JPS62210713A - 弾性表面波共振器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧電性基板或いは圧電性薄膜を用いた基板に
設けられた通常のインターデジタル電極型共振器におい
て、正負電極の間に正負電極のいずれにも電気的に結合
されていない開放型の浮き電極或いは短絡型の浮き電極
を配置した構造の弾性表面波共振器に関するものである
。

弾性表面波共振器として、インターデジタル電極の両側
に多数の本数のストリップ電極からなる反射器を用いた
共振器或いは通常のインターデジタル電極を用いた共振
器が研究され、既に一部は実用化されている。しかし、
近年、小型でかつ容量比の良好な弾性表面波共振器が要
求されている。

本発明はそれらの要求に答える特性をもつ共振器に関す
るものである。

第１図のように、圧電性の基板ｌの表面に作製された通
常のインターデジタル電極の間に、いずれの電極にも結
合されていない開放型の浮き電極６を配置する。この開
放型の浮き電極の反射波は、正負インターデジタル電極
の反射波に相加えられて大きな反射係数が得られるため
、従来型の通常のインターデジタル電極を用いた共振器
より少ない電極本数で大きな反射特性が得られる。従っ
て、大きな共振尖鋭度Ｑと小さな容量比γをもつ共振器
が得られる。

第１図では通常のインターデジタル電極間に開放型の浮
き電極６を挿入したが、第２図では第１図（ｂ）の開放
型の浮き電極をバスバーで結合した短絡型の浮き電極８
（反射が最大になる周波数における弾性表面波の波長λ
。の半分の間隔でお互いに結合されている電極）を用い
た弾性表面波共振器を示している。この場合も第１図の
場合と同様少ない本数で大きな反射特性をもつ共振器が
得られる。

また、第１図では、開放型の浮き電極は電気的に継かっ
た一本の電極からなっているが、これを弾性表面波の伝
搬方向に対して直角な方向に数個に分割した電極９をも
つ第３図の構造の発明も本特許に含まれる。このように
分割することにより不要横モードによって生ずる共振・
反共振間のスプリアス共振を抑圧することができる。

以上、本発明のように正負電極間に浮き電極を設けたイ
ンターデジタル型弾性表面波共振器を用いることにより
小型、高性能の素子を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の開放型浮き電極をもつインターデジ
タル型弾性表面波共振器の構造であり、（ａ）は立体図
、（ｂ）は電極構造の平面図である。また、図でλ。は
反射が最大となる共振周波数における弾性表面波の波長
である。 ■・・・基板、２・・・バスバー、３・・・バスバー、
４・・・正或いは負電極、５・・・負或いは正電極、６
・・・開放型の浮き電極 第２図は、本発明の短絡型の浮き電極をもつインターデ
ジタル型弾性表面波共振器の電極構造である。 ７・・・短絡用バスバー、８・・・短絡型浮き電極、第
３図は、本発明の分割開放型浮き電極をもつインターデ
ジタル型弾性表面波共振器の電極構造である。 ９・・・分割開放型浮き電極。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電性基板、或いは非圧電性の基板表面に圧電性
   薄膜を設けた基板に正負の電極を配置した通常のインタ
   ーデジタル電極間に、正負のいずれの電極にも電気的に
   結合されていない開放型の浮き電極６、或いは短絡型の
   浮き電極８を正負電極間に配置した構造のインターデジ
   タル電極型弾性表面波共振器。
2. （２）特許請求の範囲第１項で、正負電極間に配置した
   開放型の浮き電極を弾性表面波のもつ構造のインターデ
   ジタル電極型弾性表面波共振器。