JPS62210275A

JPS62210275A - ベ−ンポンプ

Info

Publication number: JPS62210275A
Application number: JP61053311A
Authority: JP
Inventors: Kiyokazu Shinjo; 新庄　清和; Yoshio Iwake; 井分　良雄; Yoshimichi Hara; 芳道原; Masamitsu Egashira; 江頭　正充; Kazunori Iwamura; 岩村　一範; Toyoshige Sasaki; 佐々木　豊重; Shigeki Mori; 茂樹毛利
Original assignee: Nippon Tungsten Co Ltd; Toray Industries Inc
Current assignee: Nippon Tungsten Co Ltd; Toray Industries Inc
Priority date: 1986-03-10
Filing date: 1986-03-10
Publication date: 1987-09-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分骨〉本発明はベーンポンプ、更に詳しくはカムリングとロー
ターに用いるセラミックとベーンに用いるセラミックあ
るいは樹脂との適切な組合せにより耐スラリー摩耗性を
向上せしめたベーンポンプに関するものである。

〈従来の技術とその問題点〉従来、ベーンポンプは金属部材により構成されていたが
、耐摩耗性改善の為にセラミックを素゛ととする考えが
開発され、例えば特開昭５８−４１２８７号公報、特開
昭５９−１６８２９１号公報あるいは特開昭５９＝２０
６６９１号公報にカムリング、ローター及びベーンをセ
ラミック製とするベーンポンプが示されており、又特開
昭００−６０９２号公報には圧縮室構成部材をセラミッ
ク製としたベーン式圧縮機が示されている。そしてこれ
らに用いるセラミックの例としては窒化珪素、アルミナ
あるいは炭化珪素が例示されている。

しかるにこれらのセラミックをカムリング、ローター及
びベーンに用いたのでは、金属材料と比較すると耐摩耗
性に優れてはいるが、セラミック同志の摺動摩耗は相当
大であると共に、スラリー摩耗もあり各部所の摩耗によ
るポンプ性能の低下が著しい事が判明した。

〈発明の目的〉そこで本発明は、スラリー摩耗の小さし）セラミックで
カムリング内壁部およびローターを構成すると共に、同
セラミックとセラミック同志、あるいはポリイミド系樹
脂との組合せにおいて摺動摩耗の少ない組合せを選択し
、ベーンを構成することによって、カムリングとベーン
の摩耗が少なく、かつスラリー溶液の移送によって長時
間性能劣化のないベーンポンプを提供することを目的と
するものである。

〈問題点を解決する為の手段〉本発明では１．砂、値（圧力×速度）が非常に高いカム
リング内壁部とベーン先端では特に摺動摩耗が問題とな
り、又スラリーを含有する溶液の移送用には対スラリー
摩耗が問題となる等を勘案し、カムリング、ローター及
びベーンの素材の組合せを適切なものとする事により、
上記諸問題を解決しようとするものであり、その要旨は
少なくとも内壁部がセラミックである略円筒状のカムリ
ング内に、セラミック製ローターが回転自在に装着され
、同ローターに設けられたベーン溝にベーンが出入自在
に嵌挿された如きベーンポンプに於いて、前記カムリン
グのセラミック部分及びローターを、アルミナに炭化チ
タンを５〜５０重量％の範囲で添加したセラミックによ
り構成し、一方前記ベーンをアルミナ、アルミナに炭化
チタンを５〜５０重量％の範囲で添加したセラミック、
炭化珪素、窒化珪素、ポリイミド系樹脂に固体潤滑剤を
混合した成形体のいずれかにより構成したことを特徴と
するベーンポンプである。

〈実施例及び作用〉以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図、第２図及び第３図に於いて、（１）は金属製の
ポンプハウジング、（２）はサイドプレー１・であり、
このハウジングの内壁部にセラミック製のカムリング（
１１）が金属製平キー（１９ｍｌによって固定されてい
る。カムリングの内側曲面は第１図及び第２図に示す様
なシングルベーンポンプの場合は、ローターの中心を通
る直線が円周によって切られる長さが一定（ベーン長）
の曲線の筒である。第３図に示す様なマルチベーンポン
プの場合には、カムリング内側曲線は真円の円筒で良い
。

セラミックから成るローター（１４）は駆動軸（４）の
駆動系の反対側端部にキー（１８）、固定用平板（１７
）、ボルト（１６）によって回転可能な状態で固定され
ている。ベーン（１５）はローターとｍｓ軸の中心を通
り開けられた溝に貫通セットされている。スラリー摩耗
を考慮すると第１図に示す様にハウジングの両サイドの
内面接液部、つまり平キー（１９ｂ）、　（１９Ｃ）に
よって固定されるサイドプレー）（１２）。

（１３）もカムリングと同一素材で構成することが望ま
しい。カムリングのセラミック部品は第２図、第３図の
如く平キー（１９ａ）によって金属部品（１）に取付け
る以外に、焼バメ法、接着法によったり、あるいは金属
部品の部分も含めて全体をセラミックで一体化し形成し
てもよい。カムリング両サイドのサイドプレー１・につ
いても同様である。

ベーンポンプ全体の構成は第１図に示す如く、サイドプ
レー１−　（３）の駆動軸貫通孔側と、カバー（８）を
有するベアリングボックス（７）に固定されたケーシン
グ（９）によって形成される空間に設置されたメカニカ
ルシール部品（２１）、　（２２）、　（２３）によっ
て液封されている。

シールの方法はメカニカルシールに限定されるものでは
なく、グランドバッキング方式でも良い。

ベアリング（５）、　（６）によって駆動軸（４）の位
置が、ハウジング（１）内のカムリングの位置に対し固
定されろ。図中、（１０ａ）　、　（］Ｏｂ）　、　（
１０ｅ）　、　（１０ｄｌ　。

（１０ｅ）は液シールの為のテフロン系樹脂等から成る
Ｏリングである。

第３図はマルチベーンポンプの場合を示し、この場合ベ
ーン長は長い方が、また図示している様に回転方向と逆
向きに傾斜させた方がカムリングとの接触圧が小さくな
り望ましい。（２０）はベーンのカムリング摺接側の反
対側に摺接して、カムリング側へ押出すためのリングで
ローターのサイドプレー１・と接触する両側面に設けた
凹部に配設される。

次に摺動摩耗特性の良いカムリング、ローターのセラミ
ック素材とベーン素材の組合せについて説明する。上記
組合せを全てセラミックで構成する場合、異なる素材間
にあっても、お互いに相手を摩耗させる現象があり、カ
ムリングやローターの摩耗を生しる。ベーンが摩耗する
場合は交換が容易なため、ポンプ性能が直ちに復帰でき
るが、カムリング内壁部やローターの摩耗はベージを交
換しても性能復帰ができないという欠点がある。

そこで本発明ではカムリングおよびローターとして摩耗
が最も少ない、アルミナに炭化チタンを５〜５０重量％
の範囲で添加したセラミックを採用した。

アルミナに炭化チタンを５〜５０重量％の範囲で添加し
たセラミック　（人１２０３・（５〜５０）％ＴｉＣ）
は高硬度かつ高靭性で、スラリー摩耗に対しても強い。

表１にｋ１２０３・（５〜５０）％ＴｉＣと、他のセラ
ミック及びＡＪ２０３・３％ＴｉＣ（ＴｉＣを３重量％
添加）、人１２０？・５５％ＴｉＣ（ＴｉＣを５５重社
％添加）の種類と物性、およびスラリー摩耗特性の測定
結果を示す。

スラリー摩耗特性の測定ニスラリ−として珪砂（３０メ
ツシユ）を摺動面の上まで添加し、水中に設置した銅の
摺動リング上にテストピースを乗せ、一定の押付は圧下
、一定の速度で回転し、摩耗量を測定した。テスト条件
は圧力Ｐ　＝　１００ｋｇ　ｆ／ｃ！　。

ν＝　１　ｍ／ｓ、　６０分後の摩耗量を測定した。な
お表１に示ず値は人１２０３・３０％ＴｉＣの摩耗量を
１０としたものである。

物性は焼結体から３ｍｍＸ４ｍｍＸ３５ｍｍのテストピ
ースを作成し、曲げ強度はＪＩＳ　Ｒ１６０１による３
点曲げ硬度はマイクロビッカース硬度計、破壊靭性Ｋｘ
ｃはやはり硬度計の圧痕のエツジ先端のクラック長さか
ら計算によって求めるマイクロインデンテーション法（
硬度計抑圧３０ｋｇ、計算は新涼の式による）によって
測定した。なお表１中及び以後の文中旧Ｐは熱間静水圧
焼結を、又ＣＰは常圧焼結を表わす。

表１から明らかなように人１２０３・（５〜５０）％Ｔ
ｉＣは硬度とＫｔｃ、曲げ強度が高く、スラリー摩耗量
が著しく低いので、スラリー用のベーンポンプ素材、特
にカムリング内壁部やローター用素材として適している
。一方表１からＹｚＯａ２．５モル％ＰＳＺはスラリー
摩耗には強いが、セラミック同志の摺動摩耗に著しく弱
いため、ベーンポンプ素材として使用することができな
い。次に上記Ａｌｚ０３・（５〜５０）％ＴＩＣと摺動
特性の良いセラミックおよびポリイミド系樹脂との試験
及びその結果について説明する。

摺動摩耗特性の測定：ピンオンディスク式摩耗試験機に
より、回転中のセラミックスディスク上に各種セラミッ
クおよび四フッ化エチレン樹脂を１０体積％添加しｔこ
ポリイミド樹脂のピンを一定の押付は圧で押付け、ディ
スクを一定の回転速度で回転させ、摩耗量を測定しｔコ
。ピン先端形状は幅４　ｍｍ、先端角９００．セラミッ
クディスク表面は０５５以下の表面粗度に研摩７し使用
した。テスト条件は圧力Ｐ　＝　］０００ｋｇｆ／ｃ＋
ｊ　、　ｖ−＝　１０１／Ｓ、　６０分後の摩耗量を測
定しな。

ここでポリイミド系樹脂は耐熱性が高く、摺動による温
度上昇や高い応力によっても軟化や、永久変形が少なく
、相手材のセラミックを摩耗せず、ベーン素材として適
している。なおセラミックスとの摩擦係数を下げ、接触
応力を緩和するために、四フッ化エチレン、炭素、二硫
化モリブデン等の固体潤滑剤を混合することが必要であ
る。更に靭性を高め、チッピングやスラリー摩耗を少な
くするために、ガラス繊維、炭素繊維、ポリイミド繊維
等の強化用フィラーを混合強化することが望ましい。

ポリイミド系樹脂は四フッ化エチレン系樹脂、その他の
樹脂に比べ耐熱性に優れ、変形を生ずる応力が大きいた
めベーンの寿命が長く、ベーン用素材として適している
。

表１に示す窒化珪素、炭化珪素、Ｙ２ｏｇ　２．５モル
％ｐｓｚ、人１２０３　、口２０３・３０％ＴｉＣ等セ
ラミック素材と、四フッ化エチレン樹脂を１０体積％添
加したポリイミド樹脂のピンと、人Ｃ２０３・３０％Ｔ
ｉＣ，ＳｉＣ，５ｉ３ｋ　ｐ　ｙ２ｏｙ　２．　”モル
にｐｓｚの４種類のセラミックディスクの組合せにおけ
る、ピンおよびディスク摩耗量を表２に示す。表２の結
果から明らかなように人１２０３・３０％ＴｉＣと相性
の良い摺動材、即ちベーン用素材は人ｈａ３．　Ａ　ｂ
ｏ３・（５〜５０）％ＴｉＣ，５ｉｙＮ４．　ＳｉＣ，
ｉｌｌ＆Ｉ滑剤を添加しｉｓポリイミド樹脂が有効と判
断できる。ｙ−ｐｓｚは極端に摺動摩耗が大きく使用で
きないことが分かる。

ベーンポンプにおいて、ポンプの性能を決定するのはカ
ムリングとベーンの間のクリアランスである。摺動摩耗
やスラリー摩耗によって部品が摩耗した時、ベーンの交
換は容易に可能で、性能も回復するが、カムリングの交
換は困難なので、摩耗の小さい素材を選ぶことが必要で
ある。即ち、カムリングやローターにはスラリー摩耗が
小さく、ベーンの各種素材との摩耗を抑えるｋ１２０Ｂ
・（５〜５０）％ＴｉＣが優れている。

次に本発明のカムリング及びロークー用素材として月い
るＡｊ２０３・（５〜５０）％ＴｉＣについて説明する
。

本発明の人１２０３・（５〜５０）％ＴｉＣは人１２０
３７１、リツクス中にＴｉｅを重量比５〜５０％配合焼
結したものである。

ＴｉＣを５〜５０重量％配合することにより八１２０３
の強度と靭性および硬度が大幅に増大するためスラリー
摩耗が大幅に改善され、従来品の人１２０３やＳｉ３Ｎ
４．Ｓ、ｉＣに比べて１７２以下となりベーンポンプの
性能低下が小さく、カムリングやローター素材として好
適である。また高強度、高靭性かつ高硬度素材を得ろた
めに、最終焼結体密度は理論密度の９６％以上、好まし
くは９８％以上あることが望ましい。

また上記焼結体の平均結晶粒子径は０．２〜１０μｍ好
ましくは０２〜５μｍである乙とが望ましい。

このように緻密な結晶をもつ八ｔ２ｏ３・（５〜５０）
％ＴｉＣ焼結体を使用すると、より機械的特性の高いポ
ンプ部品が得られる。

この発明に使用するカムリングやローター用素材はいろ
いろな方法によって製造することができる。次にその好
ましい一例を示す。

即ち、５〜５０重量％ＴｉＣと残部が人１２０う若しく
は′　その１重量％以下をＭｇＯで置換しな人１，０３
及びｙ２ｏ、　。

ＴｉＯ２，ＺｒＯ２の少なくとも一種類を０．０５〜５
重量％焼結助剤として混合する。粉末の平均粒径は各々
できるだけ小さいことが好ましり０．２μｍから２μｍ
更に好ましくは０．２μｍから１μｍの範囲の粉末を使
用することが望ましい。混合はボールミル、あるいはア
トライター等の粉砕機を使用する。

次に成形工程であるが、乾式成形の場合はワックスを添
加後スプレードライヤー等により造粒し、０５〜１０ｔ
ｏｎｆ／ｃｆの圧力で加圧成形（冷同等方圧加圧成形、
あるいは金型成形）する。湿式成形の場合は混合粉末と
バインダー、水及び混合粉末とバインダー、有８１溶剤
を充分混錬し、型に流し込み成形（射出成形、鋳込成形
）する。成形体を真空中あるいは不活性ガス及び加圧雰
囲気（０，２〜９８ｋｇｆ／ｃｊ）の不活性ガス中で６
００℃まで昇温し、脱ワツクスを行ない、更にアルゴン
ガス等不活性ガス中で１４５０〜１８５０℃の温度範囲
で約１時間保持し、予備焼結体を得る。予備焼結体の密
度は旧Ｐ焼結後の密度を高めるために理論密度の９４％
以上、好ましくは９６％以上になることが好ましい。こ
の予備焼結体を発熱体を内包する高圧容器から成るＩ（
ＩＰ炉内へ入れ、１３００〜１７００℃の温度で、５０
０〜２０００ｋｇｆ／１ｆｆｌのアルゴン等不活性ガス
中で１〜２時間ＩＩＰ焼結を行ない最終焼結体を得る。

ＴｉＣの量が少なくなるに従ってＹ２Ｏ９量を少なく制
御し、予備焼結湿度も制御する必要がある。

次に、上記焼結体を精密研削加工して、所望のセラミッ
ク部品を得る。これを別に製作した金属部品に嵌め込み
（キー使用）、接着剤による接合、あるいは焼バメ、圧
入等の方法により組込み使用する。

次にベーンについて説明する。本発明のベーン素材は、
アルミナ、アルミナに炭化チタンを５０重量％以下の範
囲で添加したセラミック、窒化珪素、炭化珪素、固体潤
滑剤を添加したポリイミド樹脂成形体のいずれかにより
形成したものである。

まずｋＩ２０．は平均結晶粒子径０．１〜０．７μｍの
α−人４２０３にＭｇＯ０，１〜１０重量％を焼結助剤
として混さする。混合はボールミル、あるいはアトライ
ター等の粉砕機を使用する。次に成形工程であるが、乾
式成形の場合はワックスを添加後スプレードライヤー等
により造粒し、０．５〜１０ｔｏｎｆ／ｃａｒの圧力で
加圧成形（冷同等方圧加圧成形、あるいは金型成形）す
る。

湿式成形の場合は、混合粉末とバインダー、水及び混合
粉末とバインダー、有機溶剤を充分混錬し、型に流し込
み成形（射出成形、鋳込成形）する。成形体を空気中で
６００℃まで昇温し、脱ワツクスを行ない、更に１４０
０〜１５５０℃の温度範囲で約１時間保持し予備焼結体
を得る。予備焼結体の密度は、旧Ｐ焼結後の密度を高め
るために、理論密度の９４％以上、好ましくは９６％以
上になることが好ましい。この予備焼結体をＩＰ炉内へ
入れ、１３００〜１５００℃の温度で５００〜２０００
ｋｇ　ｆｌｅｄのアルゴン等不活性ガス中で１〜２時間
旧Ｐ焼結を行ない、最終焼結体を得る。高強度、高靭性
かつ高硬度の素材を得るためには、最終焼結体密度の９
６％以上、好ましくは９８％以上あることが望ましい。

又上記焼結体の平均粒子径は０．２〜１０μｍ好ましく
は０．２〜５μｍであることが望ましい。Ａ１２０３−
（５〜５０）％ＴｉＣについては、カムリング内壁部、
ローターと同様の素材であって、同様の製法によって製
作できろ。やはり高強度、高靭性かつ高硬度素材を得る
ために、最終焼結体密度は理論密度の９６％以上、好ま
しくは９８％以上あることが望ましい。また上記焼結体
の平均結晶粒径は０．２〜１０μｍ、好ましくは０，２
〜５μｍであることが望ましい。次に窒化珪素、炭化珪
素についても同様に焼結体密度が高く　（理論密度の９
６％以上、好ましくは９８％以上）、平均結晶粒径が細
かい（０２〜１０μｍ、好ましくは０２〜５μｍ）こと
が望ましい。そのためには窒化珪素は旧Ｐ焼結をした方
がよいが、炭化珪素は常圧焼結でも充分高密度な焼結体
を得ることができる。窒化珪素、炭化珪素のベーン素材
はいろいろな方法によって製造することができろ。

次にその好ましい一例を示す。

窒化珪素はα−５ｉ３Ｎ４９０％以上を含有する平均粒
子径０．２〜２μｍの窒化珪素粉末を重景比で９１〜９
５％平均粒子径０２〜２μｍのＹ２Ｏ３，およびＡ　Ｉ
２Ｏ３等焼結助剤を５〜９重量％の範囲で配合し、ボー
ルミル、あるいはアトライター等により数時間以上〜２
４時間湿式混合粉砕する。これを乾燥した後、ワックス
を加え、０５〜１０ｔｏｎｆ／ｃ／の圧力で加圧成形（
冷間等方圧加圧成形、あるいは金型成形）するか、バイ
ンダーと共に充分混錬し、型に流し込み成形（射出成形
、鋳込成形）する。

成形体を真空中あるいは窒素ガス雰囲気及びアルゴンガ
ス雰囲気で６００℃まで昇渇し、説フックスを行ない、
更に窒素ガス等不活性ガスの０２〜９８ｋｇｆ／ｃａｒ
加圧下で１６００〜１８００℃にて１〜２５時間保持し
、予備焼結体を得ろ。

予備焼結体の密度はＩＩＩＰ焼結後の密度を高めろため
に理論密度の９４％以上好ましくは９６％以上にするこ
とが望ましい。この予備焼結体を発熱体を内包する高圧
容器から成る旧Ｐ炉内に入れ、１５００〜１７５０℃の
温度で５００〜２０００ｋｇ　ｆ　／Ｃｔのアルゴンガ
スあるいは窒素ガス等不活性ガス中で１〜２時間旧Ｐ焼
結を行ない、最終焼結体を得る。

炭化珪素は５ｉＣ９６％以上を含む平均粒子径０２〜２
μｍのＳｉＣ粉末を９４〜９８重量％、平均粒子径０２
〜５μｍ１純度９９％以上のＥｒ２０３　、人１２０：
１等の焼結助剤を２〜６重量％の範囲で配合し、ボール
ミル、あるいはアトライター等により数時間以上〜２４
時間湿式粉砕する。これを乾燥した後、ワックスを加え
０．５〜１０ｔｏｎｆ／ｃＪの圧力で加圧成形（冷同等
方圧加圧成形、あるいは金型成形）するか、バインダー
と共に充分混錬し、型に流し込み成形（射出成形、鋳込
成形）する。成形体を真空中で６００℃まで昇温し、脱
ワツクスを行ない、更にアルゴン等不活性ガス雰囲気で
１９００〜２３００℃に加熱し、１〜２時間保持し、焼
結体を得る。次に固体潤滑剤を添加したポリイミド系樹
脂について述べる。ポリイミド系樹脂には強度、靭性を
高めるためにフィラーを添加することが望ましく、フィ
ラーとして同じポリイミド系繊維のケブラー以外に、炭
素繊維、ガラス繊維、セラミックス繊維等を用いる場合
もあり、この様な場合には繊維に対する接着性、含浸性
が良いことや、硬化時にボイドが発生しないことが要求
されるｔコめ、各種の添加剤が必要である。またベーン
用素材としてはセラミック部品との摩擦係数、摺動摩耗
が低いことが必要で、そのため炭素（特に黒鉛）、二硫
化モリブデン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ
）等の固体潤滑剤の粉末を充填することが是非必要であ
る。

この発明に使用するポリイミド系樹脂製のベーンは、い
ろいろな方法によって製造することができる。次にその
好ましい一例を示す。

即ち、ポリイミド系樹脂粉末と、炭素、二硫化モリブデ
ン、ＰＴＦＥ等の固体潤滑剤一種以上の粉末と、ポリイ
ミド系繊維、炭素繊維、ガラス繊維、セラミックス繊維
等フィラーとなる短繊維を一定の割合でよく混合する。

潤滑剤は容積比で５〜３０％、好ましくは１０〜２０％
、繊維は５〜３０％、好ましくは１０〜２０％、両者合
計で４０％以下に選ぶことが、摩擦係数、素材強度、破
壊靭性のバランスをとり、摺動摩耗とベーンの衝撃によ
る破損を防止する上で望ましい。次に上記混合粉末を圧
力１００〜２００ｋｇ　／ｃａ？　、温度２００〜２５
０℃、成形時間５〜１０分の条件で加熱プレス成形し、
板状成形体を得る。

以上の様にして得られた各種素材を所望の形状に切削加
工、精密研削加工を行ない、ベーン部品を得る。

以上の様にして得たベーンポンプ部品を図面に示す様に
組立て、第１図のベアリングボックスの左側駆動軸に駆
動源（モーター等）を取付けると、本発明にか５わるベ
ーンポンプが完成する。

次に本発明のベーンポンプと市販の金属製ベーンポンプ
等を実際に使用した場合のポンプ性能の比較を示す。

即ち、ポンプ室容積１４０ｃｃ、回転数１００ｒ、　ｐ
、　ｍなる各種のベーンポンプを用い、平均粒径１０μ
ｍの人１２０．粉末を４０体積％含む粘度１．　ＯＯＯ
ｅ　ｐのスラリー溶液を１０１／ｍｉｎ、　、圧力５ｋ
ｇ／ｃｎｆの条件で移送した場合、市販の金属製のシン
グルベーンポンプでは約１月後に流量が１７２に低下し
たが、本発明のシングルベーンポンプ、即ちカムリング
内壁部とローターにＡｌ２Ｏ３・３０％ＴｉＣを使用し
、ベーンに同一の人１２０う・３０％ＴｉＣを使用した
ベーンポンプでは同じく１ケ月後の流量は１９／２０で
あった。

又ベーンが窒化珪素、炭化珪素の場合は１ケ月後の流量
は８／１０．アルミナの場合９７１０であった。

又ポリイミド樹脂に１０％ＰＴＦＥを添加したベーンの
場合は７／１０でありいずれもベーンを交換することに
より本発明のポンプは性能が元に復帰したが、金属製ベ
ーンポンプでは性能低下が著しかった。

なお本発明のベーンポンプのカムリング内壁部とローク
ーにｋ１２０３を用い、ベーンに本発明の各種素材を用
いた場合、上記同様の条件で１ケ月使用後の流量はほぼ
本発明の場合と同一であったがベーン交換後の性能低下
が見られた。

〈発明の効果〉以上述べた如く、本発明によればカムリングとローター
をＡｌ２Ｏう・（５〜５０）％ＴｉＣで構成し、ベーン
ポンプｉ：す、人１２０３−　（５〜５０）％ＴｉＣ，
窒化珪素、炭化珪素、固体潤滑剤を混合したポリイミド
系樹脂成形体のいずれかにより構成しているため、カム
リングやローターの摩耗は非常に少なく、又ベーンも耐
スラリー摩耗特性とカムリングやローターとの摺動摩耗
特性が良好なのでスラリー含有液等の移送に使った場合
でも長時間ポンプ性能を低下させることがない。又長時
間の使用でもカムリングやローターは殆んど摩耗せずベ
ーンのみが若干摩耗する程度であるので、ベーンのみの
取替でポンプ性能を元に復帰する事が出来るので交換作
業が容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明ベーンポンプの中でシングルベーンタイ
プの縦断面説明図、第２図は同横断面説明図、第３図は
同マルチベーンタイプの横断面説明図。図中、　（１１）カムリング（１４）＝ローター（１５）ベーン特許出願人　東し株式会社（他１名）代　理　人　有吉　教晴第１図第２図

Claims

【特許請求の範囲】

　１．少なくとも内壁部がセラミックである略円筒状の
カムリング内に、セラミック製ローターが回転自在に装
着され、同ローターに設けられたベーン溝にベーンが出
入自在に嵌挿された如きベーンポンプに於いて、前記カ
ムリングのセラミック部及びローターを、アルミナに炭
化チタンを５〜５０重量％の範囲で添加したセラミック
により構成し、一方前記ベーンをアルミナ，アルミナに
炭化チタンを５〜５０重量％の範囲で添加したセラミッ
ク，炭化珪素，窒化珪素，ポリイミド系樹脂に固体潤滑
剤を混合した成形体のいずれかにより構成したことを特
徴とするベーンポンプ。