JPS62237341A - 自動ガス分析方法およびその装置 - Google Patents
自動ガス分析方法およびその装置Info
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- JPS62237341A JPS62237341A JP7984586A JP7984586A JPS62237341A JP S62237341 A JPS62237341 A JP S62237341A JP 7984586 A JP7984586 A JP 7984586A JP 7984586 A JP7984586 A JP 7984586A JP S62237341 A JPS62237341 A JP S62237341A
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 137
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 12
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 11
- 230000004913 activation Effects 0.000 claims 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 101710082414 50S ribosomal protein L12, chloroplastic Proteins 0.000 abstract 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 235000015210 Fockea angustifolia Nutrition 0.000 description 1
- 244000186654 Fockea angustifolia Species 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004164 analytical calibration Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000011346 highly viscous material Substances 0.000 description 1
- 229910010276 inorganic hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガス分ｉＩ！装置により製出されるガス中の
特定成分や工業ガス使用装置よりの排出ガス中の特定成
分を測定する場合における、自動ガス分析方法およびそ
の装置に関するものである。
特定成分や工業ガス使用装置よりの排出ガス中の特定成
分を測定する場合における、自動ガス分析方法およびそ
の装置に関するものである。
（従来の技術）
各種のカス分離装置によりガスを工業的に製造（Ｊる場
合には、イのガスの成分組成を分析・ｔ１測し、製品ど
しての良否を判定する必要がある。この場合、ガスのベ
ース成分を高粘麿に口側づることは不ｉｌ能であるため
、従来より当該ガス中の含有微１Ｂ成分１♂を分析・耐
測し表示している。イして、この微量ガスの分析・計測
を連続的に行なうため、品燐発光式微ｔ１１酸累計等各
種の微量成分分析計が使用されている。
合には、イのガスの成分組成を分析・ｔ１測し、製品ど
しての良否を判定する必要がある。この場合、ガスのベ
ース成分を高粘麿に口側づることは不ｉｌ能であるため
、従来より当該ガス中の含有微１Ｂ成分１♂を分析・耐
測し表示している。イして、この微量ガスの分析・計測
を連続的に行なうため、品燐発光式微ｔ１１酸累計等各
種の微量成分分析計が使用されている。
ところで、近年ガス分離装置は、コンピュータ制御装置
等の採用により、ガス分離装置の立［げ起動及び停止Ｆ
を合む自動運転が行なわれるようになってきている。
等の採用により、ガス分離装置の立［げ起動及び停止Ｆ
を合む自動運転が行なわれるようになってきている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところが、これらに使用する分析計器は、使用開始１１
）、試ｒ１ガスの導入、パージ、流ｈ！設設定ススケー
ルレンジ切換の操作が必要で、特にガス分離装置の立上
げ起動時は製造ガスの成分組成が未知であるため、分析
計器を保護するためには取扱い操作に熟練を要していた
。しかも、最終的品質管外イ１業であるため、従来、こ
の操作は自動化の対象外とされできた。
）、試ｒ１ガスの導入、パージ、流ｈ！設設定ススケー
ルレンジ切換の操作が必要で、特にガス分離装置の立上
げ起動時は製造ガスの成分組成が未知であるため、分析
計器を保護するためには取扱い操作に熟練を要していた
。しかも、最終的品質管外イ１業であるため、従来、こ
の操作は自動化の対象外とされできた。
そこで本発明は、分析Ｍ器への試料ガスの導入。
パージ、流量設定、スケールレンジの切換作業及び定期
的較正作業を自動的に行ない、誤った取扱い操作にＪ：
る分析計器の保守作業を１１１減するとともに、分析ン
１測に至るまでの分析計器の立上がり時間を短縮し、計
鼎の信頼性を高め、ガス分離装置の完全自動運転を図り
得る自動ガス分析方法およびその装置を提供することを
目的とする。また、工業ガス使用装置よりの排出ガス中
の特定成分を１１１１１定Ｊる分析Ｓ］についても１８
１様の自動ガス分析力ｉ人Ｊ３よびその装置行を１足供
することを目的とする。
的較正作業を自動的に行ない、誤った取扱い操作にＪ：
る分析計器の保守作業を１１１減するとともに、分析ン
１測に至るまでの分析計器の立上がり時間を短縮し、計
鼎の信頼性を高め、ガス分離装置の完全自動運転を図り
得る自動ガス分析方法およびその装置を提供することを
目的とする。また、工業ガス使用装置よりの排出ガス中
の特定成分を１１１１１定Ｊる分析Ｓ］についても１８
１様の自動ガス分析力ｉ人Ｊ３よびその装置行を１足供
することを目的とする。
上記目的を達成するため、第１発明の自動ガス分析ｌノ
法は、ガス分ＰＩＩ装置により製出されるガス中のＦＩ
定酸成分たは工業ガス使用装置よりの＋Ｊｌ出ガス中の
１４定成分を測定する分析方法においで、上記装置の運
転状態に応じて該装置１分析ｉ；ｔ Ｊ−３よび／よた
は：１ン１−ローラからのイｉ；舅ににす、試料ガスＪ
＞よび／または甲−成分ガスまたは較正用ガスを自動的
に前記分析轟１に導入し、分析、較正。
法は、ガス分ＰＩＩ装置により製出されるガス中のＦＩ
定酸成分たは工業ガス使用装置よりの＋Ｊｌ出ガス中の
１４定成分を測定する分析方法においで、上記装置の運
転状態に応じて該装置１分析ｉ；ｔ Ｊ−３よび／よた
は：１ン１−ローラからのイｉ；舅ににす、試料ガスＪ
＞よび／または甲−成分ガスまたは較正用ガスを自動的
に前記分析轟１に導入し、分析、較正。
パージの各工程を自動的に行なうことを特徴とし、また
、第２発明の自動ガス分析方法は、−ト記第′１発明の
カスの分離装置冷よたは工業ガス使用装置ｆｆ（＋分析
晶Ｉ Ｊ３Ｊ、び／または二１ント１−１−ラからの信
号により、試料ガスおよび／または単一成分ガスを単独
にあるいは任意量の混合比に混合して自動的に前記分析
計に導入しあるいは較正用ガスを自動的に前記分析計に
導入して分析を行なうことを特徴とするものである。
、第２発明の自動ガス分析方法は、−ト記第′１発明の
カスの分離装置冷よたは工業ガス使用装置ｆｆ（＋分析
晶Ｉ Ｊ３Ｊ、び／または二１ント１−１−ラからの信
号により、試料ガスおよび／または単一成分ガスを単独
にあるいは任意量の混合比に混合して自動的に前記分析
計に導入しあるいは較正用ガスを自動的に前記分析計に
導入して分析を行なうことを特徴とするものである。
そしＣ，第３発明は上記第１．第２発明を実施するため
の自動ガス分析装置であって、ガス分離装置により製出
されるガス中の特定成分または工業使用装置よりの排出
ガス中の特定成分を測定する分析３１を操作する装置に
おいて、対象とする試料ガスの導入流路、単一成分ガス
導入流路および較正用ガス導入流路にこれらのガスを任
意の流量に制御する試料ガス流量制御器、単一成分ガス
流量制御器および較正用ガス流量制御器ならびに上記流
量制御された各ガスを単独または混合して分析語に導入
する切換弁を設けると共に、上記装置からイの運転状態
を知らせる仁弓、上記分析ツ１からの１：１号Ｊｊよび
／または予め記憶ざぽておいた信号により、十記各流吊
制御器および切換弁を作動させる信号を発イ＾するコン
トローラとより構成されることを特徴としている。
の自動ガス分析装置であって、ガス分離装置により製出
されるガス中の特定成分または工業使用装置よりの排出
ガス中の特定成分を測定する分析３１を操作する装置に
おいて、対象とする試料ガスの導入流路、単一成分ガス
導入流路および較正用ガス導入流路にこれらのガスを任
意の流量に制御する試料ガス流量制御器、単一成分ガス
流量制御器および較正用ガス流量制御器ならびに上記流
量制御された各ガスを単独または混合して分析語に導入
する切換弁を設けると共に、上記装置からイの運転状態
を知らせる仁弓、上記分析ツ１からの１：１号Ｊｊよび
／または予め記憶ざぽておいた信号により、十記各流吊
制御器および切換弁を作動させる信号を発イ＾するコン
トローラとより構成されることを特徴としている。
（実ｈｌ！１例〕
以−ト、図面に基づいて、本発明の自動ガス分析装置ｔ
Ｈよびぞれを用いた自動ガス分析方法を説明りる。
Ｈよびぞれを用いた自動ガス分析方法を説明りる。
まず、自動ガス分析装置を説明すると、本装買はガス分
離装置（図示じず）により製出されるガス中の１４定成
分または工業ガス使用装置（図示せず）よりの排出ガス
中の特定成分を測定する分析計１を操作するｖｔ置であ
って、該分析計１には流ｆｒｉ１２を介して、試料ガス
導入流路３．パージガス（１−成分ガス）ｉ１人流路４
および較正ガス（標準ガス）導入流路５が接続されてい
る。
離装置（図示じず）により製出されるガス中の１４定成
分または工業ガス使用装置（図示せず）よりの排出ガス
中の特定成分を測定する分析計１を操作するｖｔ置であ
って、該分析計１には流ｆｒｉ１２を介して、試料ガス
導入流路３．パージガス（１−成分ガス）ｉ１人流路４
および較正ガス（標準ガス）導入流路５が接続されてい
る。
これらの流路３．４．５には、これらの流路から導入さ
れるガスを任意の流量に制御する試料ガス流吊制ｉＩＩ
器６．甲−成分ガス流−Ｉｎ ＩＩＩ御器７および較正
用ガス流量制御器８ならびに上記流量制御された各ガス
を単独または混合して分析計１に導入する三方切換電磁
弁９．切換電磁弁１０．１１が夫々設けられている。
れるガスを任意の流量に制御する試料ガス流吊制ｉＩＩ
器６．甲−成分ガス流−Ｉｎ ＩＩＩ御器７および較正
用ガス流量制御器８ならびに上記流量制御された各ガス
を単独または混合して分析計１に導入する三方切換電磁
弁９．切換電磁弁１０．１１が夫々設けられている。
そして、この各流量制御器６．７．８および切換電磁弁
９，１０．１１を作動させるために、これらに信すを発
信するコントローラ１２が設けられており、このコント
ローラ１２には、上記ガス分離装置又は工業ガス使用装
置からその運転状態を知らせる信号や上記分析晶１１か
らの信号が入力されａ３よび／または予め信号を入力し
記憶さＵておく。これにより分析計器の指示値および計
測時間を監６２シ、各流路の切替および各ガスの流ｆｌ
制御、混合を行なう指示を発信する。
９，１０．１１を作動させるために、これらに信すを発
信するコントローラ１２が設けられており、このコント
ローラ１２には、上記ガス分離装置又は工業ガス使用装
置からその運転状態を知らせる信号や上記分析晶１１か
らの信号が入力されａ３よび／または予め信号を入力し
記憶さＵておく。これにより分析計器の指示値および計
測時間を監６２シ、各流路の切替および各ガスの流ｆｌ
制御、混合を行なう指示を発信する。
尚、上記分析計１と流量計２間には背圧調節弁１３が設
【ノられ、また、試料ガス導入流路３．パージガス導入
流路４および較正用ガス導入流路５には減＋−１−弁１
４．１５．１６や聞閏弁１７，１８ａ３よσ較［Ｅガス
ボンベ１９が設けられでいる。
【ノられ、また、試料ガス導入流路３．パージガス導入
流路４および較正用ガス導入流路５には減＋−１−弁１
４．１５．１６や聞閏弁１７，１８ａ３よσ較［Ｅガス
ボンベ１９が設けられでいる。
また、Ｆ記分析語１としでは、各種の微ｈ１成分を分析
測定するｔ１器が主として本発明の対策となり、例えば
、黄燐発光式微量Ｍ素訓、微１７水分ム［、あるいは水
根−紫外線吸光方式の揮発性無機水素化物測定装置笠で
ある。
測定するｔ１器が主として本発明の対策となり、例えば
、黄燐発光式微量Ｍ素訓、微１７水分ム［、あるいは水
根−紫外線吸光方式の揮発性無機水素化物測定装置笠で
ある。
次に以上のように構成された自動ガス分析装置でガス分
離装置により製出されるガス中の特定成分を測定する揚
台の自動ガス分析方法を説明すると、以下の通りである
。
離装置により製出されるガス中の特定成分を測定する揚
台の自動ガス分析方法を説明すると、以下の通りである
。
■ ガス製造ラインの分析計測を行なわない場合（侍は
状態） 分析甜１へは伯のガス製造ライン等からのその成分組成
が既知である単一成分のパージガス（ゼ【コガス）を流
し、分析計１に内蔵の流量設定器による流１ｉｌ設定、
スケールレンジの切換等を行なっておき、各機器を運転
状態としでおくとともに、計器の較ＩＥも完Ｙさせてａ
３ ＜。即ら試料ガス導入流路３は、聞閑弁１７を開き
三方切換電磁弁９を開いて流は制御器６にＪこりパージ
ガスの流量に対して任意の混合比になる様に設定し放出
状態とし、較１−川ガス（標準ガス）導入流路５は同じ
く、流１−制御器Ｅ３により分析ｉ＋−１測に必要な流
量を測定し切換電磁弁１１にで閉塞しておく。
状態） 分析甜１へは伯のガス製造ライン等からのその成分組成
が既知である単一成分のパージガス（ゼ【コガス）を流
し、分析計１に内蔵の流量設定器による流１ｉｌ設定、
スケールレンジの切換等を行なっておき、各機器を運転
状態としでおくとともに、計器の較ＩＥも完Ｙさせてａ
３ ＜。即ら試料ガス導入流路３は、聞閑弁１７を開き
三方切換電磁弁９を開いて流は制御器６にＪこりパージ
ガスの流量に対して任意の混合比になる様に設定し放出
状態とし、較１−川ガス（標準ガス）導入流路５は同じ
く、流１−制御器Ｅ３により分析ｉ＋−１測に必要な流
量を測定し切換電磁弁１１にで閉塞しておく。
以上の作業をマニュアル操作により行なった（す１，１
１機状態に入り、ガス分離装置の起動信）シにより次の
測定開始■稈に入る。
１機状態に入り、ガス分離装置の起動信）シにより次の
測定開始■稈に入る。
■ ガス製造ラインの分析計測を開始する場合（装置起
動ｊｒ、ＩＩ） パージガス導入流路４はそのままであり、試Ｆｌガスの
三方切換゛電磁弁９が分析計１側に切換わり、ガス′Ｉ
ＡＨＩＭラインの未知の成分組成のヱ料ガスが導入され
混合される。この時の流量は前記流量制御器６，８によ
り設定されたｌｉｅ ｒあり、例えば等１行混合比とな
る様に設定される。分析計１の指示値はコントローラ１
２ににり監視され、指示値の変化率及び／または一定の
絶対値が予め設定した値に達した場合に直らにコントロ
ーラ１２から信号が送られ、三方切換ｉｉｆ １４１弁
９を放出側に切換制御し、測定対象成分が高濃度となっ
て分析計１の性能に支障を生ずることのないように保護
づる。そして、一定時間経過後、コントローラ１２から
の信号により再び三方切換電磁弁９を分析ム１１側に切
換え、同様にして指示値を監視する。その結果、指示値
の変化率及び／または絶対値が設定値を下回っていた場
合には、コントローラ１２によりこれの継続１．１間を
Ｊ１測し、分析値の安定性をチェックするために予め設
定した時間経過後に定常運転測定へ進む。即ノ５、パー
ジガス導入流路４の切換電磁弁１０を閉止し、試料ガス
のみを分析計１に流す。このときの分析計１の指示値は
、引続きコン１ヘローラ１２により監視され先の混合時
の設定１直とは異なる変化率及び／または絶対値が設定
値に達した場合には、再びパージガス導入流路４の切換
゛電磁弁１０が開となり、パージガスと試料ガスが混合
されて分析計１に流れる。そして更に、変化率及び／ま
たは絶対値が、先の混合時に、１月ノる設定ｆｌＴｉに
達した場合には、試料ガスの導入が停止１され、パージ
ガスのみ導入する元の状態に戻る。これらの指示値の設
定置は、パージガス（Ｕロガス）の成分組成及び試料ガ
スとパージガスの流量配分及び分析計１のスケールレン
ジにより決定される。また、変化率は上記設定値との関
連において決定され、分析計器のスケールオーバーを予
測し保護する。この様に組成未知の試料ガスを自動的に
安全に分析計測する。
動ｊｒ、ＩＩ） パージガス導入流路４はそのままであり、試Ｆｌガスの
三方切換゛電磁弁９が分析計１側に切換わり、ガス′Ｉ
ＡＨＩＭラインの未知の成分組成のヱ料ガスが導入され
混合される。この時の流量は前記流量制御器６，８によ
り設定されたｌｉｅ ｒあり、例えば等１行混合比とな
る様に設定される。分析計１の指示値はコントローラ１
２ににり監視され、指示値の変化率及び／または一定の
絶対値が予め設定した値に達した場合に直らにコントロ
ーラ１２から信号が送られ、三方切換ｉｉｆ １４１弁
９を放出側に切換制御し、測定対象成分が高濃度となっ
て分析計１の性能に支障を生ずることのないように保護
づる。そして、一定時間経過後、コントローラ１２から
の信号により再び三方切換電磁弁９を分析ム１１側に切
換え、同様にして指示値を監視する。その結果、指示値
の変化率及び／または絶対値が設定値を下回っていた場
合には、コントローラ１２によりこれの継続１．１間を
Ｊ１測し、分析値の安定性をチェックするために予め設
定した時間経過後に定常運転測定へ進む。即ノ５、パー
ジガス導入流路４の切換電磁弁１０を閉止し、試料ガス
のみを分析計１に流す。このときの分析計１の指示値は
、引続きコン１ヘローラ１２により監視され先の混合時
の設定１直とは異なる変化率及び／または絶対値が設定
値に達した場合には、再びパージガス導入流路４の切換
゛電磁弁１０が開となり、パージガスと試料ガスが混合
されて分析計１に流れる。そして更に、変化率及び／ま
たは絶対値が、先の混合時に、１月ノる設定ｆｌＴｉに
達した場合には、試料ガスの導入が停止１され、パージ
ガスのみ導入する元の状態に戻る。これらの指示値の設
定置は、パージガス（Ｕロガス）の成分組成及び試料ガ
スとパージガスの流量配分及び分析計１のスケールレン
ジにより決定される。また、変化率は上記設定値との関
連において決定され、分析計器のスケールオーバーを予
測し保護する。この様に組成未知の試料ガスを自動的に
安全に分析計測する。
■ ガス製造ラインの連続分析計測
上記■によりガス製造ラインの分析計測を開始した後、
分析計１の指示値は引続きコントローラ１２により監視
され、ガス製造ラインの状態を制御する。即ち、別に設
けた警報設定値により外部に警報を発したり、さらには
ガス分離装置に停止信号を送って該装置を停止させる。
分析計１の指示値は引続きコントローラ１２により監視
され、ガス製造ラインの状態を制御する。即ち、別に設
けた警報設定値により外部に警報を発したり、さらには
ガス分離装置に停止信号を送って該装置を停止させる。
また、この状況においては、ガス製造ラインの分析計測
を停止し、■の待機状態どし、分析計１を保護する。
を停止し、■の待機状態どし、分析計１を保護する。
■ 分析、１１の較正
上記■のマユｌアル操ｆＩ後のｈ機状態または（：））
の連続弁柄、１１測状態にＪ３いて、定期的に分析Ｃ１
１へ導入する試料ガス又はパージガスと標準ガスを自動
的に切換えて、分析計１の較ｉ］が行なわれる。即ら三
方切換電磁弁９又は切換電磁弁１０と切換電磁弁１１は
設定時間の経過前自動的に切換わり、流量制御器８によ
りＲ過流！ｄに調節された標準ガスが分析ム１１に導入
され、この時、予めコント［１−ラ１２に記憶させてお
いた埴と標準ガス（較１Ｆ用ガス）の成分組成が比較さ
れ、この比較の結果、雨音に相違があれば、コン１〜ロ
ーラ１２がｒ警報８を発する。四報梵生後はマニュアル
により較正を行なう。
の連続弁柄、１１測状態にＪ３いて、定期的に分析Ｃ１
１へ導入する試料ガス又はパージガスと標準ガスを自動
的に切換えて、分析計１の較ｉ］が行なわれる。即ら三
方切換電磁弁９又は切換電磁弁１０と切換電磁弁１１は
設定時間の経過前自動的に切換わり、流量制御器８によ
りＲ過流！ｄに調節された標準ガスが分析ム１１に導入
され、この時、予めコント［１−ラ１２に記憶させてお
いた埴と標準ガス（較１Ｆ用ガス）の成分組成が比較さ
れ、この比較の結果、雨音に相違があれば、コン１〜ロ
ーラ１２がｒ警報８を発する。四報梵生後はマニュアル
により較正を行なう。
以上のように本装置及び分析方法によれば、微量成分分
析計において、最大スケールレンジ以上の濃度の対象成
分が来た時に、単一成分よりなる稀釈ガス（パージガス
）で稀釈を行なう操作が自動的に行なわれ、分析計の保
護が可能となる。叩ら、パージ、待機、較正、起動時測
定、定常運転測定が自動的に行なえる。
析計において、最大スケールレンジ以上の濃度の対象成
分が来た時に、単一成分よりなる稀釈ガス（パージガス
）で稀釈を行なう操作が自動的に行なわれ、分析計の保
護が可能となる。叩ら、パージ、待機、較正、起動時測
定、定常運転測定が自動的に行なえる。
本発明は以上のように、ガス分離装置等の運転状態に呼
応して分析計に各種ガスを導入し、分析。
応して分析計に各種ガスを導入し、分析。
較正、パージの各工程を自動的に行なうようにしたから
、以下のような効果を奏する。
、以下のような効果を奏する。
■ 分析計に測定対象成分が高濃度どなって導入される
のを自動的に防止でき、分析計の性能に支障をきたずよ
うなことはない。
のを自動的に防止でき、分析計の性能に支障をきたずよ
うなことはない。
■ 分４１ｉ語測に争るまでの分析、；１の立上がり時
間を短縮できる。
間を短縮できる。
■ 分４Ｊｉシ１の較正を自動的に行ない中１器の信頼
性が畠よる。
性が畠よる。
■ 市販の分析シ１器に一切改造を加えることなく、自
動化分析ｔ１測が可能である。
動化分析ｔ１測が可能である。
■ パージガス樽入流路を多数説り、試料ガスとの流出
配分を変えることにより、児か（プ上のスクールレンジ
を更に自動的に拡大でさ・る。
配分を変えることにより、児か（プ上のスクールレンジ
を更に自動的に拡大でさ・る。
図は本発明の自動ガス分析装置の説明図である。
１・・・分析計 ２・・・流量計 ３・・・試料ガ
ス導入流路 ４・・・パージガス導入流路 ５・・
・較正用ガス導入流路 ６，７．８・・・流量制御２
ＩＩ′ｌＡ９・・・三ｉ）切換電磁弁 １０．１１・
・・切換電磁弁１２・・・コントローラ
ス導入流路 ４・・・パージガス導入流路 ５・・
・較正用ガス導入流路 ６，７．８・・・流量制御２
ＩＩ′ｌＡ９・・・三ｉ）切換電磁弁 １０．１１・
・・切換電磁弁１２・・・コントローラ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ガス分離装置により製出されるガス中の特定成分ま
たは工業ガス使用装置よりの排出ガス中の特定成分を測
定する分析方法において、上記装置の運転状態に応じて
該装置、分析計および／またはコントローラからの信号
により、試料ガスおよび／または単一成分ガスまたは較
正用ガスを自動的に前記分析計に導入し、分析、較正、
パージの各工程を自動的に行なうことを特徴とする自動
ガス分析方法。 ２、ガス分離装置により製出されるガス中の特定成分ま
たは工業ガス使用装置よりの排出ガス中の特定成分を測
定する分析方法において、上記装置の運転状態に応じて
該装置、分析計および／またはコントローラからの信号
により、試料ガスおよび／または単一成分ガスを単独に
あるいは任意量の混合比に混合して自動的に前記分析計
に導入し、あるいは較正用ガスを自動的に前記分析計に
導入して分析を行なうことを特徴とする自動ガス分析方
法。 ３、ガス分離装置により製出されるガス中の特定成分ま
たは工業ガス使用装置よりの排出ガス中の特定成分を測
定する分析計を操作する装置において、対象とする試料
ガスの導入流路、単一成分ガス導入流路および較正用ガ
ス導入流路にこれらのガスを任意の流量に制御する試料
ガス流量制御器、単一成分ガス流量制御器および較正用
ガス流量制御器ならびに上記流量制御された各ガスを単
独または混合して分析計に導入する切換弁を設けると共
に、上記装置からその運転状態を知らせる信号、上記分
析計からの信号および／または予め記憶させておいた信
号により、上記切換弁を作動させる信号を発信するコン
トローラとより構成されることを特徴とする自動ガス分
析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079845A JP2628037B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 自動ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079845A JP2628037B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 自動ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62237341A true JPS62237341A (ja) | 1987-10-17 |
| JP2628037B2 JP2628037B2 (ja) | 1997-07-09 |
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ID=13701536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61079845A Expired - Fee Related JP2628037B2 (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | 自動ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2628037B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007107904A (ja) * | 2005-10-11 | 2007-04-26 | Taiyo Nippon Sanso Corp | フッ素ガス測定装置 |
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-
1986
- 1986-04-07 JP JP61079845A patent/JP2628037B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN112924605A (zh) * | 2021-03-10 | 2021-06-08 | 中国人民解放军91315部队 | 一种自动进样系统及方法 |
| CN112924605B (zh) * | 2021-03-10 | 2023-11-14 | 中国人民解放军91315部队 | 一种自动进样系统及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2628037B2 (ja) | 1997-07-09 |
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