JPS62241340A - 真空乾燥処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、純水で洗浄後のウェハーを乾燥するに適した
真空乾燥処理方法に関するものである。

従来の技術 一般に、ウェハーの乾燥処理にあたっては遠心分離方法
が適用されているが、その高速回転時にウェハーを振動
等で破損し易くまたウェハーのスリット内に付着する水
分を完全に除去できない欠点があるため、これに代える
乾燥処理方法の開発が望まれている。

従来、この種の乾燥処理方法としては所定の圧力に減圧
する気密室内に電界を形成する対向電極を設け、その電
極に高周波電圧を印加して減圧雰囲気をプラズマ化し、
所定の保持具で支持した被乾燥物をプラズマ中に配置し
て洗浄液の蒸発潜熱を補給することにより被乾燥物を減
圧乾燥する方法が知られている（特開昭５１−６７５６
８号）。

発明が解決しようとする問題点 然し、この方法では被乾燥物の表面に間断なく衝突する
プラズマイオン及び電子の運動エネルギーが洗浄液の蒸
発潜熱に一部変換させることにより被乾燥物に残留する
洗浄液を氷結させずに乾燥処理することができるものの
、それをウェハーの乾燥処理に適用するときにはウェハ
ーを変質させまたは表面にスーパツタ皮膜を形成してし
まう虞れがあるところから好ましくない。

問題点を解決するための手段 本発明に係る真空乾燥処理方法においては、被乾燥物を
収容するベルジャーの内部を所定の真空圧に降圧すると
共に、ターンテーブルで低速回転する被乾燥物を赤外線
ヒータで略常温下に加熱し、その加熱で水分の蒸発潜熱
を補給しつつ被乾燥物を乾燥処理するようにされている
。

作　　用 この真空乾燥処理方法では、略常温下に加熱して水分の
蒸発潜熱を補給しつつ真空下で水分を昇華することによ
り水分の氷結をウェハーに付着したままで生じさせずに
スリット内の水分も効率よく蒸発させ得るため、ウェハ
ーの乾燥に適用してもウェハーを変質する虞がなく、ま
たウェハーの全体に加熱照射するべく低速で回転するだ
けであるからウェハーを損傷する如き事態が生ずること
もない。

実施例 以下、添付図面を参照して説明すれば、次の通りである
。

第１図に示す乾燥装置はクリーンルーム中で純水洗浄後
のウェハーをキャリアと共に真空乾燥するものであり、
ベルジャー１ｏは真空度５×１０−’Ｔｏｒｒ程度に到
達可能に構成されている。その本体は内面がパフ、電解
研摩で平滑面に形成され、また第２図に示す如く機体側
に装備するエアーシリンダ１１でベースプレート１２か
らリフトアップ可能に取付けられている。このベルジャ
ー１０の内部にはテフロン製等のキャリア１３で洗浄し
た複数枚のウェハーＸを支持して収容するものであり、
そのキャリア１３は３０　ｒｐｍ程度の低速で回転駆動
するターンテーブル１４上に載置されるようになってい
る。また、ベルシ′°ヤー１０の内部には上下二つの赤
外線ヒータ１５，１６が取付けられている。この赤外線
ヒータ１５，１６どしてはタングステン製等を用いるこ
とができ、上部側はベルジャー内のっ吊込み型でまた下
部側はベースプレート１２の据付は型で構成することが
できる。これらは例えば８インチキャリア１３゜ウェハ
ーＸを被乾燥物とするときには２００Ｗ程度のものを用
いればよく、その各ヒータ１５゜１６では被乾燥物を略
常温の４０を以下に加熱することにより被乾燥物に付着
する水分の蒸発潜熱を補給する。

この乾燥処理装置は、第２図で示す回路系でベルジャー
１０の真空処理並びに凝結水の排出処理を行うことがで
きる。その回路系中、２ｏは主バルブ、２１．２２はリ
ークバルブ、２３はフィルター、２４はトラップ、２５
はオートドレン弁、２６は冷凍機、２７は水冷クーラー
、２８は油回転ポンプ、２９は油清掃装置である。

この乾燥処理装置では、リフトアップしたベルジャー１
０内で位置決め停止されているターンテーブル１４に手
動またはロボットで被乾燥物Ｘを挿入し、その後にベル
ジャー１ｏを降下させた状態で主バルブ２０．リークバ
ルブ２１を開くと共にリークバルブ２２を閉じて真空引
きを開始する。この排気は貫通ダクトを介してクリーン
ルーム外に排出される。その真空圧が所定圧に達したと
き、例えば８インチキャリア、ウェハーを被乾燥物とす
る場合には第３図で示す如く真空圧４６〜４５　Ｔｏｒ
ｒ程度に達すると、上、下部の各ヒータ１５．１６を作
動する。この各ヒータ１５゜１６は２００Ｗ程度のもの
であるため、被乾燥物は４０℃以上に温度上昇すること
はない。また、そのヒータ１５．１６による加熱はター
ンテーブル１４が３０　ｒｐｍ程度の低速で回転駆動す
ることにより被乾燥物Ｘの全体に均等に作用する。この
状態でベルジャー１０の内圧が３０　Ｔｏｒｒ程度に達
すると、キャリア１３．ウェハーＸに付着する水分が蒸
発を開始し、その蒸発はウェハーＸのスリット内に付着
するものでも迅速に生じてベルジャー内圧が２　Ｔｏｒ
ｒ程度に達する時点には略完全に終了する。この蒸発開
始から終了までキャリア１３、ウェハーＸは略常温下に
晒されているため、その加熱で被乾燥物Ｘに蒸発潜熱を
補給することによりベルジャー１０の内圧を急速に降下
させても被乾燥物Ｘに水分が付着したままで氷結するこ
とがない。

その蒸発気化した水分はベルジャー１０からトラップ２
４に排出し、ここで氷結水と帯熱低圧とを分離させるこ
とにより帯熱低圧のみを冷凍機２６に送ると共にクーラ
ー２７で常温高圧に戻す。しかる後、常温高圧をトラッ
プ２４に帰還させ、この常温高圧でトラップ２４内に溜
めた氷結水を加熱溶解することによりドレン弁２５から
機外に排出することができる。

被乾燥物の水分気化蒸発を完全に終了すると、ヒーター
１５．１６を閉成し、それと共に主バルブ２０．リーク
バルブ２１を閉じてリークバルブ２２を開くことにより
、ベルジャー１０の内圧を上昇する。この際にリークバ
ルブ２２にはフィルター２３が接続されているため、清
浄なエアがベルジャー１０に供給される。ベルジャー１
０の内圧が大気圧に達すると、ベルジャー１０をリフト
アップして被乾燥物Ｘを取出すことにより乾燥処理を終
了する。

発明の効果 以上の如く、本発明に係る真空乾燥処理方法に依れば、
略常温に加熱する赤外線ヒータで被乾燥物に水分の蒸発
潜熱を補給するところから被乾燥物を変質し或いは損傷
させずに効率よく乾燥処理を行うことができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空乾燥処理方法を実施するベル
ジャーの内部構造を示す説明図、第２図は同ベルジャー
の真空、凝結水処理の系統図、第３図は同ベルジャーに
よる真空圧と水分気化蒸発との関係を示すグラフである
。 １０：ベルジャ−，１４：ターンテーブル、１５．１６
：赤外線ヒータ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被乾燥物を収容するベルジャーの内部を所定の真空圧に
   降圧すると共に、ターンテーブルで低速回転する被乾燥
   物を赤外線ヒータで略常温下に加熱し、その加熱で水分
   の蒸発潜熱を補給しつつ被乾燥物を乾燥処理するように
   したことを特徴とする真空乾燥処理方法。