JPS62239006A - 表面状態の非破壊的検出方法 - Google Patents
表面状態の非破壊的検出方法Info
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- JPS62239006A JPS62239006A JP61083301A JP8330186A JPS62239006A JP S62239006 A JPS62239006 A JP S62239006A JP 61083301 A JP61083301 A JP 61083301A JP 8330186 A JP8330186 A JP 8330186A JP S62239006 A JPS62239006 A JP S62239006A
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- film
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Links
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、材料の表面状態を検査する、製品の品質検査
法に関する。
法に関する。
従来より、材料の表面状態を非破壊的に検査する方法と
しては、レプリカ法があるが微小な四部を検出するため
には、高倍率で観察する必要があり、表面の１１度又は
、表面に開口した欠陥の分布状態を正確に、Ｈつ広域に
検査する事は出来なかった。
しては、レプリカ法があるが微小な四部を検出するため
には、高倍率で観察する必要があり、表面の１１度又は
、表面に開口した欠陥の分布状態を正確に、Ｈつ広域に
検査する事は出来なかった。
［発明が解決しようとする問題点〕
ところで、材料の微視的な表面状態を巨視的に検出する
ことは、材料の諸物件を明確にする上で、非常に有益で
ある。また、実際に機器部材として使用されている材料
の健全性を非破壊的に検査することが可能になれは、極
めて有用である。
ことは、材料の諸物件を明確にする上で、非常に有益で
ある。また、実際に機器部材として使用されている材料
の健全性を非破壊的に検査することが可能になれは、極
めて有用である。
本発明は、表面の粗度又は表面に開口した欠陥を、埋め
込んだ物質の元素を分析することにより、非破壊的で■
つ広域的に検査する方法を提供しようとするものである
。
込んだ物質の元素を分析することにより、非破壊的で■
つ広域的に検査する方法を提供しようとするものである
。
そこで本発明は、材料表面の粗度又は表面に開口した欠
陥を、非破壊的に検出する方法において、該表面に所定
の物質を塗布し、平滑面に付着した該物質を除去した後
口部のみに残った該物質を軟化させたプラスチック膜に
抽出し、該プラスチック膜をＸ線検出器によって検査し
、該物質を検出することにより被検査材表面の粗度又は
、表面に開口した欠陥を検出することを特徴とする微小
欠陥の検出方法とした。
陥を、非破壊的に検出する方法において、該表面に所定
の物質を塗布し、平滑面に付着した該物質を除去した後
口部のみに残った該物質を軟化させたプラスチック膜に
抽出し、該プラスチック膜をＸ線検出器によって検査し
、該物質を検出することにより被検査材表面の粗度又は
、表面に開口した欠陥を検出することを特徴とする微小
欠陥の検出方法とした。
上述した本方法によれば、表面の粗度又は、表面に開口
した欠陥の分布状態を微粒子元素の特性Ｘ線信号として
検出でき記憶装置に記憶集積することによって広域的に
検出、表示できる。
した欠陥の分布状態を微粒子元素の特性Ｘ線信号として
検出でき記憶装置に記憶集積することによって広域的に
検出、表示できる。
以下、本発明の実施例を図を参照して説明する。
第１図および第２図に示す、表面に開口した欠陥１のあ
る被検査材料２の表面にアルミナ微粒子を含む溶液３を
塗布し、乾燥させた後、表面を軽く研磨し、軟化させた
レプリカ用プラスチック膜４を押貼する。第２図に示す
ように、押貼したプラスチック膜は、表面に開口した欠
陥に浸入し、欠陥内に残存するアルミナかプラスチック
膜上に抽出される。このようにアルミナ粒子が抽出され
たプラスチック膜を５とする（第３図）上述したように
、被検査材料の表面に開口した欠陥をアルミナ粒１とし
て、プラスチック膜上に転写することができる。
る被検査材料２の表面にアルミナ微粒子を含む溶液３を
塗布し、乾燥させた後、表面を軽く研磨し、軟化させた
レプリカ用プラスチック膜４を押貼する。第２図に示す
ように、押貼したプラスチック膜は、表面に開口した欠
陥に浸入し、欠陥内に残存するアルミナかプラスチック
膜上に抽出される。このようにアルミナ粒子が抽出され
たプラスチック膜を５とする（第３図）上述したように
、被検査材料の表面に開口した欠陥をアルミナ粒１とし
て、プラスチック膜上に転写することができる。
しかして、本発明によれは、次のような操作で従来の検
査法では得られなかった情報を得ることができた。
査法では得られなかった情報を得ることができた。
第４図は、高温で長時間使用された鋼管表面を本発明方
法によりプラスチック膜に転写して、これをｘ１３１マ
イクロアナライザに装着して、得られるＭの特性Ｘ線信
号を、記憶装置に記憶集積させ、その信号量が一定量以
上となるものをディスプレイ装置に出力させたものであ
る。クリープ損傷によるき裂６や微小空孔７の分布状態
を表示することができた。この倍率では、光学顕微鏡に
よっても走査型電子顕微鏡によっても微小空孔７を検出
することは出来なかった。
法によりプラスチック膜に転写して、これをｘ１３１マ
イクロアナライザに装着して、得られるＭの特性Ｘ線信
号を、記憶装置に記憶集積させ、その信号量が一定量以
上となるものをディスプレイ装置に出力させたものであ
る。クリープ損傷によるき裂６や微小空孔７の分布状態
を表示することができた。この倍率では、光学顕微鏡に
よっても走査型電子顕微鏡によっても微小空孔７を検出
することは出来なかった。
従って、本発明によれは従来の観察法では得られなかっ
た情報を入手できる。
た情報を入手できる。
以上詳述した如く、本発明によれば表面の粗度又は表面
に開口した欠陥を非破壊的に月つ広域に検出することが
でき、機械部品の微小欠陥の非破壊的検出等に有効に応
用し得る表面状態の検査方法を提供できる。
に開口した欠陥を非破壊的に月つ広域に検出することが
でき、機械部品の微小欠陥の非破壊的検出等に有効に応
用し得る表面状態の検査方法を提供できる。
第１図から第３図は、本発明の実施例における表面状態
の転ず法を示す原理図、第４図は、高温で長時間使用さ
れた鋼管表面に開口している微小欠陥を本発明方法によ
り検出、表示した模式図である。 １・・表面に開口した微小欠陥、２・・・被検査材料、
３ アルミナを含む溶剤、４・・レプリカ用プラスチッ
ク膜、５・・アルミナ粒７を吸着したレプリカ用プラス
チック膜、６・・・き裂、７・・微小空孔 第１回 第２図 第３区 第４凹 ｘｔｏ。
の転ず法を示す原理図、第４図は、高温で長時間使用さ
れた鋼管表面に開口している微小欠陥を本発明方法によ
り検出、表示した模式図である。 １・・表面に開口した微小欠陥、２・・・被検査材料、
３ アルミナを含む溶剤、４・・レプリカ用プラスチッ
ク膜、５・・アルミナ粒７を吸着したレプリカ用プラス
チック膜、６・・・き裂、７・・微小空孔 第１回 第２図 第３区 第４凹 ｘｔｏ。
Claims (1)
- 材料表面の粗度又は表面に開口した欠陥を、非破壊的に
検出する方法において、該表面に所定の物質を塗布し、
平滑面に付着した該物質を除去した後凹部のみに残った
該物質を軟化させたプラスチック膜に抽出し、該プラス
チック膜をＸ線検出器によって検査し、該物質を検出す
ることにより被検査材表面の粗度又は、表面に開口した
欠陥を検出することを特徴とする微小欠陥の検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083301A JPS62239006A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 表面状態の非破壊的検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083301A JPS62239006A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 表面状態の非破壊的検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62239006A true JPS62239006A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13798585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61083301A Pending JPS62239006A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 表面状態の非破壊的検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62239006A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010033761A1 (de) * | 2010-08-09 | 2012-02-09 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Verfahren zur Durchstrahlungsprüfung von Bauteilen |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57129439A (en) * | 1981-02-04 | 1982-08-11 | Hitachi Ltd | Method for inspecting shape of photomask |
| JPS60236051A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Tetsuya Noro | コンクリ−ト建造物の外壁に生じた間隙の検査方法 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP61083301A patent/JPS62239006A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57129439A (en) * | 1981-02-04 | 1982-08-11 | Hitachi Ltd | Method for inspecting shape of photomask |
| JPS60236051A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Tetsuya Noro | コンクリ−ト建造物の外壁に生じた間隙の検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010033761A1 (de) * | 2010-08-09 | 2012-02-09 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Verfahren zur Durchstrahlungsprüfung von Bauteilen |
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