JPS62239036A - 微粒子検出セルの構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は微粒子検出器の検出セルのノズルと吸入パイ
プの接続構造に関するものである。

［従来の技術］ 半導体の製造１−場などにおいては、塵埃を排除したク
リーンルームにおいて作業が行われている。

最近におけるＩＣの高密度化にともない、クリーンルー
ムは高度の清浄度が要求されており、清浄度を測定する
微粒子検出器の性能もこれに対応することが必要である
。

従来使用されている微粒子検出器における、検出セルの
構造の１例を第３図により説明する。

第３図（ａ）は検出セルとその周辺の断面を示す。

金属製で直交２軸の方向に１４１通孔を有する検出セル
１において、該！！１通孔の１軸に噴射ノズル２を挿入
し、フランジ２−１を０リング２−３を介在させてボル
ト２−２で同定する。これに対応して反対側にυ１出ノ
スル３を挿入し、そのフランジ３−１をボルト３−２で
固定する。フランジ２−１には図（Ｃ）で示す継手４を
用いて吸入パイプ５を接続する。吸入パイプ５の吸入ｒ
ｌ　８から吸入されたサンプルエアは噴射ノズル２より
検出領域７に噴射され、ここで微粒子が検出された後、
υ１出ノズル３に吸入され排出パイプ８より外部にｉＪ
ｌ出される。

検出領域７にはレーザ光源９より、噴射ノズル２の軸と
直角方向のレーザビーム１０が照射される。１１゛は検
出セル内の気密のためのガラス窓である。検出領域７に
おいてサンプルエア中の微粒子により発生した散乱光は
、サンプルエアおよびレーザビーム１０に直角方向また
は適当とする方向に設けられた受光器（図示しない）に
人力して微粒子が検出されるものである。

１・、述において、第３図（ｃ）でノ１＜シた継手４に
ついては問題がある。すなわち、この継ｒ′４はそのフ
ランジ４−１のド部に、Ｍｌねし４−２が切られており
、これに対して噴射ノズル２には雌ねじ２−３が切られ
ている。このねし部にはシールテープをねじ込んで気密
を保持しているものである。

しかしこのねじ込みの際には、シールテープが削られる
、いわゆる削り込みの状態となることが避けられず、こ
こに塵埃発１１の虞が多分に潜イ１する。

この塵埃は清掃によって除去することは困難で、周辺に
残留してサンプルエアに混入することは必至であり検出
誤差となる。このような欠点を除去することが必要であ
る。

［発明の］−１的コ この発明は上記の欠点をυ１除して、発塵の虞のないよ
うなノズルの接続方法を用いた微粒子検出セルの構造を
提供するものである。

［問題点を解決するためのＬ段］ この発明においては、噴射ノズルのフランジに吸入パイ
プの接続用のシリンダを１体として切削により形成した
もの、または別個のフランジ材きの接続シリンダを、噴
射ノズルのフランジに０１Ｊングを介在してボルト締め
で固定するものである。

なお接続シリンダの表面には吸入パイプを固着するため
の凹凸を設けるものである。

［作用］ 上記したように、この発明による微粒子検出セルの構造
においては、検出セルと噴射ノズルのフランジ間は０り
ングを介在してボルトにより固定されて気密が保持され
ており、この固定ボルトおよび接続シリンダと吸入パイ
プの嵌合接続部には発塵がないか、またあったとしても
それらの部分が直接サンプルエアに曝されることがない
ので、塵埃がサンプルエアに混入する虞が発生しない。

フランジ付きの接続シリンダとしてボルトにより噴射ノ
ズルのフランジに固定する場合も同様である。

［実施例コ 従来の微粒子検出セルにおいては、吸入パイプの継手４
の取り付けのために、検出セル１のサンプルエアの通路
にねじ切り部分があり、いわゆる削り込みによる塵埃が
直接サンプルエアに混入したものである。この点に４眼
し、この発明による微粒子検１１１セルの構造において
は、このような継手を廃１１・、するものである。

第１図はこの発明の１実施例で、フランジ２−１と吸入
パイプ５の接続用シリンダ２−４とがともに１体として
切削された噴射ノズル２が８出−１＝ルｌの貫通孔に嵌
合され、０リング２−３を介在してボルト２−２で固定
される。吸入パイプ５はポリウレタンなどの軟質のプラ
スチックパイプを用い、これが接続シリンダ２−４に嵌
合され、接続シリンダの表面の凹凸により強固に固着さ
れる。

なお、噴射ノズル２に対応して、排出ノズル３が設けら
れ、サンプルエアは吸入１−１６より吸入され、検出領
域７を通ってｔＪｌ’出ノズル３に吸入されυ）゛出パ
イプ８より外部に排出される。またレーザ光源９よりサ
ンプルエアと直角方向のレーザビーム１０が照射され、
検出領域７における微粒子の散乱光を、適当とする角度
力量で受光して検ＩＩ！するものである（受光器は図／
１（シない）。

第２図はこの発明による微粒子検出セルの構造の他の実
施例で、この場合は第１図における接続シリンダ２−４
に対して、別個のフランジ１２−１を自゛する接続シリ
ンダ１２とし、このフランジ１２−１を噴射ノズル２の
フランジ２−１にボルト１２−２により固定するもので
ある。この間には気密のため０リング１２−３が入れら
れる。その他、吸入バイブロの接続、ｔＪｌ出ノズル３
、サンプルエアの吸入υ１出の動作、レーザビーム１０
の照射ならびに散乱光の受光については、第１図の場合
と同様である。

［発明の効果］ この発明による微粒子検出セルの構造においては、１〕
述により明らかなように、従来の検出セルで使用された
吸入パイプの継丁−を廃１１−４したので、サンプルエ
アの通路にねしの削り込み部がなくなり、ここで発生し
た塵埃がサンプルエアに混入する虞が全く無い。なお、
接続シリンダの加１゛、はノズル部と同時に容易に什う
ことができるもので、これらの効果には大きいものがあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による微粒子検出セルの構造の１実施
例における断面図、第２図はこの発明による微粒子検出
セルの構造の他の実施例における断面図、第３図（ａ）
、（ｂ）および（ｃ）は従来の微粒子４Ｔ３出セルの構
造を、１＜す説明図である。 １・・・検出セル、２・・・噴射ノズル、２−１・・・
フランジ、２−２・・・ボルト、２−３・・・０リング
、２＝４・・・接続シリンダｆｉ＜、２−５・・・雌ね
し、３・・・υ１出ノズル、３−１・・・フランジ、３
−２ボルト、４・・・ｌｌｌｌ手、４−１・・・フラン
ジ、４−２・・・Ｍｌねじ、５・・・吸入パイプ、６・
・・吸入１−１．７・・・検１１１領域、８・・・ｔＪ
ｌ出パイプ、９・・・レーザｌｅｔ、１０・・・レーザ
ビーム、１１・・・ガラス窓、１２・・・接続シリンダ
、１２−１・・・フランツ、１２−２・・・ボルト、＋
２−３・・・０リング。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）、微粒子を含有するサンプルエアを微粒子検出領
   域に噴射する噴射ノズルと、噴射された該サンプルエア
   を吸い込み排出する排出ノズルと、レーザ光源より、上
   記微粒子検出領域において上記サンプルエアと直交する
   レーザビームを投光し、上記微粒子の散乱光を受光して
   、微粒子を検出する微粒子検出器において、円形のフラ
   ンジ面の中心に円孔を設け、該フランジの片面に該円孔
   の中心を軸とするノズル部を形成し、該ノズル部と反対
   側に上記円孔の直径を内径として、軟質材のパイプを嵌
   合して固着できる凹凸の表面形状のシリンダ部を形成し
   、かつ該フランジ、ノズル部およびシリンダ部が１体と
   して切削により形成された上記噴射ノズルにより構成さ
   れたことを特徴とする微粒子検出セルの構造。
2. （２）、円形のフランジ面の中心に円孔を設け、該フラ
   ンジの片面に該円孔の中心を軸とするノズル部を該フラ
   ンジと１体として切削により形成し、かつ該ノズル部と
   反対側に、上記円孔の直径を内径として、軟質材のパイ
   プを嵌合して固着できる凹凸の表面形状のシリンダ部を
   ボルトで固定して構成された上記噴射ノズルを有する特
   許請求の範囲第１項記載の微粒子検出セルの構造。