JPS62235540A - 材料のレプリカ検査法 - Google Patents
材料のレプリカ検査法Info
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- JPS62235540A JPS62235540A JP7945086A JP7945086A JPS62235540A JP S62235540 A JPS62235540 A JP S62235540A JP 7945086 A JP7945086 A JP 7945086A JP 7945086 A JP7945086 A JP 7945086A JP S62235540 A JPS62235540 A JP S62235540A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 。
本発明は、材料表面の析出物と元素の分布状態及び表面
形状を検査する材料の非破壊検査法に関する。
形状を検査する材料の非破壊検査法に関する。
従来よシ、硫黄の分布状態を肉眼的に検査する非破壊検
査法としては、サルファプリント法が、表面状態や析出
物の分布状態を非破壊的に検査する方法としては、レプ
リカ法があり、また顕微鏡的視野での表面状態、元素の
分布状態及び析出物の分布状態の検査法としてはＸ線マ
イクロアナライザを用いた方法があるが、顕微鏡的視野
での材料の表面形状と偏析状態を同時に且つ非破壊的に
検査する検査法はなかった。
査法としては、サルファプリント法が、表面状態や析出
物の分布状態を非破壊的に検査する方法としては、レプ
リカ法があり、また顕微鏡的視野での表面状態、元素の
分布状態及び析出物の分布状態の検査法としてはＸ線マ
イクロアナライザを用いた方法があるが、顕微鏡的視野
での材料の表面形状と偏析状態を同時に且つ非破壊的に
検査する検査法はなかった。
ところで、レプリカ法から得られる析出物や粒界の情報
と、微量元素の偏析状態とは相関があり、それらを同時
に検出して両者の関係を明らかにすることは、材料の緒
特性を明確にする上で非常に有益である。Ｘ線マイクロ
アナライザを用いて検査する場合は、材料を切り出して
採取する必要があシ、実際に機器部材として使用されて
いる材料の健全性の評価法としては問題がある。またレ
プリカ用プラスチック膜内に検査しようとする元素と反
応する物質を混入したシ、膜上に塗布する方法は、検査
精度は高いが、特殊なプラスチック膜を作成する必要が
ちシ、析出物をプラスチック膜に抽出することができな
かった。
と、微量元素の偏析状態とは相関があり、それらを同時
に検出して両者の関係を明らかにすることは、材料の緒
特性を明確にする上で非常に有益である。Ｘ線マイクロ
アナライザを用いて検査する場合は、材料を切り出して
採取する必要があシ、実際に機器部材として使用されて
いる材料の健全性の評価法としては問題がある。またレ
プリカ用プラスチック膜内に検査しようとする元素と反
応する物質を混入したシ、膜上に塗布する方法は、検査
精度は高いが、特殊なプラスチック膜を作成する必要が
ちシ、析出物をプラスチック膜に抽出することができな
かった。
本発明は、上記従来法の不具合に鑑みてなされたもので
材料の表面形状や金属組織の状態と元素の分布状態及び
析出物の分布状態とを顕微鏡的視野で同時に検査可能な
非破壊検査法を提供しようとするものである。
材料の表面形状や金属組織の状態と元素の分布状態及び
析出物の分布状態とを顕微鏡的視野で同時に検査可能な
非破壊検査法を提供しようとするものである。
本発明は、材料表面の微小領域中の元素の分布状態又は
表面形状を検出する方法において、研磨した被検査材料
を強腐食して析出物を遊離させ、その後検出しようとす
る元素と反応する物質を塗布して該元素と反応させ、そ
の上に軟化させたレプリカ用プラスチック膜を押貼し、
これを剥離して、プラスチック膜ＫＭ離析出物とともに
反応生成物を付着させプラスチック膜の変形固化によっ
て、被検査材料の表面形状を転写して、析出物と元素の
分布状態、又はその化学的、物理的分析を行うとともに
、表面形状を検査する材料の非破壊検査法である。
表面形状を検出する方法において、研磨した被検査材料
を強腐食して析出物を遊離させ、その後検出しようとす
る元素と反応する物質を塗布して該元素と反応させ、そ
の上に軟化させたレプリカ用プラスチック膜を押貼し、
これを剥離して、プラスチック膜ＫＭ離析出物とともに
反応生成物を付着させプラスチック膜の変形固化によっ
て、被検査材料の表面形状を転写して、析出物と元素の
分布状態、又はその化学的、物理的分析を行うとともに
、表面形状を検査する材料の非破壊検査法である。
上述した本発明によれば材料の表面形状と偏析状態及び
析出物をレプリカ用プラスチック膜上に転写し、これを
Ｘ線マイクロアナライザにより顕微鏡的視野で検出する
ことができる。
析出物をレプリカ用プラスチック膜上に転写し、これを
Ｘ線マイクロアナライザにより顕微鏡的視野で検出する
ことができる。
以下本発明の実施例を第１図乃至第３図を参照して説明
する。
する。
研磨して強腐食を施した被検査材料１に、写真用の乳剤
２を塗布する。この表面に、軟化させて希硫酸水溶液に
浸したレプリカ用グラ・スチツク膜３を押貼すると、材
料中の硫黄は、硫酸の作用によシ硫化水素ガスとなり乳
剤２中のハロゲン化銀４と反応して硫化銀５となる。ま
た軟化したプラスチック膜は、表面に開口した微小き裂
６などの表面形状を転写し遊離した析出物７を抽出する
。このプラスチック膜を材料表面より剥離すると、プラ
スチック膜上に材料表面の凹凸と硫黄の分布状態及び析
出物を同時に転写することができる◇ しかして、本発明によれば、次のような操作で従来の検
査法では得られなかった情報を得ることができる。
２を塗布する。この表面に、軟化させて希硫酸水溶液に
浸したレプリカ用グラ・スチツク膜３を押貼すると、材
料中の硫黄は、硫酸の作用によシ硫化水素ガスとなり乳
剤２中のハロゲン化銀４と反応して硫化銀５となる。ま
た軟化したプラスチック膜は、表面に開口した微小き裂
６などの表面形状を転写し遊離した析出物７を抽出する
。このプラスチック膜を材料表面より剥離すると、プラ
スチック膜上に材料表面の凹凸と硫黄の分布状態及び析
出物を同時に転写することができる◇ しかして、本発明によれば、次のような操作で従来の検
査法では得られなかった情報を得ることができる。
第４図は、クリープ損傷を受けた鋼管表面を本発明方法
によシブラスチック膜に転写し、これをＸ線マイクロア
ナライザに装着して得られた２次電子像を模式的に図示
したものである。
によシブラスチック膜に転写し、これをＸ線マイクロア
ナライザに装着して得られた２次電子像を模式的に図示
したものである。
従来からのレプリカ法と同様に表面の粒界８、微細空孔
の情報が得られるとともに抽出された析出物を分析す
ることにより析出物の種類が判別できる。
の情報が得られるとともに抽出された析出物を分析す
ることにより析出物の種類が判別できる。
第５図に同一視野の硫黄のに−Ｘ線をＸ線マイクロアナ
ライザで検出したＸ線像の模式図を示す。第２図の粒界
析出物と粒界の位置に硫黄の偏析が認められる。従って
本発明によれば顕微鏡的視野で材料の表面状態と析出物
の情報が得られるとともに、従来のレプリカ法では得ら
れなかった顕微鏡的視野での元素の偏析状態を検出でき
る。
ライザで検出したＸ線像の模式図を示す。第２図の粒界
析出物と粒界の位置に硫黄の偏析が認められる。従って
本発明によれば顕微鏡的視野で材料の表面状態と析出物
の情報が得られるとともに、従来のレプリカ法では得ら
れなかった顕微鏡的視野での元素の偏析状態を検出でき
る。
以上詳述した如く本発明法によれば、材料表面の凹凸と
析出物と元素の分布状態を材料からレプリカ用プラスチ
ック膜に転写し、検出することができ、機械部品の微小
欠陥検出、非破壊的欠陥検出等に有効に応用し得る材料
の表面状態の検査方法を提供できる。
析出物と元素の分布状態を材料からレプリカ用プラスチ
ック膜に転写し、検出することができ、機械部品の微小
欠陥検出、非破壊的欠陥検出等に有効に応用し得る材料
の表面状態の検査方法を提供できる。
第１図乃至第３図は、本発明の実施例における材料の表
面状態の転写法を示す原理図、第４図は、クリープ損傷
を受けた鋼管表面形状を本発明方法によシ転写したプラ
スチック膜の２次電子像の模式図、第５図は、第４図と
同一視野の硫黄のＸ線像の模式図である。 １・・・クリープ損傷を受けた鋼管、２・・・写真用乳
剤、３・・・ハロゲン化銀粒子、４・・・レプリカ用プ
ラスチック膜、５・・・硫化銀、６・・・微小き裂、７
・・・析出物、８・・・粒界、９・・・粒界析出物、１
０・・・微小空孔。 易１ｚ 第３図
面状態の転写法を示す原理図、第４図は、クリープ損傷
を受けた鋼管表面形状を本発明方法によシ転写したプラ
スチック膜の２次電子像の模式図、第５図は、第４図と
同一視野の硫黄のＸ線像の模式図である。 １・・・クリープ損傷を受けた鋼管、２・・・写真用乳
剤、３・・・ハロゲン化銀粒子、４・・・レプリカ用プ
ラスチック膜、５・・・硫化銀、６・・・微小き裂、７
・・・析出物、８・・・粒界、９・・・粒界析出物、１
０・・・微小空孔。 易１ｚ 第３図
Claims (1)
- 材料表面の微小領域中の元素の分布状態又は表面形状を
検出する方法において、研磨した被検査材料を強腐食し
て析出物を遊離させ、その後検出しようとする元素と反
応する物質を塗布して該元素と反応させ、その上に軟化
させたレプリカ用プラスチック膜を押貼し、これを剥離
して、プラスチック膜に遊離析出物とともに反応生成物
を付着させプラスチック膜の変形固化によって、被検査
材料の表面形状を転写して、析出物と元素の分布状態、
又はその化学的、物理的分析を行うとともに、表面形状
を検査する材料の非破壊検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7945086A JPS62235540A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 材料のレプリカ検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7945086A JPS62235540A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 材料のレプリカ検査法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62235540A true JPS62235540A (ja) | 1987-10-15 |
Family
ID=13690215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7945086A Pending JPS62235540A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 材料のレプリカ検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62235540A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263532A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Toshiba Corp | レプリカ採取装置 |
| JPH0279448U (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-19 | ||
| CN113334754A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-09-03 | 唐汉聪 | 一种油墨印刷纸表面覆膜工艺 |
-
1986
- 1986-04-07 JP JP7945086A patent/JPS62235540A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01263532A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-20 | Toshiba Corp | レプリカ採取装置 |
| JPH0279448U (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-19 | ||
| CN113334754A (zh) * | 2021-07-01 | 2021-09-03 | 唐汉聪 | 一种油墨印刷纸表面覆膜工艺 |
| CN113334754B (zh) * | 2021-07-01 | 2023-07-21 | 河南万顺包装材料有限公司 | 一种油墨印刷纸表面覆膜工艺 |
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