JPH0247443Y2 - - Google Patents
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- JPH0247443Y2 JPH0247443Y2 JP7795984U JP7795984U JPH0247443Y2 JP H0247443 Y2 JPH0247443 Y2 JP H0247443Y2 JP 7795984 U JP7795984 U JP 7795984U JP 7795984 U JP7795984 U JP 7795984U JP H0247443 Y2 JPH0247443 Y2 JP H0247443Y2
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 16
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 15
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の利用分野〕
本考案は薄形ICのリ−ドに曲がりが無いかど
うかを検査する装置に関するものである。
うかを検査する装置に関するものである。
薄形ICは比較的最近開発された形式のICで、
底面と頂面とが平行で板状をなし、リ−ドが板面
と平行に突出したICと定義される。この薄形IC
は狭〓な空間に高密度で実装できるという長所が
有つて、急速に普及しつつある。
底面と頂面とが平行で板状をなし、リ−ドが板面
と平行に突出したICと定義される。この薄形IC
は狭〓な空間に高密度で実装できるという長所が
有つて、急速に普及しつつある。
前記の如く板面と平行に突出して多数列設され
たリ−ドに変形が有ると、これをソケツトに搭載
したとき電極端子と旨く接触しない上に、接触さ
せるために加圧したときソケツトを変形、破損せ
しめる虞れが有る。このため、薄形ICの工業的
生産において、その製造工程の中間及び末端でリ
−ドの曲がりの有無を検査する必要が有る。
たリ−ドに変形が有ると、これをソケツトに搭載
したとき電極端子と旨く接触しない上に、接触さ
せるために加圧したときソケツトを変形、破損せ
しめる虞れが有る。このため、薄形ICの工業的
生産において、その製造工程の中間及び末端でリ
−ドの曲がりの有無を検査する必要が有る。
従来の薄形ICリ−ドの曲がり検査装置は、TV
カメラでリ−ドを撮像し、画像処理して曲がりの
有無を判定する構造であつたため、 （イ） 画像処理に関する装置が大形，大重量と
なること、及び、 （ロ） 画像処理関連装置が高価であること、と
いつた不具合が有つた。
カメラでリ−ドを撮像し、画像処理して曲がりの
有無を判定する構造であつたため、 （イ） 画像処理に関する装置が大形，大重量と
なること、及び、 （ロ） 画像処理関連装置が高価であること、と
いつた不具合が有つた。
本考案は上述の事情に鑑みて為され、小形、軽
量、かつ安価な薄形IC用のリ−ド曲がり検査装
置を提供しようとするものである。
量、かつ安価な薄形IC用のリ−ド曲がり検査装
置を提供しようとするものである。
リ−ド曲がりの有無の検査については、被検査
物である薄形ICを水平に支承した場合、リ−ド
突出方向の上下方向の曲がりの有無、並びに、水
平投影形状の曲がりの有無を検出しなければなら
ない。
物である薄形ICを水平に支承した場合、リ−ド
突出方向の上下方向の曲がりの有無、並びに、水
平投影形状の曲がりの有無を検出しなければなら
ない。
上記の目的を達成するため、本考案の検査装置
は、直交２軸Ｘ，Ｙを想定し、Ｘ軸方向に平行移
動するテ−ブルとＹ軸方向に平行移動するテ−ブ
ルとを設け、上記のテ−ブル上に薄形ICを保持
する吸着ヘツドを設けてその吸着面をＸ，Ｙ軸を
含む面と平行ならしめ、かつ、上記吸着ヘツドに
吸着保持した薄形ICのリ−ド先端に対向する位
置に光フアイバの１端を支承するとともに、該光
フアイバの他端をフオトセンサに接続したことを
特徴とする。
は、直交２軸Ｘ，Ｙを想定し、Ｘ軸方向に平行移
動するテ−ブルとＹ軸方向に平行移動するテ−ブ
ルとを設け、上記のテ−ブル上に薄形ICを保持
する吸着ヘツドを設けてその吸着面をＸ，Ｙ軸を
含む面と平行ならしめ、かつ、上記吸着ヘツドに
吸着保持した薄形ICのリ−ド先端に対向する位
置に光フアイバの１端を支承するとともに、該光
フアイバの他端をフオトセンサに接続したことを
特徴とする。
次に、本考案の１実施例を第１図乃至第３図に
ついて説明する。
ついて説明する。
第１図は本考案の検査装置の１実施例の平面図
を模式的に描いた説明図、第２図は第１図の−
断面を模式的に描いた説明図、第３図は第２図
に仮想線で囲んで示した部の拡大詳細図であ
る。
を模式的に描いた説明図、第２図は第１図の−
断面を模式的に描いた説明図、第３図は第２図
に仮想線で囲んで示した部の拡大詳細図であ
る。
１は被検査物である薄形ICである。
ガイドレ−ル２によつて案内される移動テ−ブ
ル３を設ける。説明の便宜上、ガイドレ−ル２の
方向をＸ軸とし、これに直交する水平方向をＹ軸
とする。
ル３を設ける。説明の便宜上、ガイドレ−ル２の
方向をＸ軸とし、これに直交する水平方向をＹ軸
とする。
移動テ−ブル３のＸ軸方向の移動量を検出して
その位置を算定するように直線エンコ−ダ４を設
ける。
その位置を算定するように直線エンコ−ダ４を設
ける。
第１図に示すごとく、IC１に設けられている
多数のリ−ドの内、Ｘ方向に突出している11本の
リ−ドのグル−プをリ−ド群５ａと名付ける。同
様に、Ｙ方向の11本をリ−ド群５ｂ，X′方向の
11本をリ−ド群５ｃ、Y′方向の11本をリ−ド群
５ｄと名付ける。
多数のリ−ドの内、Ｘ方向に突出している11本の
リ−ドのグル−プをリ−ド群５ａと名付ける。同
様に、Ｙ方向の11本をリ−ド群５ｂ，X′方向の
11本をリ−ド群５ｃ、Y′方向の11本をリ−ド群
５ｄと名付ける。
１対のフオトセンサ６，７を設け、その光入出力
をそれぞれ光フアイバ６ａ，７ａで導く。そして
上記の光フアイバ６ａの末端はリ−ド群５ｂに対
してＹ軸方向に対向するように支承するととも
に、光フアイバ７ａの末端はリ−ド群５ｄに対し
てＹ軸方向に対向せしめる。
をそれぞれ光フアイバ６ａ，７ａで導く。そして
上記の光フアイバ６ａの末端はリ−ド群５ｂに対
してＹ軸方向に対向するように支承するととも
に、光フアイバ７ａの末端はリ−ド群５ｄに対し
てＹ軸方向に対向せしめる。
第２図に示した５b-1はリ−ド群５ｂ中の１本
のリ−ド、同じく５d-1はリ−ド群５ｄ中の１本
のリ−ドである。
のリ−ド、同じく５d-1はリ−ド群５ｄ中の１本
のリ−ドである。
第３図に実線で示したリ−ド５d-1のように、
リ−ドと光フアイバ７ａとが正対していれば、該
リ−ドの端面がフオトセンサ７によりON，OFF
信号として検知されるが、もし、仮想線で示した
５d-2のように上下に変形していると検知されな
い。このため、フオトセンサによつてリ−ドの上
下方向の曲がりの有無が検知される。第２図に示
した８は、移動テ−ブル３に搭載した吸着ヘツド
で、IC１を吸着してＸ−Ｙ平面と平行に支承す
る構造である。
リ−ドと光フアイバ７ａとが正対していれば、該
リ−ドの端面がフオトセンサ７によりON，OFF
信号として検知されるが、もし、仮想線で示した
５d-2のように上下に変形していると検知されな
い。このため、フオトセンサによつてリ−ドの上
下方向の曲がりの有無が検知される。第２図に示
した８は、移動テ−ブル３に搭載した吸着ヘツド
で、IC１を吸着してＸ−Ｙ平面と平行に支承す
る構造である。
第１図において、移動テ−ブル３を右方に移動
させると、光フアイバ６ａは11本のリ−ド群５ｂ
の内の各リ−ドに対して順次に対向しつつ擦れ違
うので、これらのリ−ド群に曲がりが無ければ11
回の検知信号が得られる。
させると、光フアイバ６ａは11本のリ−ド群５ｂ
の内の各リ−ドに対して順次に対向しつつ擦れ違
うので、これらのリ−ド群に曲がりが無ければ11
回の検知信号が得られる。
もし、リ−ドが検知されないときは、リ−ドが
上方若しくは下方に曲がつているものと判断さ
れ、直線エンコ−ダ４の位置信号と対比して何本
目のリ−ドに異常があるかを判定し得る。
上方若しくは下方に曲がつているものと判断さ
れ、直線エンコ−ダ４の位置信号と対比して何本
目のリ−ドに異常があるかを判定し得る。
また、11本のリ−ドが正しくＹ方向を向いてい
れば、検知信号は直線エンコ−ダ４の位置信号と
対応して等ピツチで検出されるが、もしＹ方向に
対して水平面内で振れているとピツチ狂いとして
検出される。
れば、検知信号は直線エンコ−ダ４の位置信号と
対応して等ピツチで検出されるが、もしＹ方向に
対して水平面内で振れているとピツチ狂いとして
検出される。
このようにして、フオトセンサ６と光フアイバ
６ａとによつてリ−ド群５ｂ中におけるリ−ドの
変形の有無が検出される。
６ａとによつてリ−ド群５ｂ中におけるリ−ドの
変形の有無が検出される。
上記の作用と同時に、同様にして、フオトセン
サ７と光フアイバ７ａとによつてリ−ド群５ｄが
検査される。
サ７と光フアイバ７ａとによつてリ−ド群５ｄが
検査される。
以上に述べた１群の構成部分Ａを水平面内で
90゜回転させた構造の構成部分Ｂ（第１図）を同一
水平面に設ける。
90゜回転させた構造の構成部分Ｂ（第１図）を同一
水平面に設ける。
即ち、Ｙ軸方向のガイドレ−ル２′を設けて移
動テ−ブル３′をＹ軸方向に案内するとともに、
その移動量を検出する直線エンコ−ダ４′を設け、
かつ、移動テ−ブル３′のIC１′のリ−ド群５a′，
５c′に対してＸ軸方向に対向せしめて光フアイバ
６a′，７a′の各１端を支承するとともに、該光フ
アイバ６a′，７a′の他端をそれぞれフオトセンサ
６′，７′に接続する。
動テ−ブル３′をＹ軸方向に案内するとともに、
その移動量を検出する直線エンコ−ダ４′を設け、
かつ、移動テ−ブル３′のIC１′のリ−ド群５a′，
５c′に対してＸ軸方向に対向せしめて光フアイバ
６a′，７a′の各１端を支承するとともに、該光フ
アイバ６a′，７a′の他端をそれぞれフオトセンサ
６′，７′に接続する。
前述の如く、構成部分Ａによつて、Ｙ軸方向に
突出するリ−ド群５ｂ、５ｄの曲がりの有無を検
査し終えたIC１を移動テ−ブル上から移動テ−
ブル３′上に移送する。第１図の１′は前記のIC
１に先行するICを表わしている。このIC１′をガ
イドレ−ル２′に沿つてＹ軸方向に移動させなが
ら前記と同様にして、Ｘ軸方向に突出しているリ
−ド群５a′，５c′の曲がりの有無を検査する。
突出するリ−ド群５ｂ、５ｄの曲がりの有無を検
査し終えたIC１を移動テ−ブル上から移動テ−
ブル３′上に移送する。第１図の１′は前記のIC
１に先行するICを表わしている。このIC１′をガ
イドレ−ル２′に沿つてＹ軸方向に移動させなが
ら前記と同様にして、Ｘ軸方向に突出しているリ
−ド群５a′，５c′の曲がりの有無を検査する。
上述のように、IC１は構成部分Ａ，Ｂを順次
に通過して４群のリ−ド５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ
の曲がりの有無を検査する。
に通過して４群のリ−ド５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ
の曲がりの有無を検査する。
以上の構造機能から明らかなように、本実施例
の検査装置はTVカメラや画像処理手段を設け
ず、小形，軽量で安価なフオトセンサ６，７，
６′，７′のON，OFF信号と、直線エンコ−ダ
４，４′の位置信号とによつて、薄形IC１の44本
のリ−ド全数の曲がりの有無を、迅速、容易，か
つ正確に判定することができる。
の検査装置はTVカメラや画像処理手段を設け
ず、小形，軽量で安価なフオトセンサ６，７，
６′，７′のON，OFF信号と、直線エンコ−ダ
４，４′の位置信号とによつて、薄形IC１の44本
のリ−ド全数の曲がりの有無を、迅速、容易，か
つ正確に判定することができる。
第４図は前記と異なる実施例を示し、仮想線で
囲んで示したA′は第２図に示した構成部分と同
様の構成部分である（即ち、第１部の構成部分Ａ
と同様の構成である）。本第４図においては左右
方向がＹ軸方向である。
囲んで示したA′は第２図に示した構成部分と同
様の構成部分である（即ち、第１部の構成部分Ａ
と同様の構成である）。本第４図においては左右
方向がＹ軸方向である。
ベ−ス９の上にＹ軸方向のガイドレ−ル１０を
設けて中間ベ−ス１１をＹ軸方向に案内し、この
中間ベ−ス１１上にガイドレ−ル２をＸ軸方向
（紙面と垂直）に設置する。
設けて中間ベ−ス１１をＹ軸方向に案内し、この
中間ベ−ス１１上にガイドレ−ル２をＸ軸方向
（紙面と垂直）に設置する。
即ち、第４図の構成は、第１図における構成部
分Ａを同Ｂの上に搭載して、移動テ−ブル３，吸
着ベ−ス８を共用した構造である。本図には現わ
れていないが、Ｙ軸方向の移動量を検出する直線
エンコ−ダ（第１図の４′に対応する部材）、並び
にＸ軸方向（紙面に垂直）に突出しているリ−ド
群５ａ，５ｃの曲がりを検出するフオトセンサ
（第１図における６′，７′に対応する部材）およ
び光フアイバ（第１図における６a′，７a′に対応
する部材）を設ける。本実施例によれば、吸着ヘ
ツド８の設置所要個数が１個で済み、吸着ヘツド
上のICを移し替えずに４群のリ−ドを検査でき
るという効果が得られる。
分Ａを同Ｂの上に搭載して、移動テ−ブル３，吸
着ベ−ス８を共用した構造である。本図には現わ
れていないが、Ｙ軸方向の移動量を検出する直線
エンコ−ダ（第１図の４′に対応する部材）、並び
にＸ軸方向（紙面に垂直）に突出しているリ−ド
群５ａ，５ｃの曲がりを検出するフオトセンサ
（第１図における６′，７′に対応する部材）およ
び光フアイバ（第１図における６a′，７a′に対応
する部材）を設ける。本実施例によれば、吸着ヘ
ツド８の設置所要個数が１個で済み、吸着ヘツド
上のICを移し替えずに４群のリ−ドを検査でき
るという効果が得られる。
これに対し、第１図に示した実施例は、これを
IC製造工程の流れ（コンベアライン）の途中に
組みこむに適している。
IC製造工程の流れ（コンベアライン）の途中に
組みこむに適している。
以上詳述したように、本考案によれば小形，軽
量，かつ安価な薄形IC用のリ−ド曲がり検査装
置を構成することができる。
量，かつ安価な薄形IC用のリ−ド曲がり検査装
置を構成することができる。
第１図は本考案の薄形IC用リ−ド曲がり検査
装置の平面図、第２図は第１図の−断面図、
第３図は第２図の部拡大図、第４図は上記と異
なる実施例の断面図である。 １……IC、２，２′……ガイドレ−ル、３，
３′……移動テ−ブル、４，４′……直線エンコ−
ダ、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……リ−ド群、５
b-1，５d-1……リ−ド、６，６′……フオトセン
サ、６ａ，６a′……光フアイバ、７，７′……フ
オトセンサ、７ａ，７a′……光フアイバ、８……
吸着ヘツド、９……ベ−ス、１０……ガイドレ−
ル、１１……中間ベ−ス。
装置の平面図、第２図は第１図の−断面図、
第３図は第２図の部拡大図、第４図は上記と異
なる実施例の断面図である。 １……IC、２，２′……ガイドレ−ル、３，
３′……移動テ−ブル、４，４′……直線エンコ−
ダ、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ……リ−ド群、５
b-1，５d-1……リ−ド、６，６′……フオトセン
サ、６ａ，６a′……光フアイバ、７，７′……フ
オトセンサ、７ａ，７a′……光フアイバ、８……
吸着ヘツド、９……ベ−ス、１０……ガイドレ−
ル、１１……中間ベ−ス。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 直交２軸Ｘ，Ｙを想定し、Ｘ軸方向に平行移
動するテ−ブルとＹ軸方向に平行移動するテ−
ブルとを設け、上記のテ−ブル上に薄形ICを
保持する吸着ヘツドを設けてその吸着面をＸ，
Ｙ軸を含む面と平行ならしめ、かつ、上記吸着
ヘツドに吸着保持した薄形ICのリ−ド先端に
対向する位置に光フアイバの１端を支承すると
ともに、該光フアイバの他端をフオトセンサに
接続したことを特徴とする薄形ICのリ−ド曲
がり検査装置。 ２ 前記のＸ軸方向に平行移動するテ−ブルと、
Ｙ軸方向に平行移動するテ−ブルとは同一平面
に揃えて設置したものであり、かつ、上記双方
のテ−ブル面にそれぞれ吸着ヘツドを設けたも
のであることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項に記載の薄形ICのリ−ド曲がり検
査装置。 ３ 前記のＸ軸方向に平行移動するテ−ブルと、
Ｙ軸方向に平行移動するテ−ブルとの内、いず
れか一方のテ−ブルは他方のテ−ブル上に搭載
したものとし、かつ、上記双方のテ−ブルは吸
着ヘツドを共有する構造であることを特徴とす
る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の薄形
ICのリ−ド曲がり検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7795984U JPS60191910U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 薄形ｉｃのリ−ド曲がり検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7795984U JPS60191910U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 薄形ｉｃのリ−ド曲がり検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191910U JPS60191910U (ja) | 1985-12-19 |
| JPH0247443Y2 true JPH0247443Y2 (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=30621501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7795984U Granted JPS60191910U (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 薄形ｉｃのリ−ド曲がり検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191910U (ja) |
-
1984
- 1984-05-29 JP JP7795984U patent/JPS60191910U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60191910U (ja) | 1985-12-19 |
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