JPS62227478A - アルミナ薄膜の製造方法 - Google Patents
アルミナ薄膜の製造方法Info
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7121286A JPS62227478A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | アルミナ薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7121286A JPS62227478A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | アルミナ薄膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62227478A true JPS62227478A (ja) | 1987-10-06 |
JPH0455129B2 JPH0455129B2 (enrdf_load_html_response) | 1992-09-02 |
Family
ID=13454148
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7121286A Granted JPS62227478A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | アルミナ薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62227478A (enrdf_load_html_response) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006096629A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nof Corp | 酸化アルミニウム薄膜および酸化アルミニウム薄膜形成用組成物 |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7121286A patent/JPS62227478A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006096629A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Nof Corp | 酸化アルミニウム薄膜および酸化アルミニウム薄膜形成用組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0455129B2 (enrdf_load_html_response) | 1992-09-02 |
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