｂ）を設け
、応等溝部（８ｍ）（８ｂ）を通して記録再生用主磁極
（３）に記録再生用巻線（９）を施こす。

１念磁気コア（５Ｃ）の非磁性ガード部材（４Ｃ）の接
する側のトンネル消去用主磁極（６ａＸ６ｂ）の近傍に
このトンネル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ）の補助磁極
部（ＩＯａ）とこのトンネル消去用主磁極（６ｍ）（６
ｂ）の磁束のリターンパスとなるリターンパス部（１０
ｂ）とを分離する溝部（８ｃ）を設け、この溝部（８ｃ
）及び非磁性体（５ｂ）の溝部（８ｂ）を通してトンネ
ル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ）に消去用巻線αηを施
こす。

１＋、この様に構成された単磁極磁気ヘッド素子（１）
の両側に磁性材料より成るスライダ（１２ａ）及び（１
２ｂ）を夫々接合し、磁気記録媒体（２）を裏側から押
える図示しないバットの加重を支え、比較的広い面積で
磁気記録媒体（２）を指動し得る如くする。

この場合、スライダ（１２ｍ）（ｘｚｂ）の単磁極磁気
ヘッド素子（１）の接する側には磁気記録媒体の当ｌｊ
）を同上させる次めの窓部（１３ｍ）（１３ｂ）を夫々
設ける。

ここで斯る単磁極型缶気ヘッド装置を製造する場合につ
き第３図以下を参照して説明する。

先ず第３図Ａに示すように２つの非磁性ブロック材α→
及びαりを用意する。この非磁性ブロック材α→αυは
緻密で、フェライトと同程度の膨張率を持ち硬い材料が
良い（例えば非ミ性フエライ）　（Ｚｎフェライト）、
フォルステライト、フオトセラム、結晶化ガラス、チタ
ン酸バリウム、チタン酸カルシウム、Ａｔ２０３−Ｔｉ
Ｃ系のセラミックスｚｒＯ□等）。

一方の非磁性ブロック材α復に後に巻線穴（８ａ）とな
る溝αＱを所定の寸法、間隔で付ける（第４図Ｂ）。

次に溝入れした面を鏡面研磨する。もう一方の非出性ブ
ロック材卿も鋳面研磨する。次にこの２つの非磁性ブロ
ック材をガラス融着、エポキシ樹脂等の有機接着剤、水
ガラス等の無機接着剤等で接着する（第４図Ｃ）。次に
溝αＱの中間で溝αＱと並行に切断して切断面を鏡面研
磨する。この時巻線穴（８ｂ）の部分のコアーの厚さく
Ｗ、　、Ｗ２）は巻線径を与えることになるので重要で
、記録再生感度を良くするためには巻線径は小さいほど
良いからコアーの厚さは薄いほど良い。従って機械的強
度が許すかぎり、又加工が可能なかぎり薄くすることが
望ましい。例えば１００μｍ以下、できれば５０μｍ以
下が望ましい。特に感度を要求される録再巻線側を薄く
したい。トンネル消去側は録再側はど感度を要求されな
いので、全体としての強度を保つため録再側を薄く、ト
ンネル消去側をそれより厚くすることも考えられる。又
研磨面と側面（第４図りで正面図）を高精度に直角にす
ると同時にエツジ部分のカケを少なくして、エツジが正
しく出るようにする。例えば第４図Ｂで正面になってい
る面を最初から鏡面研磨しておき、それに高精度で直角
に溝を入れることによってこの条件を比較的容易に実現
できる。

次に第４図Ｅに示す工うに鏡面研磨面に記録再生用主磁
極（３）とトンネル消去用主磁極（６ａ）（６ｂ）を作
る。作シ方としてはまず両灯磨面に５ｓ０２゜８１３Ｎ
４　ｔ　１１２０５．　ＺｒＯ２等の膜をスパッタ、蒸
着、イオンプレーテング等の方法で、０．１〜１．０μ
ｍ程度付ける。できるだけ緻密な膜ができる条件で付け
るが良い。この膜は付けなくても良いが、付けることに
よってこの上に付ける磁性薄膜の磁気特性を改善できる
。次にまず一方の面（第４図りでＷｌとＷ２が等しくな
い場合は、小さい側）に記録再生用主磁極（３）となる
磁性薄膜（パーマロイ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ　、　
Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ等のアモルファス磁性膜等の高透磁率
磁性膜）をスｔ４ツタ、蒸着、イオンプレーテング、メ
ッキ等の方法で０．０５μｍ〜３μｍ程度付ける。この
厚さは必要とする分解能、録再感度等を勘案して決めら
れる。０．１μｍ〜０．５μｍ程度が実用的である。次
にこの磁性膜を所定のトラック幅と間隔でストライプ状
になるようにホトエツチング（湿式、ドライ）する。こ
のとき後に付けるトンネル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ
）との位置合わせをするため基準にする端から所定の位
置にストライプがくるようにする。この磁性膜の形状は
ストライプ状ではなく第４図に示すように接合部以下の
部分をより広い幅にしても良い、これによって高感度に
できる。更にこの上に保護膜として８１０２＄　８１．
Ｎ４．　Ａｔ２０．等の硬い膜をスノ母ツタ、蒸着、イ
オンプレーテング等の方法で０．１μｍ〜３μｍ程度付
ける。次に反対側の面にトンネル消去用の主磁極となる
磁性＃膜（・１−マロイ、センダスト、Ｃｏ−Ｚｒ　、
Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ等のアモルファス磁性膜等）を０．１
〜５μｍ程度スノ臂ツタ、蒸着、イオンプレーテング、
メッキ等の方法で付ける。厚さは消去の感度が最モ良い
ところにセットされるか、多くの場合、０．５〜１μｍ
Ｗ度が適当である。次にそれぞれの録再硼性膜に対応し
て所定の幅で、２本の対になったストライプ状の磁性膜
にホトエツチングする。その上に保循膜としてＳ　ｉ　
０２　ｅ　Ｓ　ｉ　５Ｎａ　＃Ａｚ２ｏ３等の硬い膜を
スパッタ、蒸着、イオンプレーテング尋の方法で０．１
μｍ〜３μｍ程度付ける。ｌ・ンネル消去用砲性換の形
は第５図のようにしてもよい。

第６図は記録再生用主磁極（３ンとトンネル消去用主磁
極（６ａ）（６ｂ）の相互位置関係を示す。記録再生用
主磁極（３）の幅Ｔ、はトンネル消去用主磁極（６ａ）
（６ｂ）の間隔Ｔ。よシ広くなっている。記録再生用主
磁極（３）で記録され几後、トンネル消去用土ａ極（６
ｍ）（６ｂ）で端が消されるので最終的に記録されるト
ラック幅はトンネル消去用主磁極（６＆）及び（６ｂ）
の間＠Ｔｏに等しくなる記録再生用主磁極（３）とトン
ネル消去用主磁極（６ｍ）（６ｂ）は高精度に位置合わ
せをする必要がある。最初記録再生用主磁極（３）を基
板の端から高精度に位置決めしておき、次にトンネル消
去用主磁極（６ａ）（６ｂ）も端苓基樵にして位置決め
を行う、そのため前に述べたように基準にする側面は直
角でエツジがシャープになっている必要がある。別の位
置決め方法として、透明な基板を用い（接合しであるの
でどちらか一方が透明であれば充分である）２回目の磁
極のパターンニングを行うとき裏側からパターンの位置
を確認して、位置決めをする方法も考えられる。

次に第３図Ｆに示す複合ブロックを用意する。

この複合ブロックは第７図Ａ−Ｃに示す如く作る。

第９図Ａに於いて先ず、非磁性板状ブロックαηと磁性
材ブロックαＢとを用意する。この非磁性板状ブロック
αηとしては非磁性フェライト（Ｚｎフェライト）、フ
ォルステライト、フオトセラム、結晶化ガラス、チタン
所バリウム、チタン酸カリウム、Ａｔ２０３−ＴｉＣ系
のセラミックス等より構成し得二また磁性材ブロックα
均はＭｎ−Ｚｎ系、Ｎ１−Ｚｎ系フエライト等より構成
し得るが、非磁性板状ブロックαη及び磁性材ブロック
α椋はその熱膨張率が近似することが望まれ、これがた
め非磁性板状ブロック（１７）及び磁性材ブロックα樽
は夫々非磁性及び磁性フェライトより構成することが望
ましい。この非磁性板状ブロックα力及び磁性材ブロッ
ク０樽の夫々の一面を鏡面研磨する。次に磁性材ブロッ
ク（１８の鏡面研磨面（１８ｍ）に溝α鴫を所要間隔で
形成する。この場合、溝（至）に段差（１９ａ）を設け
る。まだ非磁性板状ブロックαηの鏡面研磨面（１７ｍ
）の磁性材ブロック０樟の鏡面研磨面（１８ａ）に対応
する位置に溝（１７ｂ）を形成し、その面を鏡面研磨す
る。この状態で磁性材ブロック（２）の鏡面研磨面（１
８ａ）に非磁性板状ブロックαηの鏡面研磨面（１７Ｃ
）を対向させて接合する。この接合はガラス融着或いは
エポキシ接着剤、若しくは無機系接着剤或いは水ガラス
等の接着剤−によって行い得るが、ガラス融着が望まし
く後の工程で再びガラス融着することがあるので２度目
の融着て溶融しない程度に高温のガラスを用いる。次に
、鎖線ｆｆ１１　＋　ｍ２　＊　ｒｆ１３・・・に示す
面に沿つて非磁性板状ブロック◇りと磁性材ブロック０
痔の接合体を所要の厚さに非磁性板状ブロックαη及び
磁性材ブロック（ｌ樽を横切るように切断して一方の複
合ブロックＱ］）を切出す。同、第８図に非磁性板状ブ
ロック（１７）と磁性材ブロック０８）との接合部を示
す如く接合面の間隔δ１及びδ２を夫々充分小さくする
様に接合する。その為、非磁性板状ブロックαηの＠　
（１７ｂ）の深さｂを磁性材ブロックα的の溝α９の段
差（１９ａ）までの深さａよりも大きくすると良い。

そこで、この複合ブロックを第３図Ｅの両側からガラス
融着、エポキシ樹脂等の有機接着剤、水ガラス等の無機
接着剤で接着する（第３図Ｇ）。

その後各ヘッドに切断する。

次に第３図Ｈに示す如き磁性材例えばＭｎ−Ｚｎ系、Ｎ
ｉ−Ｚｎ系フェライト等で形成したスライダ（１２ａ）
（１２ｂ）を用意し、２等スライダ（１２ａ）（１２ｂ
）を第３図Ｇで作ったヘッドブロックの両側から接合す
る（第３図Ｉ）。この場合スライダ（１２ａ）（１２ｂ
）の窓部（１３ｍ）（１３ｂ）の長さｄをヘッドブロッ
クの溝（８ａ）と溝（８ｃ）との外側壁間距離ｅよυも
犬となる如くして巻線スペースを確保する。

次に摺動面を球面研磨し記録再生用巻線（９）及びトン
ネル消去用巻線αやを巻線して一第１図に示す如くする
。

斯る本実施例に依れば、スライダ（１２ａ）（１２ｂ）
は磁性材料によシ形成されているので、このスライダ（
１２ｍ）（１２ｂ）は単磁極磁気ヘッド素子（１）を外
部浮遊磁界からシールドし、外来磁気ノイズの影響を低
減することが出来るという利益がある。

またこのスライダ（１２ａ）（１２ｂ）は記録再生用主
磁極（３）及びトンネル消去用主磁極（６ａ）（６ｂ）
の夫々の磁束のリターンパスとなるリターンパス部を形
成し、記録再生感度を向上させることが出来るという利
益がある。

従って、良好な磁気記録再生をすることが出来るという
利益がある。

尚磁極の長さＬｍが記録再生感度に大きな影響を与え、
高感度にしようとすると短かくする必要がある。しかし
第２図に示すような構造ではＬｍを短かくしていくと巻
線穴の部分が薄くなシ、ついには穴があくことになる。

そこで複合基板の接合部を傾斜させることを考えた。第
９図がそのヘッドの断面図である。中央の磁性薄膜付ブ
ロックは第３図と同じである。両側のブロックは第１０
図に示すようにして作る。その他の手順については第３
図と同じである。このようにすることによってＬｍを小
さくしても巻線大部分のガード材の強度を保つことがで
きる。この場合にも本発明を適用することが出来、同様
の作用効果を得ることが出来る。

また本発明は第１１図に示す如き平面型スライダ付ヘッ
ド装置にも同様に適用することが出来、同様の作用効果
を得ることが出来る。

更に本発明は上述実施例に限らず、本発明の要旨を逸脱
することなくその他種々の構成が取シ得ることは勿論で
ある。

〔発明の効果〕

本発明に依れば、スライダは磁性材料により形成されて
いるので、このスライダは単磁極磁気ヘッド素子を外部
浮遊磁界からシールドし、外来磁気ノイズの影響を低減
することが出来るという利益がある。

またスライダは記録再生用主磁極の磁束のリターンパス
となるリターンパス部を形成し、記録再生感度を向上さ
せることが出来るという利益がある。

従って、良好な磁気記録再生をすることが出来るという
利益がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明単磁極型磁気ヘッド装置の一実施例を示
す斜視図、第２図は本発明の一実施例を示す断面図、第
３図は本発明の一実施例の製造例を示す線図、第４図、
第５図、第６図、第７図及び第８図は夫々第３図の説明
に供する線図、第９゛図、第１０図及び第１１図は夫々
本発明の他の実施例の説明に供する線図、第１２図は従
来例を示す斜視図、第１３図は従来例を示す断面図であ
る。 （１）は単磁極磁気ヘッド素子、（１２ｍ）及び（１２
ｂ）は夫々スライダである。 本イ【８月の一賞方怪イ号り１示１命ヰ中追ｍ第１図 第２図 第３図ｒ説明１；侑７５植図 第８図 町　’ｎ２　１ｎ３ 第１０図 住Ｔ５刑Ｕコ 第９図 本千【日月のイｔ！め９（六乞イ列め水先日月１；イ共
１っ子集（幻第１１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気記録媒体摺動面を形成するスライダと、該スライダ
   の上記磁気記録媒体摺動面に主磁極の一端が臨むように
   なした単磁極磁気ヘッド素子とを有する単磁極型磁気ヘ
   ッド装置において、上記スライダを磁性材料により形成
   したことを特徴とする単磁極型磁気ヘッド装置。