JPH0725680Y2 - 被検査物押え装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、プリント基板の光学的外観検査装置などで
使用される走査型イメージ読取りシステムにおいて、被
検査物を確実に押えておくための被検査物押え装置に関
する。

〔従来の技術〕

周知のように、プリント基板においてはその片面または
両面に金属製の配線パターンが形成されるとともに、電
子部品の実装のためのスルーホールが基板を貫く方向に
形成されている。そして、これらの配線パターンやスル
ーホールが許容誤差以内の正確さで形成されているか否
かを検査するために、種々のタイプの光学的外観検査装
置が利用されている。

第６図は配線パターン検査装置に用いられるイメージ読
取りシステムの従来例を示す概念図である。落射照明用
光源１で発生した光はプリント基板２に向けて照射され
る。このプリント基板２は配線パターン３やスルーホー
ル４が形成されており、支持テーブル５上に載置されて
いる。そして、配線パターン３のイメージを光学ヘッド
６によって読取り、そのイメージデータを用いて配線パ
ターン３の外観検査を行う。この検査において、光学ヘ
ッド６内に設けたリニアイメージセンサでプリント基板
２の全域を順次スキャンするために、支持テーブル５は
Ｊ方向に並進移動するようになっている。

このようなシステムでは支持テーブル５上でのプリント
基板２の位置ずれを防止する必要があるが、そのための
技術としては、第7A図のように支持テーブル５に立設し
たピン８をプリント基板２の位置決め孔に挿入する技術
がある。また、第7B図のように支持テーブル５の面内に
多数の小孔９を設け、この小孔９を通してプリント基板
２を負圧吸着する技術も知られている。

〔考案が解決しようとする課題〕

ところで、第7A図の構造の場合にはプリント基板２の端
部位置を規制するだけであるから、プリント基板２のた
わみを防止することができない。このようなたわみがあ
ると光学ヘッド６の焦点位置からプリント基板２の一部
が浮上がってしまうことになるため、イメージ読取りが
不正確となる。

第7B図の構造ではそのようなたわみは防止できるが、照
明方式として落射照明のみが利用可能であり、透過照明
は利用できない。すなわち、スルーホール４のイメージ
を正確にとらえたいときなどには支持テーブル５を透明
材（例えばガラス板）で構成し、その下方に透過照明用
の光源を設けてそれからの光によってプリント基板２の
下面を照明する。そして、その照明光のうちスルーホー
ル４を透過した部分を光学ヘッド６でとらえてスルーホ
ール４のイメージを得ることになるが、第7B図のように
負圧吸引用の小孔９が多数存在する場合には、仮に支持
テーブル５を透明材で構成しても均一な透過照明を行う
ことができないという問題がある。

そして、このような問題は、プリント基板の外観検査に
限らず、種々の光学的検査装置において生ずる問題であ
る。

〔考案の目的〕

この考案は、従来技術における上述の問題の克服を意図
しており、支持テーブル上での被検査物を確実に保持で
きるとともに、イメージ読取りのための照明として透過
照明を利用可能な被検査物の保持のための装置を提供す
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上述の課題を解決するため、この考案では被検査物の保
持のために押え装置を採用する。すなわち、この考案の
第１の構成は、所定のXYZ3次元座標系において、XY面に
平行な支持面を有する支持テーブル上に平板状またはシ
ート状の被検査物を載置し、前記支持テーブルよりも
（＋Ｚ）側に離れて配置された光学ヘッドに対して前記
支持テーブルを（＋Ｙ）方向に相対的に移動させつつ前
記光学ヘッドによって前記被検査物のイメージの読取り
走査を行うシステムにおいて使用される被検査物押え装
置として構成される。

そして、この装置には、（ａ）前記光学ヘッドの中心か
ら（−Ｙ）方向側に離れた場所に規定され、かつ前記光
学ヘッドに対して固定された位置関係にある第１の軸支
位置から（−Ｚ）方向と（＋Ｙ）方向との間の方向に伸
びるとともに、前記第１の軸支位置まわりにYZ面内で揺
動自在な第１のアームと、（ｂ）前記第１のアームの先
端側に取付けられてYZ面内で回転自在な第１のローラ
と、（ｃ）前記第１のアームに結合され、前記第１のア
ームと（−Ｚ）方向との間の角度を減少させる方向に前
記第１のアームを付勢する付勢部材とを備えた第１の押
えローラ機構を設けてある。

また、第２の構成の装置には、（ｄ）前記光学ヘッドの
中心から（＋Ｙ）方向側に離れた場所に規定され、かつ
前記光学ヘッドに対して固定された位置関係にある第２
の軸支位置から（−Ｚ）方向と（−Ｙ）方向との間の方
向に伸びるとともに、前記第２の軸支位置まわりにYZ面
内で揺動自在な第２のアームと、（ｅ）前記第２のアー
ムの先端側に取付けられてYZ面内で回転自在な第２のロ
ーラと、（ｆ）前記第２のアームに結合され、前記第２
のアームと（−Ｚ）方向との間の角度を減少させる方向
に前記第２のアームを付勢する付勢部材とを備えた第２
の押えローラ機構がさらに設けられている。

なお、XYZ3次元座標系における各座標軸のとり方は任意
であり、右手系でも左手系でもよい。また、（＋Ｚ）方
向は、必ずしも垂直上方でなくてもよい。

〔作用〕

請求項１記載の考案（第１の構成）では第１のローラが
被検査物の被検査面に当接する。第１のアームが（−
Ｚ）方向から（＋Ｙ）方向側へ傾斜しており、かつ（−
Ｚ）方向とのなす角度が小さくなるように付勢されてい
るため、第１のローラは被検査物を（−Ｚ）方向に押し
付ける作用と、（−Ｙ）方向への「しわのばし」作用と
を持っている。これによって、光学ヘッドの視野内に存
在する被検査物のエリアの浮上りやたわみ、それに位置
ずれが防止できる。また、被検査物が光学ヘッドに対し
て相対的に（＋Ｙ）方向に移動しても、第１のローラが
それに従って回転するため、第１のローラが被検査物を
ひきずってしまうこともない。

また、請求項２記載の考案（第２の構成）では、第２の
押えローラ機構が、光学ヘッドに関して第１の押えロー
ラ機構の反対側に設けられる。そして第２のローラによ
る被検査物の「しわのばし力」は第１のローラによるも
のとは逆方向に作用する。このため、第１と第２のロー
ラの間の区間で被検査物はその両側から引張られること
になり、浮上りや位置ずれがさらに有効に防止される。
また、このような構成とすれば、相対的に被検査物を
（±Ｙ）方向に往復移動させて被検査物の往復スキャン
をする場合にも利用できる。

〔実施例〕

〈A.全体構成〉 第1A図はこの考案の一実施例であるプリント基板押え装
置を組込んだプリント基板検査装置10の切欠き平面図で
あり、第1B図はその側面図である。これらの図において
方向関係を特定するためのXYZ3次元座標系が規定されて
いる。

この装置10は下部ハウジング11と上部ハウジング12とを
備えており、下部ハウジング11の上面開口付近には、水
平方向に支持テーブルとしての移動テーブル13が設けら
れている。移動テーブル13は矩形フレーム14の中にガラ
ス板15を取付けた構造となっており、このガラス板15の
下面15aはスリ面となっている。そして、ガラス板15の
上面15b上にプリント基板20が載置されて、このガラス
板15によって支持される。

第２図に示すように、プリント基板20はガラスエポキシ
によって形成された絶縁ベース板21とその片面または両
面に形成された銅製のプリント配線パターン22とを有し
ている。プリント配線パターン22は配線部分23とランド
24とを有しており、ランド24中にはこのプリント基板20
を貫通するスルーホール25が形成されている。

第1A図および第1B図に戻って、フレーム14は一対のガイ
ドレール16上をスライド可能であり、このガイドレール
16に平行な方向にボールネジ17が伸びている。フレーム
14に固定されたボールナット19がこのボールネジ17に螺
合しており、モータ18によってボールネジ17を回転させ
ると移動テーブル13は水平（±Ｙ）方向に移動する。

一方、上部ハウジング12の内部にはイメージ読取りシス
テム50が設けられている。イメージ読取りシステム50の
中央上部には、水平（±Ｘ）方向に伸びた光学ヘッドア
レイ100が配置されている。この光学ヘッドアレイ100は
８個の光学ヘッドH0〜H7を備えており、これらの光学ヘ
ッドH0〜H7は支持材101によって等間隔に支持されてい
る。この支持材101はガイド材102上を（±Ｘ）方向にス
ライド可能であり、ガイド材102は一対の側部フレーム
材51a,51bに固定されている。この側部フレーム材51a,5
1bはハウジング11,12に対して固定された位置にある。
また、支持材101は、ボールナット（図示せず）とボー
ルネジ104とを介してモータ103に結合されている。した
がってモータ103を回転させると、光学ヘッドH0〜H7は
支持材101とともに（±Ｘ）方向に移動可能である。

光学ヘッドH0〜H7の下方には透過照明用光源120が配置
されている。この光源120は、多数の赤外線LEDを（±
Ｘ）方向に配列したものであって、実質的に線状光源と
して機能する。この光源120は支持杆121,122によって側
部フレーム51から支持されている。また、光学ヘッドH0
〜H7のそれぞれの下部には落射照明用光源110が取付け
られている。後に詳述するように、この光源110は（±
Ｘ）方向に伸びた赤色LEDの１次元配列を３組備えてい
る。

光学ヘッドアレイ100の前後には押えローラ機構200A,20
0Bが設けられている。前方の押えローラ機構200Aは８組
のローラユニット210Aを備えており、シャフト201Aを介
して側部フレーム51a,51bに取付けられている。後方の
押えローラ機構200Bも８組のローラユニット210Bを備え
ており、シャフト201Bを介して側部フレーム51a,51bに
取付けられている。これらのローラユニット210A,210B
は、プリント基板20がその下方に送られてきたときに、
基板20を押えてその位置ずれとたわみとを防止するため
に設けられており、その詳細は後述する。

下部ハウジング11の両側部上面には、一対の操作スイッ
チ盤26が取付けられている。これらのスイッチ盤26には
同一のスイッチ群が設けられており、ハウジング11のい
ずれの側からも容易にスイッチ操作が行えるようになっ
ている。また、上部ハウジング12中には、各種のデータ
処理や動作制御を行うためのデータ処理装置300が配置
されている。

〈B.概略動作〉 この検査装置10の細部構成を説明する前に、この装置10
の概略動作について述べておく。まず、第1A図および第
1B図の状態でプリント基板20がガラス板15の上に載置さ
れる。そしてスイッチ盤26が操作されるとモータ18が正
回転し、移動テーブル13とともにプリント基板20が（＋
Ｙ）方向へ移動する。また、光源110,120が点灯する。

テーブル13の移動に伴ってプリント基板20がイメージ読
取りシステム50の位置へ至ると、押えローラ機構200A,2
00Bのローラがプリント基板20をガラス板15に向けて押
え付けつつ基板20の移動に伴って回転する。そして、光
源110からの落射照明によって配線パターン22（第２
図）のイメージが線順次に光学ヘッドH0〜H7で読取られ
るとともに光源120からの透過照明によってスルーホー
ル25のイメージが線順次に光学ヘッドH0〜H7で読取られ
る。この読取りのための光学ヘッドH0〜H7の内部構成は
後述する。

ところで、光学ヘッドH0〜H7は直線状に配列されている
が、それぞれの視野の間にはギャップがあるため、プリ
ント基板20を（＋Ｙ）方向に移動させても、その表面の
画像全体を読取ることはできない。そこで、プリント基
板20を（＋Ｙ）方向に移動させ終った後にモータ103を
駆動し、それによって光学ヘッドH0〜H7の全体を（＋
Ｘ）方向へと移動させる。その移動量は光学ヘッドH0〜
H7の相互配列ピッチの半分とされる。そして、この移動
の後にモータ18を逆回転させてプリント基板20を（−
Ｙ）方向に移動させつつ、光学ヘッドH0〜H7による配線
パターン22とスルーホール25とのイメージの読取りを行
う。

その結果、第1A図中に実線矢印A1で示すスキャンと破線
矢印A2で示すスキャンとが実行されることになり、プリ
ント基板20の表面全域にわたるイメージの読取りが実現
される。読取られたイメージはデータ処理装置300に与
えられ、所定の基準に従って配線パターン22とスルーホ
ール25との良否が判定される。

〈C.光学ヘッドの詳細〉 第３図は光学ヘッドH0の内部構成を示す模式的側面図で
ある。この第３図はひとつの光学ヘッドH0についてのも
のであるが、他の光学ヘッドH1〜H7もこれと同一の構造
を有している。光学ヘッドH0はケーシング130を有して
おり、このケーシング130の下部に取付けた支持材116,1
17によって落射照明用光源110か吊下げられている。光
源110は正反射用光源111と乱反射用光源112,113との組
合せからなり、各光源111,112,113のそれぞれは、波長
λ₁（＝600〜700nm）の赤色光を発生する赤色LEDの±Ｘ
方向の一次元配列からなる実質的な線状光源である。

これらのうち、乱反射用光源112,113は、光学ヘッドH0
内に設けた結像レンズ系140の光軸LAからかなり離れた
位置に配置されているが、正反射用光源111はその端部
が光軸LAに接する位置に設けられている。後述するよう
に結像レンズ系140はCCDリニアイメージセンサ161,162
上にプリント基板20の配線パターン22とスルーホール25
とのイメージをそれぞれ結像させるためのものである。
そして、乱反射用光源112,113はその結像のための開口
角外に配置され、正反射用光源111はその開口角の一部
に配置されていることになる。

これらの光源111,112,113からの光は、プリント基板20
の上面のうちその時点で光学ヘッドH0の直下に存在する
被検査エリアARに向けて照射される。落射照明のために
正反射用光源111と乱反射用光源112,113とを設けている
のは、配線パターン22の表面は必ずしも鏡面となってい
ないため、配線パターン22のイメージを正確にとらえる
にはそれからの正反射と乱反射との双方を利用すること
が好ましいからである。なお、前述の光源111,112,113
は、結像レンズ系140側（図中で上側）が遮光されてい
る。

一方、透過用光源120は、波長λ₂（＝700〜1000nm）の
赤外光を発生する赤外LEDの±Ｘ方向の１次元配列から
なっている。この光源120は、結像レンズ系140の光軸LA
と直角に交わる線上に設けてある。そして、この光源12
0は、プリント基板20の裏面のうち、被検査エリアARの
裏側に相当するエリアに向けて（＋Ｚ）方向に赤外光を
照射する。

落射照明用光源111,112,113から被検査エリアARに向け
て照射された赤色光はこの被検査エリアARで反射され
る。また、透過照明用光源120から照射された赤外光の
うちスルーホール25に向かう部分はスルーホール25を透
過する。そして、これらの反射光と透過光とは、空間的
に重なり合った複合光として光学ヘッドH0へと向かう。

プリント基板20の被検査エリアARから結像レンズ系140
の入射瞳の範囲内に向う光束のうち、その半分に相当す
る部分L_aのみが結像レンズ系140に到達し、残りの半分
に相当する部分は光源111およびその支持材116によって
ケラれる。したがって、部分L_aを「有効光束」と呼ぶこ
とにすれば、有効光束L_aのみが結像レンズ系140を通っ
てコールドミラー150へと入射する。コールドミラー150
は赤外線のみを透過するミラーである。したがって、有
効光束L_aに含まれる光のうち赤色光（すなわち、プリン
ト基板20の表面からの反射光LR）はこのミラー150で反
射されて（＋Ｙ）方向に進み、第１のCCDリニアイメー
ジセンサ161の受光面上で結像する。また、有効光束L_a
に含まれる赤外光（スルーホール25の透過光LT）はミラ
ー150を透過して第２のCCDリニアイメージセンサ162の
受光面上で結像する。

これらのCCDリニアイメージセンサ161,162は（±Ｘ）方
向に１次元配列したCCD受光セルを有している。このた
め、第１のリニアイメージセンサ161では落射照明によ
るプリント基板20の表面の１次元イメージが検出され、
第２のリニアイメージセンサ162では透過照明によるス
ルーホール25の１次元イメージが検出される。そして、
第1A図および第1B図に示した移動機構によってプリント
基板20と光学ヘッドアレイ100とを相対的に移動させる
ことにより、プリント基板20の各エリアがスキャンさ
れ、各エリアについての配線パターン22とスルーホール
25との２次元イメージが把握される。

リニアイメージセンサ161,162で得られたイメージ信号
はデジタル化された後、所定の閾値を用いて２値化さ
れ、プリント基板20の外観検査に用いられる。

〈D.押えローラ機構の詳細〉 第4A図は第1,第２の押えローラ機構200A,200Bに含まれ
ているローラユニット210A,210Bの拡大側面図であり、
第4B図はその平面図である。第4A図では光学ヘッドH0に
関連するローラユニットのみが示されているが、他の光
学ヘッドH1〜H7に関連するローラユニットも同一の構造
を有する。また、第4B図では光学ヘッドH0は図示省略さ
れ、光源も正反射用光源111のみが示されている。まず
前方ローラユニット210Aについて説明する。

前方ローラユニット210Aは、シャフト201Aに固定されて
（−Ｚ）方向に伸びる１対の吊下げコラム202aを有して
いる。このコラム202aの下端側部にはフレーム203aが固
定されており、このフレーム203aの側壁部分204a,205a
に設けた透孔221a,222aの間には（±Ｘ）方向に伸びる
シャフト206aが回転自在に架渡されている。このシャフ
ト206aは光学ヘッドH0の中心すなわち光軸LAよりも（−
Ｙ）側に存在する。そして、このシャフト206aには一対
のアーム211a,212aが取付けられており、これらのアー
ム211a,212aは第4A図の右斜め下方向、すなわち、（−
Ｚ）方向と（＋Ｙ）方向との間の方向に伸びている。そ
して、シャフト206aが回転自在であることにより、アー
ム211a,212aは、YZ平面内で（±F_a）方向に揺動自在で
ある。

アーム211a,212aの下端付近には透孔が形成され、それ
らの透孔を通してシャフト213aが（±Ｘ）方向に取付け
られている。このシャフト213aはゴムローラ214aの回転
軸となっており、それによってゴムローラ214aはYZ平面
内で回転自在である。

シャフト206aの両端側には、このシャフト206aを半周す
るバネ215a,216aが設けられている。また、フレーム203
aの側壁部分204a,205aには第１の係合ピン217a,218aが
取付けてあり、バネ215a,216aのそれぞれの一端がこれ
ら第１の係合ピン217a,218aに係合している。また、ア
ーム211a,212aには第２の係合ピン219a,220aが固定さ
れ、バネ215a,216aのそれぞれの他端がこれら第２の係
合ピン219a,220aに係合している。

したがって、バネ215a,216aはアーム211a,212aと（−
Ｚ）方向とのなす角度を減少させる方向（−F_a）にアー
ム211a,212aを付勢している。さらに、側壁部分204a,20
5aにはストッパピン223a,224aが立設されており、アー
ム211a,212aの揺動範囲の下限位置を規定している。

後方ローラユニット210Bの構成は、光軸LAを通るXZ平面
に関して前方ローラユニット210Aと面対称となってい
る。したがって、前方ローラユニット210Aについての上
記の説明において各部材の参照番号の末尾の添字
「ａ」，「Ａ」を「ｂ」，「Ｂ」へとそれぞれ読替え、
（＋Ｙ）方向と（−Ｙ）方向との関係を逆にすれば、後
方ローラユニット210Bについての説明となる。このた
め、後方ローラユニット210Bについての説明は省略す
る。ただし、後方ローラユニット210Bが前方ローラユニ
ット210Aと完全対称である必要はなく、前方ローラユニ
ット210Aと実質的に同一の機能を持つ機構が逆向きに設
けておりさえすれば、完全対称配置からずれていてもよ
い。

このような構成を有する押えローラ機構200A,200Bは、
それらのローラ214a,214bによってプリント基板20をガ
ラス板15に向けて押しつける。また、プリント基板20が
（＋Ｙ）または（−Ｙ）方向に送られて行くに従ってロ
ーラ214a,214bが回転するため、プリント基板20がロー
ラ214a,214bに引きずられることもない。さらに、透過
照明用光源120の直上位置から離れた場所にローラ214a,
214bが配置されているため、透過照明の妨げになること
はない。

第5A図から第5C図は、プリント基板20が（＋Ｙ）方向に
移動する場合について、アーム211aの傾き状態と押え作
用との関係を示す図である。このうち、第5C図が実施例
に相当し、第5A図と第5B図とは比較例についてのもので
ある。また、バネ215aは模式的に描かれている。

まず、光学ヘッドH0〜H7の前方にあるアーム211aが（−
Ｚ）方向に伸びている第5A図においては、アーム211aか
らローラ214aへの力F₁は（−Ｚ）方向に作用する。この
力F₁は、ガラス板15へのプリント基板20の押し付け作用
を持つのみである。このため、光学ヘッドH0〜H7の直下
でのプリント基板20のたわみやうねりを防止できない。

第5B図では、アーム211aが（−Ｚ）方向と（−Ｙ）方向
との間の方向に伸びている。このときにはアーム211aを
付勢する力F₂が、（−Ｚ）方向と（＋Ｙ）方向との間の
方向に作用する。この力F₂は、（＋Ｙ）方向のい成分F
_2Yと（−Ｚ）方向の力F_2Zとに分解される。このうち、
（−Ｚ）方向の成分F_2Zはプリント基板20をガラス板15
へ押し付ける作用を持つが、（＋Ｙ）方向の成分F
_2Yは、プリント基板20のうち光学ヘッドH0〜H7側の部分
のたわみを増大させる作用を持つ。このため、第5A図と
第5B図との構成では十分な効果を得ることができない。

これに対して実施例の場合（第5C図）には、アーム211a
の付勢力F₃が（−Ｚ）方向と（−Ｙ）方向との間の方向
に働き、この力F₃は（−Ｚ）方向の成分F_3Zと（−Ｙ）
方向の成分F_3Yとに分解される。このうち、一方の成分F
_3Zはプリント基板20をガラス板15へと押し付ける作用を
持ち、他方の成分F_3Yは、プリント基板20のうち光学ヘ
ッドH0〜H7側の部分のたわみを伸ばす作用を持つ。この
ため、この実施例では、プリント基板20の浮上り、たわ
み、位置ずれなどを有効に防止できる。

上記のように、プリント基板20が（＋Ｙ）方向に移動す
る場合には前方ローラユニット210Aが主要な役割を果し
ており、後方ローラユニット210Bはその補助的作用を生
じさせる。逆に、プリント基板20が（−Ｙ）方向に移動
する際には後方ローラユニット210Bが主要な役割を果し
ている。したがって、たとえばプリント基板20を（＋
Ｙ）方向に移動させるときのみそのイメージの読取りを
行うような検査装置では、後方ローラユニット210Bを省
略してもよい。

実施例におけるアーム211a,211bの方向はこのような観
点から選択されたものであり、第5A図や第5B図の場合と
は異なった効果を得ることができる。

〈E.変形例〉 （１）この考案におけるXYZ3次元座標系の定義方法は実
施例の直角座標系に限定されない。たとえばＸ軸とＹ軸
とを交換してもよく、正負の符号を逆転させてもよい。
また、Ｚ軸を垂直方向から傾け、それらに応じてＸ軸や
Ｙ軸を定義してもよい。そのようにして任意に定義され
た座標系においてこの考案の各構成要素の配置関係が定
まる。

（２）ローラユニット210A,210Bをそれぞれ複数設けれ
ば（±Ｘ）方向についての被検査物の凹凸に追随できる
が、被検査物の幅が狭いときなどには、ローラユニット
210A,210Bをひとつずつ設けてもよい。また、支持テー
ブル13が固定され、光学ヘッドH0〜H7が移動する場合に
もこの考案は適用できる。

（３）この考案はプリント基板の検査装置に限らず、平
板状またはシート状の被検査物について光学的検査を行
うすべての装置に利用可能である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、請求項１記載の考案によれば、被
検査物の支持テーブルに小孔を設ける必要がないため、
透過照明を用いた検査装置にも利用可能な被検査物押え
装置を得ることができる。そして、付勢部材からアーム
を介してローラの加える付勢力は、支持テーブルへの被
検査物の押し付けと被検査物のたわみ除去作用とを持っ
ているため、被検査物の位置ずれのほか、たわみや浮上
りを防止できる。その結果、支持テーブル上での被検査
物の保持を確実に行うことができる。

また、請求項２記載の考案では光学ヘッドの前後に押え
ローラ機構を設けているため、被検査物の保持がさらに
確実になるとともに、被検査物の往復移動による検査も
可能である。

【図面の簡単な説明】

第1A図は、この考案の実施例であるプリント基板押え装
置を組込んだプリント基板検査装置の部分切欠平面図、 第1B図は、第1A図に示した装置の部分切欠側面図、 第２図は、プリント基板の例を示す図、 第３図は、実施例で用いられる光学ヘッドの模式的側面
図、 第4A図は、実施例にかかるプリント基板押え装置の拡大
側面図、 第4B図は、プリント基板押え装置の拡大平面図、 第5A図から第5C図は、実施例における作用を比較例にお
ける作用と比較して示す図、 第６図は、イメージ読取りシステムの原理図、 第7A図および第7B図は、従来のプリント基板保持構造を
示す図である。 10……プリント基板検査装置、13……移動テーブル、20
……プリント基板（被検査物）、50……イメージ読取り
システム、110……落射照明用光源、111……正反射用光
源、112,113……乱反射用光源、120……透過照明用光
源、140……結像レンズ系、161,162……CCDリニアイメ
ージセンサ、200A,200B……押えローラ機構、210A,210B
……ローラユニット、211a,211b,212a,212b……アー
ム、214a,214b……ローラ、215a,215b……バネ、H0〜H7
……光学ヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 澤田 一也 京都府京都市伏見区羽束師古川町322番地 大日本スクリーン製造株式会社洛西工場 内 (56)参考文献 特開 昭63−163150（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−186056（ＪＰ，Ｕ)

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】所定のXYZ3次元座標系において、XY面に平
   行な支持面を有する支持テーブル上に平板状またはシー
   ト状の被検査物を載置し、前記支持テーブルよりも（＋
   Ｚ）側に離れて配置された光学ヘッドに対して前記支持
   テーブルを（＋Ｙ）方向に相対的に移動させつつ前記光
   学ヘッドによって前記被検査物のイメージの読取り走査
   を行うシステムにおいて使用される被検査物押え装置で
   あって、 （ａ）前記光学ヘッドの中心から（−Ｙ）方向側に離れ
   た場所に規定され、かつ前記光学ヘッドに対して固定さ
   れた位置関係にある第１の軸支位置から（−Ｚ）方向と
   （＋Ｙ）方向との間の方向に伸びるとともに、前記第１
   の軸支位置まわりにYZ面内で揺動自在な第１のアーム
   と、 （ｂ）前記第１のアームの先端側に取付けられてYZ面内
   で回転自在な第１のローラと、 （ｃ）前記第１のアームに結合され、前記第１のアーム
   と（−Ｚ）方向との間の角度を減少させる方向に前記第
   １のアームを付勢する付勢部材と、 を備えた第１の押えローラ機構を設けてあることを特徴
   とする被検査物押え装置。
2. 【請求項２】請求項１記載の被検査物押え装置であっ
   て、 （ｄ）前記光学ヘッドの中心から（＋Ｙ）方向側に離れ
   た場所に規定され、かつ前記光学ヘッドに対して固定さ
   れた位置関係にある第２の軸支位置から（−Ｚ）方向と
   （−Ｙ）方向との間の方向に伸びるとともに、前記第２
   の軸支位置まわりにYZ面内で揺動自在な第２のアーム
   と、 （ｅ）前記第２のアームの先端側に取付けられてYZ面内
   で回転自在な第２のローラと、 （ｆ）前記第２のアームに結合され、前記第２のアーム
   と（−Ｚ）方向との間の角度を減少させる方向に前記第
   ２のアームを付勢する付勢部材と、 を備えた第２の押えローラ機構がさらに設けられてなる
   被検査物押え装置。