JPS62208826A - ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法 - Google Patents
ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法Info
- Publication number
- JPS62208826A JPS62208826A JP5137586A JP5137586A JPS62208826A JP S62208826 A JPS62208826 A JP S62208826A JP 5137586 A JP5137586 A JP 5137586A JP 5137586 A JP5137586 A JP 5137586A JP S62208826 A JPS62208826 A JP S62208826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- wire electrode
- electrode
- guide
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H2500/00—Holding and positioning of tool electrodes
- B23H2500/20—Methods or devices for detecting wire or workpiece position
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置
決め方法に係り、特に工作台とワイヤ電極の傾きｔ補正
し、工作台とワイヤ電極の垂直出しを行なうワイヤ電極
位置決め方法に関するものである。
決め方法に係り、特に工作台とワイヤ電極の傾きｔ補正
し、工作台とワイヤ電極の垂直出しを行なうワイヤ電極
位置決め方法に関するものである。
第８図はワイヤ放電加工機の概略構成図、第９図は位置
決め方法ケ示す概略構成図である。図において、（１）
はワイヤ電極、（２）は工作台、（３）はＸＹ軸ジクロ
ステーブル（４）はワイヤ電極（１）ヲ保持″ｆる上部
ワイヤガイド、（５）は下部ワイヤガイド、（６）。
決め方法ケ示す概略構成図である。図において、（１）
はワイヤ電極、（２）は工作台、（３）はＸＹ軸ジクロ
ステーブル（４）はワイヤ電極（１）ヲ保持″ｆる上部
ワイヤガイド、（５）は下部ワイヤガイド、（６）。
（７）はＸ、Ｙ軸りロステーブルを任意の方向へ駆動す
るＸ軸駆動モーター及びＹ軸駆動モーター、（８）。
るＸ軸駆動モーター及びＹ軸駆動モーター、（８）。
（９）は上部ワイヤガイドを任意の方向へ駆動′ｆろＵ
軸駆動モーター及びＶ軸駆動モーター、αＯは位置決め
専用治具、＜１１１．Ｃｕ２は位置決め専用治具αＯに
取りつけられた上下接触検出面、（１３Ｆｉ各軸の座標
値読み取り装置、ａ４は計算機、Ｃ１０は上下接触検出
面Ｃ１１１，０３の比較回路である。
軸駆動モーター及びＶ軸駆動モーター、αＯは位置決め
専用治具、＜１１１．Ｃｕ２は位置決め専用治具αＯに
取りつけられた上下接触検出面、（１３Ｆｉ各軸の座標
値読み取り装置、ａ４は計算機、Ｃ１０は上下接触検出
面Ｃ１１１，０３の比較回路である。
次に、上記第８図及び第９図に示す従来の位置決め動作
について説明する。工作台（２）に取り付けられた位置
決め専用治具Ｑｄの方向に、駆動モーター （６１Ｋよ
りワイヤ電極（１）を移動てろ。ワイヤ電極（１）と工
作台（２）の垂直が出ていなければ、ワイヤ電極（１）
は、位置決め専用治具（転）に取り付けられた上下接触
検出面αり、α２のいずれかに接触して移動を停止する
。この停止したそれぞれの軸方向の座標値が座標値読み
取り装置Ｃ１３に読み取られ、計算機（１４に貯わえら
れろ。
について説明する。工作台（２）に取り付けられた位置
決め専用治具Ｑｄの方向に、駆動モーター （６１Ｋよ
りワイヤ電極（１）を移動てろ。ワイヤ電極（１）と工
作台（２）の垂直が出ていなければ、ワイヤ電極（１）
は、位置決め専用治具（転）に取り付けられた上下接触
検出面αり、α２のいずれかに接触して移動を停止する
。この停止したそれぞれの軸方向の座標値が座標値読み
取り装置Ｃ１３に読み取られ、計算機（１４に貯わえら
れろ。
また、同時に上下接触面比較一方路四により、いずれが
先に接触したかを比較でろ。次に駆動モーター（６）Ｋ
より初期に移動した方向と逆方向にあらかじめ決められ
た量移動する。上下接触面比較回路−により検出した結
果により、ワイヤ電極（１）が傾いている方向と逆方向
に、駆動モーター（８）Ｋより上部ワイヤガイド（４）
ヲあらかじめ決められた量だけ移動する。
先に接触したかを比較でろ。次に駆動モーター（６）Ｋ
より初期に移動した方向と逆方向にあらかじめ決められ
た量移動する。上下接触面比較回路−により検出した結
果により、ワイヤ電極（１）が傾いている方向と逆方向
に、駆動モーター（８）Ｋより上部ワイヤガイド（４）
ヲあらかじめ決められた量だけ移動する。
次いで１動モーター（６）により上下接触検出面０・υ
の方向に移動して、ワイヤ電極（１）と上下接触検出面
αυ、（イ）との接触する点で移動を停止する。
の方向に移動して、ワイヤ電極（１）と上下接触検出面
αυ、（イ）との接触する点で移動を停止する。
この動作欠くり返えし行い、上下接触検出面αＤ。
■にワイヤ電極（１）が同時に接触する位置に、上部ワ
イヤガイド（４）ヲ駆動モーター（８）により補正して
、ワイヤ電極（１）と、工作台（２）の垂直位置決めが
完了する。
イヤガイド（４）ヲ駆動モーター（８）により補正して
、ワイヤ電極（１）と、工作台（２）の垂直位置決めが
完了する。
上記のような位置決め方法においては、位置決め専用治
具が必要であり、また位置決め専用治具（転）の基準面
と上下接触検出面αＤ、（ロ）の直角度、上下接触検出
面（９）、（１２の平行度、あるいは工作台（２）の平
面度に誤差がある場合には、工作台（２）の平面とワイ
ヤ電極（１）の垂直度に誤差が生じ、高精度なワイヤ放
電加工が出来ないなどの問題があった。
具が必要であり、また位置決め専用治具（転）の基準面
と上下接触検出面αＤ、（ロ）の直角度、上下接触検出
面（９）、（１２の平行度、あるいは工作台（２）の平
面度に誤差がある場合には、工作台（２）の平面とワイ
ヤ電極（１）の垂直度に誤差が生じ、高精度なワイヤ放
電加工が出来ないなどの問題があった。
この発明はかかる問題点を解決でるためになされたもの
で、位置決め専用治具を用意″′ｒることなく、ワイヤ
電極の垂直位置決めが行えるとともに、工作台の平面度
の誤差の影響を受けず、高精度な位置決めｔ得ろことｔ
目的とする。
で、位置決め専用治具を用意″′ｒることなく、ワイヤ
電極の垂直位置決めが行えるとともに、工作台の平面度
の誤差の影響を受けず、高精度な位置決めｔ得ろことｔ
目的とする。
この発明に係るワイヤ電極位置決め方法は、１個の基準
球あるいは基準柱を所定の位置に固定し、ワイヤ電極を
垂線に対して強制的に＃けて上記基準球あるいは基準柱
に一方の側から電気接触させてワイヤガイドの座標値検
知を行ない、次にワイヤ電極の傾きの方向７反対にｆる
と共に上記基準球あるいは基準柱の反対側から電気接触
させてワイヤガイドの座標値検知を行ない、その検知さ
れた各座標値により、工作台とワイヤ電極の飛直度を計
算し、その垂直度の補正７行ない、工作台とワイヤ電極
の垂直出しを行なうものである。
球あるいは基準柱を所定の位置に固定し、ワイヤ電極を
垂線に対して強制的に＃けて上記基準球あるいは基準柱
に一方の側から電気接触させてワイヤガイドの座標値検
知を行ない、次にワイヤ電極の傾きの方向７反対にｆる
と共に上記基準球あるいは基準柱の反対側から電気接触
させてワイヤガイドの座標値検知を行ない、その検知さ
れた各座標値により、工作台とワイヤ電極の飛直度を計
算し、その垂直度の補正７行ない、工作台とワイヤ電極
の垂直出しを行なうものである。
この発明においては、直径の制約のない球あるいは柱を
使用てろため、位置決め専用治具ン必要とせず、安価で
、しかも工作台平面の誤差に影響されない、精度の高い
ワイヤ電極の垂直方向の位置決めが得られろ。
使用てろため、位置決め専用治具ン必要とせず、安価で
、しかも工作台平面の誤差に影響されない、精度の高い
ワイヤ電極の垂直方向の位置決めが得られろ。
以下、この発明の一実施例７図に基づいて説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の発明の一実施例におけるワイヤ電極と基準球との関係
を示す説明図、第６図はこの発明の一実施例においてワ
イヤ電極と基準球とを接触させる手順を説明するための
説明図、第４図、第５図、第６図及び第７図はこの発明
の詳細な説明するための説明図である。
の発明の一実施例におけるワイヤ電極と基準球との関係
を示す説明図、第６図はこの発明の一実施例においてワ
イヤ電極と基準球とを接触させる手順を説明するための
説明図、第４図、第５図、第６図及び第７図はこの発明
の詳細な説明するための説明図である。
第１図７第７図において、（１１、（２１、（４）及び
（５）は第８図及び第９図に示す装置と同一部分を示し
、αＱは基準球、αηは基準球ＣＩＱを工作台（２）へ
固定するためのＶブロックである。
（５）は第８図及び第９図に示す装置と同一部分を示し
、αＱは基準球、αηは基準球ＣＩＱを工作台（２）へ
固定するためのＶブロックである。
Ｘ、−Ｘは下部ワイヤカイト（５）の高さ平面？示し、
Ｙ、−Ｙ、Ｚ、−Ｚは上部ワイヤガイド（４）の高さ平
面を示す。ａ ”” Ｊ ｅ ａＢ〜１１はそれぞれ上
下ワイヤガイド（４） 、 （５）の位ｔＹ示て。ＷＸ
２図では実線は上部ワイヤガイド（４）がＹ、−Ｙの高
さ平面にあるときのワイヤ電極（１）ヲ示し、破線は上
部ワイヤガイド（５）が２．−２の高さ平面上にあると
きのワイヤ電極（１）を示す。
Ｙ、−Ｙ、Ｚ、−Ｚは上部ワイヤガイド（４）の高さ平
面を示す。ａ ”” Ｊ ｅ ａＢ〜１１はそれぞれ上
下ワイヤガイド（４） 、 （５）の位ｔＹ示て。ＷＸ
２図では実線は上部ワイヤガイド（４）がＹ、−Ｙの高
さ平面にあるときのワイヤ電極（１）ヲ示し、破線は上
部ワイヤガイド（５）が２．−２の高さ平面上にあると
きのワイヤ電極（１）を示す。
点２１点Ｑはワイヤ電極（１）と基準球ＣＬＱが接触す
る点乞示て。
る点乞示て。
次に動作について説明てろ。
基準球αＱはＶブロックα７１ヲ介して、所定の位置、
つまり上下ワイヤガイド（４１，（５）の間の任意の位
置で工作台（２）に固定′ｆる。
つまり上下ワイヤガイド（４１，（５）の間の任意の位
置で工作台（２）に固定′ｆる。
Ｊはａ、からｘ、−ｘｉ面に対して垂直な位置を示て。
今上下ワイヤカイト（４） 、 （５１の位置がａ、−
ｈ、の位置、つまりａ、−Ｊに対して傾いているとする
。
ｈ、の位置、つまりａ、−Ｊに対して傾いているとする
。
まず上部ワイヤガイド（４）ヲ任意の距離り、−ｄ、た
け移動させワイヤ電極（１）？さらに強制的に傾ける。
け移動させワイヤ電極（１）？さらに強制的に傾ける。
次に、その傾きを保った状態で電極（１）が基準球ＣＩ
ｅのＰ点に接触するまで移動する。その時のａｌｅ ｄ
ｏｔｈ、の座標値Ｚ記録する。ついで、上部ワイヤガイ
ド（４） ｙａ′ｄ、 −ｈ、の距離の２倍逆方向に移
動する。次に上下ワイヤガイド（４） 、 （５］の上
下の位置関係欠そのままにして基準球ＣＩＱの反対側へ
矢印２０に沿って同時に移動させ、基準球ｑＱの点Ｑに
ワイヤ電極（１）が接触′ｆる位置を探丁。この接触し
た時の上部ワイヤガイド（４）の位置Ｙ ｅ、下部ワイ
ヤガイドの位置をす、とし、それぞれＪ＊ ｂｌの座標
値を記録する。
ｅのＰ点に接触するまで移動する。その時のａｌｅ ｄ
ｏｔｈ、の座標値Ｚ記録する。ついで、上部ワイヤガイ
ド（４） ｙａ′ｄ、 −ｈ、の距離の２倍逆方向に移
動する。次に上下ワイヤガイド（４） 、 （５］の上
下の位置関係欠そのままにして基準球ＣＩＱの反対側へ
矢印２０に沿って同時に移動させ、基準球ｑＱの点Ｑに
ワイヤ電極（１）が接触′ｆる位置を探丁。この接触し
た時の上部ワイヤガイド（４）の位置Ｙ ｅ、下部ワイ
ヤガイドの位置をす、とし、それぞれＪ＊ ｂｌの座標
値を記録する。
次にａｌとす、の中点ｃ、’ｖ＠出し記録する。
以上の動作を第６図では順番に図示しである。
矢印２２〜２５は順番を示している。また、第２図はワ
イヤ電極と基準球との関係を一つの図面上に表わしたも
のである。
イヤ電極と基準球との関係を一つの図面上に表わしたも
のである。
次に、上部ワイヤガイド（４）を２．−２高さ平面にし
て、距離り、−ａ、の値は変えないで同様の動作を行な
い、ａ＋ｂの中点Ｃを算出する。このとき、上部ワイヤ
ガイド（４）が下部ワイヤガイド（５）からＸ。
て、距離り、−ａ、の値は変えないで同様の動作を行な
い、ａ＋ｂの中点Ｃを算出する。このとき、上部ワイヤ
ガイド（４）が下部ワイヤガイド（５）からＸ。
−Ｘ平面に対し、傾きｔもっているため、第２図に示す
ようＩＩＣｃ −ｃ、間に誤差Ｇが発生する。つまり垂
直度に誤差が発生する。このＧの量だけ、上部ワイヤガ
イド（４）の補正１行ない、再度、ＣおよびＣ１の算出
動作ｔくりかえし、Ｇの誤差が０となったときに、ワイ
ヤ電極（１）とＸ、−Ｘ平面の垂直位置決めが完了する
。
ようＩＩＣｃ −ｃ、間に誤差Ｇが発生する。つまり垂
直度に誤差が発生する。このＧの量だけ、上部ワイヤガ
イド（４）の補正１行ない、再度、ＣおよびＣ１の算出
動作ｔくりかえし、Ｇの誤差が０となったときに、ワイ
ヤ電極（１）とＸ、−Ｘ平面の垂直位置決めが完了する
。
この点くついて、さらに説明を加えると、第４図に示す
ように、今、ワイヤ電極の垂直が出ているとすれば、上
部ワイヤカイトの移動距離ｔ１及びＬＡＹ等しくとった
場合、左右の三角形は同一となり、図示のように球に接
するように三角形を置けば、その時の点ＡとＢの中点Ｃ
は球の真下に位置する。
ように、今、ワイヤ電極の垂直が出ているとすれば、上
部ワイヤカイトの移動距離ｔ１及びＬＡＹ等しくとった
場合、左右の三角形は同一となり、図示のように球に接
するように三角形を置けば、その時の点ＡとＢの中点Ｃ
は球の真下に位置する。
第５図に示すように、ワイヤ電極が傾むいている場合で
は、左右の三角形は同一とならず、ＡとＢの中点Ｃは球
の真下の位置よりＧだけのずれｔ持つ。
は、左右の三角形は同一とならず、ＡとＢの中点Ｃは球
の真下の位置よりＧだけのずれｔ持つ。
Ｗｃ６図に示すように、２．．２ｔの距離を大きくとり
、三角形の形状を変化させることによりＧの値も変化す
る。
、三角形の形状を変化させることによりＧの値も変化す
る。
第７図に示すように、１．、１．の距離は変えずに、上
部ワイヤガイドの高さｔ変えることにより形状ケ変化さ
せてもＧの値は変化する。
部ワイヤガイドの高さｔ変えることにより形状ケ変化さ
せてもＧの値は変化する。
ＷＪ４図〜第７図の説明から、前述のように上部ワイヤ
ガイド（４）の蒲正ｙ行ない、再度、ＣおよびＣ，の算
出動作を（つかえし、Ｇの誤差が０になった時、垂直位
置決めが完了′″ｒることかわかる。
ガイド（４）の蒲正ｙ行ない、再度、ＣおよびＣ，の算
出動作を（つかえし、Ｇの誤差が０になった時、垂直位
置決めが完了′″ｒることかわかる。
なお、上記実施例では、基準球χ使用する場合を示した
が、真円度のでた基準円柱を使用しても良い。
が、真円度のでた基準円柱を使用しても良い。
また、上記実施例では、Ｃ８？求めるために、上部ワイ
ヤガイド（４）の高さｙａ−ｙ、−ｙから２．−２平面
に変更したが、上部ワイヤガイド高さ’！ａ’Ｙ１−Ｙ
に固定し、上部ワイヤガイド位置の基準位置からの移動
距離り、−ｄ、およびｅ、−ｉ、を変更することにより
同様の効果が得られる。この点は、上述の第４図〜第６
図の説明から明らかである。
ヤガイド（４）の高さｙａ−ｙ、−ｙから２．−２平面
に変更したが、上部ワイヤガイド高さ’！ａ’Ｙ１−Ｙ
に固定し、上部ワイヤガイド位置の基準位置からの移動
距離り、−ｄ、およびｅ、−ｉ、を変更することにより
同様の効果が得られる。この点は、上述の第４図〜第６
図の説明から明らかである。
以上のように、この発明によれば、直径の制約のない球
を使用するため、位置決め専用治具を必要とせず、安価
で、しかも工作台平面の誤差に影響されない、精度の高
い垂直方向の位置決めが得られろ効果がある。
を使用するため、位置決め専用治具を必要とせず、安価
で、しかも工作台平面の誤差に影響されない、精度の高
い垂直方向の位置決めが得られろ効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の発明の一実施例におけるワイヤ電極と基準球との関係
ン示す説明図、第３図はこの発明の一実施例においてワ
イヤ電極と基準球と？接触させろ手順を説明するための
説明図、第４図、第５図、第６図及び第７図はこの発明
の詳細な説明するための説明図、第８図はワイヤ放電加
工機を示″′ｆ″概略構成図、第９図は従来の位置決め
方法を示す概略槽底図である。 図において、（１）はワイヤ電極、（２）は工作台、（
４）は上部ワイヤガイド、（５）は下部ワイヤガイド、
恨。 は基準球、Ｏ’ｌ）はＶブロックである。 なお、図中同一符号は同一またげ相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 第３図 第４図 第７図 第６図
の発明の一実施例におけるワイヤ電極と基準球との関係
ン示す説明図、第３図はこの発明の一実施例においてワ
イヤ電極と基準球と？接触させろ手順を説明するための
説明図、第４図、第５図、第６図及び第７図はこの発明
の詳細な説明するための説明図、第８図はワイヤ放電加
工機を示″′ｆ″概略構成図、第９図は従来の位置決め
方法を示す概略槽底図である。 図において、（１）はワイヤ電極、（２）は工作台、（
４）は上部ワイヤガイド、（５）は下部ワイヤガイド、
恨。 は基準球、Ｏ’ｌ）はＶブロックである。 なお、図中同一符号は同一またげ相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 第３図 第４図 第７図 第６図
Claims (1)
- ワイヤ放電加工機の工作台に対するワイヤ電極の垂直位
置決めを行なうワイヤ電極位置決め方法において、１個
の基準球あるいは基準柱を所定の位置に固定し、上記ワ
イヤ電極を垂線に対して強制的に傾けて上記基準球ある
いは基準柱に一方の側から電気接触させてワイヤガイド
の座標値検知を行ない、次に上記ワイヤ電極の傾きの方
向を反対方向にすると共に上記基準球あるいは基準柱の
反対側から電気接触させてワイヤガイドの座標値検知を
行ない、その検知された各座標値により、工作台とワイ
ヤ電極の垂直度を計算し、その垂直度の補正を行ない、
工作台とワイヤ電極の垂直出しを行なうことを特徴とす
るワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137586A JPS62208826A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137586A JPS62208826A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62208826A true JPS62208826A (ja) | 1987-09-14 |
Family
ID=12885198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5137586A Pending JPS62208826A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62208826A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745448A2 (de) * | 1995-05-31 | 1996-12-04 | AG für industrielle Elektronik AGIE Losone bei Locarno | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Lage einer Drahtelektrode relativ zu einer maschinenbezogenen Achse einer Funkenerosionsmaschine |
| JP2011110677A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ワイヤ放電加工機における上下ガイド位置測定方法 |
| JP2014217939A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工機の傾斜した回転軸の基準点測定方法および測定治具 |
| EP3418838A1 (en) * | 2017-06-21 | 2018-12-26 | Fanuc Corporation | Wire electrical discharge machining system and relative positional relationship calculating method |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP5137586A patent/JPS62208826A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0745448A2 (de) * | 1995-05-31 | 1996-12-04 | AG für industrielle Elektronik AGIE Losone bei Locarno | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Lage einer Drahtelektrode relativ zu einer maschinenbezogenen Achse einer Funkenerosionsmaschine |
| DE19519929A1 (de) * | 1995-05-31 | 1996-12-05 | Ind Elektronik Ag F | Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten einer Drahtelektrode, insbesondere in einer Funkenerosionsmaschine |
| EP0745448A3 (de) * | 1995-05-31 | 1997-09-10 | Agie Ag Ind Elektronik | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Lage einer Drahtelektrode relativ zu einer maschinenbezogenen Achse einer Funkenerosionsmaschine |
| JP2011110677A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-09 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | ワイヤ放電加工機における上下ガイド位置測定方法 |
| JP2014217939A (ja) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | ファナック株式会社 | ワイヤ放電加工機の傾斜した回転軸の基準点測定方法および測定治具 |
| US9212887B2 (en) | 2013-05-10 | 2015-12-15 | Fanuc Corporation | Method for measuring reference point of inclined rotating table in wire electric discharge machine and measuring jig |
| EP3418838A1 (en) * | 2017-06-21 | 2018-12-26 | Fanuc Corporation | Wire electrical discharge machining system and relative positional relationship calculating method |
| TWI663010B (zh) * | 2017-06-21 | 2019-06-21 | 日商發那科股份有限公司 | 金屬線放電系統及相對位置計算方法 |
| US10512980B2 (en) | 2017-06-21 | 2019-12-24 | Fanuc Corporation | Wire electrical discharge machining system and relative positional relationship calculating method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7096149B2 (en) | Method for determining coordinate system for device under measurement, and coordinate measuring apparatus | |
| CN203426822U (zh) | 硬质脆性板的磨削装置 | |
| JP4919334B2 (ja) | ワイヤ電極の設定傾斜角度の測定方法及び測定冶具 | |
| CN115979118A (zh) | 圆柱形零件垂直度误差和误差方位角的测量装置及方法 | |
| JPS62208826A (ja) | ワイヤ放電加工機におけるワイヤ電極位置決め方法 | |
| US11774227B2 (en) | Inspection gauge for coordinate measuring apparatus and abnormality determination method | |
| KR101842115B1 (ko) | 기판 처리 장치의 로봇 정렬을 위한 티칭 지그 | |
| JPS62241620A (ja) | ワイヤ放電加工装置の位置決め方法 | |
| JPH0768420A (ja) | 基準治具及びその基準治具を備えた加工装置 | |
| JP2965113B2 (ja) | 直線運動角度誤差測定方法 | |
| TWI714449B (zh) | 快速量測模組 | |
| JPH052837U (ja) | 放電加工装置 | |
| JPH11297794A (ja) | ウエハアライメント方法 | |
| RU2009881C1 (ru) | Способ определения положения наконечника измерительной головки робота и устройство для его осуществления | |
| JPH0740198A (ja) | ダブルｖ案内面の形状修正方法及び形状測定装置 | |
| JPH04313009A (ja) | 形状測定機 | |
| SU1726176A1 (ru) | Способ определени положени объекта кольцевой формы | |
| KR20220089426A (ko) | 위치 측정기 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
| JPH0592381A (ja) | ロボツトの機械原点検査治具 | |
| JPH06185927A (ja) | 傾斜治具の高さ位置測定方法 | |
| CN118209038A (zh) | 具有电容式传感器的触摸触发式探头 | |
| JPH0766251A (ja) | Ｉｃチップの位置決め方法 | |
| SU1441156A1 (ru) | Прибор дл поверки концевых плоскопараллельных мер длины | |
| JPH02253112A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH01120837A (ja) | 半導体ウエハプローバ |