JPS6222868A - 導伝性組成物 - Google Patents
導伝性組成物Info
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- JPS6222868A JPS6222868A JP16145585A JP16145585A JPS6222868A JP S6222868 A JPS6222868 A JP S6222868A JP 16145585 A JP16145585 A JP 16145585A JP 16145585 A JP16145585 A JP 16145585A JP S6222868 A JPS6222868 A JP S6222868A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
- H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
Landscapes
- Conductive Materials (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、厚膜(uペースト用の導電性組成物、更に詳
しくは、半田濡れ性と引張り強度に優れた厚膜Cにペー
スト用の導電性組成物に関する。
しくは、半田濡れ性と引張り強度に優れた厚膜Cにペー
スト用の導電性組成物に関する。
厚膜導電ペーストとして、Auペースト、Ag・pdペ
ーストは各種分野に用いられているが、これ等貴金属ペ
ーストは比較的高価である。これに対し、Cuを主成分
とするCuペーストは、N2゜雰囲気中等の不活性雰囲
気中で焼成する必要はあるが、安価で導電性が高く、誘
電体上にも製膜可能で、半田付けもでき半田により金属
間化合物を生成する等の利点があり、導電性ペーストの
コストダウンを計る上で有力な材料である。
ーストは各種分野に用いられているが、これ等貴金属ペ
ーストは比較的高価である。これに対し、Cuを主成分
とするCuペーストは、N2゜雰囲気中等の不活性雰囲
気中で焼成する必要はあるが、安価で導電性が高く、誘
電体上にも製膜可能で、半田付けもでき半田により金属
間化合物を生成する等の利点があり、導電性ペーストの
コストダウンを計る上で有力な材料である。
このCuペーストのうち、Cu粉末、ガラスフリット、
有機ビヒクルからなる所謂ガラスボンドタイプのペース
トは、ガラスと基板との接合力で。
有機ビヒクルからなる所謂ガラスボンドタイプのペース
トは、ガラスと基板との接合力で。
導電パターンを基板上に被着させるものであるが、一般
にガラス成分が導電パターン表面に浮上り易く、半田濡
れ性(半田付は性)を劣下させる上、基板との接着強度
にも問題がある。
にガラス成分が導電パターン表面に浮上り易く、半田濡
れ性(半田付は性)を劣下させる上、基板との接着強度
にも問題がある。
そこで、半田濡れ性と接着強度の改善のために、ガラス
ボンドタイプのCuペースにBi2O3を添加・混入す
ることが、一部で試みられており、且つ発明者等もこれ
を試みたが、BizQ3の添加量を、導電性組成物(有
機溶剤に分散・混入前の組成物)の5wt%程度以上と
しなければ、半田濡れ性と接着強度の充分な改善が見ら
れないものであった。しかしながら、Bi2O3の添加
量が増すと、Cu粉末の全体に占める割合が低下して必
然的にシート抵抗値の増大を招いて、導電率を低下させ
るという欠点を招来する。また、BizO3は半田付は
時の加熱によって、 2 Bi2O3+3 Sn →4 Bi + 3 Sn
Oaの酸化ビスマス還元反応が徐々に進行して、接着
強度を劣下させる上、導電パターン内のガラスネットワ
ークを脆弱化させ易いという欠点もあり、Biz03の
添加量を多くすることには、信頼性の点で問題があるこ
とは否めなかった。
ボンドタイプのCuペースにBi2O3を添加・混入す
ることが、一部で試みられており、且つ発明者等もこれ
を試みたが、BizQ3の添加量を、導電性組成物(有
機溶剤に分散・混入前の組成物)の5wt%程度以上と
しなければ、半田濡れ性と接着強度の充分な改善が見ら
れないものであった。しかしながら、Bi2O3の添加
量が増すと、Cu粉末の全体に占める割合が低下して必
然的にシート抵抗値の増大を招いて、導電率を低下させ
るという欠点を招来する。また、BizO3は半田付は
時の加熱によって、 2 Bi2O3+3 Sn →4 Bi + 3 Sn
Oaの酸化ビスマス還元反応が徐々に進行して、接着
強度を劣下させる上、導電パターン内のガラスネットワ
ークを脆弱化させ易いという欠点もあり、Biz03の
添加量を多くすることには、信頼性の点で問題があるこ
とは否めなかった。
本発明は上記の点に鑑み成されたもので、充分な導電性
と、良好な半田濡れ性(半田付は性)・引張り強度(接
着強度)とが保証できると共に、半田付は時の加熱等に
よって特性の劣下する虞れの少い、厚膜Cuペースト用
の導電性組成物を提供するにある。
と、良好な半田濡れ性(半田付は性)・引張り強度(接
着強度)とが保証できると共に、半田付は時の加熱等に
よって特性の劣下する虞れの少い、厚膜Cuペースト用
の導電性組成物を提供するにある。
本発明者等は種々検討の結果、前記したBi2O3に代
えて、V2O5を所定量添加することによって、上記目
的を達成することを見出したもので、その詳細は以下な
る実施例から明らかとなる。
えて、V2O5を所定量添加することによって、上記目
的を達成することを見出したもので、その詳細は以下な
る実施例から明らかとなる。
本発明に用いられる導電性組成物の主成分となる(u粉
末は、(有機ビヒクルを含まない)導電性組成物全体に
対し90wt%以上、望ましくは、92.5wt%以上
とされる。これはCu成分が多い程導電率が良好となる
からである。また、Cu粉末の粒径は、0.3〜1.5
μmの範囲のものが選定され、必要に応じ粒径の異なる
Cu粉末が調合して用いられる。
末は、(有機ビヒクルを含まない)導電性組成物全体に
対し90wt%以上、望ましくは、92.5wt%以上
とされる。これはCu成分が多い程導電率が良好となる
からである。また、Cu粉末の粒径は、0.3〜1.5
μmの範囲のものが選定され、必要に応じ粒径の異なる
Cu粉末が調合して用いられる。
ガラスボンディングのためのガラスフリットとしては、
ホウケイ酸鉛ガラスに代表される各種低融点ガラスが適
用可能で、例えば、PbO−5iO2−B203系ガラ
ス、pbo−Si02系ガラス、pb。
ホウケイ酸鉛ガラスに代表される各種低融点ガラスが適
用可能で、例えば、PbO−5iO2−B203系ガラ
ス、pbo−Si02系ガラス、pb。
B203−ZrtQ系ガラス、ZnOB2O3系ガラス
等々を用いることができるが、望ましくは、ガラスフリ
ット全体に対し、PbOが5Qwt%以上含まれたもの
が選択される。また、該ガラスフリットの軟化点(So
ftening point )は、低い温度のものが
選定され、後述する本発明の厚膜(uペーストの溶成温
度から見て、その軟化点が250〜400℃低い範囲の
ものが選定される。これは、比重の大きいPbOが多く
、且つ軟化点が低いと、焼成時に導電パターン内部でガ
ラス成分の基板側への沈下・流動が相当に期待できるか
らである。
等々を用いることができるが、望ましくは、ガラスフリ
ット全体に対し、PbOが5Qwt%以上含まれたもの
が選択される。また、該ガラスフリットの軟化点(So
ftening point )は、低い温度のものが
選定され、後述する本発明の厚膜(uペーストの溶成温
度から見て、その軟化点が250〜400℃低い範囲の
ものが選定される。これは、比重の大きいPbOが多く
、且つ軟化点が低いと、焼成時に導電パターン内部でガ
ラス成分の基板側への沈下・流動が相当に期待できるか
らである。
また、このガラスフリットは、導電性組成物全体に対し
、1.5〜2,0wt%の割合とされる。
、1.5〜2,0wt%の割合とされる。
本発明において、半田付は性と接着強度の改善のために
添加されるV2O5は、導電性組成物全体に対して1〜
5wt%、更に望ましくは2〜4.5wt%とされ、粒
径は2μm以下のものが用いられル。コノV2O5)融
点(M、P)は690°Cで、沸点(B、P)は175
0℃であり、前記したBjzO3のそれ(M、 P=8
60’C,B 、 P=1900℃)に比してそれぞれ
低いものとなっており、従って焼成時の加熱においてB
i2O3よりも早く軟化して流動性をもつことになる。
添加されるV2O5は、導電性組成物全体に対して1〜
5wt%、更に望ましくは2〜4.5wt%とされ、粒
径は2μm以下のものが用いられル。コノV2O5)融
点(M、P)は690°Cで、沸点(B、P)は175
0℃であり、前記したBjzO3のそれ(M、 P=8
60’C,B 、 P=1900℃)に比してそれぞれ
低いものとなっており、従って焼成時の加熱においてB
i2O3よりも早く軟化して流動性をもつことになる。
また、このV2O5は、B12o、 よりも結合エネ
ルギーが比較的大きいので分解しにくく、換言するなら
還元されて前述した悪影響を及ぼす虞れも少い。
ルギーが比較的大きいので分解しにくく、換言するなら
還元されて前述した悪影響を及ぼす虞れも少い。
そして、本発明の導電性組成物は、上記した重量比のC
u粉末、ガラスフリット、V2O5が混合され、これに
必要に応じて、微量の分散剤、消泡剤が添加されて調合
される。このように作製された導電性組成物100重量
部に対して、有機ビヒクルを12〜16重量部加えて、
有機ビヒクル中に導、電性組成物を分散・混合して導電
ペーストと。
u粉末、ガラスフリット、V2O5が混合され、これに
必要に応じて、微量の分散剤、消泡剤が添加されて調合
される。このように作製された導電性組成物100重量
部に対して、有機ビヒクルを12〜16重量部加えて、
有機ビヒクル中に導、電性組成物を分散・混合して導電
ペーストと。
され、この導電ペーストは、スクリーン印刷・乾燥後、
ピーク温度830〜950℃で焼成される。
ピーク温度830〜950℃で焼成される。
上記した本発明による導電性組成物を用いた導電ペース
トを焼成して得られた導電パターンは、充分な導電性と
、良好な半田濡れ性、引張り強度を示した。これは、全
体として(u粉末の含有率を犬ぎくできること、V2O
5が焼成時に溶融し、この酸化物の溶融によってガラス
成分の粘度が低下して、ガラス成分が基板側へ移行し易
くなり、導電パターン表面部にガラス成分が殆んど浮き
上らないこと等が相俟ってなるものと推測される。
トを焼成して得られた導電パターンは、充分な導電性と
、良好な半田濡れ性、引張り強度を示した。これは、全
体として(u粉末の含有率を犬ぎくできること、V2O
5が焼成時に溶融し、この酸化物の溶融によってガラス
成分の粘度が低下して、ガラス成分が基板側へ移行し易
くなり、導電パターン表面部にガラス成分が殆んど浮き
上らないこと等が相俟ってなるものと推測される。
即ち、上記V2O5−!!−の融点M、Pと、沸点B、
Pと焼成温度との関係は、 M、Pく焼成温度(B 、 P の関係にあり、V2O5はガラス成分の軟化と共に、一
部ガラスに溶は込むように作用する。よって、ガラス成
分が基板側に集中して、充分な接着強度を保証すると共
に、この反作用として導電パターン表面には金属成分(
CLI)が集中することになって充分な半田濡れ性を保
証すると考えられる。
Pと焼成温度との関係は、 M、Pく焼成温度(B 、 P の関係にあり、V2O5はガラス成分の軟化と共に、一
部ガラスに溶は込むように作用する。よって、ガラス成
分が基板側に集中して、充分な接着強度を保証すると共
に、この反作用として導電パターン表面には金属成分(
CLI)が集中することになって充分な半田濡れ性を保
証すると考えられる。
そして、このメカニズムはB12O3においても作用す
ると考えられるが、V2O5の前記M、Pが、前述した
如くBi2O3のそれよりも低いので、Bi2O3より
も比較的少い量で効果的にガラス成分の粘度低下を加速
し、上述の作用をより一層助長するものであるからと推
測される。
ると考えられるが、V2O5の前記M、Pが、前述した
如くBi2O3のそれよりも低いので、Bi2O3より
も比較的少い量で効果的にガラス成分の粘度低下を加速
し、上述の作用をより一層助長するものであるからと推
測される。
一方、この半田付は性、接着強度の向上と、導電性の向
上とは相反する関係にあり、V2O5を多くするとCu
成分が相対的に少くなること等によって導電率は低下す
る。従って、本発明においては、V2O5は前述した如
く1〜5wt%とされている。即ち、V2O5は、Bi
2O3よりも少い量で半田付は性、接着強度の改善がな
されるからである。実験によれば、V2O5の添加量は
1wt %以上でないと効果が薄く、また5wt%を超
えると、焼成温度等の条件にもよるが、シート抵抗値を
、時として3 rnΩ/口/15μm以上とすることが
実験で確認された。勿論、この程度のシート抵抗値でも
Ag−Pdペーストに較べるとはるかに良好なものでは
あるが、Cuペーストに本来求められるべき高導電率を
満足させるには、5wt4以下であることが実験で確認
された。また、V2O5の添加量が6wt%を超えると
、焼成時に導電パターンのエツジ(辺部)に粘度低下に
基づくと思われるダレが生じ易くなることも確認され、
導電パターンに所謂ファインエツジを得るためには、V
2O5は5wt%以下が望ましいことが判明した。
上とは相反する関係にあり、V2O5を多くするとCu
成分が相対的に少くなること等によって導電率は低下す
る。従って、本発明においては、V2O5は前述した如
く1〜5wt%とされている。即ち、V2O5は、Bi
2O3よりも少い量で半田付は性、接着強度の改善がな
されるからである。実験によれば、V2O5の添加量は
1wt %以上でないと効果が薄く、また5wt%を超
えると、焼成温度等の条件にもよるが、シート抵抗値を
、時として3 rnΩ/口/15μm以上とすることが
実験で確認された。勿論、この程度のシート抵抗値でも
Ag−Pdペーストに較べるとはるかに良好なものでは
あるが、Cuペーストに本来求められるべき高導電率を
満足させるには、5wt4以下であることが実験で確認
された。また、V2O5の添加量が6wt%を超えると
、焼成時に導電パターンのエツジ(辺部)に粘度低下に
基づくと思われるダレが生じ易くなることも確認され、
導電パターンに所謂ファインエツジを得るためには、V
2O5は5wt%以下が望ましいことが判明した。
そして、また、高導電率と、極めて良好な半田付は性と
引張り強度の実現、上述のファインエツジの維持には、
最も望ましくは、V2O5ば2〜45wt%であること
が判明した。
引張り強度の実現、上述のファインエツジの維持には、
最も望ましくは、V2O5ば2〜45wt%であること
が判明した。
また、導電ペーストの焼成温度も重要なファクターとな
り、830℃以上であると、Cu粒子同志の結合が良好
となって、シート抵抗値を、約2.6mΩ/ロ/15μ
m以下として、充分な導電性を満足させることが確認さ
れた。また、焼成温度が950℃以下であると、高温加
熱によるガラス成分の導電パターン表面への浮上りも少
く、さほとゝまで半田付は性を劣下させろことがないこ
とが確認された。
り、830℃以上であると、Cu粒子同志の結合が良好
となって、シート抵抗値を、約2.6mΩ/ロ/15μ
m以下として、充分な導電性を満足させることが確認さ
れた。また、焼成温度が950℃以下であると、高温加
熱によるガラス成分の導電パターン表面への浮上りも少
く、さほとゝまで半田付は性を劣下させろことがないこ
とが確認された。
(実験例1)
Cu粉末として、粒径0.77μm、比表面積0、68
m”/ g、タップ密度3.61 g/ccの三井金
属鉱業株製のS−841201PNを、97.OWtチ
、ガラスフリットとして、旭硝子(ハ)裂の低融点ガラ
ス、ASF−1370(ガラスフリット全体を100重
量部として、B2O3が10、pboが50.5102
が35、A l 203が5重量部で、軟化点が600
℃)を、1.3wtチ、V2O5を1.2wt%とじ、
微量の分散剤を添加した導電性組成物を調合した。調合
に際しては、ガラスフリット、VzOs 粉末 嗣≠
中F≠淋をボールミルで8時間以上粉砕した後、Cu粉
末を加えて導電性組成物とし、これを、メーテルビネオ
ールにエチルセルロースを溶解させた有機ビヒクルに混
合し、三本ロールミルにて充分混合・分散して導電ペー
ストを作製した。この有機ビヒクルは、導電性組成物1
00重量部に対して、14.2重量部とした。
m”/ g、タップ密度3.61 g/ccの三井金
属鉱業株製のS−841201PNを、97.OWtチ
、ガラスフリットとして、旭硝子(ハ)裂の低融点ガラ
ス、ASF−1370(ガラスフリット全体を100重
量部として、B2O3が10、pboが50.5102
が35、A l 203が5重量部で、軟化点が600
℃)を、1.3wtチ、V2O5を1.2wt%とじ、
微量の分散剤を添加した導電性組成物を調合した。調合
に際しては、ガラスフリット、VzOs 粉末 嗣≠
中F≠淋をボールミルで8時間以上粉砕した後、Cu粉
末を加えて導電性組成物とし、これを、メーテルビネオ
ールにエチルセルロースを溶解させた有機ビヒクルに混
合し、三本ロールミルにて充分混合・分散して導電ペー
ストを作製した。この有機ビヒクルは、導電性組成物1
00重量部に対して、14.2重量部とした。
上記のよ・うに作製した導電ペーストを、京セラ■製の
96チアルミテ基板上に、200メソシユ。
96チアルミテ基板上に、200メソシユ。
ステンレススクリーンで、スキージ硬度60、ギー?7
プ0.4++m、印刷スピード40 mu/ sec、
印圧4kgの印刷条件で、導電パターンを形成し、10
分間レベリングした後、120℃で20〜30分乾燥し
た。これを、850℃、900℃、930℃の各ピーク
焼成温度で、ピーク温度保持時間を5〜10分とし、昇
温速度を約40℃/ m i nとし、60分プロフィ
ルで焼成した。また、焼成後の導電パターンの膜厚は1
3〜15μmとした。この導電パターンのシート抵抗値
を4端子法による電圧値の読み取りで行ない、引張り強
度試験を、2朋口の導電パターン上に0,8φの折曲げ
スズメッキ銅線を半田付けしてこれを引剥すビール試験
法で行なった。また、半田濡れ性試験のため、千住金属
■製のクリーム半田、5PT−2063を用いてこれを
印刷し、これをリフロー条件、ピーク230±10℃、
200℃以上のアップ時間を30〜5 Q Secとし
て半田付けを行ない、導電パターン表面の半田付は状態
を拡大観察した。
プ0.4++m、印刷スピード40 mu/ sec、
印圧4kgの印刷条件で、導電パターンを形成し、10
分間レベリングした後、120℃で20〜30分乾燥し
た。これを、850℃、900℃、930℃の各ピーク
焼成温度で、ピーク温度保持時間を5〜10分とし、昇
温速度を約40℃/ m i nとし、60分プロフィ
ルで焼成した。また、焼成後の導電パターンの膜厚は1
3〜15μmとした。この導電パターンのシート抵抗値
を4端子法による電圧値の読み取りで行ない、引張り強
度試験を、2朋口の導電パターン上に0,8φの折曲げ
スズメッキ銅線を半田付けしてこれを引剥すビール試験
法で行なった。また、半田濡れ性試験のため、千住金属
■製のクリーム半田、5PT−2063を用いてこれを
印刷し、これをリフロー条件、ピーク230±10℃、
200℃以上のアップ時間を30〜5 Q Secとし
て半田付けを行ない、導電パターン表面の半田付は状態
を拡大観察した。
以上による実験結果は、表−1の通りであり、表−1
930℃の焼成条件で、引張り強度に若干問題がある以
外には、他は総べて良好な結果を示した。
外には、他は総べて良好な結果を示した。
ここで、○印は、シート抵抗においては、1.8〜2、
OrnΩ/口/15μm以下、半田付は性においては
全面半田被着、引張り強度においては、3〜5 kg/
2 ttryn口以上のものを指している。
OrnΩ/口/15μm以下、半田付は性においては
全面半田被着、引張り強度においては、3〜5 kg/
2 ttryn口以上のものを指している。
(実験例2)
(u粉末を94.5W1%、ガラスフリットを1.78
wt%、V2O5ヲ3.55 wt % トL、他ハ総
ヘテ実験例1と同等の条件で実験を行なった結果、表−
2に示すように、総べて良好な結果が得られた。
wt%、V2O5ヲ3.55 wt % トL、他ハ総
ヘテ実験例1と同等の条件で実験を行なった結果、表−
2に示すように、総べて良好な結果が得られた。
表−2
(実験例3)
Cu粉末を93.4wt%、ガラスフリットを1.75
wt%、V2O5ヲ4.83 wt%トじ、他ハ総ヘテ
実験例1と同等の条件で実験を行なった結果、表−3に
示すように総べて良好な結果が得られた。
wt%、V2O5ヲ4.83 wt%トじ、他ハ総ヘテ
実験例1と同等の条件で実験を行なった結果、表−3に
示すように総べて良好な結果が得られた。
以上詳述したように本発明によれば、導電率、半田付は
性、接着強度に優れた導電性組成物が得られ、その産業
的価値は多大である。
性、接着強度に優れた導電性組成物が得られ、その産業
的価値は多大である。
Claims (5)
- (1)Cu粉末と、ガラスフリットと、V_2O_5と
を少くとも含有してなることを特徴とする導電性組成物
。 - (2)導電性組成物(有機ビヒクルを除く)全体に対し
、前記Cu粉末は90〜97.5wt%、前記ガラスフ
リットは1.5〜2.0wt%、前記V_2O_5は1
〜6wt%とされたことを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項記載の導電性組成物。 - (3)前記ガラスフリットはPbOを含み、該ガラスフ
リット100重量部に対し、PbOは50重量部以上配
合されていることを特徴とする特許請求の範囲第(1)
項記載の導電性組成物。 - (4)前記導電性組成物を用いた導電ペーストの焼成温
度に対し、前記ガラスフリットの軟化点は、250〜4
00℃低い温度であることを特徴とする特許請求の範囲
第(1)項記載の導電性組成物。 - (5)前記導電性組成物を用いた導電ペーストの焼成温
度は、830〜950℃であることを特徴とする特許請
求の範囲第(1)項記載の導電性組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16145585A JPS6222868A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 導伝性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16145585A JPS6222868A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 導伝性組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6222868A true JPS6222868A (ja) | 1987-01-31 |
Family
ID=15735429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16145585A Pending JPS6222868A (ja) | 1985-07-22 | 1985-07-22 | 導伝性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6222868A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0810995A (ja) * | 1994-06-27 | 1996-01-16 | Kikusui Seisakusho:Kk | 回転式粉末圧縮成形機 |
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US7569162B2 (en) * | 2003-11-14 | 2009-08-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electrically conductive paste and multilayer ceramic substrate |
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US9224517B2 (en) | 2011-04-07 | 2015-12-29 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Paste composition for electrode and photovoltaic cell |
US9390829B2 (en) | 2010-01-25 | 2016-07-12 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Paste composition for electrode and photovoltaic cell |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61107607A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-26 | 田中マツセイ株式会社 | 導体組成物 |
-
1985
- 1985-07-22 JP JP16145585A patent/JPS6222868A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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