JPS62226885A - CdTeの結晶成長装置 - Google Patents
CdTeの結晶成長装置Info
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- JPS62226885A JPS62226885A JP7031586A JP7031586A JPS62226885A JP S62226885 A JPS62226885 A JP S62226885A JP 7031586 A JP7031586 A JP 7031586A JP 7031586 A JP7031586 A JP 7031586A JP S62226885 A JPS62226885 A JP S62226885A
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- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-2h-tetrazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NNN=N1 MARUHZGHZWCEQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はブリッジマン炉を用いたCdTe結晶の成長装
置に関し、初期段階における単結晶育成のための容器底
部の構造に関する。
置に関し、初期段階における単結晶育成のための容器底
部の構造に関する。
〈従来の技術〉
第4図(a)、(b)はブリッジマン炉を使用したCd
Te結晶の¥J f!装置を示す概念構成図(a)およ
び温度分布図(b)である。第4図(a)、(b)にお
いて、1は上部にフック2を有する筒状の容器(例えば
石英アンプル・・・以下アンプルという)で、純度6N
(99,9999%)のcdおよびTeの結晶を化学
当量比の割合で混合し、10−’パスカル(Pa)程度
の真空度で封止したものである。3は加熱炉、4は炉心
管、5は炉心管4の外壁に設けられたヒータである。こ
れらヒータは図示しない制御部により制御され。
Te結晶の¥J f!装置を示す概念構成図(a)およ
び温度分布図(b)である。第4図(a)、(b)にお
いて、1は上部にフック2を有する筒状の容器(例えば
石英アンプル・・・以下アンプルという)で、純度6N
(99,9999%)のcdおよびTeの結晶を化学
当量比の割合で混合し、10−’パスカル(Pa)程度
の真空度で封止したものである。3は加熱炉、4は炉心
管、5は炉心管4の外壁に設けられたヒータである。こ
れらヒータは図示しない制御部により制御され。
加熱炉3内を所定の温度に制御する。6は容器1をつる
し1図示しない位置制御装置により所定の場所に位置さ
せ、または移動さ1!るためのワイヤである。
し1図示しない位置制御装置により所定の場所に位置さ
せ、または移動さ1!るためのワイヤである。
上記の様に装置を構成し、CdとTeが真空封入された
アンプル1を加熱炉3内の(()部領域(1120〜1
150℃)に位置させて、充分に反応させ、融体とした
後一定の速度〈例えば5mm/時間)で降下させる。そ
の結果CdTeの融体はA点の1092℃でアンプル1
の先端より結晶化がはじまり、アンプル1の降下に従っ
て全体が結晶化する(図中8の部分が融体、9の部分が
結晶化した部分である)。そしてアンプル1全体が(ロ
)部の700〜950’Cの領域に達した後炉全体を徐
々に冷u1シ、アンプル1から結晶を取出している。
アンプル1を加熱炉3内の(()部領域(1120〜1
150℃)に位置させて、充分に反応させ、融体とした
後一定の速度〈例えば5mm/時間)で降下させる。そ
の結果CdTeの融体はA点の1092℃でアンプル1
の先端より結晶化がはじまり、アンプル1の降下に従っ
て全体が結晶化する(図中8の部分が融体、9の部分が
結晶化した部分である)。そしてアンプル1全体が(ロ
)部の700〜950’Cの領域に達した後炉全体を徐
々に冷u1シ、アンプル1から結晶を取出している。
ところで、この様な結晶成長装置において結晶に粒界が
入らず単結晶として成長させるためには。
入らず単結晶として成長させるためには。
一般にアンプル1の管壁で発生する粒界を排除し。
アンプル1の底部で発生した粒界を1つに選択する必要
がある。このため、アンプル1の底部を種々の形状に加
工して粒界の成長を防止している。
がある。このため、アンプル1の底部を種々の形状に加
工して粒界の成長を防止している。
第5図は従来用いられているアンプルの底部を示すもの
で、(a)はアンプル1の底部を下方へ向かって針状に
絞ったもの、(b)はアンプル1の底部にくびれを設け
その下方を絞ったもの。
で、(a)はアンプル1の底部を下方へ向かって針状に
絞ったもの、(b)はアンプル1の底部にくびれを設け
その下方を絞ったもの。
(C)はアンプル1の底部を比較的緩い傾斜で絞ったも
のである。これらの図は、アンプル1の底部では粒界1
0a〜10dが次々と発生するが。
のである。これらの図は、アンプル1の底部では粒界1
0a〜10dが次々と発生するが。
粒界の一つが選択され、結晶の成長とともに単結晶部分
9が太き(なっていく状態を模式的に示している。
9が太き(なっていく状態を模式的に示している。
〈発明が解決しようとする問題点〉
このような形状によれば底部が平らな場合に比較すれば
9粒界はアンプル1の突端から発生してい(ので粒界の
発生の数を減少させることができる。しかし、これらの
形状においても例えば第6図に示すように1粒界はアン
プル1の底部突端の各所から発生したり、あるいは成長
途中の管壁より新たに発生したりするので、常に1つの
粒界のみを上方へ成長させて単結晶を得るのは難しいと
いう問題点があった。
9粒界はアンプル1の突端から発生してい(ので粒界の
発生の数を減少させることができる。しかし、これらの
形状においても例えば第6図に示すように1粒界はアン
プル1の底部突端の各所から発生したり、あるいは成長
途中の管壁より新たに発生したりするので、常に1つの
粒界のみを上方へ成長させて単結晶を得るのは難しいと
いう問題点があった。
本発明は上記従来技術に鑑みて成されたもので。
主として初期段階における多数の粒界が発生する部分の
体積を小さクシ、封入したCdTeのfitに対して単
結晶の割合いを大きくすることを目的とする。
体積を小さクシ、封入したCdTeのfitに対して単
結晶の割合いを大きくすることを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
上記問題点を解決するための本発明の構成は。
カドミウム(Cd )とテルリウム(Te )の結晶を
化学当m比の割合で筒状のアンプルに真空封入し、前記
アンプルを一定の温度勾配を設定することが可能な一定
の良さを有する加熱炉に収納し。
化学当m比の割合で筒状のアンプルに真空封入し、前記
アンプルを一定の温度勾配を設定することが可能な一定
の良さを有する加熱炉に収納し。
テルル化カドミウム(Cd Te )の結晶を成長させ
るようにしたCdTeの結晶成長装置において。
るようにしたCdTeの結晶成長装置において。
前記アンプルの底部に小径の段部を形成し前記小径の段
部をCdTeと同程度の熱伝導率を有する断熱材で覆っ
たものである。
部をCdTeと同程度の熱伝導率を有する断熱材で覆っ
たものである。
・〈実施例〉
一般に第7図(a)のように固液界面が液層側に凹であ
る場合にはアンプル1の管壁で生じる多数の核からの粒
界が結晶中へ向かうので単結晶の成長は困難となり、固
液界面が(b)のように凸である場合には結晶9内に粒
界があっても成長中に粒界が管壁の方へ移動し、またア
ンプル1の管壁で発生する粒界も結晶内に入らず単結晶
が成長する。本出願人はCdTe結晶はアンプルの底部
では固液界面が液層側に凹の状態で多結晶として成長す
るが、121品がある程度成長した侵は凸の状態となり
単結晶として成長することを実験により確認した。
る場合にはアンプル1の管壁で生じる多数の核からの粒
界が結晶中へ向かうので単結晶の成長は困難となり、固
液界面が(b)のように凸である場合には結晶9内に粒
界があっても成長中に粒界が管壁の方へ移動し、またア
ンプル1の管壁で発生する粒界も結晶内に入らず単結晶
が成長する。本出願人はCdTe結晶はアンプルの底部
では固液界面が液層側に凹の状態で多結晶として成長す
るが、121品がある程度成長した侵は凸の状態となり
単結晶として成長することを実験により確認した。
本発明はこの様な実験結果に基づいて成されたものであ
る。
る。
第1図は本発明の一実施例を示すもので、アンプル1の
底部にこのアンプル1の径よりも小さな径からなる段部
を設け、従来と同様の圧力でCdとTeの混合物30を
入れ、前記段部の小径部にCd Teと略同様の熱伝導
率を有する断熱材(例えばアルミナと5i02の混合物
)31を形成したものである。この断熱材31はアンプ
ル1の外径とほぼ同様に形成する(実験ではアンプル1
の内径d1を25mm、段部(小径)の内径d2を8.
5mm、段部の良さaを45mm、アンプルの全長を1
00mmとした)。
底部にこのアンプル1の径よりも小さな径からなる段部
を設け、従来と同様の圧力でCdとTeの混合物30を
入れ、前記段部の小径部にCd Teと略同様の熱伝導
率を有する断熱材(例えばアルミナと5i02の混合物
)31を形成したものである。この断熱材31はアンプ
ル1の外径とほぼ同様に形成する(実験ではアンプル1
の内径d1を25mm、段部(小径)の内径d2を8.
5mm、段部の良さaを45mm、アンプルの全長を1
00mmとした)。
上記構成のアンプルを先に従来例で示した炉中に入れ同
様の熱処理を施す。その結果、第2図に示すように1段
部は見掛【プ上従来のアンプルと同+Sな状態となる。
様の熱処理を施す。その結果、第2図に示すように1段
部は見掛【プ上従来のアンプルと同+Sな状態となる。
この段部を適当な良さに選定しておけば9段部では結晶
は多結晶状態で成長するが1段部の終端近傍のからは固
液界面が凸の状態となり単結晶となって成jkする。
は多結晶状態で成長するが1段部の終端近傍のからは固
液界面が凸の状態となり単結晶となって成jkする。
上記構成によれば多結晶となって無駄になる部分の体積
が少ない(この実験例では段部の体積が従来に比較して
約1/10)ので対人材料に対する単結晶の割合いが飛
躍的に増大する。
が少ない(この実験例では段部の体積が従来に比較して
約1/10)ので対人材料に対する単結晶の割合いが飛
躍的に増大する。
第3図は他の実施例を示すもので、この実施例において
はアンプルの底部の段部を前述の実施例に比較して短く
形成し、断熱材31を下方に長く(例えば全長100m
m&度に対して断熱部の長さが45mm程度)形成した
ものである。
はアンプルの底部の段部を前述の実施例に比較して短く
形成し、断熱材31を下方に長く(例えば全長100m
m&度に対して断熱部の長さが45mm程度)形成した
ものである。
上記構成においても見掛は上アンプルの長さを長くした
状態となる。このことにより結晶が固化しはじめるアン
プル先端部において、固液界面形状をはじめ1.目う凸
状にできるため、仮に多数の結晶核が発生したとしても
単一核が選択され易くなる。この結果多結晶部分を少な
くすることができ。
状態となる。このことにより結晶が固化しはじめるアン
プル先端部において、固液界面形状をはじめ1.目う凸
状にできるため、仮に多数の結晶核が発生したとしても
単一核が選択され易くなる。この結果多結晶部分を少な
くすることができ。
対人材料に対する単結晶の別合いを増大さけることがで
きる。
きる。
〈効果ン・
以」一実施例と共に具体的に説明したように1本発明に
よれば、初期段階にJ5ける多数の粒界の発生する部分
の体積を小さくすることができ、封入したCd Teの
間に対して単結晶の割合いを増大させることができる。
よれば、初期段階にJ5ける多数の粒界の発生する部分
の体積を小さくすることができ、封入したCd Teの
間に対して単結晶の割合いを増大させることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す説明図、第2図は段部
終端で固液界面が凸状となっている状態を示す図、第3
図は他の実施例を示す説明図、第4図(a)、(b)は
ブリッジマン炉の一般的構成を示す説明図、第5図(a
)〜(C)は従来のアンプルの底部の形状を示す説明図
、第6図はアンプルの壁面から多数の粒界が成長してい
る状態を示す説明図、第7図はアンプルの中で結晶が成
長している段階の固液界面の状態をホブ説明図である。 1・・・アンプル、3・・・加熱炉、9・・・CdTe
結晶。 31・・・部材。
終端で固液界面が凸状となっている状態を示す図、第3
図は他の実施例を示す説明図、第4図(a)、(b)は
ブリッジマン炉の一般的構成を示す説明図、第5図(a
)〜(C)は従来のアンプルの底部の形状を示す説明図
、第6図はアンプルの壁面から多数の粒界が成長してい
る状態を示す説明図、第7図はアンプルの中で結晶が成
長している段階の固液界面の状態をホブ説明図である。 1・・・アンプル、3・・・加熱炉、9・・・CdTe
結晶。 31・・・部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)カドミウム(Cd)とテルリウム(Te)の結晶を
化学当量比の割合で筒状の容器に真空封入し、前記容器
を一定の温度勾配を設定することが可能な一定の長さを
有する加熱炉に収納し、テルル化カドミウム(CdTe
)の結晶を成長させるようにしたCdTeの結晶成長装
置において、前記容器の底部に小径の段部を形成し前記
小径の段部をCdTeと同程度の熱伝導率を有する部材
で覆ったことを特徴とするCdTeの結晶成長装置。 2)前記部材は容器の外径と略同径に覆ったことを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の結晶成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7031586A JPS62226885A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | CdTeの結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7031586A JPS62226885A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | CdTeの結晶成長装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62226885A true JPS62226885A (ja) | 1987-10-05 |
Family
ID=13427896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7031586A Pending JPS62226885A (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | CdTeの結晶成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62226885A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55154393A (en) * | 1979-05-11 | 1980-12-01 | Hitachi Metals Ltd | Preparation of monocrystal |
JPS60122792A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-01 | Fujitsu Ltd | 半導体結晶の製造方法および装置 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP7031586A patent/JPS62226885A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55154393A (en) * | 1979-05-11 | 1980-12-01 | Hitachi Metals Ltd | Preparation of monocrystal |
JPS60122792A (ja) * | 1983-12-08 | 1985-07-01 | Fujitsu Ltd | 半導体結晶の製造方法および装置 |
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