JPS62202815A - 高純度硼素微粉末の製造方法 - Google Patents
高純度硼素微粉末の製造方法Info
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、硼素粉末、特に高純度硼素微粉末の製造方法
に関する。
に関する。
元素状硼素粉末はBsoの中性子吸収能力を利用して原
子炉の制御、放射線の遮蔽などの用途に広く利用されて
いる。さらに高硬度、耐薬品性を利用して化学および機
械の分野における応用技術が急激に増加しつつある。
子炉の制御、放射線の遮蔽などの用途に広く利用されて
いる。さらに高硬度、耐薬品性を利用して化学および機
械の分野における応用技術が急激に増加しつつある。
従来硼素の製造法としては数種知られており代表的製法
としては、 ■酸化硼素のマグネシウム、アルミニウム還元(特公昭
3O−8256) ■塩化硼素の水素還元(特公昭36−9054)■沃化
硼素の熱分解(特公昭32−1045)の溶融塩電解法
(特公昭37−13309)などがある。
としては、 ■酸化硼素のマグネシウム、アルミニウム還元(特公昭
3O−8256) ■塩化硼素の水素還元(特公昭36−9054)■沃化
硼素の熱分解(特公昭32−1045)の溶融塩電解法
(特公昭37−13309)などがある。
工業的に実用化されているのは溶融塩電解法であり、電
解槽としては黒鉛製の材質が使用され。
解槽としては黒鉛製の材質が使用され。
電解浴としては塩化カリ、炭酸カリ、硼弗化力り、弗化
カリ、沃化カリなどを用いる種々の方法が開発されてい
る。特に近年は電子材料用として高純化の要請により種
々の改善がなされている。
カリ、沃化カリなどを用いる種々の方法が開発されてい
る。特に近年は電子材料用として高純化の要請により種
々の改善がなされている。
そのため精製法として前記方法で製造した粗製硼素を0
.1〜200 m m Hgの減圧下で1800〜21
00℃に加熱し、99重fjL%以上に高純化する方法
(特公昭44−18072)、溶融電解法で製造した炭
素を敬重?%含有している硼素を浮′ttL選鉱するこ
とで1重量%以丁に低減する方法(特公昭37−121
08)などがある。
.1〜200 m m Hgの減圧下で1800〜21
00℃に加熱し、99重fjL%以上に高純化する方法
(特公昭44−18072)、溶融電解法で製造した炭
素を敬重?%含有している硼素を浮′ttL選鉱するこ
とで1重量%以丁に低減する方法(特公昭37−121
08)などがある。
従来の硼素粉末の製造方法では工業規模で大量生産を行
うには溶融塩電解法が適している。しかしこの方法では
不純物として浴槽からの炭素の混入、あるいは電解浴成
分の混入などにより実際には高純度の製品は得難い、こ
のため99重量%以上の高純度品を得るためには別途高
純化処理が必要であり、工程が複雑になり製造コストが
高くなる。
うには溶融塩電解法が適している。しかしこの方法では
不純物として浴槽からの炭素の混入、あるいは電解浴成
分の混入などにより実際には高純度の製品は得難い、こ
のため99重量%以上の高純度品を得るためには別途高
純化処理が必要であり、工程が複雑になり製造コストが
高くなる。
また酸化硼素のマグネシウム、アルミニウム還元法につ
いても溶融電解法と同様に不純物により高純度品が得難
い点と、コストが高くつく、そしてこれらの方法におい
ては微細な粉末が得られないという欠点がある。
いても溶融電解法と同様に不純物により高純度品が得難
い点と、コストが高くつく、そしてこれらの方法におい
ては微細な粉末が得られないという欠点がある。
気相合成法である沃化硼素の熱分解法と塩化硼素の水素
還元法では高純度で微細な硼素が得られるが原料価格が
高価であることから特殊な用途に限定され、量産的な製
造方法とはJえない。
還元法では高純度で微細な硼素が得られるが原料価格が
高価であることから特殊な用途に限定され、量産的な製
造方法とはJえない。
本発明は上記欠点を解決すべく、高純度で微細な硼素を
複雑な工程を経ることなく低コストで大計生産可能な製
造技術を提供するものである。
複雑な工程を経ることなく低コストで大計生産可能な製
造技術を提供するものである。
本発明は準黒鉛構造の窒化硼素を20トール以下の減圧
下で粒成長させずに昇温し、窒化硼素の熱分解温度19
00〜2600℃で加熱することにより、純度が99重
量%以上で平均粒径が1107L以下の高純度硼素微粉
末を製造することを特徴とする。
下で粒成長させずに昇温し、窒化硼素の熱分解温度19
00〜2600℃で加熱することにより、純度が99重
量%以上で平均粒径が1107L以下の高純度硼素微粉
末を製造することを特徴とする。
また好ましい実施態様として、硼酸などの硼素化合物と
、尿素、メラミン、ジシアンジアミド、塩化アンモニウ
ムなどの窒化剤とを、N/B (モル)比が2〜5にな
るように混合して、非酸化性雰囲気で1000℃から1
600℃の温度で加熱し、熱分解し易い準黒鉛構造の窒
化硼素を精製し、これを用いて上記減圧熱処理を行うの
が好適である。
、尿素、メラミン、ジシアンジアミド、塩化アンモニウ
ムなどの窒化剤とを、N/B (モル)比が2〜5にな
るように混合して、非酸化性雰囲気で1000℃から1
600℃の温度で加熱し、熱分解し易い準黒鉛構造の窒
化硼素を精製し、これを用いて上記減圧熱処理を行うの
が好適である。
硼素生成反応は分解反応であるので、反応終了後長時間
保持しなければ生成物は粒成長することなく10μm以
下の粒度の製品を得ることができる。
保持しなければ生成物は粒成長することなく10μm以
下の粒度の製品を得ることができる。
本発明による高純度で微細な硼素を製造する方法につい
て以下作用と共に詳細に説明する。
て以下作用と共に詳細に説明する。
本発明方法は、
(B 1ooo℃〜1600℃の温度で合成するなどの
方法で得た粒径の微細な熱分解を生じ易い準黒鉛構造の
窒化硼素を、 (2)20)−ル以下の減圧下で、熱分解し易い窒化硼
素を粒成長を生ぜしめることなく熱分解温度まで昇温し
、 (3)1900〜2600℃の温度に保持することで熱
分解により高純度の硼素微粉末を製造する構成からなる
。
方法で得た粒径の微細な熱分解を生じ易い準黒鉛構造の
窒化硼素を、 (2)20)−ル以下の減圧下で、熱分解し易い窒化硼
素を粒成長を生ぜしめることなく熱分解温度まで昇温し
、 (3)1900〜2600℃の温度に保持することで熱
分解により高純度の硼素微粉末を製造する構成からなる
。
この方法の中で使用子る熱分解し易い窒化硼素は、硼素
源として硼酸およびその脱水物などの硼素化合物と、窒
素源の、尿素、メラミン、ジシアンジアミド、塩化アン
モニウムからなる群から選んだ少なくとも1種類の窒化
剤を混合し非酸化性雰囲気中で1000℃〜1600℃
に加熱することによって製造することができる。
源として硼酸およびその脱水物などの硼素化合物と、窒
素源の、尿素、メラミン、ジシアンジアミド、塩化アン
モニウムからなる群から選んだ少なくとも1種類の窒化
剤を混合し非酸化性雰囲気中で1000℃〜1600℃
に加熱することによって製造することができる。
このときの硼素源と窒素源の混合比率は硼素源中のBに
対して窒素源中の窒素のモル比がN/Bで2〜5が適切
であった。この理由は原料中のN/Bが2未満では生成
物中のN/Bが0.5以下と窒化反応が十分でなく、原
料中のN/Bが5を越えるとこれ以上窒素源を増やして
も窒化反応は変化せず添加した窒素源が無駄になり経済
的に好ましくないからである。
対して窒素源中の窒素のモル比がN/Bで2〜5が適切
であった。この理由は原料中のN/Bが2未満では生成
物中のN/Bが0.5以下と窒化反応が十分でなく、原
料中のN/Bが5を越えるとこれ以上窒素源を増やして
も窒化反応は変化せず添加した窒素源が無駄になり経済
的に好ましくないからである。
合成時の雰囲気は酸化防止の観点からは非酸化性が必要
で経済的には最も安価なN2の使用が好ましい。
で経済的には最も安価なN2の使用が好ましい。
上記の原料を加熱することによって窒化硼素を合成する
が、生成する窒化硼素は合成温度により、結晶構造、粒
径、純度が変化していく。
が、生成する窒化硼素は合成温度により、結晶構造、粒
径、純度が変化していく。
tooo℃未満の温度では生成した窒化硼素が完全に大
方品の結晶構造になっていない、結晶学上「乱層構造」
と呼ばれる。隣接する層が互いにランダムに位置する層
状構造になっている6通常の結晶質の窒化硼素は黒鉛と
同様に大方晶の層状構造をとり、各層は完全に平行にな
っており、この点が乱層構造の窒化硼素と異なる点であ
る。
方品の結晶構造になっていない、結晶学上「乱層構造」
と呼ばれる。隣接する層が互いにランダムに位置する層
状構造になっている6通常の結晶質の窒化硼素は黒鉛と
同様に大方晶の層状構造をとり、各層は完全に平行にな
っており、この点が乱層構造の窒化硼素と異なる点であ
る。
tooo℃未満で合成した乱層構造の窒化硼素はN2ガ
スを流通させながら、tooo℃以上に加熱することで
徐々に結晶質の窒化硼素になる。
スを流通させながら、tooo℃以上に加熱することで
徐々に結晶質の窒化硼素になる。
それと同時に粒成長と不純物のB203 、硼酸アンモ
ニウム、結晶中の酸素、炭素などが除去されて純度も向
上してい<、1eoo℃を越えると一次粒径もlpm以
上になり、さらに加熱を続けると1900℃で5gm
〜10ILmの一次粒径を有する純度99玉量%以上の
結晶質六方晶窒化硼素になる。
ニウム、結晶中の酸素、炭素などが除去されて純度も向
上してい<、1eoo℃を越えると一次粒径もlpm以
上になり、さらに加熱を続けると1900℃で5gm
〜10ILmの一次粒径を有する純度99玉量%以上の
結晶質六方晶窒化硼素になる。
高純度硼素微粉末の製造に適した熱分解し易い窒化硼素
の条件の1つに粒径が細かいことが挙げられる。この理
由は熱分解反応では粒子が細かいほど反応の終結時間が
短いからである。しかし、窒化硼素は熱分解温度の19
00℃以上まで加熱する過程で粒成長を生じ平均粒径で
5pmから1101Lになるため好ましくない、そこで
粒成長を生ぜず窒化硼素分解温度まで昇温する方法を種
々検討した結果、粒成長の原因となる液相成分のB2
oaを20)−ル以下の減圧下で急速に加熱除去するこ
とで粒成長を抑制できることを見出した0種々な合成温
度で窒化硼素を合成し、その後減圧下で窒化硼素の分解
温度まで加熱し硼素の生成を調べた結果、tooo’c
〜1600”0の合成温度のものが反応性は良かった。
の条件の1つに粒径が細かいことが挙げられる。この理
由は熱分解反応では粒子が細かいほど反応の終結時間が
短いからである。しかし、窒化硼素は熱分解温度の19
00℃以上まで加熱する過程で粒成長を生じ平均粒径で
5pmから1101Lになるため好ましくない、そこで
粒成長を生ぜず窒化硼素分解温度まで昇温する方法を種
々検討した結果、粒成長の原因となる液相成分のB2
oaを20)−ル以下の減圧下で急速に加熱除去するこ
とで粒成長を抑制できることを見出した0種々な合成温
度で窒化硼素を合成し、その後減圧下で窒化硼素の分解
温度まで加熱し硼素の生成を調べた結果、tooo’c
〜1600”0の合成温度のものが反応性は良かった。
この原因は、1000℃より低温度では窒化硼素の結晶
構造が乱層構造で不純物の酸化物も1Q11<量%程度
含まれているからで、減圧下で1900”0以上に加熱
しても不純物含有量は変化しておらず、そのとき、不純
物が粒子間を埋めた状態の強固な凝集体を作り粒径も数
1101Lであった。
構造が乱層構造で不純物の酸化物も1Q11<量%程度
含まれているからで、減圧下で1900”0以上に加熱
しても不純物含有量は変化しておらず、そのとき、不純
物が粒子間を埋めた状態の強固な凝集体を作り粒径も数
1101Lであった。
一方り000℃〜1600”oの範囲で合成した窒化硼
素は減圧下で190(1以上に加熱すると純度も向上し
不純物も減少し、粒子は一次粒子の大きさまで小さくな
っており、粒子の形状も不純物の除去によって微粒子が
集合した多孔体状であった。
素は減圧下で190(1以上に加熱すると純度も向上し
不純物も減少し、粒子は一次粒子の大きさまで小さくな
っており、粒子の形状も不純物の除去によって微粒子が
集合した多孔体状であった。
ただ乱層構造の窒化硼素から六方晶窒化硼素への変化は
徐々に生ずる。この差異はX線回折のチャートから明ら
かであり、(002)のピークが結晶質では強度も強く
半幅値も小さいが、一方、乱層構造の窒化硼素は非晶質
状のブロードなピークを示す、この差を数値化する方法
として黒鉛の特性評価で使用されるC軸方向の平均Hさ
くL c)とa軸方向の平均直径(L a)の表示があ
る(学振117委員会法)、乱層構造の窒化硼素はLc
でほぼ100Å以下である。一方、完全な黒鉛構造と乱
層構造の間の準黒鉛構造の窒化硼素はLcでほぼ100
人〜400人である。このように、合成温度は熱分解し
易く、−次粒子径でIILm以下の窒化硼素を合成でき
る1 000℃〜1600℃が適している。また比表面
積を窒素吸着法で測定したところ、完全に結晶化した黒
鉛構造の窒化硼素は4〜10ゴ/gであったが、100
0℃〜1soo℃で合成した準黒鉛構造の窒化硼素は2
5〜100rrf/gであった。
徐々に生ずる。この差異はX線回折のチャートから明ら
かであり、(002)のピークが結晶質では強度も強く
半幅値も小さいが、一方、乱層構造の窒化硼素は非晶質
状のブロードなピークを示す、この差を数値化する方法
として黒鉛の特性評価で使用されるC軸方向の平均Hさ
くL c)とa軸方向の平均直径(L a)の表示があ
る(学振117委員会法)、乱層構造の窒化硼素はLc
でほぼ100Å以下である。一方、完全な黒鉛構造と乱
層構造の間の準黒鉛構造の窒化硼素はLcでほぼ100
人〜400人である。このように、合成温度は熱分解し
易く、−次粒子径でIILm以下の窒化硼素を合成でき
る1 000℃〜1600℃が適している。また比表面
積を窒素吸着法で測定したところ、完全に結晶化した黒
鉛構造の窒化硼素は4〜10ゴ/gであったが、100
0℃〜1soo℃で合成した準黒鉛構造の窒化硼素は2
5〜100rrf/gであった。
種々な溶媒との反応性についても大きな違いが見られ、
準黒鉛構造の窒化硼素は比表面積が大きく大気中の湿気
と触れると、試料から分解したアンモニアが発生した。
準黒鉛構造の窒化硼素は比表面積が大きく大気中の湿気
と触れると、試料から分解したアンモニアが発生した。
一方、黒鉛構造の窒化硼素は安定であり、湿分と反応し
なかった。この点からも比表面積が大きく反応性の大き
い1000℃〜1600℃の合成温度範囲の窒化硼素が
適している。
なかった。この点からも比表面積が大きく反応性の大き
い1000℃〜1600℃の合成温度範囲の窒化硼素が
適している。
上記の1000 N1600℃で合成した準黒鉛構造の
窒化硼素を減圧下でさらに1900〜2600℃で熱処
理することによって、窒化硼素 −が分解し硼素微粉
末が得られる。
窒化硼素を減圧下でさらに1900〜2600℃で熱処
理することによって、窒化硼素 −が分解し硼素微粉
末が得られる。
熱分解し易い準黒鉛構造窒化硼素を粒成長させず粒径、
結晶子の大きさをそのままの形で窒化硼素の熱分解温度
まで加熱することが効率よく硼素を製造するには不可欠
である。
結晶子の大きさをそのままの形で窒化硼素の熱分解温度
まで加熱することが効率よく硼素を製造するには不可欠
である。
減圧条件について種々の方法を試みたが20トール以下
の減圧中で熱処理を行えば窒化硼素が準黒鉛構造を保ち
つつ分解するため硼素製造には好ましいことが解った。
の減圧中で熱処理を行えば窒化硼素が準黒鉛構造を保ち
つつ分解するため硼素製造には好ましいことが解った。
熱処理条件の温度は1900℃未満では高純度窒化硼素
の分解が生ぜず、2600℃を越えると硼素自身が蒸発
する。
の分解が生ぜず、2600℃を越えると硼素自身が蒸発
する。
真空度は高いほど硼素の生成速度は速いが実用的な圧力
が存在する。2000℃程度で0.1)−ル以下にすれ
ば、数時間で反応は締結する。またロータリーポンプ、
拡散ポンプで達成可能な圧力としては1O−5トールで
ある。当然のことながら低温で合成するには高真空度の
方が速度が速くなる。保持時間は長くても純度には影響
しない、しかしながら経済面から見れば反応が完結した
時点で終了するのが好ましい、また粒径は保持時間が長
ずざると粒成長を生じるため、原料に比べて大きくなっ
ている。
が存在する。2000℃程度で0.1)−ル以下にすれ
ば、数時間で反応は締結する。またロータリーポンプ、
拡散ポンプで達成可能な圧力としては1O−5トールで
ある。当然のことながら低温で合成するには高真空度の
方が速度が速くなる。保持時間は長くても純度には影響
しない、しかしながら経済面から見れば反応が完結した
時点で終了するのが好ましい、また粒径は保持時間が長
ずざると粒成長を生じるため、原料に比べて大きくなっ
ている。
このとき使用するるつぼ材質は硼素るつぼが不純物の混
入がない点で好ましい、あるいは高純度窒化硼素るつぼ
も表面の窒化硼素の分解反応で硼素が生成し容易に表面
が硼素膜でコートされたるつぼになることから使用t?
きる。一方、黒鉛るつぼは生成した硼素と反応し、B4
Cを生成するし、W、MOの金属るつぼは硼素と反応す
るために好ましくない。
入がない点で好ましい、あるいは高純度窒化硼素るつぼ
も表面の窒化硼素の分解反応で硼素が生成し容易に表面
が硼素膜でコートされたるつぼになることから使用t?
きる。一方、黒鉛るつぼは生成した硼素と反応し、B4
Cを生成するし、W、MOの金属るつぼは硼素と反応す
るために好ましくない。
〔実施例〕
硼酸とジシアンジアミドを重都、比で1:lの割合で混
合した原料longを窒化硼素るつぼにセットし、N2
雰囲気中で黒鉛抵抗加熱炉を使用して予備処理加熱した
後、減圧下で熱分解処理した。
合した原料longを窒化硼素るつぼにセットし、N2
雰囲気中で黒鉛抵抗加熱炉を使用して予備処理加熱した
後、減圧下で熱分解処理した。
予備処理条件、減圧条件、熱分解条件を第1表に示すよ
うに種々変化させて処理を行い、冷却後生成物を化学分
析し、硼素を定量し、さらに粒径を測定した。その結果
も第1表に示した。実施例1〜7では硼素含有量99%
以上の高純度の微細な硼素を得た。比較例1〜4では高
純度の硼素を得ることができなかった。
うに種々変化させて処理を行い、冷却後生成物を化学分
析し、硼素を定量し、さらに粒径を測定した。その結果
も第1表に示した。実施例1〜7では硼素含有量99%
以上の高純度の微細な硼素を得た。比較例1〜4では高
純度の硼素を得ることができなかった。
本発明方法により、高純度(99重量%以上)で微粉(
10pm以下)の硼素を高い回収率で製造できるように
なった。特に加熱処理だけの簡単な操作で製造できるた
めに低コストで大量生産が可能になった。
10pm以下)の硼素を高い回収率で製造できるように
なった。特に加熱処理だけの簡単な操作で製造できるた
めに低コストで大量生産が可能になった。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 窒化硼素を熱分解して硼素を製造するに当り、準黒
鉛構造の窒化硼素を20トール以下の減圧下で1900
〜2600℃の熱処理を施すことを特徴とする高純度硼
素微粉末の製造方法。 2 硼素化合物と窒化剤とを混合し、非酸化性雰囲気で
1000〜1600℃の熱処理を施して準黒鉛構造の窒
化硼素とすることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4140186A JPS62202815A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 高純度硼素微粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4140186A JPS62202815A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 高純度硼素微粉末の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62202815A true JPS62202815A (ja) | 1987-09-07 |
Family
ID=12607349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4140186A Pending JPS62202815A (ja) | 1986-02-28 | 1986-02-28 | 高純度硼素微粉末の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62202815A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012501942A (ja) * | 2008-09-05 | 2012-01-26 | ハー.ツェー.スタルク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 元素状ホウ素の精製方法 |
-
1986
- 1986-02-28 JP JP4140186A patent/JPS62202815A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012501942A (ja) * | 2008-09-05 | 2012-01-26 | ハー.ツェー.スタルク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 元素状ホウ素の精製方法 |
US8790607B2 (en) | 2008-09-05 | 2014-07-29 | H. C. Starck Gmbh | Method for purifying elemental boron |
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