JPS62218919A - 走査光学系 - Google Patents

走査光学系

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JPS62218919A
JPS62218919A JP61061838A JP6183886A JPS62218919A JP S62218919 A JPS62218919 A JP S62218919A JP 61061838 A JP61061838 A JP 61061838A JP 6183886 A JP6183886 A JP 6183886A JP S62218919 A JPS62218919 A JP S62218919A
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JP
Japan
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optical system
mirrors
lens
scanned
plane
Prior art date
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Pending
Application number
JP61061838A
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English (en)
Inventor
Yoji Kubota
洋治 久保田
Takaaki Tanaka
隆明 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Sankyo Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
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Publication date
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Priority to JP61061838A priority Critical patent/JPS62218919A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、レーザビームプリンタ等の走査光学系に関す
るものであり、特に、走査光学系における偏向器の反射
面の倒れによる影響の補正に関するものである。
(従来の技術) 光偏向器として光走査光学系に多用される回転多面鏡は
、製作誤差によって各反射面の回転軸に対する垂直度に
ばらつきがあり、これが走査線のピッチむらの原因とな
っている。
ここで問題になるピッチむらは、回転多面鏡の回転軸に
平行な方向、即ち副走査方向に発生し、これが大きいと
走査精度が悪化し、レーザビームプリンタの場合には、
印字品位を大幅に劣化させる原因となってしまう。かか
るピッチむらを発生させないためには、従来より概ね二
つの方法が提案されている。一つは、回転多面鏡の製作
精度そのものを向上させてピッチむらの発生を最小限に
止める方法であり、もう一つは、光学系の中にシリンド
リカルレンズやトロイダルレンズ等の一方向性結像素子
を組み入れ、回転多面鏡の反射面の倒れによる一方向性
のビームのふれを補正する方法である。
前者の方法においては、倒れ補正光学系という複雑な構
成を採用する必要がなく光学系を簡単にできるという長
所がある反面、高精度の回転多面鏡の製作に大きなコス
トがかかるという欠点を有している。また、後者の方法
においては、回転多面鏡は低コストに製作できるものの
、倒れ補正光学系という複雑な構成を採用せねばならず
、組み立て調整等に手間がかかるという問題がある。
上記二つの方法で総合的なコストを比較してみると、現
在の一般的な技術レベルでは、回転多面鏡の高精度化よ
りも、倒れ補正光学系を採用する方が低コストで走査ピ
ッチむらを解消することが可能である。
(発明が解決しようとする問題点) シリンドリカルレンズやトロイダルレンズ等の一方向性
結像素子を用いれば上記倒れ補正光学系を構成すること
が可能ではあるが、最近求められている走査光学系全体
の小型化に対して積極的に対応す゛ることは困難である
。小型化を実現するために′まず考えられるのは、fθ
レンズのバックフォーカスを短くすることである。しか
しながら、fθレンズのバックフォーカスを短くするに
は、レンズの焦点距離を短くせねばならず、このことは
fθレンズを広角化することに他ならない。しかし、限
られた構成枚数のレンズによって広角化を図っても、そ
こにはどうしても限界があり、従って、走査系全体の小
型化も限られたものとなってしまう。
本発明は、かかる従来の問題点を解消するためになされ
たものであって、シリンドリカル凹面ミラーという一方
向性結像素子を用いて、回転多面鏡の倒れ補正を行うと
共に、走査ビームの光路を折り曲げることによって走査
系全体の小型化をも実現させることを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、光源部、第1結像光学系、光偏向器、第2結
像光学系の各部分を有してなるビーム走査光学系におい
て、第1結像光学系は、光源部からの光束を偏向方向に
対し平行な方向に線像結像させるものであり、光偏向器
は上記第1結像光学系による線像結像の近傍に偏向反射
面を有するように位置しており、第2結像光学系はfθ
レンズと少なくとも2枚のミラーによって構成されてい
て、これらのミラーは、互いに向かい合って配置されて
いると共に、そのうちの少なくとも一つのミラーが偏向
方向に対して垂直な方向にパワーを有するシリンドリカ
ル凹面ミラーであり、この凹面ミラーのパワーは、偏向
面と被走査面とが上記fθレンズとシリンドリカル凹面
ミラーを介して共役となるように定まっているこりを特
徴とする。
(作用) 第1結像光学系は、光源部からの光束を、光偏向器の偏
向反射面の近傍において偏向器による偏向方向に対し平
行な方向に縁結像させる。fθレンズと少なくとも1枚
のシリンドリカル凹面ミラーを含む少なくとも2枚のミ
ラーとでなる第2結像光学系のパワーは、偏向面と被走
査面とが共役となるように定まっているため、仮に光偏
向器の偏向面に倒れがあったとしても、偏向面における
線像結像位置と被走査位置とは共役の関係となって被走
査面におけるぶれがなくなり、偏向面の倒れによる影響
が補正される。
(実施例) 以下、本発明に係る走査光学系の実施例について図面を
参照しながら説明する。
第1図において、光源部1から出た光束は、第1結像光
学系を構成するシリンドリカルレンズ2に入射し、回転
多面鏡3による偏向方向に対し平行な方向に線状の像が
結像されるようになっている。上記回転多面鏡3は光偏
向器をなすもので、上記第1結像光学系2による線像結
像の近傍に偏向反射面が位置するように配置されている
。回転多面鏡3によって反射され偏向された光束は第2
結像光学系4に入射するようになっている。第2結像光
学系4は、fθレンズ41と第1ミラー42と第2ミラ
ー43とで構成されている。この二つのミラー42.4
3は、第2図に詳細に示されているように互いに向かい
合って配置され、fθレンズ41からの光束を2字状に
曲げて被走査ドラム7に至らしめるようになっている。
また、上記二つのミラーのうちの一方のミラー43は、
回転多面鏡3による偏向方向に対して垂直な方向にパワ
ーを有するシリンドリカル凹面ミラーとなっており、そ
のパワーは、回転多面鏡3の偏向面とドラム7の被走査
面とが上記fθレンズ41とシリンドリカル凹面ミラー
43を介して共役となるように定まっている。
上記実施例によれば、2枚のミラー42.43はその反
射面が互いに向かい合って配置されて光路が2字状に曲
げられるため、fθレンズ410バックフォーカスを長
くしても、fθレンズ41から被走査面までの空間的距
離を短縮することが可能である。第2結像光学系に入射
した光束は、偏向方向と平行な方向については、fθレ
ンズ41によるfθ偏向を経たのちミラー42.43で
2回反射されてドラム7の被走査面上に集光する。また
、偏向面に対し垂直な方向についても、偏向面と被走査
面とが共役になっているため、同様に集光することがで
きると共に、上記の如き共役な関係があるため、偏向反
射面の倒れによる光走査のピッチむらを補正することが
可能である。
上記実施例における二つのミラー42.43はこれを何
れもシリンドリカル凹面ミラーとしてもよい。
この場合、rθレンズ41を含めた第2結像光学系のパ
ワーが、偏向面と被走査面とが共役となるように上記二
つのミラーのパワーを定める。
互いに向かい合って配置される第2光学系中のミラーは
、偏向器からの光束を直角方向に曲げて被走査面に至ら
しめるように配置してもよい。第3図はそのような例を
示すもので、光偏向器から図示されないfθレンズを経
て入射した光束は、互いに向かい合って配置されたミラ
ー44.45のうちの一方のミラー44で反射されて他
方のミラー45に入射し、同ミラー45で反射された光
束は上記fθレンズを経て入射した光束に直交する方向
に反射されて被走査面に至るようになっている。上記ミ
ラー44.45は何れも偏向方向に対し垂直な方向にパ
ワーを有するシリンドリカル凹面ミラーになっており、
これら凹面ミラー44.45のパワーは、偏向面と被走
査面とが図示されないfθレンズと上記凹面ミラー44
.45とを介して共役となるように定まっている。
対をなすミラーは、第4図に符号46.47で示されて
いるように、一体化した透明部材6の対角部の面を反射
面に形成することによって構成してもよい。透明部材6
は、例えばガラスや合成樹脂等で作り、ミラー46.4
7の部分は外側から反射膜を形成することによって作る
ことができる。ミラー46.47は何れもシリンドリカ
ル凹面ミラーになっている。
また、第2結像光学系中のミラーは、第5図の例のよう
に、4個のシリンドリカル凹面ミラー48.49.50
.51を互いに向かい合わせることによって構成しても
よい。各ミラー48.49.50.51のパワーは、図
示されないfθレンズのパワーと合わせて偏向面と被走
査面とが共役となるように定められることは言うまでも
ない。第5図の例によれば、各シリンドリカル凹面ミラ
ーの曲率を大きくとることができるので、ミラーの作成
が容易であり、また、光路長を充分にとりながら偏向器
と被走査面との距離を短くできるので、走査光学系全体
をコンパクト化できる。
なお、第2結像光学系中に含まれるミラーは少なくとも
2枚あればよく、3枚でも、それ以上でも差支えなく、
これらのミラーへの入射光路と最終反射光路との角度の
関係も、平行の関係や直角の関係に限らず、設計の都合
により適宜の角度関係に設定して差支えない。また、少
なくとも2枚のミラーのうち少なくとも1枚がシリンド
リカル凹面ミラーであればよい。
(発明の効果) 本発明によれば、光偏向器はその偏向反射面が第1結像
光学系による線像結像の近傍に位置するよ、うに配置し
、fθレンズと少なくとも1枚のシリントリカル凹面ミ
ラーを含む少なくとも2枚のミラーとで第2結像光学系
を構成し、上記シリンドリカル凹面ミラーは偏向方向に
対して垂直な方向にパワーを持たせ、そのパワーは、偏
向面と被走査面とが上記fθレンズとシリンドリカル凹
面ミラーを介して共役となるように定めたため、偏向反
射面における線像結像位置と被走査面における結像位置
とが偏向反射面の倒れに関係なく一定の関係となって偏
向器の面倒れ補正が行われると共に、fθレンズと被走
査面との間に少なくとも2枚のミラーが互いに向かい合
って配置されることにより、fθレンズと被走査面との
空間的距離を短縮することができ、上記fθレンズのバ
ックフォーカスが長(でも、走査光学系全体を小型化す
ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る走査光学系の実施例を概略的に示
す斜視図、第2図は同上実施例中のミラ一部分の拡大側
面図、第3図は本発明に用いることができるミラ一部分
の別の構成例を示す側面図、第4図は本発明に用いるこ
とができるミラ一部分のさらに別の構成例を示す側面図
、第5図は本発明に用いることができるミラ一部分のさ
らに別の構成例を示す側面図である。 1・・・光源部、 2・・・第1結像光学系、3・・・
光偏向器としての回転多面鏡、4・・・第2結像光学系
、 6・・・透明部材、41・・・fθレンズ、 42
・・・ミラー、43・・・シリンドリカル凹面ミラー、
44.45.46.47.48.49.50.51・・
・ミラー。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光源部、第1結像光学系、光偏向器、第2結像光学
    系の各部分を有してなるビーム走査光学系において、第
    1結像光学系は、光源部からの光束を偏向方向に対し平
    行な方向に線像結像させるものであり、光偏向器は上記
    第1結像光学系による線像結像の近傍に偏向反射面を有
    するように位置しており、第2結像光学系はfθレンズ
    と少なくとも2枚のミラーによって構成されていて、こ
    れらのミラーは、互いに向かい合って配置されていると
    共に、そのうちの少なくとも一つのミラーが偏向方向に
    対して垂直な方向にパワーを有するシリンドリカル凹面
    ミラーであり、この凹面ミラーのパワーは、偏向面と被
    走査面とが上記fθレンズとシリンドリカル凹面ミラー
    を介して共役となるように定まっていることを特徴とす
    る走査光学系。 2、少なくとも2枚のミラーは、透明部材の対角部の面
    を反射面に形成することによって構成された特許請求の
    範囲第1項記載の走査光学系。
JP61061838A 1986-03-19 1986-03-19 走査光学系 Pending JPS62218919A (ja)

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JP61061838A JPS62218919A (ja) 1986-03-19 1986-03-19 走査光学系

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JP61061838A JPS62218919A (ja) 1986-03-19 1986-03-19 走査光学系

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JPS62218919A true JPS62218919A (ja) 1987-09-26

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JP61061838A Pending JPS62218919A (ja) 1986-03-19 1986-03-19 走査光学系

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0413238A (ja) * 1990-04-30 1992-01-17 Samsung Electron Co Ltd 光走査装置を使用した光学ヘッド

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60241012A (ja) * 1984-05-16 1985-11-29 Toshiba Corp 露光装置
JPS60257418A (ja) * 1984-06-04 1985-12-19 Fuji Xerox Co Ltd 光ビ−ム走査装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60241012A (ja) * 1984-05-16 1985-11-29 Toshiba Corp 露光装置
JPS60257418A (ja) * 1984-06-04 1985-12-19 Fuji Xerox Co Ltd 光ビ−ム走査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0413238A (ja) * 1990-04-30 1992-01-17 Samsung Electron Co Ltd 光走査装置を使用した光学ヘッド

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