JP2965113B2 - 直線運動角度誤差測定方法 - Google Patents
直線運動角度誤差測定方法Info
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- JP2965113B2 JP2965113B2 JP18818693A JP18818693A JP2965113B2 JP 2965113 B2 JP2965113 B2 JP 2965113B2 JP 18818693 A JP18818693 A JP 18818693A JP 18818693 A JP18818693 A JP 18818693A JP 2965113 B2 JP2965113 B2 JP 2965113B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は直線運動角度誤差測定方
法に係り、特に直線運動を提供する３本のガイドを互い
に直交させ該ガイドに沿って測定子を移動させることに
よって三次元空間の座標を測定できる機能を持つ装置の
各ガイドの上下方向、左右方向、及び回転方向の角度誤
差を測定する直線運動角度誤差測定方法に関する。
法に係り、特に直線運動を提供する３本のガイドを互い
に直交させ該ガイドに沿って測定子を移動させることに
よって三次元空間の座標を測定できる機能を持つ装置の
各ガイドの上下方向、左右方向、及び回転方向の角度誤
差を測定する直線運動角度誤差測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４に示す装置１０は、Ｘ軸ガイド１４
Ａ、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、Ｚ軸ガイド１４Ｃに沿って各々
Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動することによりプローブ
１６を所定の位置に移動し、フィーラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃ等の各先端部に取り付けられた測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃ等のうち選択された測定子を測定テーブル
２２上に固定された図示しないワークに当接してそのワ
ークの三次元座標を測定する。
Ａ、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、Ｚ軸ガイド１４Ｃに沿って各々
Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動することによりプローブ
１６を所定の位置に移動し、フィーラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃ等の各先端部に取り付けられた測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃ等のうち選択された測定子を測定テーブル
２２上に固定された図示しないワークに当接してそのワ
ークの三次元座標を測定する。
【０００３】各ガイド１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃの直線運
動角度誤差は、例えば、Ｘ軸ガイド１４Ａの場合には、
図５に示すＹ軸ガイド１４Ｂ回りの角度（ピッチング）
成分（Εｘ）ｙと、図６に示すＺ軸ガイド１４Ｃ回りの
角度（ヨーイング）成分（Εｘ）ｚ、そして、図７に示
すＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度（ローリング）成分（Ε
ｘ）ｘがあり、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、及びＺ軸ガイド１４
Ｃについても同様な角度誤差成分がある。
動角度誤差は、例えば、Ｘ軸ガイド１４Ａの場合には、
図５に示すＹ軸ガイド１４Ｂ回りの角度（ピッチング）
成分（Εｘ）ｙと、図６に示すＺ軸ガイド１４Ｃ回りの
角度（ヨーイング）成分（Εｘ）ｚ、そして、図７に示
すＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度（ローリング）成分（Ε
ｘ）ｘがあり、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、及びＺ軸ガイド１４
Ｃについても同様な角度誤差成分がある。
【０００４】これらのガイド１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃの
直線運動角度誤差を測定する方法としては、水準器やオ
ートコリメータ、レーザ測長機等の測定機器を駆使する
ことによって行っている。
直線運動角度誤差を測定する方法としては、水準器やオ
ートコリメータ、レーザ測長機等の測定機器を駆使する
ことによって行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｘ軸ガ
イド１４Ａの場合、水準器ではＺ軸ガイド１４Ｃ回りの
角度成分（Εｘ）ｚを測定できず、オートコリメータで
はＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度成分（Εｘ）ｘを測定す
ることができないので、１種類の測定機器で測定を行う
ことができないという問題がある。
イド１４Ａの場合、水準器ではＺ軸ガイド１４Ｃ回りの
角度成分（Εｘ）ｚを測定できず、オートコリメータで
はＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度成分（Εｘ）ｘを測定す
ることができないので、１種類の測定機器で測定を行う
ことができないという問題がある。
【０００６】また、Ｚ軸ガイド１４ＣのＺ軸ガイド１４
Ｃ回りの角度成分は、水準器やオートコリメータでは測
定できないので、別の測定機器が必要になる。本発明
は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガイドの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いないで容易に
測定することができる直線運動角度誤差測定方法を提供
することを目的とする。
Ｃ回りの角度成分は、水準器やオートコリメータでは測
定できないので、別の測定機器が必要になる。本発明
は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガイドの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いないで容易に
測定することができる直線運動角度誤差測定方法を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、直線運動を提供する３本のガイドを互いに
直交させ該ガイドに沿って測定子を移動させることによ
って三次元空間の座標を測定できる機能を持つ装置に於
ける各ガイドの直線運動角度誤差を測定する方法に於い
て、前記ガイドと略平行に所定の間隔で複数の被測定部
材を配置し、前記複数の被測定部材毎に、前記測定子の
うち、ガイドに対して略直角平面を構成できるように配
置された３本の測定子を当接して、前記被測定部材１個
当たり前記３本の測定子のそれぞれで測定された３点の
三次元座標を各々求め、その求められた３点の三次元座
標を含む平面に対する法線の法線単位ベクトルを求める
と共に、その求められた３点の三次元座標のうち選択さ
れた２点の三次元座標を結ぶ１本の辺の辺ベクトルを求
め、前記法線単位ベクトルの三次元成分から求められた
該法線単位ベクトルの傾き角度と、前記辺ベクトルの三
次元成分から求められた該辺ベクトルの傾き角度につい
て、選択された１つの被測定部材に於ける該傾き角度に
対する差を算出することにより装置を構成する各ガイド
の直線運動の角度誤差を測定することを特徴とする。
成する為に、直線運動を提供する３本のガイドを互いに
直交させ該ガイドに沿って測定子を移動させることによ
って三次元空間の座標を測定できる機能を持つ装置に於
ける各ガイドの直線運動角度誤差を測定する方法に於い
て、前記ガイドと略平行に所定の間隔で複数の被測定部
材を配置し、前記複数の被測定部材毎に、前記測定子の
うち、ガイドに対して略直角平面を構成できるように配
置された３本の測定子を当接して、前記被測定部材１個
当たり前記３本の測定子のそれぞれで測定された３点の
三次元座標を各々求め、その求められた３点の三次元座
標を含む平面に対する法線の法線単位ベクトルを求める
と共に、その求められた３点の三次元座標のうち選択さ
れた２点の三次元座標を結ぶ１本の辺の辺ベクトルを求
め、前記法線単位ベクトルの三次元成分から求められた
該法線単位ベクトルの傾き角度と、前記辺ベクトルの三
次元成分から求められた該辺ベクトルの傾き角度につい
て、選択された１つの被測定部材に於ける該傾き角度に
対する差を算出することにより装置を構成する各ガイド
の直線運動の角度誤差を測定することを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、装置を構成する３本のガイド
のうち１本のガイドについて直線運動の角度誤差を求め
る場合、先ず、プローブの測定子のうち３本の測定子
を、複数の被測定部材のうち選択した被測定部材に順に
当接し、３点の三次元座標を各々求める。
のうち１本のガイドについて直線運動の角度誤差を求め
る場合、先ず、プローブの測定子のうち３本の測定子
を、複数の被測定部材のうち選択した被測定部材に順に
当接し、３点の三次元座標を各々求める。
【０００９】次に、求められた３点の三次元座標を含む
平面に対する法線の法線単位ベクトルと、３点の三次元
座標を結ぶ３本の辺のうち選択された１本の辺の辺ベク
トルを求める。次いで、前記法線単位ベクトルの三次元
成分から、この法線単位ベクトルの傾き角度を求めると
共に、前記辺ベクトルの三次元成分から、この辺ベクト
ルの傾き角度を算出する。更に、選択された１つの被測
定部材における該法線ベクトルに対する他の被測定部材
における該法線ベクトルとの傾き角度の差を求める。ま
た、辺ベクトルについても同様に傾き角度の差を求め
る。これにより、該傾き角度の差を前記選択した被測定
部材の位置におけるガイドの直線運動角度誤差として測
定できる。
平面に対する法線の法線単位ベクトルと、３点の三次元
座標を結ぶ３本の辺のうち選択された１本の辺の辺ベク
トルを求める。次いで、前記法線単位ベクトルの三次元
成分から、この法線単位ベクトルの傾き角度を求めると
共に、前記辺ベクトルの三次元成分から、この辺ベクト
ルの傾き角度を算出する。更に、選択された１つの被測
定部材における該法線ベクトルに対する他の被測定部材
における該法線ベクトルとの傾き角度の差を求める。ま
た、辺ベクトルについても同様に傾き角度の差を求め
る。これにより、該傾き角度の差を前記選択した被測定
部材の位置におけるガイドの直線運動角度誤差として測
定できる。
【００１０】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る直線運動
角度誤差測定方法の好ましい実施例を詳説する。図１に
は装置の模式図を示し、図４で説明した従来例中と同
一、若しくは類似の部材については同一の符号を付し、
Ｘ軸ガイドの直線運動の場合について説明する。
角度誤差測定方法の好ましい実施例を詳説する。図１に
は装置の模式図を示し、図４で説明した従来例中と同
一、若しくは類似の部材については同一の符号を付し、
Ｘ軸ガイドの直線運動の場合について説明する。
【００１１】前記装置は、Ｘ軸ガイド１４Ａ、Ｙ軸ガイ
ド１４Ｂ、Ｚ軸ガイド１４Ｃに沿ってプローブ１６をＸ
方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動できるようになっている。
前記プローブ１６は、３本のフィーラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃを有し、これらのフィーラ１８Ａ、１８Ｂ、１８
Ｃの各先端部には、測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃが固
着されている。この測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは、
それらを含む仮想平面がＸ軸ガイド１４Ａに対して略直
角となるように配置されている。
ド１４Ｂ、Ｚ軸ガイド１４Ｃに沿ってプローブ１６をＸ
方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動できるようになっている。
前記プローブ１６は、３本のフィーラ１８Ａ、１８Ｂ、
１８Ｃを有し、これらのフィーラ１８Ａ、１８Ｂ、１８
Ｃの各先端部には、測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃが固
着されている。この測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃは、
それらを含む仮想平面がＸ軸ガイド１４Ａに対して略直
角となるように配置されている。
【００１２】装置の測定テーブル２２の表面には、Ｘ軸
ガイド１４Ａと略平行に被測定部材としての球ＢO 、Ｂ
i …Ｂn が所定の間隔で、且つ、前記測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃが当接可能な位置に立設されている。次
に、Ｘ軸ガイド１４Ａの直線運動誤差測定方法について
図２、図３を参照しながら説明する。
ガイド１４Ａと略平行に被測定部材としての球ＢO 、Ｂ
i …Ｂn が所定の間隔で、且つ、前記測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃが当接可能な位置に立設されている。次
に、Ｘ軸ガイド１４Ａの直線運動誤差測定方法について
図２、図３を参照しながら説明する。
【００１３】先ず、前記測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ
を前記球ＢO に順に当接し、これらの測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃの三次元座標（ＰO1、ＰO2、Ｐ O3 ）を図
２に示すように求める。次に、前記３点の三次元座標
（ＰO1、ＰO2、Ｐ O3 ）を含む平面に対する法線
を前記球ＢO に順に当接し、これらの測定子２０Ａ、２
０Ｂ、２０Ｃの三次元座標（ＰO1、ＰO2、Ｐ O3 ）を図
２に示すように求める。次に、前記３点の三次元座標
（ＰO1、ＰO2、Ｐ O3 ）を含む平面に対する法線
【００１４】 のＹ軸ガイド１４Ｂ回りの角度成分（Εｘ）ｙ0 と、Ｚ
軸ガイド１４Ｃ回りの角度成分（Εｘ）ｚO を求める。
図３に示すように前記角度成分（Εｘ）ｙ0 、（Εｘ）
ｚO は、次式（１）、（２）式で算出することができ
る。
軸ガイド１４Ｃ回りの角度成分（Εｘ）ｚO を求める。
図３に示すように前記角度成分（Εｘ）ｙ0 、（Εｘ）
ｚO は、次式（１）、（２）式で算出することができ
る。
【００１５】 （Εｘ）ｙ0 ＝ｔａｎ-1（ｚO ／ｘO ） …（１） （Εｘ）ｚO ＝ｔａｎ-1（ｙO ／ｘO ） …（２） ｘO …法線の単位ベクトルのＸ方向の長さ ｙO 、ｚO …法線の単位ベクトルのＹ軸、Ｚ軸における
三次元成分 また、Ｘ軸ガイド１４ＡのＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度
成分（Εｘ）ｘ0 を求 角度を求めれば良い。
三次元成分 また、Ｘ軸ガイド１４ＡのＸ軸ガイド１４Ａ回りの角度
成分（Εｘ）ｘ0 を求 角度を求めれば良い。
【００１６】即ち、前記角度成分（Εｘ）ｘ0 は次式
（３）式で算出することができる。 （Εｘ）ｘ0 ＝ｔａｎ-1（ｚO1／ｙO1） …（３） ｙO1、ｚO1…辺のベクトルの三次元成分 これにより、球ＢO の位置に対応する位置におけるＸ軸
ガイド１４Ａの測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃによる各
角度成分（Εｘ）ｙ0 、（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を
特別な測定機器を用いることなく測定することができ
る。
（３）式で算出することができる。 （Εｘ）ｘ0 ＝ｔａｎ-1（ｚO1／ｙO1） …（３） ｙO1、ｚO1…辺のベクトルの三次元成分 これにより、球ＢO の位置に対応する位置におけるＸ軸
ガイド１４Ａの測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃによる各
角度成分（Εｘ）ｙ0 、（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を
特別な測定機器を用いることなく測定することができ
る。
【００１７】また、他の球Ｂi の位置に対応するＸ軸ガ
イド１４Ａの各角度成分も前述した手順で測定するれば
よい。更に、球ＢO の位置で測定した各角度成分（Ε
ｘ）ｙ0 、（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を基準とする前
記球Ｂi の位置の各角度成分（Εｘ）ｙi0 、（Εｘ）
ｚi0 、（Εｘ）ｘi0 は、球Ｂi の位置で実測された
各角度成分（Εｘ）ｙi、（Εｘ）ｚi 、（Εｘ）ｘi
から、前記球ＢO の位置の各角度成分（Εｘ）ｙ 0 、
（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を次式（４）〜（６）に示
すように各々減算によって、球ＢO の位置に対する球Ｂ
i のそれぞれの位置における角度誤差を求めることがで
きる。
イド１４Ａの各角度成分も前述した手順で測定するれば
よい。更に、球ＢO の位置で測定した各角度成分（Ε
ｘ）ｙ0 、（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を基準とする前
記球Ｂi の位置の各角度成分（Εｘ）ｙi0 、（Εｘ）
ｚi0 、（Εｘ）ｘi0 は、球Ｂi の位置で実測された
各角度成分（Εｘ）ｙi、（Εｘ）ｚi 、（Εｘ）ｘi
から、前記球ＢO の位置の各角度成分（Εｘ）ｙ 0 、
（Εｘ）ｚO 、（Εｘ）ｘ0 を次式（４）〜（６）に示
すように各々減算によって、球ＢO の位置に対する球Ｂ
i のそれぞれの位置における角度誤差を求めることがで
きる。
【００１８】 （Εｘ）ｙi0＝（Εｘ）ｙi −（Εｘ）ｙ0 …（４） （Εｘ）ｚi0＝（Εｘ）ｚi −（Εｘ）ｚO …（５） （Εｘ）ｘi0＝（Εｘ）ｘi −（Εｘ）ｘ0 …（６） また、同様に他の球についても球ＢO との角度誤差を求
めることができる。尚、本実施例では、Ｘ軸ガイド１４
Ａに於ける直線運動の角度誤差測定方法について述べた
が、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、及びＺ軸ガイド１４Ｃについて
も同様な手順で各角度誤差を求めれば良い。
めることができる。尚、本実施例では、Ｘ軸ガイド１４
Ａに於ける直線運動の角度誤差測定方法について述べた
が、Ｙ軸ガイド１４Ｂ、及びＺ軸ガイド１４Ｃについて
も同様な手順で各角度誤差を求めれば良い。
【００１９】即ち、Ｙ軸ガイド１４Ｂの直線運動誤差を
測定する際には、前記球ＢO 、Ｂi…Ｂn をＹ軸ガイド
１４Ｂと略平行に配置し、測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０
Ｃはそれを含む仮想平面がＹ軸ガイド１４Ｂと略直角と
なるように配置して、Ｘ軸ガイド１４Ａと同様な操作、
演算を行えば良い。また、Ｚ軸ガイド１４Ｃの直線運動
の角度誤差を測定する際には、前記球ＢO、Ｂi 、Ｂn
をＺ軸ガイド１４Ｃと略平行に配置し、測定子２０Ａ、
２０Ｂ、２０Ｃはそれを含む仮想平面がＺ軸ガイド１４
Ｃと略直角となるように配置して、Ｘ軸ガイド１４Ａと
同様な操作、演算を行えば良い。
測定する際には、前記球ＢO 、Ｂi…Ｂn をＹ軸ガイド
１４Ｂと略平行に配置し、測定子２０Ａ、２０Ｂ、２０
Ｃはそれを含む仮想平面がＹ軸ガイド１４Ｂと略直角と
なるように配置して、Ｘ軸ガイド１４Ａと同様な操作、
演算を行えば良い。また、Ｚ軸ガイド１４Ｃの直線運動
の角度誤差を測定する際には、前記球ＢO、Ｂi 、Ｂn
をＺ軸ガイド１４Ｃと略平行に配置し、測定子２０Ａ、
２０Ｂ、２０Ｃはそれを含む仮想平面がＺ軸ガイド１４
Ｃと略直角となるように配置して、Ｘ軸ガイド１４Ａと
同様な操作、演算を行えば良い。
【００２０】従って、本実施例の装置の直線運動角度誤
差測定方法によれば、ガイド１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いることなく、
直線運動における角度誤差を測定することができる。ま
た、装置の三次元測定機能を利用して直線運動角度誤差
を測定するので、容易に且つ短時間で測定できる。この
ような直線運動角度誤差測定方法が適応される装置とし
て、三次元座標測定機や工作機械等がある。
差測定方法によれば、ガイド１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いることなく、
直線運動における角度誤差を測定することができる。ま
た、装置の三次元測定機能を利用して直線運動角度誤差
を測定するので、容易に且つ短時間で測定できる。この
ような直線運動角度誤差測定方法が適応される装置とし
て、三次元座標測定機や工作機械等がある。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る直線運
動角度誤差測定方法によれば、プローブの測定子で測定
された複数の被測定部材の座標に基づいて求められた法
線単位ベクトルと辺ベクトルとの傾き角度について複数
の被測定部材間における差を求めることによりガイドの
直線運動角度誤差を測定するようにしたので、ガイドの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いないで容易に
測定することができる。
動角度誤差測定方法によれば、プローブの測定子で測定
された複数の被測定部材の座標に基づいて求められた法
線単位ベクトルと辺ベクトルとの傾き角度について複数
の被測定部材間における差を求めることによりガイドの
直線運動角度誤差を測定するようにしたので、ガイドの
直線運動角度誤差を特別な測定機器を用いないで容易に
測定することができる。
【図１】本発明に係る直線運動角度誤差測定方法に適用
された装置の概略構造を示す斜視図
された装置の概略構造を示す斜視図
【図２】装置のプローブで測定された３点の空間座標を
示す斜視図
示す斜視図
【図３】法線単位ベクトルと辺ベクトルの角度成分を示
す説明図
す説明図
【図４】装置の斜視図
【図５】装置のＸガイド軸のＹガイド軸回りの角度誤差
を示す説明図
を示す説明図
【図６】装置のＸガイド軸のＺガイド軸回りの角度誤差
を示す説明図
を示す説明図
【図７】装置のＸガイド軸のＸガイド軸回りの角度誤差
を示す説明図
を示す説明図
１４Ａ…Ｘ軸ガイド １４Ｂ…Ｙ軸ガイド １４Ｃ…Ｚ軸ガイド １６…プローブ ２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ…測定子 ＢO 、Ｂi 、Ｂn …球
Claims (1)
- 【請求項１】 直線運動を提供する３本のガイドを互い
に直交させ該ガイドに沿って測定子を移動させることに
よって三次元空間の座標を測定できる機能を持つ装置に
於ける各ガイドの直線運動角度誤差を測定する方法に於
いて、 前記ガイドと略平行に所定の間隔で複数の被測定部材を
配置し、 前記複数の被測定部材毎に、前記測定子のうち、ガイド
に対して略直角平面を構成できるように配置された３本
の測定子を当接して、前記被測定部材１個当たり前記３
本の測定子のそれぞれで測定された３点の三次元座標を
各々求め、 その求められた３点の三次元座標を含む平面に対する法
線の法線単位ベクトルを求めると共に、その求められた
３点の三次元座標のうち選択された２点の三次元座標を
結ぶ１本の辺の辺ベクトルを求め、 前記法線単位ベクトルの三次元成分から求められた該法
線単位ベクトルの傾き角度と、前記辺ベクトルの三次元
成分から求められた該辺ベクトルの傾き角度について、
選択された１つの被測定部材に於ける該傾き角度に対す
る差を算出することにより装置を構成する各ガイドの直
線運動の角度誤差を測定することを特徴とする直線運動
角度誤差測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18818693A JP2965113B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 直線運動角度誤差測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18818693A JP2965113B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 直線運動角度誤差測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743143A JPH0743143A (ja) | 1995-02-10 |
| JP2965113B2 true JP2965113B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=16219278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18818693A Expired - Fee Related JP2965113B2 (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | 直線運動角度誤差測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2965113B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006287098A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP18818693A patent/JP2965113B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0743143A (ja) | 1995-02-10 |
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